JP2005133129A - 炭素薄膜構造並びに炭素薄膜の加工方法及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材表面に成膜された硬質カーボン膜に、低フルーエンスのパルスレーザー(フェムト秒レーザー等)を照射することで、照射部分にガラス状炭素を形成することができる。したがって、硬質カーボン膜の基材表面への付着力を備え、表面にはガラス状炭素の特性である耐摩耗性、耐熱性、耐食性、導電性及びガス不透過性を備えた炭素薄膜構造を構成することができる。
【選択図】図2
Description
(条件)(フルーエンス) (照射パルス数)
J/cm2
条件A 0.13 100
条件B 0.15 100
条件C 0.17 10
条件D 0.41 10
2 パルス伸長器
3 増幅器
4 光減衰器
5 パルス圧縮器
6 波長板
7 フィルター
8 レンズ
9 試料
10 試料台
Claims (11)
- 基材表面に成膜された硬質カーボン膜の少なくとも一部の領域にガラス状炭素が形成されていることを特徴とする炭素薄膜構造。
- 前記ガラス状炭素は、前記硬質カーボン膜の表面に層状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の炭素薄膜構造。
- 前記硬質カーボン膜の基材表面側に導電性を有する領域が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭素薄膜構造。
- 請求項1から3のいずれかに記載の炭素薄膜構造を備えた電極構造。
- 請求項1から3のいずれかに記載の炭素薄膜構造を備えた記録媒体。
- 請求項1から3のいずれかに記載の炭素薄膜構造を備えた被加工物。
- 基材表面に成膜された硬質カーボン膜の表面にパルスレーザーを照射してガラス状炭素を形成することを特徴とする炭素薄膜の加工方法。
- 前記パルスレーザーは、低フルーエンスで照射されるレーザーであることを特徴とする請求項7に記載の炭素薄膜の加工方法。
- 基材表面に硬質カーボン膜を成膜する工程と、成膜された硬質カーボン膜の表面にパルスレーザーを照射してガラス状炭素を形成する工程とを備えたことを特徴とする炭素薄膜の製造方法。
- 前記パルスレーザーは、低フルーエンスで照射されるレーザーであることを特徴とする請求項9に記載の炭素薄膜の製造方法。
- 前記硬質カーボン膜を成膜する工程において基材表面側に導電物質により導電性を有する領域が生成されることを特徴とする請求項9又は10に記載の炭素薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005133129A true JP2005133129A (ja) | 2005-05-26 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4284152B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR102334798B1 (ko) * | 2020-12-01 | 2021-12-02 | 성균관대학교산학협력단 | 일체형 센서 모듈 및 이의 제조 방법 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070104 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070712 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140327 Year of fee payment: 5 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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