JP2005135946A - ドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリング - Google Patents
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Abstract
【課題】 より均一なプラズマ環境を維持でき、処理室内に配されるプラズマ拡張用のリングの交換容易性、長寿命化対策が得られるドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリングを提供する。
【解決手段】 カソード電極12の周辺領域15上に内側のSiリング161と外側のSiリング162が隣接して設けられている。これらSiリング161,162は、シリコン半導体ウェハWFのウェハの周囲にプラズマを拡張させる一つの有用なSiリング16を構成している。Siリング161とSiリング162は別個に取り外し可能である。これにより、各リング別個に交換のサイクルを確立できる。
【選択図】 図1
【解決手段】 カソード電極12の周辺領域15上に内側のSiリング161と外側のSiリング162が隣接して設けられている。これらSiリング161,162は、シリコン半導体ウェハWFのウェハの周囲にプラズマを拡張させる一つの有用なSiリング16を構成している。Siリング161とSiリング162は別個に取り外し可能である。これにより、各リング別個に交換のサイクルを確立できる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、Siウェハ工程におけるプラズマエッチングに係り、特にSiリングを有するドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリングに関する。
ドライエッチング装置は、反応ガスを処理室内に導入してプラズマ化するプラズマエッチングを利用する技術が一般化されている。並行平板型のドライエッチング装置は、処理室内の下部電極に例えば静電チャックにより半導体ウェハを固定する。例えば高周波電源に接続された上部電極の微小孔から反応ガスが供給され、上部電極と下部電極間でプラズマを発生させる。これにより、半導体ウェハに所望のエッチング処理を行う。
半導体ウェハの処理表面全体により均一なプラズマを与えないとエッチングレートに差が生じる。対策として、ウェハ周辺にリング状の部材を配置し、見かけ上ウェハ径を大きくする構成がとられる。いわゆるSiリング(シリコンリング)であり、ウェハ面内におけるプラズマ密度の均一化が図れ、エッチングレートのばらつきを抑える(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−196257号公報(図1)
図5は、従来のエッチング装置における処理室内のSiリング部分を示す拡大断面図である。Siリング51は、下部電極となるカソード電極52の周辺領域上に配備されている。Siリング51は、理想的にはウェハWFの高さが同じでウェハWFの端面に隣接する連続的な上面部を有することが望ましい。しかし、現状ではウェハを載置する際のウェハの位置合わせ余裕を考慮し、ウェハWFの端面からわずかに離間させるため所定角度の傾斜部51Tを経て最上面領域51Sを有する。プラズマエッチング動作に伴い、Siリング51においてプラズマが集中する箇所54が生じる。すなわち、プラズマ粒子が、Siリング51の傾斜部51TやウェハWFの側部(端面)に当って跳ね返り、局所に集中することによって過度の摩耗が起こる。
図5の54に示すようにSiリング51の局所的な摩耗劣化が大きくなると、ウェハWF外周近傍のプラズマの安定性が保てなくなり、ウェハWF外周部のエッチングレートが低くなる。このため、ある程度局所が摩耗劣化してきたSiリング51を使用した場合、エッチングの均一性、エッチングレートが規格下限で推移することになる。これにより品質劣化、エッチング不良を招く恐れがある。
また、処理室使用時間が増すにつれ、下部電極52とSiリング51、Alリング53の間に排出されなかった堆積物55が蓄積し、隙間が塞がるほどになる。Siリング51の局所的な摩耗による削れ量が大きいと上記堆積物55の蓄積は著しく増大し、上記隙間が塞がるような事態は早く起こりやすい。これにより、処理室内のメンテナンス及びクリーニング時においてSiリング51の取り外しが困難になる場合がある。この結果、取り外し時の過大な力でSiリング51が破損する、あるいはクリーニング時間が増大するといった不都合が生じる。
上記のような理由から、品質劣化を避け、効率の良いプラズマエッチングを実現するためには、Siリング51を早めに交換する必要がある。すなわち、Siリング51の局所的な摩耗、劣化が大きいためにSiリング51のライフタイムは短くならざるを得ない。Siリング51は、形状も特殊で高い精度が要求され、高価なものである。よって、頻繁な交換は半導体装置の製造コスト上昇を招く。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、より均一なプラズマ環境を維持でき、処理室内に配されるプラズマ拡張用のリングの交換容易性、長寿命化対策が得られるドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリングを提供しようとするものである。
本発明に係るドライエッチング装置は、処理室内に半導体ウェハが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化して前記半導体ウェハに所望のエッチングが施されるドライエッチング装置であって、前記処理室内に設けられ前記半導体ウェハの支持部を伴う第1電極と、前記処理室内に設けられ前記第1電極に対向する第2電極と、前記第1電極の第1周辺領域上に設けられ、前記半導体ウェハの周辺近傍下部に配される第1リングと、前記第1電極の第2周辺領域上に設けられ、前記第1リング外側に隣接する少なくとも前記半導体ウェハの端面に隣り合う高さを有する第2リングと、を含む。
本発明に係るドライエッチング装置は、処理室内に半導体ウェハが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化して前記半導体ウェハに所望のエッチングが施されるドライエッチング装置であって、前記処理室内に設けられ前記半導体ウェハの支持部を伴う第1電極と、前記処理室内に設けられ前記第1電極に対向する第2電極と、前記第1電極の周辺領域上に設けられ、前記半導体ウェハの周辺近傍下部に内周が延在する第1リングと、前記第1リング上に設けられ、少なくとも前記半導体ウェハの端面に隣り合う高さを有する第2リングと、を含む。
上記それぞれ本発明に係るドライエッチング装置によれば、比較的簡単な形状に分離した第1リングと第2リングが組み合わせられ、一つの有用なリング形状を構成している。これにより、各リングの加工が容易となり製造コスト削減に寄与する。第1リングと第2リングは、より消耗、劣化し易い部分とそれに比べて消耗、劣化し難い部分とに分けられることが重要である。これにより、別個に交換のサイクルが確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。
上記それぞれ本発明に係るドライエッチング装置において、好ましくは次のような特徴を有する。
前記第2リングは、前記半導体ウェハにおける処理面の延長線と略同じレベルの高さの最上面領域を有する。これにより、仮想的に半導体ウェハの面積が増え、ウェハ面内のプラズマ均一性が向上する。
前記第1リングと前記第2リングはそれぞれ別個に交換できる。上記したように、交換のサイクルが別個に確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。
記半導体ウェハはSiウェハであり、前記第1リング及び前記第2リングは共にSiで構成されている。Siでなる第1リング及び第2リングが組み合わせられ、Siウェハに対するプラズマ拡張用のリングとして有用となる。
前記第2リングは、前記半導体ウェハにおける処理面の延長線と略同じレベルの高さの最上面領域を有する。これにより、仮想的に半導体ウェハの面積が増え、ウェハ面内のプラズマ均一性が向上する。
前記第1リングと前記第2リングはそれぞれ別個に交換できる。上記したように、交換のサイクルが別個に確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。
記半導体ウェハはSiウェハであり、前記第1リング及び前記第2リングは共にSiで構成されている。Siでなる第1リング及び第2リングが組み合わせられ、Siウェハに対するプラズマ拡張用のリングとして有用となる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、プラズマ生成用の上部電極及び下部電極を有するドライエッチング装置の処理室内で前記下部電極の周辺領域に、外側のリングと内側のリングを隣接させて配置する工程と、前記内側のリングとの対向領域を有すると共に前記外側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハを前記下部電極に固定する工程と、前記上部電極側から供給される反応ガスをプラズマ化させて前記半導体ウェハに所望のエッチングを施す工程と、を含む。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、内側のリングと外側のリングが組み合わせられ、一つの有用なリング形状ができる。半導体ウェハは、外側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するように下部電極に固定される。内側のリングは、外側のリングより消耗、劣化し易い部分を有する。交換のサイクルが別個に確立できるので、内側のリングは信頼性を維持するための早期の交換が可能になり、外側のリングはより長時間使用可能になる。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記外側のリング及び前記内側のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換することを特徴とする。また、内側のリングは、表と裏を交換して使用することを特徴とする。内側のリングが単純な円盤状となる場合は表と裏どちらも主面となり得る。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、プラズマ生成用の上部電極及び下部電極を有するドライエッチング装置の処理室内で前記下部電極の周辺領域に、下側のリングとそれより内周の大きい上側のリングを重ねて配置する工程と、前記下側のリングとの対向領域を有すると共に前記上側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハを前記下部電極に固定する工程と、前記上部電極側から供給される反応ガスをプラズマ化させて前記半導体ウェハに所望のエッチングを施す工程と、を含む。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、下側のリングと上側のリングが組み合わせられ、一つの有用なリング形状ができる。半導体ウェハは、上側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するように下部電極に固定される。下側のリングは、上側のリングより消耗、劣化し易い部分を有する。交換のサイクルが別個に確立できるので、下側のリングは信頼性を維持するための早期の交換が可能になり、上側のリングはより長時間使用可能になる。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記下側のリング及び前記上側のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換することを特徴とする。また、下側のリングは、表と裏を交換して使用することを特徴とする。下側のリングが単純な円盤状となる場合は表と裏どちらも主面となり得る。
本発明に係るSiリングは、ドライエッチング装置の処理室内においてシリコン半導体ウェハの置かれる電極周辺に配備される内側のリング及びこれに隣接する外側のリングからなる。
上記本発明に係るSiリングによれば、内側のリングと外側のリングが組み合わせられ、シリコン半導体ウェハに対する一つの有用なプラズマ拡張用のリング形状ができる。内側のリングと外側のリングは、より消耗、劣化し易い部分とそれに比べて消耗、劣化し難い部分とに分けられることが重要である。これにより、別個に交換のサイクルが確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。
本発明に係るSiリングは、ドライエッチング装置の処理室内においてシリコン半導体ウェハの置かれる電極周辺に配備される下側のリング及びこれに重なる上側のリングからなる。
上記本発明に係るSiリングによれば、下側のリングと上側のリングが組み合わせられ、シリコン半導体ウェハに対する一つの有用なプラズマ拡張用のリング形状ができる。下側のリングと上側のリングは、より消耗、劣化し易い部分とそれに比べて消耗、劣化し難い部分とに分けられることが重要である。これにより、別個に交換のサイクルが確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。
図1は、本発明の第1実施形態に係るドライエッチング装置の要部を示す構成図であり、平行平板型のRIE(Reactive Ion Etching)装置を示す。図2は、図1中のSiリングを示す断面構成図である。
図1において、処理室11は真空排気されるプラズマ室である。処理室11内の下部電極はカソード電極12であり、上部電極はアノード電極13である。処理室11内において、カソード電極12にシリコン半導体ウェハWFが載置され、アノード電極13側から供給される反応ガスをプラズマ化してウェハWFに所望のエッチングが施される。アノード電極13は接地されている。カソード電極12は高周波電源14に接続されている。カソード電極12はウェハWFを真空吸着する構成である。また、カソード電極12は水冷するための冷却水の経路を有する。アノード電極13は、処理室11内に反応ガスをシャワー状に導入するための複数のピンホール13Hを有する。このようなドライエッチング装置の構成は多種多様であり上記構成に限定されない。
図1において、処理室11は真空排気されるプラズマ室である。処理室11内の下部電極はカソード電極12であり、上部電極はアノード電極13である。処理室11内において、カソード電極12にシリコン半導体ウェハWFが載置され、アノード電極13側から供給される反応ガスをプラズマ化してウェハWFに所望のエッチングが施される。アノード電極13は接地されている。カソード電極12は高周波電源14に接続されている。カソード電極12はウェハWFを真空吸着する構成である。また、カソード電極12は水冷するための冷却水の経路を有する。アノード電極13は、処理室11内に反応ガスをシャワー状に導入するための複数のピンホール13Hを有する。このようなドライエッチング装置の構成は多種多様であり上記構成に限定されない。
この第1実施形態では、基礎台としてのAlリングによりカソード電極12の周辺領域15が構成されている。この周辺領域15上に内側のSiリング161と外側のSiリング162が隣接して設けられている。これらSiリング161,162は、シリコン半導体ウェハWFのウェハの周囲にプラズマを拡張させる一つの有用なSiリング16を構成している。すなわち、見かけ上ウェハ径を大きくし、ウェハWF面内におけるプラズマ密度の均一化を図り、エッチングレートのばらつき抑制に寄与する。図示しないが、Siリング16を囲むようにフォーカスリング(Alリング)が設けられている場合もある。
Siリング16において、内側のSiリング161は、少なくともウェハWFの周辺近傍下部に配される。外側のSiリング162は、少なくともウェハWFの端面に隣り合う高さを有する。より具体的には、所定の傾斜角度を有する傾斜部162Tと、ウェハWFにおける処理面の延長線と略同じレベルの高さの最上面領域162Sを有する。
図2に示すように、Siリング161と162は、比較的簡単な形状に分離されている。Siリング161は、半導体ウェハWFの径より小さい内径及びウェハWFの径より大きい外径を有する高さH11が例えば1.3mm程度のリングである。図示しないが半導体ウェハWFがオリフラ(オリエンテーションフラット)を有する場合は一部がオリフラに沿った形状となる。Siリング162は、Siリング161の外側に隣接し、内周部の高さH12がSiリング161と同等、かつ0°〜90°の間の適当な傾斜角度の傾斜部162Tを経て最上面領域162Sを有し、外周部の高さH13が1.95〜3.8mmの範囲の適当な高さを有する。このように、Siリング161と162を比較的簡単な形状に分離することによって、リング製造加工のコストが低減される利点もある。Siリング161とSiリング162は隙間なく隣接されていることが好ましい。しかし、実際は0.5mm以下程度の離間距離を有する精度で合わせ余裕が設けられていてもよい。
Siリング161とSiリング162は別個に取り外すことが可能である。これにより、各リング別個に交換のサイクルを確立できる。Siリング161は、Siリング162に比較して、より消耗、劣化し易い領域を有する。すなわち、Siリング161は前記図5に示すように、プラズマの集中する箇所ができやすい。Siリング162はSiリング161に比べて消耗、劣化の進行が遅く、より長時間使用できる。そこで、Siリング161及びSiリング162のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換すればよい。Siリング161はエッチングレートに悪影響の出ない高信頼性を維持できるうちに交換でき、一方、交換サイクルを長くできるSiリング162は長寿命化される。また、Siリング161は単純な円盤形状のため、プラズマに晒されていた表面が消耗、劣化した場合、裏返しにして用いることも可能である。
図1を参照して本発明に係る半導体装置の製造方法を説明する。処理室11内で下部電極の周辺領域15に、外側のリング162と内側のリング161を隣接させて配置する。次に、リング161との対向領域を有すると共にリング162の最上面領域162Sの高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハWFをカソード電極12に位置合わせし真空吸着により固定する。処理室11内は所定の真空度に排気される。次に、アノード電極13側から供給される反応ガスが高周波電源14のオンによりプラズマ化され、半導体ウェハWFに所望のエッチングを施す。メンテナンス、クリーニング時には、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換する。すなわち、Siリング161,162各リング別個に最適の交換のサイクルを確立できる。
上記実施形態及び方法によれば、内側のSiリング161と外側のSiリング162が組み合わせられ、一つの有用なリング形状ができる。半導体ウェハWFは、Siリング162の最上面領域162Sの高さと略同じレベルの処理面の高さを有するようにカソード電極12に固定される。Siリング161は、Siリング162より消耗、劣化し易い部分を有する。Siリング161,162は交換のサイクルが別個に確立できるので、内側のSiリング161は信頼性を維持するための早期の交換が可能になり、外側のSiリング162はより長時間使用可能になる。また、Siリング162は、単純な円盤状であって表と裏どちらも主面となり得る。よってSiリング162は、表と裏を交換して使用することも可能であり、長寿命化に寄与する。また、Siリング161と162を比較的簡単な形状に分離することにより、リング製造加工のコストが低減される利点もある。
図3は、本発明の第2実施形態に係るドライエッチング装置の要部を示す構成図であり、平行平板型のRIE(Reactive Ion Etching)装置を示す。図4は、図3中のSiリングを示す断面構成図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付してある。
図3において、前記第1実施形態と同様に、処理室11内の下部電極、上部電極、すなわち、カソード電極12、アノード電極13が構成され、カソード電極12にシリコン半導体ウェハWFが載置される。アノード電極13側から供給される反応ガスを高周波電源14によりプラズマ化してウェハWFに所望のエッチングが施される。
図3において、前記第1実施形態と同様に、処理室11内の下部電極、上部電極、すなわち、カソード電極12、アノード電極13が構成され、カソード電極12にシリコン半導体ウェハWFが載置される。アノード電極13側から供給される反応ガスを高周波電源14によりプラズマ化してウェハWFに所望のエッチングが施される。
この第2実施形態では、例えばAlリングで構成されたカソード電極12の周辺領域15上に下側のSiリング261と上側のSiリング262が重ねられている。これらSiリング261,262は、シリコン半導体ウェハWFのウェハの周囲にプラズマを拡張させる一つの有用なSiリング26を構成している。すなわち、見かけ上ウェハ径を大きくし、ウェハWF面内におけるプラズマ密度の均一化を図り、エッチングレートのばらつき抑制に寄与する。図示しないが、Siリング16を囲むようにフォーカスリング(Alリング)が設けられている場合もある。
Siリング26において、下側のSiリング261は、その内周が少なくともウェハWFの周辺近傍下部に延在している。上側のSiリング262は、少なくともウェハWFの端面に隣り合う高さを有する。より具体的には、所定の傾斜角度を有する傾斜部262Tと、ウェハWFにおける処理面の延長線と略同じレベルの高さの最上面領域262Sを有する。
図4に示すように、Siリング261と262は、比較的簡単な形状に分離されている。Siリング261は、半導体ウェハWFの径より小さい内径及びウェハWFの径より大きい外径を有する高さH21が例えば1.3mm程度のリングである。図示しないが半導体ウェハWFがオリフラ(オリエンテーションフラット)を有する場合は一部がオリフラに沿った形状となる。Siリング262は、Siリング261上の周辺領域に重ねられ、0°〜90°の間の適当な傾斜角度の傾斜部262Tを経て最上面領域262Sを有し、外周部の高さH23が0.65〜2.5mmの範囲の適当な高さを有する。このように、Siリング261と262を比較的簡単な形状に分離することによって、リング製造加工のコストが低減される利点もある。Siリング261とSiリング262の外周縁が一致して重ねられているときSiリング26として正しい形状になる。
Siリング261とSiリング262は別個に取り外すことが可能である。これにより、各リング別個に交換のサイクルを確立できる。Siリング261は、Siリング262に比較して、より消耗、劣化し易い領域を有する。すなわち、Siリング261は前記図5に示すように、プラズマの集中する箇所ができやすい。Siリング262はSiリング261に比べて消耗、劣化の進行が遅く、より長時間使用できる。そこで、Siリング261及びSiリング262のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換すればよい。Siリング261はエッチングレートに悪影響の出ない高信頼性を維持できるうちに交換でき、一方、交換サイクルを長くできるSiリング262は長寿命化される。また、Siリング261は単純な円盤形状のため、プラズマに晒されていた表面が消耗、劣化した場合、裏返しにして用いることも可能である。
図3を参照して本発明に係る半導体装置の製造方法を説明する。処理室11内で下部電極の周辺領域15に、下側のリング261と上側のリング262を外周が一致するように重ねて配置する。次に、リング261との対向領域を有すると共にリング262の最上面領域262Sの高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハWFをカソード電極12に位置合わせし真空吸着により固定する。処理室11内は所定の真空度に排気される。次に、アノード電極13側から供給される反応ガスが高周波電源14のオンによりプラズマ化され、半導体ウェハWFに所望のエッチングを施す。メンテナンス、クリーニング時には、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換する。すなわち、Siリング261,262各リング別個に最適の交換のサイクルを確立できる。
上記実施形態及び方法によれば、下側のSiリング261と上側のSiリング262が組み合わせられ、一つの有用なリング形状ができる。半導体ウェハWFは、Siリング262の最上面領域262Sの高さと略同じレベルの処理面の高さを有するようにカソード電極12に固定される。Siリング261は、Siリング262より消耗、劣化し易い部分を有する。Siリング261,262は交換のサイクルが別個に確立できるので、下側のSiリング261は信頼性を維持するための早期の交換が可能になり、上側のSiリング262はより長時間使用可能になる。また、Siリング262は、単純な円盤状であって表と裏どちらも主面となり得る。よってSiリング262は、表と裏を交換して使用することも可能であり、長寿命化に寄与する。また、Siリング261と262を比較的簡単な形状に分離することにより、リング製造加工のコストが低減される利点もある。
以上説明したように本発明によれば、比較的簡単な形状に分離した第1リングと第2リングが組み合わせられ、一つの有用なプラズマ拡張用のリング形状を構成している。これにより、リング自体それぞれ加工を容易とし、リング製造加工に関るコストを低減することができる。また、第1リングと第2リングは、より消耗、劣化し易い部分とそれに比べて消耗、劣化し難い部分とに分けられることが重要である。これにより、別個に交換のサイクルが確立でき、部分的にではあるが、より長時間使用可能なリングが配備できる。この結果、より均一なプラズマ環境を維持でき、処理室内に配されるプラズマ拡張用のリングの交換容易性、長寿命化対策が得られるドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリングを提供することができる。
11…処理室、12,52…カソード電極、13…アノード電極、13H…ピンホール、14…高周波電源、15…周辺領域、16,161,162,26,261,262,51…Siリング、53…Alリング、54…プラズマ集中箇所、55…堆積物、WF…半導体ウェハ。
Claims (13)
- 処理室内に半導体ウェハが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化して前記半導体ウェハに所望のエッチングが施されるドライエッチング装置であって、
前記処理室内に設けられ前記半導体ウェハの支持部を伴う第1電極と、
前記処理室内に設けられ前記第1電極に対向する第2電極と、
前記第1電極の第1周辺領域上に設けられ、前記半導体ウェハの周辺近傍下部に配される第1リングと、
前記第1電極の第2周辺領域上に設けられ、前記第1リング外側に隣接する少なくとも前記半導体ウェハの端面に隣り合う高さを有する第2リングと、を含むドライエッチング装置。 - 処理室内に半導体ウェハが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化して前記半導体ウェハに所望のエッチングが施されるドライエッチング装置であって、
前記処理室内に設けられ前記半導体ウェハの支持部を伴う第1電極と、
前記処理室内に設けられ前記第1電極に対向する第2電極と、
前記第1電極の周辺領域上に設けられ、前記半導体ウェハの周辺近傍下部に内周が延在する第1リングと、
前記第1リング上に設けられ、少なくとも前記半導体ウェハの端面に隣り合う高さを有する第2リングと、を含むドライエッチング装置。 - 前記第2リングは、前記半導体ウェハにおける処理面の延長線と略同じレベルの高さの最上面領域を有する請求項1または2記載のドライエッチング装置。
- 前記第1リングと前記第2リングはそれぞれ別個に交換できる請求項1〜3いずれか一つに記載のドライエッチング装置。
- 前記半導体ウェハはSiウェハであり、前記第1リング及び前記第2リングは共にSiで構成されている請求項1〜4いずれか一つに記載のドライエッチング装置。
- プラズマ生成用の上部電極及び下部電極を有するドライエッチング装置の処理室内で前記下部電極の周辺領域に、外側のリングと内側のリングを隣接させて配置する工程と、
前記内側のリングとの対向領域を有すると共に前記外側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハを前記下部電極に固定する工程と、
前記上部電極側から供給される反応ガスをプラズマ化させて前記半導体ウェハに所望のエッチングを施す工程と、を含む半導体装置の製造方法。 - 前記外側のリング及び前記内側のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換することを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記内側のリングは、表と裏を交換して使用することを特徴とする請求項6または7記載の半導体装置の製造方法。
- プラズマ生成用の上部電極及び下部電極を有するドライエッチング装置の処理室内で前記下部電極の周辺領域に、下側のリングとそれより内周の大きい上側のリングを重ねて配置する工程と、
前記下側のリングとの対向領域を有すると共に前記上側のリングの最上面領域の高さと略同じレベルの処理面の高さを有するような半導体ウェハを前記下部電極に固定する工程と、
前記上部電極側から供給される反応ガスをプラズマ化させて前記半導体ウェハに所望のエッチングを施す工程と、を含む半導体装置の製造方法。 - 前記下側のリング及び前記上側のリングのうち、プラズマに晒されてより消耗の激しくなった方のリングを優先して交換することを特徴とする請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記下側のリングは、表と裏を交換して使用することを特徴とする請求項9または10記載の半導体装置の製造方法。
- ドライエッチング装置の処理室内においてシリコン半導体ウェハの置かれる電極周辺に配備される内側のリング及びこれに隣接する外側のリングからなるSiリング。
- ドライエッチング装置の処理室内においてシリコン半導体ウェハの置かれる電極周辺に配備される下側のリング及びこれに重なる上側のリングからなるSiリング。
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