JP2005128532A - 偏光コンディショナのパッケージング及びコリメータのアライメント装置 - Google Patents

偏光コンディショナのパッケージング及びコリメータのアライメント装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005128532A
JP2005128532A JP2004304162A JP2004304162A JP2005128532A JP 2005128532 A JP2005128532 A JP 2005128532A JP 2004304162 A JP2004304162 A JP 2004304162A JP 2004304162 A JP2004304162 A JP 2004304162A JP 2005128532 A JP2005128532 A JP 2005128532A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
collimator
output collimator
output
alignment
polarizing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004304162A
Other languages
English (en)
Inventor
Bin Yuan
ユエン ビン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of JP2005128532A publication Critical patent/JP2005128532A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4226Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

【課題】 安価に、かつ小型のパッケージ内に収容可能なコリメータアライメント装置を実現する。
【解決手段】 偏光コンディショナ10のパッケージ内には、光ファイバケーブルを介して入力した光をコリメートする入力コリメータ、コリメートされた光を偏光する偏光装置、偏光光を2つに分割するビームスプリッタ、偏光光をコリメートし、出力側の光ファイバケーブルに導く出力コリメータ等が配置される。出力コリメータは、5自由度のアライメントを可能とするコリメータアライメント装置に保持されており、入力コリメータと出力コリメータとが正確にアライメントされる。
【選択図】 図4

Description

本発明は、例えば、小さく且つ安価なパッケージ内においてコリメータをアライメントする装置及び方法に関するものである。
特定の計測装置やその他の装置においては、偏光した光ビーム(偏光ビーム)が必要とされている。偏光ビームを生成するには、光信号を受け、これを偏光させた後に、偏光ビームを出力するパッケージ内においてコリメータを使用すればよい。しかしながら、これらの従来のソリューションにおいては、高価なコンポーネントを要する傾向を有しており、そのサイズも物理的に大きい。例えば、従来のソリューションを提供するこの種の市販製品の1つは、19”x18”x4”(約483mm×457mm×102mm)の全体寸法を有し、コストは、後述するソリューションの実施の形態で例示するものの3倍になっている。
従って、例えば、偏光した光信号を供給する小さく且つ安価なパッケージに収容されたコリメータに対するニーズが存在しているのである。
本発明によるコリメータをアライメントする装置には、入力及び出力コリメータが含まれている。入力コリメータは、光信号を受けて偏光装置に提供し、この偏光装置により、光信号が偏光される。そして、この偏光装置から偏光光信号を受けるために出力コリメータをアライメントするべく、調節装置を使用して出力コリメータの位置を調節可能である。この調節装置には、本装置の出力コリメータの水平及び垂直面における並進及び傾斜(ティルト)移動をそれぞれ提供するための第1及び第2装置が含まれている。そして、第3装置が、偏光光ビームの軸を中心とする回転アライメント調節を提供している。これらのアライメント装置のすべてを使用することにより、本装置は、5自由度のアライメントを提供することができる。
本発明による方法を使用し、コリメータをアライメントすることができる。この方法は、入力コリメータを介して光信号を受ける段階と、この光信号を偏光させる段階を含んでいる。この偏光された光信号は、出力コリメータを介して受けられるが、出力コリメータの位置は、出力コリメータをアライメントしてこの偏光光信号を受けるべく調節されている。この出力コリメータの調節には、水平及び垂直面における出力コリメータの並進及び傾斜(ティルト)、並びに偏光光ビームの軸を中心とする回転アライメント調節が含まれる。これらの調節により、本方法は、5自由度のアライメントを提供することができる。
添付の図面は、本明細書に含まれており、説明と共に、本明細書の一部を構成するものであって、本発明の利点と原理を説明している。
図1は、偏光コンディショナ10の断面図であり、本実施の形態の例示におけるコンポーネントの保持方法を示している。この偏光コンディショナ10は、光信号を受けるるべく光ファイバケーブル22に接続される入力コリメータ12を含んでいる。このコリメータ12により、光信号は、x−y方向において光ビームを偏光させる偏光装置(この例においては、波長板14)を通過することになる。尚、この代わりに、偏光装置は、光信号を偏光可能なものであれば、どのようなコンポーネントによっても実装可能である。この偏光された光信号は、ビームスプリッタ16によって2つの対応する光信号に分割され、1つは、光検出器20に供給され、もう1つは出力コリメータ18に供給される。光検出器20は、この偏光光信号を分析する回路を有するプリント回路基板(PCB)19に電気的に接続されているが、この種の回路については、当技術分野において周知である。PCB19上における光検出器20の高さは、4つの支柱によって制御されており、PCB上のネジによってアライメントされ、装着されている。偏光コンディショナ10は、これらのコンポーネントを収容するべく、例えば、アルミニウムからなる基部11aとケーシング11bを含んでいる。そして、基部11aは、これを特定のアプリケーション用に装着するべく、鋼製ボルト26及び28などの複数の留め具を含むことができる。
以下、この偏光コンディショナの原理について説明する。入力ビームは、波長板14を通過した後に、ビームスプリッタ16に到達する。そして、検出器20によってビームの極性(位相、偏光方向)が検出され、信号が、偏光を極大化するために波長板14に対して最適化された電圧を印加するべく機能するPCB19の回路内のマイクロプロセッサに送信される。次いで、この偏光光信号は、入力コリメータ12と出力コリメータ18間の自由空間を通過することになる。従って、出力コリメータ18を調節し、自由空間からこの偏光光信号を受けるべく正確にアライメントしなければならない。出力コリメータ18は、この偏光光信号を偏光ビームとして光ファイバケーブル24(偏光維持ファイバ)上に出力する。
図2は、垂直面におけるコリメータの並進及び傾斜(ティルト)用の第1調節装置30を示している。出力コリメータ18は、その端部において、積み重ねられたゴムセグメント44及び46上に配置されており、これらのゴムセグメントは、矢印25によって示されているように、垂直面において、設計された範囲内で出力コリメータ18が移動できるように適切な弾力を備えている。一方、出力コリメータの上部側においては、図示のごとく、それぞれの端部において、案内されたピストン又はプランジャ(36、42)が出力コリメータ18の外部表面上に押圧されている。一対の調整ねじ32及び38により、鋼製ボール34及び40をそれぞれ介して、ピストン36及び42に力を印加することができる。尚、これらのピストン及び調整ねじは、例えば、金属や出力コリメータを移動させるのに十分な耐久性を提供するその他の材料から構成することができる。
垂直方向のアライメント操作の場合には、調整ねじ32及び38を回転させて垂直方向25に出力コリメータを移動させる。ネジを下方に回した場合には、出力コリメータ18のそれぞれの端部に力が印加され、出力コリメータは下方に移動する。一方、ネジを上方に移動するように回した場合には、圧縮されたゴムセグメント44及び46の力により、出力コリメータ18が上方に押し上げられる。一方のネジのみを調節した場合には、出力コリメータ18は傾斜することになる。両方のネジ32及び38を調節することにより、出力コリメータの高さの変化と傾斜の両方を実現することができる。例えば、#0−80のねじを使用することにより、1度(角度)の回転当たり、0.9μmの分解能を実現することができる。
図3は、矢印27によって示されているように、水平面におけるコリメータの並進及び傾斜用の第2調節装置50を示している。垂直の調節の場合と同様に、水平面における横方向の調節及び傾斜は、パッケージの壁部を貫通して水平の調整ねじ(52、54、56、58)をスライディングスタンド上において回すことによって実行される。これらのスライディングスタンドは、ねじとスプリングワッシャによってボルト締めされており、出力コリメータ18を保持すると共に、その摺動を可能にしている。又、第2調節装置は、スタンドの底部に、ピンとスロットを含んでおり、これらが、水平面における出力コリメータ18の摺動を案内している。水平の調整ねじ(52、54、56、58)が回転することにより、取付構造53及び55の水平移動が発生し、この結果、出力コリメータ18の水平移動が発生することになる。尚、これらの調整ねじ及び取付構造は、例えば、金属や出力コリメータを移動させるのに十分な耐久性を提供するその他の材料から構成することができる。例えば、ねじ52、54、56、及び58は、#2−56の、先端が真鍮の調整ねじによって実施することができる。
偏光コンディショナ10には、図3に示されているように、出力コリメータ18の回転調節用の回転調節装置も含まれている。この実施の形態の例示においては、回転調節装置は、上部にピンホール(又は、開口部)62を有する留め具60を含んでいる。必要に応じて、摩擦力によって出力コリメータを回転させるべく、硬いピンをピンホール62内に挿入することができる。
尚、これら第1、第2、及び回転調節装置は、これらの装置を実施可能な方法の一例に過ぎない。この代わりに、第1、第2、及び回転調節装置は、自由空間から偏光光信号を受けるためにアライメントするべく、水平及び垂直面において出力コリメータの十分な並進及び傾斜を提供する構造であれば、どのようなものによっても実施可能である。
図4は、ケーシング11bに収容された偏光コンディショナ10の斜視図であり、完成したパッケージを示している。図5は、保存温度範囲内において安定した性能を示す本実施の形態の例の熱試験結果のグラフ70である。
以下、図1〜図4に示されている本発明の実施の形態を例示する取付及びアライメント方法の例について説明する。すべての前段要素を「ドロップ」し(配置し)、受動的アライメントによって定位置に固定する。この実施の形態の例示においては、能動的アライメントを要するのは、出力コリメータのみである。尚、波長板14及びビームスプリッタ16などの壊れやすい光学要素との柔軟な接触のために、エラストマーOリングを使用することができる。2つの波長板は、アライメント誤差を軽減するべく、1つのホルダ上に取り付ける。基部11aには、すべてのアライメント基準を含むことができる。
以下、この設計例の特徴について説明する。この出力コリメータアライメント装置は、3つの傾斜(ティルト)と2つの並進を含み、軸方向の並進を除いた(従って、合計6自由度の中の)5自由度のアライメント装置を提供している。角度のアライメントにおいては、非常に高い精度(角度で約1分の精度)が要求され、大きな調節範囲(+/−0.6mm)が必要とされている。この設計によれば、出力コリメータ18の2つの端部における調節がサポートされている。1つの端部のみが移動した場合には、調節装置は傾斜を生成する。一方、両端が移動した場合には、調節装置は、水平又は垂直面における並進を生成する。これらの高さ調節及び傾斜は、調整ねじを回し、シングルボールベアリング及びピストンインサートを介して出力コリメータを移動させることによって実行される。一方、横方向の並進び傾斜は、調整ねじ(52、54、56、58)を使用してリアスタンド(53及び/又は55)を横方向に移動させることによって実行される。出力コリメータ上のピストンインサートの狭小な端部接点(33、41)は、一端が上昇又は下降した場合の結合動作(他端がつられて動いてしまうこと)を軽減する。又、これらのピストンインサートは、荷重の案内と共に、出力コリメータの一端が左から右に移動した場合の結合動作の軽減のためにも使用されている。そして、シングルボールベアリングを使用し、摩擦と、これによってピストンインサート(及び、結果的に、コリメータ)に印加される(コリメータに不必要な傾斜を引き起こす)力を軽減している。最後に、回転アライメント又は調節は、中央留め具18を回転させることによって実行される。
偏光コンディショナ10には、アライメント調節における副作用、即ち、結合(つられて動いてしまうこと)に関連する問題を軽減するための特定の対策を含むことができる。これらの対策には、例えば、
・調整ねじ(32、38)とピストン(36、42)と間の、トルク除去手段としての鋼製ボール34及び40、
・ピストン先端(33、41)において、出力コリメータ18と接触する領域が狭く(小さく)なっていることによる、出力コリメータ18が全体的に動いてしまうことの抑制、
・ピストン先端(33、41)と出力コリメータ18の外部表面とが密着していること、
・ピストン(36、42)の外径とこれに嵌合する孔(31、37)との間における小さな間隙(クリアランス)、及び、
・出力コリメータ18の外径とスライディングスタンドの垂直スロットとの間における適切な間隙(クリアランス)が含まれている。
前述した実施の形態の例示によって解決される問題点の1つが、コリメータを、例えば、小さなパッケージ内において5自由度でアライメントする問題である。従って、本発明の実施の形態による特定の利点としては、例えば、5自由度のアライメント能力、大きな調節範囲(角度において、±1°/並進の場合には、±600μm)、小さなサイズのパッケージ(全体寸法が72mm×35mm×31mm)、低コストコンポーネントの使用、及び容易にやり直しが可能な内蔵アライメント装置が含まれる。従って、本発明の一実施の例は、小さなサイズの物理パッケージに収容され、重量が軽く、製造が低コストであって、信頼性の高い性能を有する偏光コンディショナである。
以上、実施の形態の例示と関連させて本発明について説明したが、当業者には、多くの変更が容易に明らかであって、本発明は、そのあらゆる適合や変形をも包含することを意図するものであることを理解されたい。例えば、本発明の範囲を逸脱することなく、様々なタイプの機械的構造及びそれら用のパッケージングを使用することができる。従って、本発明は、請求項及びその等価物によってのみ限定されるものである。
なお、本発明は例として次の態様を含む。( )内の数字は添付図面の参照符号に対応する。
[1] コリメータをアライメントする装置であって、
光信号を受ける入力コリメータ(12)と、
前記光信号を受けて偏光させる、前記入力コリメータ(12)の近傍に配置された偏光装置(14)と、
出力コリメータ(18)と、
前記偏光装置から偏光光信号を受けるために前記出力コリメータ(18)をアライメントするべく、前記出力コリメータ(18)の位置を調節する調節装置であって、前記出力コリメータのアライメントにおいて5自由度を提供する調節装置と
を有することを特徴とする装置。
[2] 前記偏光装置は、一対の波長板(14)を備えることを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[3] 水平調節装置(50)であって、前記アライメントする装置の水平面において前記出力コリメータ(18)に物理的に結合された一対の調整ねじ(52、54、56、58)を備える水平調節装置(50)をさらに備えることを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[4] 垂直調節装置(30)であって、前記アライメントする装置の垂直面において前記出力コリメータ(18)に物理的に結合された一対の調整ねじ(32、38)を備える垂直調節装置(30)をさらに備えることを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[5] 前記出力コリメータ(18)の下に配置された圧縮可能部材(44、46)を更に備えることを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[6] 前記偏光光信号を2つの偏光光信号に分割するビームスプリッタ(16)であって、前記偏光装置(14)と前記出力コリメータ(18)との間に配置されたビームスプリッタ(16)を更に有することを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[7] 前記偏光光信号の中の1つを受信するべく位置している光検出器(20)と、
前記偏光光信号の中の1つを電気的に処理する回路(19)であって、前記光検出器に結合された回路(19)と、
を更に有することを特徴とする上記[6]に記載のアライメントする装置。
[8] 前記調節装置は、
前記アライメントする装置の垂直面において、前記出力コリメータ(18)の並進及び傾斜移動を提供する第1調節装置(30)と、
前記アライメントする装置の水平面において、前記出力コリメータ(18)の並進及び傾斜移動を提供する第2調節装置(50)と、
前記出力コリメータ(18)を回転させるのに用いられる回転調節装置(60、62)と、
を具備することを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
[9] 前記アライメントする装置が、72mmx35mmx31mm以下の全体寸法を有するパッケージ内に格納されることを特徴とする上記[1]に記載のアライメントする装置。
コリメータアライメント装置を格納する偏光コンディショナの断面図である。 垂直面における高さ調節及び傾斜を示すコリメータアライメント装置の側面図である。 水平面における横方向の調節及び傾斜を示すコリメータアライメント装置の平面図である。 コリメータアライメント装置を格納する偏光コンディショナパッケージの透視図である。 コリメータアライメント装置を有する偏光コンディショナの熱試験結果のグラフである。
符号の説明
12 入力コリメータ
14 偏光装置(波長板)
16 ビームスプリッタ
18 出力コリメータ
19 回路
20 光検出器
30 垂直調節装置(第1調節装置)
32、38 調整ねじ
34、40 鋼製ボール
36、42 ピストン(プランジャ)
44、46 圧縮可能部材
50 水平調節装置(第2調節装置)
52、54、56、58 調整ねじ
60、62 回転調節装置(第3調節装置)

Claims (1)

  1. コリメータをアライメントする装置であって、
    光信号を受ける入力コリメータと、
    前記光信号を受けて偏光させる、前記入力コリメータの近傍に配置された偏光装置と、
    出力コリメータと、
    前記偏光装置から偏光光信号を受けるために前記出力コリメータをアライメントするべく、前記出力コリメータの位置を調節する調節装置であって、前記出力コリメータのアライメントにおいて5自由度を提供する調節装置と
    を有することを特徴とする装置。
JP2004304162A 2003-10-24 2004-10-19 偏光コンディショナのパッケージング及びコリメータのアライメント装置 Pending JP2005128532A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/692,956 US7027154B2 (en) 2003-10-24 2003-10-24 Polarization conditioner packaging and collimator alignment mechanism

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005128532A true JP2005128532A (ja) 2005-05-19

Family

ID=34394580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004304162A Pending JP2005128532A (ja) 2003-10-24 2004-10-19 偏光コンディショナのパッケージング及びコリメータのアライメント装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7027154B2 (ja)
EP (1) EP1526396A1 (ja)
JP (1) JP2005128532A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013035441A1 (ja) * 2011-09-09 2013-03-14 独立行政法人情報通信研究機構 光ファイバ型光機能素子カートリッジモジュール

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9453723B1 (en) * 2015-06-30 2016-09-27 Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas Method for testing a photonic integrated circuit including a device under test

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5710105A (en) * 1980-06-20 1982-01-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Polarization cancelling element
DE3615727A1 (de) * 1986-05-09 1987-11-12 Zeiss Carl Fa Koppelstelle fuer monomode-faser
FR2629220A1 (fr) * 1988-03-22 1989-09-29 Socapex Amphenol Dispositif d'assemblage et d'auto-alignement d'une fibre optique et d'un element micro-optique
DE3827960A1 (de) * 1988-08-17 1990-02-22 Siemens Ag Einrichtung zum gegenseitigen ausrichten zweier koerper
DE3830586A1 (de) * 1988-09-08 1990-03-15 Siemens Ag Einrichtung zur justierung eines lichtwellenleiters
US5136433A (en) * 1990-05-29 1992-08-04 Durell William E Optical positioner and connector
DE4310254A1 (de) * 1993-03-30 1994-10-06 Sel Alcatel Ag Optische Reduktion nichtlinearer optischer Amplitudenverzerrungen
US5416332A (en) * 1993-10-01 1995-05-16 Hughes Aircraft Company Integrated test target assembly and compact collimator
JPH0961683A (ja) * 1995-08-24 1997-03-07 Fuji Elelctrochem Co Ltd 光デバイス組立方法およびその装置
JPH09274160A (ja) * 1996-04-05 1997-10-21 Mitsubishi Chem Corp 光アイソレータの組立方法
US5771270A (en) * 1997-03-07 1998-06-23 Archer; David W. Collimator for producing an array of microbeams
JPH11265847A (ja) * 1998-01-16 1999-09-28 Canon Inc 位置検出方法及び位置検出装置
JP3237624B2 (ja) * 1998-09-04 2001-12-10 日本電気株式会社 レーザ発振波長監視装置
US6108355A (en) * 1998-10-16 2000-08-22 New Focus, Inc. Continuously-tunable external cavity laser
CA2279714A1 (en) * 1999-08-04 2001-02-04 Jds Fitel Inc. Method and system for measurement of a characteristic of lens
JP2001116957A (ja) * 1999-10-21 2001-04-27 Minolta Co Ltd 光モジュール及び光源ユニット
US6553161B1 (en) * 2001-03-13 2003-04-22 Terabeam Corporation Magnetic fluid-based positioning apparatus and method
US6597829B2 (en) * 2001-04-27 2003-07-22 Robert H. Cormack 1xN optical fiber switch

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013035441A1 (ja) * 2011-09-09 2013-03-14 独立行政法人情報通信研究機構 光ファイバ型光機能素子カートリッジモジュール
JP2013057880A (ja) * 2011-09-09 2013-03-28 National Institute Of Information & Communication Technology 光ファイバ型光機能素子カートリッジモジュール
US9146357B2 (en) 2011-09-09 2015-09-29 National Institute Of Information And Communications Technology Optical fiber-based optical functional device cartridge module

Also Published As

Publication number Publication date
US7027154B2 (en) 2006-04-11
US20050088651A1 (en) 2005-04-28
EP1526396A1 (en) 2005-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3596863A (en) Fine adjustment mount
JP5968626B2 (ja) アタッチメント装置及びトータルステーション
US4408830A (en) Multidirectional translator mechanism
CN108732709B (zh) 一种五自由度的手动调整机构
US6729589B2 (en) Kinematic mount
CN109268359B (zh) 位置调节装置及设备
US20060249675A1 (en) Surface roughness and/or contour shape measuring apparatus
US4838649A (en) Apparatus for driving objective lens
JP2016205592A (ja) スライドガイドユニット及び測量装置
CN111522099B (zh) 一种全立双杆式光学元件定位调节装置
US7173779B2 (en) Kinematic mount having connectors with beveled edges
CN108603996B (zh) 高精确度及低交叉耦合激光导引
JP2001290060A (ja) 光学部品取り付け装置
US6879758B2 (en) Multi-degree-of-freedom of precision positioning device using spring-mounted electromechanical actuators
US8289504B2 (en) Shack Hartman sensor with removable lenslet array
JP2005128532A (ja) 偏光コンディショナのパッケージング及びコリメータのアライメント装置
US5798879A (en) Stress-free, adjustable optical support
JP2004301755A (ja) ライン表示器
JP2002244018A (ja) ミラーの距離、角度調整機構
CN213276075U (zh) 一种光学调整装置
JP3695617B2 (ja) レンズ位置調整固定装置
JP5132973B2 (ja) 回転レーザービーム式墨出し装置
JP2021126883A (ja) スクライブヘッドおよびスクライブ装置
JP4824212B2 (ja) レーザ照射装置
CN111273416A (zh) 一种激光光学系统中的调整装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070511