JP2005127842A - Pin block - Google Patents

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Seiichi Hori
誠一 堀
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pin block which exchangeably implants each probe to a pin board in a simple attachment structure and can contribute to reducing an inspection cost. <P>SOLUTION: The pin block 11 which makes up a substrate inspection apparatus, has a large number of probes 22 being arranged in the pin board 12 so as to freely come into contact individually with a large number of inspection points being set in an object substrate to be inspected. Each of the probes 22 is made up of a holding tubular section 23 which is loosely inserted into a through hole 15 being formed by drilling the pin board 12 from a one side face 13 to the other side face 14; and a contact pin section 26 which is held by the holding tubular section 23 so that it can freely advance and retract. The other side face 14 of the pin board 12 has a support plate 32 which freely contacts with a basis end face 24 of the holding tubular section 23 of the probe 22; and a lead wire 35 which can be electrically connected through its open end section 35a to the basis end face 24 of the holding tubular section 23 when contacting therewith. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば検査対象基板に一定のピッチで格子状に設定するなど、一定の法則性を付与して設定されている多数の検査ポイントへの個別接触を自在に植設された多数本のプローブを有して基板検査装置を構成しているピンブロックに関する技術である。   In the present invention, for example, a large number of individual contacts can be freely planted to a large number of inspection points set with a certain rule, for example, set in a lattice pattern at a constant pitch on a substrate to be inspected. This is a technique related to a pin block having a probe and constituting a substrate inspection apparatus.

インサーキットテスタなどの基板検査装置は、定置された検査対象基板の各検査ポイントへの個々のプローブを介しての電気的な接触を自在に形成されたテストヘッドとしてのピンブロックを備えている。   A substrate inspection apparatus such as an in-circuit tester includes a pin block as a test head that is formed so as to freely make electrical contact with each inspection point of a substrate to be inspected via an individual probe.

図6は、従来からあるピンブロックの一例をその一部を省略して示す要部説明図であり、図7は、図6における円形囲繞部位を拡大して示す説明図である。これらの図によれば、ピンブロック1は、多数本のプローブ4を各別に挿着するソケット3が圧入されたピンボード2と、ソケット3に挿着された各プローブ4を図示しない検査対象基板の個々の検査ポイントへと振れを抑え、かつ、プローブストロークの基準高さを規制して案内するガイド孔8を備えてピンボード2上に配設されるガイドボード7とでその全体が構成されている。   FIG. 6 is a main part explanatory view showing an example of a conventional pin block with a part thereof omitted, and FIG. 7 is an explanatory view showing an enlarged circular encircled part in FIG. According to these figures, the pin block 1 includes a pin board 2 into which sockets 3 into which a large number of probes 4 are individually inserted are press-fitted, and a substrate to be inspected that is not shown with each probe 4 inserted into the socket 3. The guide board 7 which is provided on the pin board 2 with the guide hole 8 which suppresses the deflection to the individual inspection points and guides the probe stroke by regulating the reference height is constituted as a whole. ing.

この場合、プローブ4は、図8に示すようにソケット3が内側面に備える突起3aとその挿着時に接触して導通される保持筒部5と、図示しない導電性コイルスプリングを介して突出方向に付勢されて保持筒部5に保持される接触ピン部6とで形成されている。   In this case, as shown in FIG. 8, the probe 4 protrudes through a projection 3 a provided on the inner surface of the socket 3, a holding cylinder portion 5 that is brought into contact with and connected to the socket 3, and a conductive coil spring (not shown). And the contact pin portion 6 held by the holding cylinder portion 5.

このため、各プローブ4は、事前にピンボード2側に圧入されている各ソケット3に対しその保持筒部5を挿着することにより植設できるため、所望するプローブ4を交換するだけで異なる機種の基板検査装置の検査ポイントにも対応させることができることになる。   For this reason, since each probe 4 can be planted by inserting the holding cylinder portion 5 into each socket 3 that has been press-fitted into the pin board 2 in advance, it differs only by replacing the desired probe 4. It can also correspond to the inspection point of the board inspection apparatus of the model.

一方、従来からあるピンブロックにも、機種を異にする検査対象基板に対しても同一のピンブロックにより対応できる汎用性が付与されているものがある。
特開平9−127155号公報
On the other hand, some conventional pin blocks are provided with versatility that can be handled by the same pin block even for inspection target substrates of different types.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-127155

しかし、図5に示すピンブロック1による場合には、多数本からなる各プローブ4を予め各別に用意されている個々の対応ソケット3に挿着する必要があり、それだけ部品点数が増えてコストアップを招く不都合があった。また、特許文献1に開示されているピンブロックによる場合には、テストピンボードと接点ピン選択ボードとの組合せを必要とする結果、それだけ構成部材もが増えてやはりコストアップを招く不具合があった。   However, in the case of the pin block 1 shown in FIG. 5, it is necessary to insert a large number of probes 4 into the corresponding sockets 3 prepared in advance, which increases the number of parts and increases the cost. There was an inconvenience. Further, in the case of the pin block disclosed in Patent Document 1, as a result of requiring a combination of a test pin board and a contact pin selection board, there is a problem that the number of components increases and the cost increases. .

本発明は、従来例にみられた上記課題に鑑み、ピンボードに対し各プローブを簡単な取付け構造のもとで交換可能に植設して検査コストを低減する上での一助として有効に寄与させることができるピンブロックの提供を目的とする。   In view of the above-mentioned problems found in the conventional example, the present invention effectively contributes to reducing the inspection cost by implanting each probe to the pin board in a replaceable manner with a simple mounting structure. An object of the present invention is to provide a pin block that can be used.

本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、検査対象基板に設定されている多数の検査ポイントへの個別接触を自在にピンボードに配設された多数本のプローブを備えて基板検査装置を構成しているピンブロックにおいて、前記プローブのそれぞれは、前記ピンボードの一側面側から他側面側に向けて穿設された各貫通孔を介して緩挿される保持筒部と、該保持筒部に進退自在に保持させた接触ピン部とで形成し、ピンボードの前記他側面には、前記プローブの各保持筒部の基端面との当接が自在な支え板を、当接時に前記保持筒部の各基端面とその開放端部を介しての電気的な接触を自在としたリード線を各別に配して設置したことに特徴がある。   The present invention has been made in order to achieve the above object, and includes a substrate having a large number of probes arranged on a pin board so as to freely make individual contact with a large number of inspection points set on a substrate to be inspected. In the pin block constituting the inspection device, each of the probes includes a holding cylinder portion that is loosely inserted through each through hole that is drilled from one side surface of the pin board toward the other side surface, It is formed with a contact pin portion that is held forward and backward by the holding cylinder portion, and a support plate that can freely come into contact with the base end surface of each holding cylinder portion of the probe is brought into contact with the other side surface of the pin board. It is characterized in that lead wires that can freely make electrical contact through the respective base end surfaces of the holding cylinder portion and the open end portions thereof are arranged separately.

この場合、各プローブにおける前記接触ピン部は、前記検査ポイントに接触する小径ピン端部と、該小径ピン端部と連結されて前記保持筒部に進退自在に保持される大径支杆部とで形成することもできる。   In this case, the contact pin portion in each probe includes a small-diameter pin end portion that comes into contact with the inspection point, and a large-diameter support portion that is connected to the small-diameter pin end portion and is held by the holding cylinder portion so as to freely advance and retract. It can also be formed.

また、ピンボードの前記一側面には、各保持筒部の開放端面もしくは接触ピン部の前記大径支杆部側の開放端面と当接し、かつ、前記接触ピン部側の対応部位の挿通を許すガイド孔を穿設したガイドボードを配設するのが好ましい。   Further, the one side surface of the pin board is in contact with the open end face of each holding cylinder part or the open end face of the contact pin part on the large diameter support part side, and the corresponding part on the contact pin part side is inserted. It is preferable to dispose a guide board having permissible guide holes.

さらに、前記プローブのそれぞれは、突出方向に付勢された前記接触ピン部における大径支杆部の前記開放端面を前記ガイド板側に密接させて押し戻される配置関係のもとで配設され、その際に生成される反力により各保持筒部の前記基端面を前記支え板側に圧接させるようにしてもよい。さらにまた、所要の前記プローブにおける保持筒部の前記基端面と前記支え板が備える各リード線の前記開放端部との間には、少なくとも1以上の導電体を前記貫通孔の長さ方向に沿わせて介在配置することで、対応関係にある前記プローブと前記リード線とのそれぞれをより確実に電気的に接触させることができるようにすることもできる。   Further, each of the probes is disposed under an arrangement relationship in which the open end surface of the large-diameter support portion in the contact pin portion urged in the protruding direction is pushed back in close contact with the guide plate side, You may make it the said base end surface of each holding | maintenance cylinder part press-contact to the said support plate side with the reaction force produced | generated in that case. Furthermore, at least one or more conductors are arranged in the length direction of the through hole between the base end surface of the holding cylinder portion of the required probe and the open end portion of each lead wire included in the support plate. By interposing and arranging along, it can also be made to be able to contact each of the said probe and the said lead wire in a corresponding relationship more reliably electrically.

本発明によれば、各プローブは、前記ピンボードに設けたソケットなしの貫通孔を介して交換可能な緩挿状態のもとで配設することができるので、高精度な穴開け加工を必要としないばかりでなく、ソケットを不要として部品点数を少なくすることもできるので、検査コストを低減する上での一助として有効に寄与させることができる。   According to the present invention, since each probe can be arranged under a loosely inserted state that can be replaced via a socket-less through hole provided in the pin board, high-precision drilling is required. In addition, since the number of parts can be reduced by eliminating the need for a socket, it is possible to effectively contribute as an aid in reducing the inspection cost.

また、各プローブは、検査対象基板の各検査ポイントに対応する前記接触ピン部が接触して押し戻された際に前記保持筒部の側に反力が作用する結果、その基端面を前記支え板側のリード線の前記開放端部へと圧接させて確実に導通させることができる。   In addition, each probe has a base end surface thereof as a result of reaction force acting on the side of the holding cylinder portion when the contact pin portion corresponding to each inspection point of the substrate to be inspected contacts and is pushed back. The lead wire on the side can be brought into pressure contact with the open end portion and can be reliably conducted.

さらに、ピンボードの前記一側面に前記接触ピン部側の挿通を許すガイド孔が設けられたガイドボードを配設してある場合には、検査対象基板の個々の検査ポイントへと振れを抑え、かつ、プローブストロークの基準高さを規制してプローブの前記接触ピン部側を案内することができる。   Furthermore, in the case where a guide board provided with a guide hole that allows insertion of the contact pin portion side on the one side surface of the pin board is disposed, the swing to the individual inspection points of the substrate to be inspected is suppressed, In addition, the reference height of the probe stroke can be regulated to guide the contact pin part side of the probe.

さらにまた、プローブの保持筒部における前記基端面と前記支え板が備える各リード線の前記開放端部との間に導電体を介在させてある場合には、対応関係にある前記プローブと前記リード線とのそれぞれをより確実に電気的に接触させることができる。   Furthermore, when a conductor is interposed between the base end surface of the holding cylinder portion of the probe and the open end portion of each lead wire included in the support plate, the probe and the lead in a corresponding relationship Each of the wires can be more reliably brought into electrical contact.

図1は、本発明に係るピンブロックの一例をその一部を省略して示す要部説明図であり、図2は、図1における円形囲繞部位を拡大して示す説明図であり、これらの図によれば、ピンブロック11は、図示しない検査対象基板に設定されている多数の検査ポイントへの個別接触を自在にピンボード12に配設された多数本のプローブ22を備えて基板検査装置(図示せず)の一部を構成するものとして形成されている。   FIG. 1 is a main part explanatory view showing an example of a pin block according to the present invention with a part thereof omitted, and FIG. 2 is an explanatory view showing an enlarged circular encircling region in FIG. According to the figure, the pin block 11 is provided with a large number of probes 22 arranged on the pin board 12 so as to be able to freely contact a large number of inspection points set on a substrate to be inspected (not shown). It is formed as a part of (not shown).

すなわち、各プローブ22は、適宜の絶縁材からなるピンボード22の一側面(図示例では上面)13と他側面(図示例では下面)14との間に穿設された各貫通孔15を介して緩挿される略同高の保持筒部23と、該保持筒部23に図示しないコイルスプリングを介して突出方向に付勢され、かつ、進退を自在に保持されている接触ピン部26とで形成されている。   That is, each probe 22 passes through each through hole 15 formed between one side surface (upper surface in the illustrated example) 13 and the other side surface (lower surface in the illustrated example) 14 made of an appropriate insulating material. A holding cylinder portion 23 of approximately the same height that is loosely inserted, and a contact pin portion 26 that is urged by the holding cylinder portion 23 through a coil spring (not shown) in a protruding direction and is freely held back and forth. Is formed.

また、ピンボード12の他側面14には、プローブ22の各保持筒部23の基端面24との当接が自在な適宜の絶縁材からなる支え板32が設置されており、該支え板32上にピンボード12が載置された配置関係となっている。しかも、支え板32には、プローブ22の各保持筒部23の基端面24が当接した際にその開放端部35aを介しての電気的な接触を自在としたマグネットワイヤなどからなるリード線35が各別に配線されている。   Further, on the other side surface 14 of the pin board 12, a support plate 32 made of an appropriate insulating material that can freely come into contact with the base end surface 24 of each holding cylinder portion 23 of the probe 22 is installed. The arrangement is such that the pin board 12 is placed thereon. In addition, when the base end surface 24 of each holding cylinder portion 23 of the probe 22 comes into contact with the support plate 32, a lead wire made of a magnet wire or the like that can freely make electrical contact via the open end portion 35a. 35 is wired separately.

さらに、ピンボード12の一側面13には、プローブ22の振れを抑えたり、プローブ22のストロークの基準高さを規制したりするために、各保持筒部23の開放端面25と当接してその侵入を阻止し、かつ、接触ピン部26側の挿通を許すガイド孔43を各別に穿設してなる適宜の絶縁材からなるガイドボード42が載置された状態で配設されている。   Further, one side surface 13 of the pin board 12 is in contact with the open end surface 25 of each holding cylinder portion 23 in order to suppress the deflection of the probe 22 or restrict the reference height of the stroke of the probe 22. A guide board 42 made of an appropriate insulating material is provided in which a guide hole 43 that prevents intrusion and allows the insertion of the contact pin portion 26 side is formed separately.

図3は、本発明に係るピンブロックの他例を図1に対応させて示す要部説明図であり、ピンボード22と支え板32とガイド板42との配置関係は、図1に示す例と同じであるが、プローブ22の保持筒部23における基端面24と支え板32が備える各リード線35の開放端部35aとの間に、1以上の導電体18を貫通孔15の長さ方向に沿わせて介在配置させてある点で異なっている。この場合、導電体18は、その最大外径が貫通孔15の内径よりもやや小径に形成された球形形状を呈するものを好適に用いることができる。この場合、導電体18は、導電性の金属球体として形成することができるほか、弾性樹脂球体の外表面を導電層で覆って形成したり、弾性樹脂球体そのものに導電性を付与して形成することもできる。なお、導電体18は、球体以外の適宜立体形状を呈するものを用いることもできる。   FIG. 3 is an explanatory view of the main part showing another example of the pin block according to the present invention corresponding to FIG. 1, and the positional relationship among the pin board 22, the support plate 32, and the guide plate 42 is the example shown in FIG. However, the length of the through hole 15 is one or more conductors 18 between the base end surface 24 of the holding cylinder portion 23 of the probe 22 and the open end portion 35a of each lead wire 35 provided in the support plate 32. It is different in that it is disposed along the direction. In this case, the conductor 18 having a spherical shape in which the maximum outer diameter is slightly smaller than the inner diameter of the through hole 15 can be suitably used. In this case, the conductor 18 can be formed as a conductive metal sphere, and is formed by covering the outer surface of the elastic resin sphere with a conductive layer, or by imparting conductivity to the elastic resin sphere itself. You can also. Note that the conductor 18 may have a suitable three-dimensional shape other than a sphere.

また、プローブ22の保持筒部23における基端面24の形状は、図4(a)〜(c)に示すように平坦面としたり凹曲させたり突曲させるなど、所望に応じ適宜のものを採用することができる。さらに、基端面24と支え板32が備える各リード線35の開放端部35aとの間に介在配置される導電体18は、図4(a),(b)に示されているように1個としたり、図4(c)に示されているように2個としたりすることができるほか、必要によりさらにその数を増やして介在配置することもできる。   In addition, the shape of the base end surface 24 in the holding cylinder portion 23 of the probe 22 may be an appropriate one as desired, such as a flat surface, a concave shape, or a curved shape as shown in FIGS. Can be adopted. Further, as shown in FIGS. 4A and 4B, the conductor 18 disposed between the base end face 24 and the open end portion 35a of each lead wire 35 included in the support plate 32 is 1 as shown in FIGS. In addition to being able to be divided into two pieces as shown in FIG. 4 (c), it is possible to further increase the number and interpose them as necessary.

一方、図5(a)は、本発明を構成するプローブ22の他例を示す説明図であり、この場合、プローブ22における接触ピン部26は、検査対象基板の検査ポイントに接触する小径ピン端部27と、該小径ピン端部27と連結されて保持筒部23に進退自在に保持される大径支杆部28とで形成されている。このため、平常時(不使用時)における大径支杆部28は、図示しないコイルスプリングを介して保持筒部23側からLの長さ分だけ押し出された状態にある。 On the other hand, FIG. 5A is an explanatory view showing another example of the probe 22 constituting the present invention. In this case, the contact pin portion 26 in the probe 22 is a small-diameter pin end that contacts the inspection point of the inspection target substrate. It is formed of a portion 27 and a large-diameter support portion 28 that is connected to the small-diameter pin end portion 27 and is held by the holding cylinder portion 23 so as to be able to advance and retreat. Therefore, large径支rod portions 28 at normal times (when not used), from the holding cylinder portion 23 side via the coil spring (not shown) by the length extruded condition of L 1.

このような状態にあるプローブ22は、図5(b)に示すように保持筒部23をピンボード12の貫通孔15に緩挿した後、ガイド孔43に小径ピン端部27を挿通させながらガイドボード42をピンボード12上に載置することにより、大径支杆部28もLの長さであったものがLの長さにまで押し戻されることになる。その結果、保持筒部23は、その基端面24が支え板32が備えるリード線35の開放端部35aに圧接する方向での反力が生成される結果、リード線35側に各別に接触させることができる。 In the probe 22 in such a state, as shown in FIG. 5B, after the holding cylinder portion 23 is loosely inserted into the through hole 15 of the pin board 12, the small diameter pin end portion 27 is inserted into the guide hole 43. By placing the guide board 42 on the pin board 12, the large-diameter support portion 28 having the length L 1 is pushed back to the length L 2 . As a result, a reaction force is generated in the holding cylinder portion 23 in the direction in which the base end surface 24 is in pressure contact with the open end portion 35a of the lead wire 35 provided in the support plate 32. be able to.

次に、上記構成からなる本発明につき、図1に示す例に基づいてその作用・効果を説明すれば、まず、ピンボード12は、個々の貫通孔15が支え板32側の個々のリード線35の開放端部35aと個別に対面する位置関係のもとで支え板32上に載置してその位置関係を固定する。ピンボード12と支え板32との間の位置固定を終えた後は、ピンボード12の所定の貫通孔15に対しその一側面13側から他側面14に向けて個々のプローブ22の保持筒部23を各別に挿入する。この場合、各貫通孔15は、保持筒部23の外径に対しクリアランスを有する内径が付与されて形成されていることから、保持筒部23を圧入せずに緩挿することができるので、プローブ22自体の交換や抜脱を容易にして配設することができる。   Next, the operation and effect of the present invention having the above configuration will be described based on the example shown in FIG. 1. First, the pin board 12 has individual through holes 15 and individual lead wires on the support plate 32 side. It is placed on the support plate 32 under a positional relationship that individually faces the open end 35a of the 35, and the positional relationship is fixed. After the position fixing between the pin board 12 and the support plate 32 is finished, the holding cylinder portion of each probe 22 from the one side surface 13 side to the other side surface 14 with respect to a predetermined through hole 15 of the pin board 12. 23 are inserted separately. In this case, since each through-hole 15 is formed with an inner diameter having a clearance with respect to the outer diameter of the holding cylinder portion 23, the holding cylinder portion 23 can be loosely inserted without being press-fitted. The probe 22 itself can be easily replaced and removed.

必要な貫通孔15のすべてにプローブ22を個別に配設した後は、ピンボード12の一側面13から突出しているプローブ22の各接触ピン部26を対応するガイド孔43を介して挿通させながらピンボード12上にガイドボード42を載置した上で、その位置関係を固定する。したがって、この際における各プローブ22は、保持筒部23の開放端面24がガイドボード42側と当接する配置関係となるので、抜脱が確実に阻止されることになる。   After the probes 22 are individually arranged in all the necessary through holes 15, the contact pin portions 26 of the probes 22 protruding from the one side surface 13 of the pin board 12 are inserted through the corresponding guide holes 43. After the guide board 42 is placed on the pin board 12, the positional relationship is fixed. Accordingly, the probes 22 at this time are in an arrangement relationship in which the open end surface 24 of the holding cylinder portion 23 is in contact with the guide board 42 side, so that the removal is surely prevented.

このようにしてピンブロック11を構成した後は、検査対象基板の各検査ポイントに対応するプローブ22の接触ピン部26を当接させる。このとき、該接触ピン部26は、その付勢力に抗して保持筒部23側へと所定のストロークで押し戻され、その際に生成される反力により保持筒部23もその基端面25がリード線35の開放端部35aに圧接され両者は確実に導通するに至る。したがって、検査対象基板の各検査ポイントに対する検査を円滑、かつ、正確に行うことができる。   After the pin block 11 is configured in this way, the contact pin portion 26 of the probe 22 corresponding to each inspection point of the inspection target substrate is brought into contact. At this time, the contact pin portion 26 is pushed back to the holding cylinder portion 23 side with a predetermined stroke against the urging force, and the holding end portion 25 of the holding cylinder portion 23 is also caused by the reaction force generated at that time. The lead wire 35 is brought into pressure contact with the open end portion 35a, and the two are surely conducted. Therefore, the inspection with respect to each inspection point of the inspection target substrate can be performed smoothly and accurately.

また、図3に示す他例による場合には、図1におけると同様にしてピンボード12を支え板32上に載置してその位置関係を固定した後、図3および図4に示すように必要な貫通孔15内に1個もしくはそれ以上の個数の導電体15を予め収納させた上で、所定の貫通孔15に個々のプローブ22の保持筒部23を各別に挿入する。   Further, in the case of the other example shown in FIG. 3, after the pin board 12 is placed on the support plate 32 in the same manner as in FIG. 1 and the positional relationship is fixed, as shown in FIGS. One or more conductors 15 are accommodated in the necessary through holes 15 in advance, and the holding cylinder portions 23 of the individual probes 22 are inserted into the predetermined through holes 15 separately.

このため、仮にプローブ22の保持筒部23の軸方向長さが貫通孔15の奥行き長さよりも短くても、導電体15を介してその長さを微調整してリード線35の開放端部35aとの間の接触を確保することができる。特に、導電体15が球形形状を呈するものであれば、その直径寸法を整数倍することにより直ちに微調整後の寸法を知ることができるので、長さの微調整もそれだけ容易に行うことができる。   For this reason, even if the axial length of the holding cylinder portion 23 of the probe 22 is shorter than the depth length of the through hole 15, the length is finely adjusted via the conductor 15 to open the end portion of the lead wire 35. Contact with 35a can be ensured. In particular, if the conductor 15 has a spherical shape, the dimension after fine adjustment can be known immediately by multiplying the diameter dimension by an integer, so that the fine adjustment of the length can be easily performed accordingly. .

また、導電体15を弾性樹脂球体の外表面を導電層で覆って形成したり、弾性樹脂球体そのものに導電性を付与して形成してある場合には、クッション材としての機能を発揮させることもできるので、若干の寸法誤差があってもこれを吸収してリード線35の開放端部35aとの間の接触をより確実に確保することができる。しかも、導電性の金属球体からなる導電体15、特に好ましくは弾性樹脂球体の外表面を導電層で覆ってなる導電体15や弾性樹脂球体そのものに導電性を付与した導電体15を用いる場合には、各プローブ22の保持筒部23の基端面24が図4(a)〜(c)に示すような各種の形状パターンを呈するものであっても、柔軟に対応させてリード線35の開放端部35aとの間の接触を確保することができる。   In addition, when the conductor 15 is formed by covering the outer surface of the elastic resin sphere with a conductive layer, or formed by imparting conductivity to the elastic resin sphere itself, the function as a cushioning material is exhibited. Therefore, even if there is a slight dimensional error, it can be absorbed and the contact with the open end portion 35a of the lead wire 35 can be ensured more reliably. Moreover, when using the conductor 15 made of a conductive metal sphere, particularly preferably the conductor 15 having the outer surface of the elastic resin sphere covered with a conductive layer or the conductor 15 imparted with conductivity to the elastic resin sphere itself. The open end of the lead wire 35 is flexibly accommodated even if the base end face 24 of the holding cylinder portion 23 of each probe 22 exhibits various shape patterns as shown in FIGS. Contact with the end 35a can be ensured.

一方、図5(a)に示すプローブ22は、接触ピン部26が検査対象基板の検査ポイントに接触する小径ピン端部27と、該小径ピン端部27と連結されて保持筒部23に進退自在に保持される大径支杆部28とで形成されている。このため、その平常時(不使用時)の大径支杆部28は、図示しないコイルスプリングを介して保持筒部23側からLの長さ分だけ押し出されている。 On the other hand, the probe 22 shown in FIG. 5A is connected to the small-diameter pin end portion 27 where the contact pin portion 26 comes into contact with the inspection point of the substrate to be inspected and the small-diameter pin end portion 27 so as to advance and retract. It is formed with a large-diameter support portion 28 that is freely held. Therefore, the large径支rod section 28 of the normal time (when not in use) is pushed out from the holding tubular portion 23 side via the coil spring (not shown) equivalent to the length by L 1.

この状態にあるプローブ22は、保持筒部23をピンボード12の貫通孔15に緩挿した後、ガイド孔43に小径ピン端部27を挿通させながらガイドボード42をピンボード12上に載置することにより、図5(b)に示すように大径支杆部28もLの長さであったものがLの長さにまで押し戻される。その結果、保持筒部23の基端面24には、支え板32が備えるリード線35の開放端部35aと圧接する方向での反力が生成されるので、リード線35の開放端部35aとより確実に接触させることができる。 In the probe 22 in this state, after the holding cylinder portion 23 is loosely inserted into the through hole 15 of the pin board 12, the guide board 42 is placed on the pin board 12 while the small diameter pin end portion 27 is inserted into the guide hole 43. by also large径支rod portion 28 as shown in FIG. 5 (b) what was the length of L 1 is pushed back to a length of L 2. As a result, a reaction force is generated on the proximal end surface 24 of the holding cylinder portion 23 in the direction in which it is pressed against the open end portion 35a of the lead wire 35 included in the support plate 32, and therefore the open end portion 35a of the lead wire 35 and Contact can be made more reliably.

つまり、本発明によればピンボード12に形成される貫通孔15の内径精度がプローブ22の保持筒部23を緩挿できるレベルのものであっても、ガイドボード42のガイド孔43の内径さえ高い精度で形成しておけば、検査時におけるプローブ22の接触ピン部27側の振れを抑えることができることになる。したがって、従来は必要であった図8に示すようなソケット3を不要にすることができるほか、貫通孔15の穴開け加工も比較的低い精度のもとで行うことができる。   That is, according to the present invention, even if the accuracy of the inner diameter of the through hole 15 formed in the pin board 12 is of a level that allows the holding cylinder portion 23 of the probe 22 to be loosely inserted, even the inner diameter of the guide hole 43 of the guide board 42 is sufficient. If it is formed with high accuracy, it is possible to suppress the vibration on the contact pin portion 27 side of the probe 22 at the time of inspection. Therefore, the socket 3 as shown in FIG. 8 which is necessary in the prior art can be made unnecessary, and the drilling of the through hole 15 can be performed with relatively low accuracy.

また、従来は、図8に示すソケット3の基端面側にリード線をハンダ付けするなどして直結しなければならなかったが、本発明によれば、プローブ22の保持筒部23の基端面24は、マグネットワイヤなどからなるリード線35の開放端部35aと直結することなく、接離自在にして配設することができるので、それだけ製品コストを含む検査コストを低減する上での一助として有効に寄与させることができる。   Further, in the past, it has been necessary to directly connect the lead wire to the base end face side of the socket 3 shown in FIG. 8, but according to the present invention, the base end face of the holding cylinder portion 23 of the probe 22. 24 can be arranged so as to be freely contactable without being directly connected to the open end 35a of the lead wire 35 made of a magnet wire or the like. As a result, it can help reduce the inspection cost including the product cost. It is possible to contribute effectively.

以上は、本発明の実施形態を図示例に即して説明したものであり、その具体的な実施の形態例はこれに限定されるものではない。例えば、本発明に係るピンブロック11は、必要によりガイドボード42を用いずに構成することもできる。この場合においても、プローブ22は、その接触ピン部26が突出方向に付勢された状態で保持筒部23に保持されているので、検査対象基板の検査ポイントに接触ピン部26に当接した際に該接触ピン部26が押し戻され、その際に保持筒部23の基端面24をリード線35の開放端部35aに圧接させることができる。   The embodiment of the present invention has been described with reference to the illustrated example, and the specific embodiment is not limited to this. For example, the pin block 11 according to the present invention can be configured without using the guide board 42 if necessary. Also in this case, since the probe 22 is held by the holding cylinder portion 23 with the contact pin portion 26 being urged in the protruding direction, the probe 22 abuts the contact pin portion 26 on the inspection point of the substrate to be inspected. At this time, the contact pin portion 26 is pushed back, and at this time, the base end surface 24 of the holding cylinder portion 23 can be brought into pressure contact with the open end portion 35 a of the lead wire 35.

また、検査対象基板がその面方向を垂直方向に向けて定置されている場合には、ピンブロック11もこれに対応合致するように配置することができる。さらに、ピンブロック11は、下方に位置する検査対象基板に向けて配置するものであってもよい。   In addition, when the inspection target substrate is placed with its surface direction oriented in the vertical direction, the pin block 11 can also be arranged so as to correspond to this. Further, the pin block 11 may be arranged toward the inspection target substrate located below.

本発明に係るピンブロックの一例をその一部を省略して示す要部説明図。The principal part explanatory drawing which abbreviate | omits one part and shows an example of the pin block which concerns on this invention. 図1の円形囲繞部位を拡大して示す説明図。Explanatory drawing which expands and shows the circular go part of FIG. 本発明に係るピンブロックの他例をその一部を省略して示す要部説明図。The principal part explanatory drawing which abbreviate | omits one part and shows the other example of the pin block which concerns on this invention. プローブの保持筒部における基端面形状を導電体との関係で(a)〜(c)としてパターン分けして示す要部拡大図。The principal part enlarged view which divides the base end surface shape in the holding | maintenance cylinder part of a probe into patterns according to a relationship with a conductor, and shows it as a pattern. 本発明のプローブの他例を(a)として、その配置状態を(b)としてそれぞれ示す説明図。Explanatory drawing which shows the other example of the probe of this invention as (a), respectively, and the arrangement | positioning state as (b). ピンブロックの従来例をその一部を省略して示す要部説明図。The principal part explanatory drawing which abbreviate | omits one part and shows the prior art example of a pin block. 図6の円形囲繞部位を拡大して示す説明図。Explanatory drawing which expands and shows the circular go part of FIG. 従来からあるプローブの構成例を分解して示す説明図。Explanatory drawing which decomposes | disassembles and shows the structural example of the conventional probe.

符号の説明Explanation of symbols

1 ピンブロック
2 ピンボード
3 ソケット
3a 突起
4 プローブ
5 保持筒部
6 接触ピン部
7 ガイドボード
8 ガイド孔
11 ピンブロック
12 ピンボード
13 一側面
14 他側面
15 貫通孔
18 導電体
22 プローブ
23 保持筒部
24 基端面
25 開放端部
26 接触ピン部
27 小径ピン端部
28 大径支杆部
29 開放端面
32 支え板
35 リード線
35a 開放端部
42 ガイドボード
43 ガイド孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pin block 2 Pin board 3 Socket 3a Protrusion 4 Probe 5 Holding cylinder part 6 Contact pin part 7 Guide board 8 Guide hole 11 Pin block 12 Pin board 13 One side 14 Other side 15 Through-hole 18 Conductor 22 Probe 23 Holding cylinder part 24 Base end surface 25 Open end portion 26 Contact pin portion 27 Small diameter pin end portion 28 Large diameter support portion 29 Open end surface 32 Support plate 35 Lead wire 35a Open end portion 42 Guide board 43 Guide hole

Claims (5)

検査対象基板に設定されている多数の検査ポイントへの個別接触を自在にピンボードに配設された多数本のプローブを備えて基板検査装置を構成しているピンブロックにおいて、
前記プローブのそれぞれは、前記ピンボードの一側面側から他側面側に向けて穿設された各貫通孔を介して緩挿される保持筒部と、該保持筒部に進退自在に保持させた接触ピン部とで形成し、
ピンボードの前記他側面には、前記プローブの各保持筒部の基端面との当接が自在な支え板を、当接時に前記保持筒部の各基端面とその開放端部を介しての電気的な接触を自在としたリード線を各別に配して設置したことを特徴とするピンブロック。
In the pin block that comprises a plurality of probes arranged on the pin board so that individual contact with a large number of inspection points set on the inspection target substrate is configured,
Each of the probes includes a holding cylinder portion that is loosely inserted through each through-hole that is drilled from one side surface to the other side surface of the pin board, and a contact that is held by the holding cylinder portion so as to freely advance and retract. Formed with the pin part,
On the other side surface of the pin board, a support plate that can freely come into contact with the base end surface of each holding cylinder portion of the probe is interposed via each base end surface of the holding cylinder portion and its open end portion at the time of contact. A pin block characterized by the installation of lead wires that allow free electrical contact.
各プローブにおける前記接触ピン部は、前記検査ポイントに接触する小径ピン端部と、該小径ピン端部と連結されて前記保持筒部に保持される大径支杆部とで形成した請求項1に記載のピンブロック。   The contact pin portion in each probe is formed by a small-diameter pin end portion that comes into contact with the inspection point, and a large-diameter support portion that is connected to the small-diameter pin end portion and is held by the holding cylinder portion. Pin block as described in. ピンボードの前記一側面には、各保持筒部の開放端面もしくは接触ピン部の前記大径支杆部側の開放端面と当接し、かつ、前記接触ピン部側の対応部位の挿通を許すガイド孔を穿設したガイドボードを配設した請求項1または2に記載のピンブロック。   The one side surface of the pin board is in contact with the open end surface of each holding cylinder portion or the open end surface of the contact pin portion on the large-diameter support portion side, and allows the corresponding portion on the contact pin portion side to be inserted. The pin block according to claim 1 or 2, wherein a guide board having a hole is provided. 前記プローブのそれぞれは、突出方向に付勢された前記接触ピン部における大径支杆部の前記開放端面を前記ガイドボード側に密接させて押し戻される配置関係のもとで配設され、その際に生成される反力により各保持筒部の前記基端面を前記支え板側に圧接させた請求項3に記載のピンブロック。   Each of the probes is disposed under an arrangement relationship in which the open end surface of the large-diameter support portion of the contact pin portion urged in the protruding direction is pushed back toward the guide board side. The pin block according to claim 3, wherein the base end surface of each holding cylinder portion is pressed against the support plate side by a reaction force generated on the support plate. 所要の前記プローブにおける保持筒部の前記基端面と前記支え板が備える各リード線の前記開放端部との間には、少なくとも1以上の導電体を前記貫通孔の長さ方向に沿わせて介在配置した請求項1ないし4のいずれかに記載のピンブロック。

At least one or more conductors are arranged along the length direction of the through hole between the base end surface of the holding cylinder portion in the required probe and the open end portion of each lead wire included in the support plate. The pin block according to any one of claims 1 to 4, wherein the pin block is interposed.

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