JP2005144392A - 不純物除去装置 - Google Patents

不純物除去装置

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Abstract

【課題】 フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができ、長時間に渡って透過流量を安定させることができるようにする。
【解決手段】 この発明の不純物除去装置は、容器1内に配置したフィルター6に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器1をフィルターを境にして入口室R1と出口室R2とに区分けし、入口室R1に、流体を流入させる流入ノズル2と、流入ノズル2と略同方向にフィルター6の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズル4,5とを配し、出口室R2にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズル3を配し、注入ノズル4,5からの流量で、流入ノズル2からの流体がフィルター6を透過する透過場所を制御する、ことを特徴としている。
【選択図】 図1

Description

この発明は、容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する粒子を除去する不純物除去装置に関するものである。
図4に従来の不純物除去装置の縦断面図を示す。流体800は、流入ノズル200から容器100に入り、フィルター600の全面を透過して、流出バルブ300から排出される。そして、フィルター600の透過時にフィルター600の孔径以上の微粒子が除去されている。
しかし、上記従来の不純物除去装置では、流入ノズル200からの流体800は、流入ノズル200に対向するフィルター600の場所に流入し、その場所で孔径以上の微粒子を堆積させ、孔径以下の微粒子を透過させていたため、使用開始時には多くの流量を処理できるものの、使用時間とともにフィルター600が目詰まりし、フィルター600を透過する流量は、時間の経過とともに減少し、安定した透過流量の確保が困難であるという問題点を有していた。
この発明は上記に鑑み提案されたもので、フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができ、長時間に渡って透過流量を安定させることができる不純物除去装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する不純物除去装置において、上記容器をフィルターを境にして入口室と出口室とに区分けし、上記入口室に、流体を流入させる流入ノズルと、流入ノズルと略同方向にフィルターの孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズルとを配し、上記出口室にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズルを配し、上記注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御する、ことを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、上記した請求項1に記載の発明の構成に加えて、上記注入ノズルを複数配した、ことを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明は、上記した請求項1に記載の発明の構成に加えて、上記注入ノズルを流入ノズルの両側に設けた、ことを特徴としている。
この発明の不純物除去装置では、注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルターが目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器の急激な圧力上昇をさけることができる。
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1はこの発明の第1実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。図において、この発明の不純物除去装置は、立方体状の容器1内に配置した側面視矩形状のフィルター6に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器1をフィルター6を境にして入口室R1と出口室R2とに区分けしてある。このフィルター6によって、入口室R1から出口室R2に透過した流体は、フィルター6の孔径以上の微粒子を含まない流体となる。
入口室R1には側面視中央に流入ノズル2が設けられ、その両側に注入ノズル4,5が設けられている。流入ノズル2は、流入口2aと拡幅部2bとからなり、流入口2aから流入した流体が、拡幅部2bから入口室R1に流入するようになっている。
注入ノズル4,5はそれぞれ、注入口4a,5aと拡幅部4b,5bとからなり、拡幅部4b,5bが入口室R1に臨んでいる。注入口4a,5aから流入した流体は、拡幅部4b、5bから入口室R1に流入し、流入ノズル2と略同方向に流れるようになっている。なお、この注入ノズル4,5には、フィルター6の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込んでいる。
また、出口室R2には側面視中央に流出バルブ3が設けられている。流出バルブ3は、流出口3aと拡幅部3bとからなり、出口室R2のフィルター処理後の流体が、拡幅部3bを経由して流出口3aから流出されるようになっている。
上記構成の不純物除去装置において、図1に示すように、2個の注入ノズル4、5から注入される流体7,9の各流量が同じ場合、流入ノズル2からの流体8がフィルター6を透過する透過場所は、フィルター6の中央部分11となる。
一方、2個の注入ノズ4、5から注入される流体7,9の流量が異なり、注入ノズル4からの流体7の流量が、注入ノズル5からの流体9の流量より多い場合、図2に示すように、流入ノズル2からの流体8がフィルター6を透過する透過場所は、流量の少ない注入ノズル5側に移動し、フィルター6の下側部分12となる。逆に、注入ノズル5からの流体9の流量が、注入ノズル4からの流体7の流量より多い場合、流入ノズル2からの流体8がフィルター6を透過する透過場所は、流量の少ない注入ノズル4側に移動し、フィルター6の上側部分となる。
このように、注入ノズル4,5からの流量で、流入ノズル2からの流体がフィルター6を透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルター6が目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルター6の目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器1の急激な圧力上昇をさけることができる。
図3はこの発明の第2実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図で、図面左側はA1−A1断面の斜視図、図面右側はB1−B1断面の斜視図である。図において、この発明の不純物除去装置は、円筒状の容器1内に配置した円筒状のフィルター60に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器1をフィルター60を境にして入口室R1と出口室R2とに区分けしてある。このフィルター60によって、入口室R1から出口室R2に透過した流体は、フィルター60の孔径以上の微粒子を含まない流体となる。
入口室R1には側面視中央に側面視ドーナツ状の流入ノズル20が設けられ、その流入ノズル20の内周側に側面視円形状の注入ノズル40が、また外周側に側面視ドーナツ状の注入ノズル50が設けられ、流入ノズル20、注入ノズル40,50からの各流体が、入口室R1に流入するようになっている。なお、この注入ノズル40,50には、フィルター60の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込んでいる。
また、出口室R2には側面視円形状の流出バルブ30が設けられ、出口室R2のフィルター処理後の流体が、流出バルブ30から流出されるようになっている。
上記構成の不純物除去装置において、図3に示すように、外側の注入ノズル40からの流体70の流量が、内側の注入ノズル50からの流体90の流量より多い場合、流入ノズル20からの流体は、外側の注入ノズル40からの流体によって、フィルター60のより中央側に寄せられ、フィルター60の透過場所はフィルター60のより中央側部分13になる。逆に、内側の注入ノズル50からの流体90の流量が、外側の注入ノズル40からの流体70の流量より多い場合、流入ノズル20からの流体は、内側の注入ノズル50からの流体によって、フィルター60のより外周側に寄せられ、フィルター60の透過場所はより外周部分になる。
一方、外側の注入ノズル40からの流体70の流量と、内側の注入ノズル50からの流体90の流量とが同じ場合、流入ノズル20からの流体は、そのままフィルター60に向けて直進し、流入ノズル20に対向するフィルター60の位置で透過するようになる。
このように、この実施例2では、上記の実施例1の場合と同様に、注入ノズル40,50からの流量で、流入ノズル20からの流体がフィルター60を透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルター60が目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルター60の目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器1の急激な圧力上昇をさけることができる。
この発明の第1実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。 流入流体のフィルター透過場所を移動させる原理を示す図である。 この発明の第1実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。 従来の不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。
符号の説明
1 容器
2 流入ノズル
3 流出ノズル
4 注入ノズル
5 注入ノズル
6 フィルター
7 注入ノズル4からの流体
8 流入ノズル2からの流体
9 注入ノズル5からの流体
10 容器
11,12,13 フィルター透過場所
20 流入ノズル
30 流出ノズル
40 注入ノズル
50 注入ノズル
60 フィルター
70 注入ノズル40からの流体
80 流入ノズル20からの流体
90 注入ノズル50からの流体
R1 入口室
R2 出口室

Claims (3)

  1. 容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する不純物除去装置において、
    上記容器をフィルターを境にして入口室と出口室とに区分けし、
    上記入口室に、流体を流入させる流入ノズルと、流入ノズルと略同方向にフィルターの孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズルとを配し、
    上記出口室にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズルを配し、
    上記注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御する、
    ことを特徴とする不純物除去装置。
  2. 上記注入ノズルを複数配した、請求項1に記載の不純物除去装置。
  3. 上記注入ノズルを流入ノズルの両側に設けた、請求項1に記載の不純物除去装置。
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