JP2005147817A - 表面検査用面光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】それぞれの光軸が円弧中心点に一致するように、円弧状に配列された複数個の発光ダイオード11aを奥行き方向へ配列した発光ダイオード群による光源11と、この光源に円弧中心点の前方で対面し、かつこの円弧中心点を焦点とするフレネルレンズ15とを備え、このフレネルレンズが、円弧状配列の複数個の発光ダイオード11aのそれぞれの光軸を含む光軸面に沿って焦点を通過する各発光ダイオード11aの照射光を光軸面に沿って平行に出射させる。これにより、検査対象となる表面に平行光を照射して、その反射光により表面の微小欠陥の検査を行わせる。
【選択図】図1
Description
10 面光源装置
11 光源
11a 発光ダイオード
15 フレネルレンズ
16 スリット
19,19a 拡散板
20 撮像装置
21 CCDカメラ
Claims (3)
- 検査対象となる表面に平行光を照射して、その反射光により表面の微小欠陥の検査を行わせるための表面検査用面光源装置において、
それぞれの光軸が円弧中心点に一致するように、円弧状に配列された複数個の発光ダイオードを奥行き方向へ配列した前記発光ダイオード群による光源と、この光源に前記円弧中心点の前方で対面し、かつこの円弧中心点を焦点とするフレネルレンズとを備え、
このフレネルレンズが、円弧状配列の複数個の前記発光ダイオードのそれぞれの前記光軸を含む光軸面に沿って前記焦点を通過する各前記発光ダイオードの照射光を前記光軸面に沿って平行に出射させることを特徴とする表面検査用面光源装置。 - 焦点位置に、奥行き方向に沿ってスリットが形成されていることを特徴とする請求項1記載の表面検査用面光源装置。
- 発光ダイオード群及び焦点位置のいずれか一方に、発光ダイオードの出射光の指向角を広くする拡散板が配置されたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表面検査用面光源装置。
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JP2003384778A JP4117789B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | 表面検査用面光源装置 |
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JP2010043897A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Koito Mfg Co Ltd | 車両用灯具の異物検査装置及び異物検査方法 |
JP2014189385A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Nec Embedded Products Ltd | シート搬送装置、印刷機、シート搬送方法及びプログラム |
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- 2003-11-14 JP JP2003384778A patent/JP4117789B2/ja not_active Expired - Fee Related
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