JP2005134459A - Tftアレイ基板、電気光学装置、およびそれを用いた電子機器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 13
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 7
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 102100040862 Dual specificity protein kinase CLK1 Human genes 0.000 description 1
- 102100040844 Dual specificity protein kinase CLK2 Human genes 0.000 description 1
- 101000749294 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK1 Proteins 0.000 description 1
- 101000749291 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK2 Proteins 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
- Control Of El Displays (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
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Abstract
【課題】 比較的に高い駆動電圧を必要とする液晶素子やエレクトロルミネセンス素子等に供給する各回路のうち、最も劣化が起こりやすい回路に所定の対策を施すことにより、出力波形の長期安定性を図り、信頼性を効果的に向上可能TFTアレイ基板、電気光学装置、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】 走査線駆動回路104は、シフトレジスタ110と、レベルシフタ回路120と、このレベルシフタ回路120から出力された信号に対する出力バッファ回路130が構成され、出力バッファ回路130の最終出力段のインバータ回路133は、直列接続されたnチャネル型のTFT263、264を備えたNAND回路135によって構成されている。
【選択図】 図3
【解決手段】 走査線駆動回路104は、シフトレジスタ110と、レベルシフタ回路120と、このレベルシフタ回路120から出力された信号に対する出力バッファ回路130が構成され、出力バッファ回路130の最終出力段のインバータ回路133は、直列接続されたnチャネル型のTFT263、264を備えたNAND回路135によって構成されている。
【選択図】 図3
Description
本発明は、TFT(Thin Film Transistor)によって構成されたゲート線駆動回路を備えたTFTアレイ基板、このTFTアレイ基板によって電気光学物質を保持した電気光学装置、およびそれを用いた電子機器に関するものである。
液晶装置やエレクトロルミネッセンス表示装置などの電気光学装置では、電気光学装置用基板によって電気光学物質が保持された電気光学素子を有しており、当該電気光学装置用基板の略中央領域を画像表示領域として各種の画像が表示される。画像表示領域には、縦横に延びた走査線およびデータ線の交点に相当する各位置に、画素スイッチング用のTFTや画素電極を備えた画素が多数、マトリクス状に構成され、各画素のTFTは、ゲートが接続された走査線を介して駆動される。
ここで、電気光学装置用基板には、走査線を駆動する走査線駆動回路もTFTによって構成されることがあり、電気光学装置用基板は、TFTアレイ基板として構成される。このようなTFTの能動層は、アモルファスシリコン膜またはポリシリコン膜によって構成されるが、ポリシリコン膜を用いたTFTは、アモルファスシリコン膜を用いたTFTに比較して、移動度が高いという利点がある。但し、ポリシリコン膜を低温プロセスで形成した場合、ホット・キャリアによる劣化に起因して、TFTのしきい値電圧の変動や移動度を低下などといった不具合が発生しやすい。
そこで、走査線駆動回路に対して、クロックバッファをNAND回路で構成し、TFTに加わる負荷を軽減することが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−280882号公報
しかしながら、特許文献1に記載の構成では、走査線駆動回路のクロックバッファをNAND回路してあるものの、走査線駆動回路の信頼性を向上できないという問題点がある。本願出願人がその理由を種々検討したところ、走査線駆動回路において、ホット・キャリアなどの影響でTFTが劣化しやすいのは、負荷容量の大きな出力バッファ回路であるという知見を得た。すなわち、電気光学装置では、各画素に構成されたTFTを駆動するのに比較的、高い電圧を必要としているため、出力バッファ回路を構成するインバータ回路では、駆動電圧Vddが例えば9Vを越える場合がある。図6を参照して以下に説明するように、このような駆動電圧Vddが高く、しかも負荷容量の大きな回路に、通常のシングルゲートのTFTでCMOSインバータ回路を構成したままでは、走査線駆動回路の信頼性を向上できないのである。
図6は、低温ポリシリコン膜を用いたシングルゲート構造のTFTを用いたインバータ回路における駆動電圧Vddと、相互コンダクタンスgmの半減時間τとの関係(デバイス寿命のドレイン電圧依存性)を示すグラフである。なお、図6には、チャネル長を変えた3種類のTFTを用いた場合の結果を示してあり、実線L1は、チャネル長が長い場合の結果を示し、実線L3は、チャネル長が短い場合の結果を示し、実線L2はそれらの中間の場合の結果を示してある。
図6から明らかなように、駆動電圧Vddが高いほど、相互コンダクタンスgmの半減時間τが短くなる傾向にあり、オン電流が低下する。すなわち、インバータを構成するNchの相互コンダクタンスの最大値が半減する(50%)時間は、概ね、exp(a/Vdd+b)で表される。とりわけ、走査線駆動回路では、液晶を駆動するために駆動バイアスは高いので、インバータの電源電圧Vddが10Vを超えることが多いが、電源電圧Vddが10Vを超えると、インバータを構成するTFT、特にnチャネル型のTFTにおいて、ホット・キャリアによる劣化が発生しやすい。それ故、駆動電圧Vddが高いインバータ回路を通常のシングルゲートのTFTで構成すると、短期間のうちに、インバータ回路としての信号遅延やタイミングずれ、あるいは信号波形の「なまり」を生じてしまう。しかも、このような問題点は、液晶装置やエレクトロルミネッセンス型表示装置を大型化した場合、1本の走査線にぶら下がるTFTが多く、かつ、データ線との交差部分に寄生する寄生容量も大きくなるので、重大な問題となる。
以上の問題点に鑑みて、比較的に高い駆動電圧を必要とする液晶素子やエレクトロルミネセンス素子等に供給する各回路のうち、最も劣化が起こりやすい回路に所定の対策を施すことにより、出力波形の長期安定性を図り、信頼性を効果的に向上可能TFTアレイ基板、電気光学装置、およびそれを用いた電子機器を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、複数のTFTの各ゲートが電気的に接続された複数本のゲート線と、該複数のゲート線の各々にゲート信号を出力するゲート線駆動回路とを有し、該ゲート線駆動回路では、複数のTFTによって、前記ゲート信号の信号波形を形成する波形生成回路と、該波形生成回路から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路と、該レベルシフタ回路から出力された信号に対する複数のインバータ回路を有する波形整形用の出力バッファ回路が構成されたTFTアレイ基板において、前記出力バッファ回路の最終出力段でインバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうちの少なくとも一方が、ソース電極とドレイン電極との間に複数のゲート電極を備えたダブルゲート構造を有していることを特徴とする。
本発明は、前記レベルシフタ回路が、前記波形生成回路から出力された信号を10V以上に増幅して前記バッファ回路に出力するようなTFTアレイ基板に適用すると効果的である。
また、本発明では、マトリクス状に配置される多数の電気光学素子に信号を供給する走査線およびデータ線と、前記走査線または前記データ線に信号を供給する出力バッファ回路とを有するTFTアレイ基板において、前記出力バッファ回路は、複数のインバータ回路を備えるとともに、当該出力バッファ回路の最終出力段でインバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうちの少なくとも一方が、ソース電極とドレイン電極との間に複数のゲート電極を備えたダブルゲート構造を有していることを特徴とする。
本発明において、前記出力バッファ回路の最終出力段で前記インバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうち、少なくともnチャネル型TFTが前記ダブルゲート構造を有していることが好ましい。nチャネル型のTFTの劣化は、ホット・エレクトロンに起因するのに対して、pチャネル型のTFTの劣化は、ホット・ホールに起因する。但し、ホールの移動度は電子より小さいため、pチャネル型のTFTでは、ホット・ホールの発生が少ないので、信頼性などへの影響が極めて小さい。それ故、ダブルゲート構造は、nチャネル型のTFTに適用すると効果的である。
本発明の別の形態では、複数のTFTの各ゲートが電気的に接続された複数本のゲート線と、該複数のゲート線の各々にゲート信号を出力するゲート線駆動回路とを有し、該ゲート線駆動回路では、複数のTFTによって、前記ゲート信号の信号波形を形成する波形生成回路と、該波形生成回路から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路と、該レベルシフタ回路から出力された信号に対する複数のインバータ回路を有する波形整形用の出力バッファ回路が構成されたTFTアレイ基板において、前記出力バッファ回路は、その最終出力段に、nチャネル型TFTとpチャネル型TFTによって構成されたNAND回路を備えていることを特徴とする。
本発明は、前記レベルシフタ回路が、前記波形生成回路から出力された信号を10V以上に増幅して前記バッファ回路に出力するようなTFTアレイ基板に適用すると効果的である。
本発明において、前記NAND回路の一方の入力として、隣接するゲート線に対応する前記出力バッファ回路に含まれるインバータ回路の出力が用いられていることが好ましい。
また、本発明では、マトリクス状に配置される多数の電気光学素子に信号を供給する走査線およびデータ線と、前記走査線または前記データ線に信号を供給する出力バッファ回路とを有するTFTアレイ基板において、前記出力バッファ回路は、複数のインバータ回路を備えるとともに、その最終出力段に、nチャネル型TFTとpチャネル型TFTによって構成されたNAND回路を備えていることを特徴とする。
本発明において、前記NAND回路は、2つのnチャネル型のTFTと、2つのpチャネル型のTFTとから構成され、当該TFTのうち、2つのnチャネル型のTFT同士が直列に接続されていることが好ましい。nチャネル型のTFTの劣化は、主にホット・エレクトロンに起因するのに対して、pチャネル型のTFTの劣化は、主にホット・ホールに起因する。但し、pチャネル型のTFTでは、インパクト・アイオニゼーションに関するホールのイオン化率が少ないので、信頼性などへの影響が極めて小さい。それ故、NAND回路で直列に接続するのは、nチャネル型のTFT同士の方が効果的である。
本発明は、前記TFTの能動層が低温ポリシリコン膜から構成されている場合に適用すると効果的である。すなわち、アモルファスのシリコン膜をレーザアニールなどの方法で多結晶化したシリコン膜を能動層として用い、ゲート絶縁膜については、熱酸化法によらず、シリコン酸化膜などをCVD法などで形成する。このような構成によれば、アモルファスシリコン膜を用いた場合と比較して移動度が高いので、駆動回路を構成に適している。また、処理温度を600℃以下で行うことができるので、低温プロセスと称せられ、ガラス基板の使用を可能とする。
本発明に係るTFTアレイ基板は、このTFTアレイ基板によって電気光学物質を保持した電気光学装置などに用いられる。このような場合、前記ゲート線に接続するゲートは、前記TFTアレイ基板上にマトリクス状に配置された各画素において液晶素子を駆動、制御するためのTFTのゲートである、また、前記ゲート線に接続するゲートは、前記TFTアレイ基板上にマトリクス状に配置された各画素において各画素においてエレクトロルミネッセンス素子を駆動、制御するためのTFTのゲートである。
本発明に係る電気光学装置は、モバイルコンピュータや携帯電話機、さらには大型の表示装置などの電子機器に用いられる。
本発明では、出力バッファ回路の最終出力段のインバータ回路には、ダブルゲート構造のTFTが用いられており、かかる構造のTFTでは、チャネル長を実質長くできるので、ホット・キャリアに起因するTFTの劣化を防止できる。また、出力バッファ回路の最終出力段のインバータをNAND回路で構成した場合には、負荷を軽減できる。しかも、本発明において、このような対策は、レベルシフタ回路で昇圧された信号が入力される出力バッファ回路に施され、しかも、出力バッファ回路のうち、最も電流増幅される最終出力段のインバータ回路に対策を施してある。すなわち、インバータ同士の接続では、出力には次段のゲート容量の負荷だけが加わるのであまり問題にならないが、出力の負荷容量が大きいような場合には、その出力の遅延や波形の「なまり」が無視できない。しかるに本発明では、最もTFTが劣化しやすい部分に対策を施したので、TFT回路の信頼性を確実かつ効果的に向上することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
[実施の形態1]
(電気光学装置の基本構成)
図1は、本発明を適用した液晶装置(電気光学装置)の電気的な構成を示す説明図である。
(電気光学装置の基本構成)
図1は、本発明を適用した液晶装置(電気光学装置)の電気的な構成を示す説明図である。
図1において、本形態の電気光学装置100は、アクティブマトリクス型液晶装置であり、TFTアレイ基板10上には、複数の画素100aがマトリクス状に構成されている。これらの画素100aの各々には、画素電極9a、およびこの画素電極9を駆動するための画素スイッチング用のTFT30が形成されており、データ線駆動回路101から出力された画素信号S1、S2・・・Snを供給するデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画素信号S1、S2・・・Snは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。また、TFT30のゲートには走査線3a(ゲート線)が電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線駆動回路104(ゲート線駆動回路)は、走査線3aにパルス的に走査信号G1、G2・・・Gmをこの順に線順次で印加するように構成されている。
画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのオン状態とすることにより、データ線6aから供給される画素信号S1、S2・・・Snを各画素に所定のタイミングで書き込む。このようにして画素電極9aを介して液晶素子に書き込まれた所定レベルの画素信号S1、S2、・・・Snは、対向基板の対向電極(図示せず)との間で一定期間保持される。
ここで、液晶素子は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光が、この液晶素子の部分を通過する光量が低下し、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶の部分を通過する光量が増大していく。その結果、全体として電気光学装置100からは画素信号S1、S2、・・・Snに応じたコントラストを持つ光が出射される。
なお、保持された画素信号S1、S2、・・・Snがリークするのを防ぐために、画素電極9aと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量60を付加することがある。例えば、画素電極9aの電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも3桁も長い時間だけ蓄積容量60により保持される。これにより、電荷の保持特性は改善され、コントラスト比の高い電気光学装置100が実現できる。なお、蓄積容量60を形成する方法としては、図1に例示するように、蓄積容量60を形成するための配線である容量線3bとの間に形成する場合、あるいは前段の走査線3aとの間に形成する場合もいずれであってもよい。
(走査線駆動回路104の構成)
図2(A)、(B)は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図、およびこの走査線駆動回路に用いたダブルゲート構造のTFTの説明図である。なお、本形態および以下に説明する形態では、各画素に形成されている画素スイッチング用のTFT30は、nチャネル型のTFTであり、レベルシフタ回路からは、負論理で出力されるものとして図示および説明を行う。
図2(A)、(B)は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図、およびこの走査線駆動回路に用いたダブルゲート構造のTFTの説明図である。なお、本形態および以下に説明する形態では、各画素に形成されている画素スイッチング用のTFT30は、nチャネル型のTFTであり、レベルシフタ回路からは、負論理で出力されるものとして図示および説明を行う。
図3(A)において、走査線駆動回路104は、概ね、複数の走査線3aの各々に出力される信号波形を生成する波形生成回路としてのシフトレジスタ110と、このシフトレジスタ110から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路120と、このレベルシフタ回路120から出力された信号に対する波形整形用の出力バッファ回路130が構成されており、これらの回路は、画素スイッチング用のTFT30と同様、低温ポリシリコン膜を能動層とするTFTから構成されている。
ここで、シフトレジスタ110には、スタート信号YSやクロック信号CLK1、CLK2が入力されている。レベルシフタ回路120には、シフトレジスタ110から出力される3Vの信号を6V、12V、15Vに増幅する3つのレベルシフタ121、122、123から構成され、各レベルシフタには、電圧VSS、VDHY、VLL、VDH、VLL、VHHが入力されている。
また、本形態の出力バッファ回路130は、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTで構成された3段のインバータ回路131、132、133を備えている。インバータを複数接続することにより、レベルシフタ回路120からの出力の波形が整った形に整形される。本形態において、初段および中段の出力バッファ回路131、132は、シングゲート構造のnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTからなるCOMSインバータ回路で構成されている。
これに対して、出力バッファ回路130の最終出力段のインバータ回路133は、シングゲート構造のpチャネル型TFT201と、ダブルゲート構造のnチャネル型TFT202とから構成されている。ここで、ダブルゲート構造のTFT202は、図2(B)に示すように、ソース電極251とドレイン電極252との間に複数、本形態では、2つのゲート電極253、254を備えている。なお、nチャネル型TFT202はLDD(Lightly Doped Drain)構造を採用するのが良いがそれに限定されるものではない。
このため、ダブルゲート構造のnチャネル型TFT202では、他の特性を大きく低下させることなく、チャネル長を長くすることができる。従って、チャネル長が長い分、チャネル領域におけるソース・ドレイン間での電位勾配を緩和できる。それ故、図6からも分かるように、相互コンダクタンスgmの半減時間τを延長することができる。
しかも、本形態では、ダブルゲート構造を用いた対策を、レベルシフタ回路120で昇圧された信号が入力される出力バッファ回路130に施し、しかも、出力バッファ回路130のうち、最も電流増幅される最終出力段で、しかも負荷容量の大きなインバータ回路133に対策を施してある。それ故、最もTFTが劣化しやすい部分に対策を施したので、走査線駆動回路104の信頼性を確実かつ効果的に向上することができる。
また、本形態では、pチャネル型TFT201、およびnチャネル型TFT202のうち、ホット・キャリアの影響を受けやすいnチャネル型TFT202の方のみをダブルゲート構造にしてある。それ故、nチャネル型TFT202をダブルゲート構造にした場合でも、走査線駆動回路104の占有面積を大きく拡張する必要がない。
[実施の形態2]
図3(A)、(B)は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図、およびこの走査線駆動回路に用いたNAND回路の説明図である。なお、本形態および以下に説明する実施の形態3は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
図3(A)、(B)は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図、およびこの走査線駆動回路に用いたNAND回路の説明図である。なお、本形態および以下に説明する実施の形態3は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
図3(A)において、本形態でも、走査線駆動回路104は、概ね、複数の走査線3aの各々に出力される信号波形を生成する波形生成回路としてのシフトレジスタ110と、このシフトレジスタ110から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路120と、このレベルシフタ回路120から出力された信号に対する出力バッファ回路130が構成されており、これらの回路は、画素スイッチング用のTFT30と同様、低温ポリシリコン膜を能動層とするTFTから構成されている。
本形態の出力バッファ回路130は、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTで構成された3段のインバータ回路131、132、133を備えており、本形態において、初段および中段の出力バッファ回路131、132は、シングルゲート構造のnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTからなるCOMSインバータ回路で構成されている。
これに対して、出力バッファ回路130の最終出力段のインバータ回路133は、図3(B)に示すNAND回路135によって構成されている。
図3(B)に示すNAND回路135は、ドレインを共通に並列接続されたpチャネル型のTFT261、262と、直列接続されたnチャネル型のTFT263、264とを備えており、pチャネル型のTFT261、262とnチャネル型のTFT264のドレインが接続している。ここで、pチャネル型のTFT261、262のソースは、電源電圧Vdd(図3(A)のVHHに相当)に接続され、nチャネル型のTFT263のソースは、接地電圧Vss(図3(A)のVLLに相当)に接続されている。また、nチャネル型のTFT264、およびpチャネル型のTFT261のゲートには、入力I1が印加され、nチャネル型のTFT263、およびpチャネル型のTFT262のゲートには、入力I2が印加される。
このようなNAND回路135では、nチャネル型のTFT263、264が直列に接続されているため、1つのTFTを用いた場合と比較して、印加される電圧は1/2である。それ故、図6からも分かるように、相互コンダクタンスgmの半減時間τを延長することができる。
しかも、本形態では、NAND135を用いた対策を、レベルシフタ回路120で昇圧された信号が入力される出力バッファ回路130に施し、しかも、出力バッファ回路130のうち、最も電流増幅され、しかも負荷容量の大きな最終出力段のインバータ回路133に対策を施してある。それ故、最もTFTが劣化しやすい部分に対策を施したので、走査線駆動回路104の信頼性を確実かつ効果的に向上することができる。この実施の形態では、NAND135の回路を用いることにより、波形の時間幅を狭めている。つまり、隣合う走査線との信号の重複を防止と、TFT特性の変動を抑えて波形の長期再現性を高めることを同時に実現して動作安定性を確保している。ひいては回路を構成する領域も最小にできる。
また、本形態では、pチャネル型TFT、およびnチャネル型TFTのうち、ホット・キャリアの影響を受けやすいnチャネル型TFT263、264を直列に接続したので、nチャネル型TFT263、264の劣化を確実に防止することができる。
[実施の形態3]
図4は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図である。
図4は、本形態のTFTアレイ基板10および電気光学装置100に用いた走査線駆動回路104の構成を示す説明図である。
図4に示すように、本形態でも、実施の形態2と同様、出力バッファ回路130の最終出力段のインバータ回路133は、図3(B)に示すNAND回路135によって構成されている。
但し、実施の形態2では、最終出力段のインバータ回路133は、NAND回路135の一方の入力として、レベルシフタ回路120の出力が用いられているが、本形態では、NAND回路135の一方の入力として、隣接する走査線3aに対応する出力バッファ回路130に含まれる初段のインバータ回路131の出力が用いられている。それ故、本形態によれば、走査線3aの信号がタイミングずれを起こして隣同士で重なり合うことがない。この実施の形態でも、NAND135の回路の片方の入力を隣の走査線に接続することにより、隣合う走査線との信号の重複を防止と、TFT特性の変動を抑えて波形の長期再現性を高めることを同時に実現して動作安定性を確保している。ひいては回路を構成する領域も最小にできる。
[その他の実施の形態]
なお、本発明は、全てのゲート線に適用する必要はなく、特性の劣化具合では、負荷容量の高いところだけに本発明を適用してもよく、このように構成すれば、回路形成面積を極力へらすこともできる。データ線駆動回路においても同様な課題があれば本発明を適用できる。
なお、本発明は、全てのゲート線に適用する必要はなく、特性の劣化具合では、負荷容量の高いところだけに本発明を適用してもよく、このように構成すれば、回路形成面積を極力へらすこともできる。データ線駆動回路においても同様な課題があれば本発明を適用できる。
また、本発明は上記の実施形態に限るものではなく、例えば、図5に示す有機エレクトロルミネッセンスタイプの表示装置に本発明を適用してもよい。
図5は、電荷注入型の有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子を用いたアクティブマトリクス型電気光学装置のブロック図である。
図5に示す電気光学装置1pは、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するEL(エレクトロルミネッセンス)素子、またはLED(発光ダイオード)素子などの発光素子をTFTで駆動制御するアクティブマトリクス型の表示装置であり、このタイプの電気光学装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。
ここに示す電気光学装置1pでは、TFTアレイ基板10p上に、複数の走査線103pと、走査線103pの延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線106pと、これらのデータ線106pに並列する複数の共通給電線23pと、データ線106pと走査線103pとの交点に対応する画素領域15pとが構成されている。データ線106pに対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ側駆動回路101pが構成されている。走査線103pに対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査側駆動回路104pが構成されている。
また、画素領域15pの各々には、走査線103pを介して走査信号がゲート電極に供給される第1のTFT31pと、この第1のTFT31pを介してデータ線106pから供給される画像信号を保持する保持容量33pと、この保持容量33pによって保持された画像信号がゲート電極に供給される第2のTFT32p(薄膜半導体素子)と、第2のTFT32pを介して共通給電線23pに電気的に接続したときに共通給電線23pから駆動電流が流れ込む発光素子40pとが構成されている。従って、保持容量33pは、第1のTFT31pを介してデータ線106pから供給される画像信号を保持するので、第1のTFT31pがオフになっても、第2のTFT32pのゲート電極31pは画像信号に相当する電位に保持される。それ故、発光素子40pには共通給電線23pから駆動電流が流れ続けるので、発光素子40pは発光し続け、画像を表示する。
[電子機器への適用]
図6(A)、(B)はそれぞれ、本発明に係る電気光学装置を用いた電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピュータの説明図、および携帯電話機の説明図である。
図6(A)、(B)はそれぞれ、本発明に係る電気光学装置を用いた電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピュータの説明図、および携帯電話機の説明図である。
本発明を適用した電気光学装置100、1pを搭載した電子機器としては、投射型液晶表示装置(液晶プロジェクタ)、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)、およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、あるいは携帯電話、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルなどを挙げることができる。また、大型画面を備えた表示装置に適用することができる。
本発明において、出力バッファ回路の最終出力段のインバータ回路には、ダブルゲート構造のTFTが用いられており、かかる構造のTFTでは、チャネル長を長くできるので、ホット・キャリアに起因するTFTの劣化を防止できる。また、出力バッファ回路の最終出力段のインバータをNAND回路で構成した場合には、負荷を軽減できる。しかも、本発明において、このような対策は、レベルシフタ回路で昇圧された信号が入力される出力バッファ回路に施され、しかも、出力バッファ回路のうち、最も電流増幅される最終出力段のインバータ回路に対策を施してある。それ故、最もTFTが劣化しやすい部分に対策を施したので、TFT回路の信頼性を確実かつ効果的に向上することができる。よって、高い電圧を必要とするディスプレイ装置や、特に大型ディスプレイの配線などの負荷容量の大きい部分への出力バッファ波形を安定させることが可能となり、信頼性の高い大型ディスプレイを実現することができる。
3a 走査線(ゲート線)、6a データ線、10 TFTアレイ基板、30 画素スイッチング用のTFT、100 電気光学装置、100a 画素、101 データ線駆動回路、104 走査線駆動回路(ゲート線駆動回路)、110 シフトレジスタ、120 レベルシフタ回路、130 出力バッファ回路、133 最終出力段のインバータ回路
Claims (14)
- 複数のTFTの各ゲートが電気的に接続された複数本のゲート線と、該複数のゲート線の各々にゲート信号を出力するゲート線駆動回路とを有し、該ゲート線駆動回路では、複数のTFTによって、前記ゲート信号の信号波形を形成する波形生成回路と、該波形生成回路から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路と、該レベルシフタ回路から出力された信号に対する複数のインバータ回路を有する波形整形用の出力バッファ回路が構成されたTFTアレイ基板において、
前記出力バッファ回路の最終出力段でインバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうちの少なくとも一方が、ソース電極とドレイン電極との間に複数のゲート電極を備えたダブルゲート構造を有していることを特徴とするTFTアレイ基板。 - 請求項1において、前記レベルシフタ回路は、前記波形生成回路から出力された信号を10V以上に増幅して前記バッファ回路に出力することを特徴とするTFTアレイ基板。
- マトリクス状に配置される多数の電気光学素子に信号を供給する走査線およびデータ線と、前記走査線または前記データ線に信号を供給する出力バッファ回路とを有するTFTアレイ基板において、
前記出力バッファ回路は、複数のインバータ回路を備えるとともに、当該出力バッファ回路の最終出力段でインバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうちの少なくとも一方が、ソース電極とドレイン電極との間に複数のゲート電極を備えたダブルゲート構造を有していることを特徴とするTFTアレイ基板。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記出力バッファ回路の最終出力段で前記インバータ回路を構成するnチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのうち、少なくともnチャネル型TFTが前記ダブルゲート構造を有していることを特徴とするTFTアレイ基板。
- 複数のTFTの各ゲートが電気的に接続された複数本のゲート線と、該複数のゲート線の各々にゲート信号を出力するゲート線駆動回路とを有し、該ゲート線駆動回路では、複数のTFTによって、前記ゲート信号の信号波形を形成する波形生成回路と、該波形生成回路から出力された信号を増幅するレベルシフタ回路と、該レベルシフタ回路から出力された信号に対する複数のインバータ回路を有する波形整形用の出力バッファ回路が構成されたTFTアレイ基板において、
前記出力バッファ回路は、その最終出力段に、nチャネル型TFTとpチャネル型TFTによって構成されたNAND回路を備えていることを特徴とするTFTアレイ基板。 - 請求項5において、前記レベルシフタ回路は、前記波形生成回路から出力された信号を10V以上に増幅して前記バッファ回路に出力することを特徴とするTFTアレイ基板。
- 請求項5または6において、前記NAND回路の一方の入力として、隣接するゲート線に対応する前記出力バッファ回路に含まれるインバータ回路の出力が用いられていることを特徴とするTFTアレイ基板。
- マトリクス状に配置される多数の電気光学素子に信号を供給する走査線およびデータ線と、前記走査線または前記データ線に信号を供給する出力バッファ回路とを有するTFTアレイ基板において、
前記出力バッファ回路は、複数のインバータ回路を備えるとともに、その最終出力段に、nチャネル型TFTとpチャネル型TFTによって構成されたNAND回路を備えていることを特徴とするTFTアレイ基板。 - 請求項5ないし8のいずれかにおいて、前記NAND回路は、2つのnチャネル型のTFTと、2つのpチャネル型のTFTとから構成され、当該TFTのうち、2つのnチャネル型のTFT同士が直列に接続されていることを特徴とするTFTアレイ基板。
- 請求項1ないし9のいずれかにおいて、前記TFTは、いずれも能動層が低温ポリシリコン膜から構成されていることを特徴とするTFTアレイ基板。
- 請求項1ないし10のいずれかに規定するTFTアレイ基板によって電気光学物質を保持していることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項1、2、4、5、6または7に規定するTFTアレイ基板によって電気光学物質を保持し、前記ゲート線に接続するゲートは、前記TFTアレイ基板上にマトリクス状に配置された各画素において液晶素子を駆動、制御するためのTFTのゲートであることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項12において、前記ゲート線に接続するゲートは、前記TFTアレイ基板上にマトリクス状に配置された各画素において各画素においてエレクトロルミネッセンス素子を駆動、制御するためのTFTのゲートであることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項11ないし13のいずれかに規定する電気光学装置を用いたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003367498A JP2005134459A (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | Tftアレイ基板、電気光学装置、およびそれを用いた電子機器 |
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JP2005134459A true JP2005134459A (ja) | 2005-05-26 |
Family
ID=34645489
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Country Status (1)
Country | Link |
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-
2003
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