JP2005131763A - クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 - Google Patents
クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005131763A JP2005131763A JP2003372329A JP2003372329A JP2005131763A JP 2005131763 A JP2005131763 A JP 2005131763A JP 2003372329 A JP2003372329 A JP 2003372329A JP 2003372329 A JP2003372329 A JP 2003372329A JP 2005131763 A JP2005131763 A JP 2005131763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piston rod
- moving
- clamp
- reference plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Clamps And Clips (AREA)
Abstract
【解決手段】 クランプ装置8は、移動テーブル4に形成され、固定テーブル2の基準平面3に直交する貫通孔41をその軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッド84と、このピストンロッド84における貫通孔41から突出している先端に固定されたワッシャ91と、ピストンロッド84を固定テーブル2の側に向けて常に弾性力によって押している皿バネ86と、この皿バネ86による弾性力に逆らってピストンロッド84を移動させるための力を発生させる圧電素子80とを有している。圧電素子80は、印加する電圧の大きさによって伸縮させることができるので、圧電素子80に印加する電圧を制御することにより、移動テーブル4を移動可能な程度のクランプ力で拘束した仮クランプ状態を形成する。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明を適用したテーブル位置決め装置を示す概略斜視図である。
図2(a)および(b)は、図1に示すテーブル位置決め装置のクランプ装置を示す概略斜視図、およびその断面図である。
2 基準固定テーブル
3 基準平面
4 移動テーブル
41 貫通孔
71、72、73 リニアセンサ
75、76 プリロード機構
8 クランプ機構
80 圧電素子
81 受圧盤
82 アンダーカバー
83 受圧部
84 ピストンロッド
85 ロッドガイド
86 皿バネ(付勢部材)
89 調整ネジ(位置調整部材)
90 テーブルクランプ部
91 ワッシャ(テーブルクランプ部材)
Claims (4)
- 固定テーブルの表面に形成されている基準平面上を二次元的に移動可能、あるいは基準平面上に回転可能に乗っている移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするためのクランプ装置であって、
前記移動テーブルに形成され、前記基準平面に直交する貫通孔をその軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッドと、
該ピストンロッドにおける前記貫通孔から突出している先端に固定されたテーブルクランプ部材と、
前記ピストンロッドを前記固定テーブルの側に向けて常に弾性力によって押している付勢部材と、
該付勢部材による弾性力に逆らって前記ピストンロッドを移動させるための力を発生させる圧電素子とを有していることを特徴とするクランプ装置。 - 請求項1において、さらに、前記圧電素子の前記基準平面に直交する方向の取付け位置を調整するための位置調整部材を有していることを特徴とするクランプ装置。
- 請求項1または2において、前記圧電素子は、両面に電極が形成された薄板状のPZT素子をその厚さ方向に何枚も積層した積層型圧電素子であることを特徴とするクランプ装置。
- 請求項1ないし3のいずれかに規定するクランプ装置を搭載していることを特徴とするテーブル位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003372329A JP2005131763A (ja) | 2003-10-31 | 2003-10-31 | クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003372329A JP2005131763A (ja) | 2003-10-31 | 2003-10-31 | クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005131763A true JP2005131763A (ja) | 2005-05-26 |
Family
ID=34648742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003372329A Pending JP2005131763A (ja) | 2003-10-31 | 2003-10-31 | クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005131763A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009136964A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 位置決めテーブル、配線基板製造装置、及び配線基板の製造方法 |
CN101972934A (zh) * | 2010-10-22 | 2011-02-16 | 大连华根机械有限公司 | 回转工作台机械夹紧装置 |
EP2307844A1 (en) * | 2008-05-21 | 2011-04-13 | Alfa Laval Corporate AB | Clamping system |
JP2015066619A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | ローランドディー.ジー.株式会社 | 加工装置 |
US9073031B2 (en) | 2009-04-15 | 2015-07-07 | Alfa Laval Corporate Ab | Flow module |
US9182180B2 (en) | 2006-11-27 | 2015-11-10 | Alfa Laval Corporate Ab | Clamping device for flow module plates, reactor plates or heat exchanger plates |
CN117713583A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-15 | 中国科学技术大学 | 用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺 |
-
2003
- 2003-10-31 JP JP2003372329A patent/JP2005131763A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9528775B2 (en) | 2006-11-27 | 2016-12-27 | Alfa Laval Corporate Ab | Clamping device for flow module plates, reactor plates or heat exchanger plates |
US9182180B2 (en) | 2006-11-27 | 2015-11-10 | Alfa Laval Corporate Ab | Clamping device for flow module plates, reactor plates or heat exchanger plates |
JP2009136964A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 位置決めテーブル、配線基板製造装置、及び配線基板の製造方法 |
JP2011523450A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-08-11 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | クランプ装置 |
EP2307844A4 (en) * | 2008-05-21 | 2013-04-03 | Alfa Laval Corp Ab | ABLOCATION SYSTEM |
JP2013217647A (ja) * | 2008-05-21 | 2013-10-24 | Alfa Laval Corporate Ab | クランプ装置 |
US8778285B2 (en) | 2008-05-21 | 2014-07-15 | Alfa Laval Corporate Ab | Clamping system |
EP2307844A1 (en) * | 2008-05-21 | 2011-04-13 | Alfa Laval Corporate AB | Clamping system |
US9073031B2 (en) | 2009-04-15 | 2015-07-07 | Alfa Laval Corporate Ab | Flow module |
CN101972934A (zh) * | 2010-10-22 | 2011-02-16 | 大连华根机械有限公司 | 回转工作台机械夹紧装置 |
JP2015066619A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | ローランドディー.ジー.株式会社 | 加工装置 |
CN117713583A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-15 | 中国科学技术大学 | 用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺 |
CN117713583B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-04-23 | 中国科学技术大学 | 用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108512457B (zh) | 具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器及作动方法 | |
JP6012587B2 (ja) | ワーク把持装置 | |
JP2005131763A (ja) | クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置 | |
KR102255040B1 (ko) | 용접 장치 위치 결정 장치 | |
CN109641333B (zh) | 夹紧装置 | |
KR100975137B1 (ko) | 고강성 듀얼 서보 나노스테이지 | |
KR101985974B1 (ko) | 공작기계의 클램핑 구동장치 | |
JPH05138484A (ja) | 精密位置決め微動送り装置およびシステム | |
JP4578841B2 (ja) | 電動リニアアクチュエータ | |
CN103894691B (zh) | 一种多功能柔性可调电加工夹具 | |
JP2007192358A (ja) | 回転機構付軸方向微動機構および粗微動位置決め装置、並びに回転機構付軸方向微動機構の設置方法および粗微動位置決め装置の設置方法 | |
JP2016073006A (ja) | ステージ装置およびそれに用いる駆動機構 | |
CN112558263A (zh) | 微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用 | |
JP2017172631A (ja) | リニアブレーキの支持方法、リニアブレーキ組付体及びリニアブレーキアダプタ | |
JP2021013991A (ja) | ニードルグリッパーおよびアクチュエータ | |
KR100727642B1 (ko) | 소형 가공장치용 인치웜 액츄에이터 | |
JP2001116868A5 (ja) | ||
JP2001116868A (ja) | テーブル位置決め装置 | |
JP2642415B2 (ja) | 回転テーブル装置 | |
KR102110499B1 (ko) | 고니오 스테이지 | |
JP4219191B2 (ja) | テーブル位置決め装置 | |
JP4034179B2 (ja) | ステージおよびそれを用いた電子顕微鏡装置 | |
KR100522039B1 (ko) | 초정밀 센서의 초기위치 보정장치 | |
JP2007193663A (ja) | 回転機構付軸方向微動機構および粗微動位置決め装置 | |
JPH09325817A (ja) | 位置決め装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090312 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090420 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090707 |