JP2005125516A - Ink jet recording head and its manufacturing process - Google Patents

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裕基 但馬
Minoru Nozawa
実 野澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent ink being fed to an ink supply port from oozing out even after long term use in an ink jet recording head comprising a recording element substrate bonded to a supporting member on the surface where the ink supply port opens. <P>SOLUTION: A second recording element substrate H1101 is bonded to a first plate H1200 on the surface where an ink supply port H1102 opens using adhesive H1203. The adhesive H1203 is a UV-curing/thermosetting adhesive containing an ultraviolet absorber causing no UV-curing. At the time of temporary fixing through irradiation with UV-rays in bonding process, outer circumferential part of the second recording element substrate H1101 and the part up to a specified distance from the edge part of the ink supply port H1102 become a UV-curing region H1204 and only a thermosetting region is ensured around the ink supply port H1102. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、記録液を被記録媒体に向かって吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to an ink jet recording head that performs recording by discharging a recording liquid toward a recording medium and a method for manufacturing the same.

これまでのインクジェット記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシュータ)のものと、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシュータ)のものとがある。   Conventional ink jet recording heads use a method (edge shooter) that discharges a recording liquid in parallel to a substrate on which electrothermal transducers are arranged, and a type that is perpendicular to the substrate on which electrothermal transducers are arranged. And a system (side shooter) that discharges the recording liquid.

従来のサイドシュータ方式の一例のインクジェット記録ヘッドの模式図を図9,10に示す。このインクジェット記録ヘッドは、支持部材101上に記録素子基板103が接着剤H1202によって接着されて構成されている。   9 and 10 are schematic views of an ink jet recording head as an example of a conventional side shooter system. This ink jet recording head is configured by adhering a recording element substrate 103 on a support member 101 with an adhesive H1202.

記録素子基板103には、インク供給口106が長溝状の貫通口として形成され、インク供給口106の、記録素子基板103の一面での開口の、長手方向に延びる両縁にそって複数の吐出エネルギー発生素子(例えば、電気熱変換素子)105が配置されている。記録素子基板103の、吐出エネルギー発生素子105が設けられた面上には、各吐出エネルギー発生素子105に対向する位置に吐出口104aが形成された吐出口プレート104が配置されている。   An ink supply port 106 is formed in the recording element substrate 103 as a long groove-like through-hole, and a plurality of ejections are performed along both edges extending in the longitudinal direction of the opening of the ink supply port 106 on one surface of the recording element substrate 103. An energy generation element (for example, electrothermal conversion element) 105 is disposed. On the surface of the recording element substrate 103 on which the ejection energy generating elements 105 are provided, an ejection port plate 104 in which ejection ports 104a are formed at positions facing the ejection energy generating elements 105 is disposed.

一方、支持部材101には、記録素子基板103の各インク供給口106に対応する位置に、貫通口としてインク流路101aが形成されている。インク流路101aは、図に示す例では3つのインク流路101aが並んで形成されており、これらは隔壁101bによって隔てられている。これらのインク流路101aは、例えば、それぞれ異なる色のインクを供給する不図示のインク供給系に接続されており、各インク供給口106に各色のインクが供給され、各インク供給口106の両側の各2列の吐出口104aを1組とした、各組の吐出口群103aから各色のインクが吐出され、各色の画像の記録が行われる。   On the other hand, in the support member 101, ink flow paths 101 a are formed as through holes at positions corresponding to the ink supply ports 106 of the recording element substrate 103. In the example shown in the figure, the ink flow path 101a is formed by arranging three ink flow paths 101a, which are separated by a partition wall 101b. These ink flow paths 101 a are connected to, for example, ink supply systems (not shown) that supply inks of different colors, and the inks of the respective colors are supplied to the ink supply ports 106. Ink of each color is ejected from the ejection port group 103a of each set, each of the two rows of ejection ports 104a, and an image of each color is recorded.

このようなインクジェット記録ヘッドの製造において、記録素子基板103と支持部材101とを組み立てる方法は、例えば、特許文献1に開示されている。この組立方法では、真空吸着フィンガーを用いて記録素子基板103を支持部材101上に精度良く位置決めし、接着材H1202として紫外線・熱硬化併用型の接着剤を用いて記録素子基板103を固定している。このように紫外線・熱硬化併用型の接着剤H1202を用いた接着工程では、紫外線を照射することによって記録素子基板103を仮止めした後に、熱硬化工程に移行して、接着剤H1202を完全硬化させる方法が用いられ、これによって、記録素子基板103と支持部材101を高精度に位置決めして接着することができる。
特開平9−187952号公報
In manufacturing such an ink jet recording head, a method for assembling the recording element substrate 103 and the support member 101 is disclosed in, for example, Patent Document 1. In this assembling method, the recording element substrate 103 is accurately positioned on the support member 101 using a vacuum suction finger, and the recording element substrate 103 is fixed using an ultraviolet / thermosetting adhesive as the adhesive H1202. Yes. As described above, in the bonding process using the ultraviolet / thermosetting adhesive H1202, the recording element substrate 103 is temporarily fixed by irradiating ultraviolet rays, and then the process proceeds to the thermosetting process to completely cure the adhesive H1202. In this way, the recording element substrate 103 and the support member 101 can be positioned and bonded with high accuracy.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-188792

上述したような記録素子基板、特に複数の吐出口群103aを備えた記録素子基板103においては、1枚のシリコンウエハから切り出す記録素子基板103の数を増やしてコストダウンを図るため、記録素子基板103を小型化する場合や、あるいは記録素子基板103を大型化することなく吐出口群103aの数を増やそうとする場合には、複数の吐出口群103aを高密度に配列し、したがって複数のインク供給口106を互いのピッチを小さくして高密度に配列する必要がある。インク供給口106のピッチを小さくすると、それに合わせて支持部材101の隔壁101bを薄くする必要があるが、このように隔壁101bを薄くすることには、次のような課題がある。   In the recording element substrate as described above, particularly in the recording element substrate 103 having a plurality of ejection port groups 103a, the number of the recording element substrates 103 cut out from one silicon wafer is increased to reduce the cost. When downsizing 103 or increasing the number of ejection port groups 103a without increasing the size of the recording element substrate 103, a plurality of ejection port groups 103a are arranged with high density, and thus a plurality of inks are arranged. It is necessary to arrange the supply ports 106 at a high density by reducing the pitch between them. When the pitch of the ink supply ports 106 is reduced, it is necessary to make the partition wall 101b of the support member 101 thinner accordingly. However, there are the following problems in making the partition wall 101b thinner in this way.

すなわち、このように隔壁101bが薄い場合には、インクジェット記録ヘッドを長期間にわたって使用した時に、インク供給口106の間の部分で接着剤の微小剥れが発生し、隔壁で隔てられていたインクが混じるという不具合が発生するおそれがあった。   That is, when the partition wall 101b is thin as described above, when the ink jet recording head is used for a long period of time, a minute peeling of the adhesive occurs in a portion between the ink supply ports 106, and the ink separated by the partition wall. There was a risk of a problem of being mixed.

これについて、本発明者らは、鋭意検討の結果、従来技術において用いられている紫外線・熱硬化併用型の接着剤H1202には、記録素子基板103との接着力を向上させる目的でシランカップリング剤が少量内添されているが、シランカップリング剤の効果は熱硬化させた時に発揮され、事前に紫外線硬化された部分ではシランカップリング剤の効果が発揮されにくくなり、このことが、インク供給口106の間の部分で接着剤の微小剥れを生じさせる一因となっていることを見出した。すなわち、隔壁101bが薄い場合には、記録素子基板103と支持部材101を前述のように接着する際、紫外線を照射することによって仮止めする時に、紫外線が、乱反射するなどして、記録素子基板103のかなり内部まで侵入して接着剤H1202を紫外線硬化させてしまい、その結果、インク供給口106の間の部分などでも接着力が低下するというものである。   As a result of intensive studies, the inventors of the present invention have used silane coupling for the purpose of improving the adhesive force with the recording element substrate 103 in the ultraviolet / thermosetting adhesive H1202 used in the prior art. Although the agent is added in a small amount, the effect of the silane coupling agent is exhibited when it is thermally cured, and the effect of the silane coupling agent is less likely to be exerted in the part that has been UV-cured in advance. It has been found that this is one factor that causes minute peeling of the adhesive at the portion between the supply ports 106. That is, when the partition wall 101b is thin, when the recording element substrate 103 and the support member 101 are bonded as described above, the ultraviolet light is irregularly reflected when temporarily bonded by irradiating the ultraviolet light. The adhesive H1202 penetrates into the interior of the main body 103, and the adhesive H1202 is cured by ultraviolet rays. As a result, the adhesive force also decreases at the portion between the ink supply ports 106.

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、特に、複数の吐出口群を高密度に配列し、したがって複数のインク供給口のピッチを小さくした場合、長期間使用後でも、各インク供給口に供給されるインクが染み出し、漏洩したり混ざったりしないようにし、長期にわたって高い信頼性で動作可能なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is, in particular, for a long period of time when a plurality of ejection port groups are arranged at high density, and therefore the pitch of the plurality of ink supply ports is reduced. It is an object of the present invention to provide an ink jet recording head capable of operating with high reliability over a long period of time so that the ink supplied to each ink supply port oozes out and does not leak or mix even after use.

また、本発明の他の目的は、上述のようにインクジェット記録ヘッドの信頼性を高めることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an ink jet recording head that can improve the reliability of the ink jet recording head as described above.

上述の目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズルからインクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出されるインクの供給を受けるインク供給口と、を備える記録素子基板と、インク供給口と接続される開口を備え、記録素子基板を、前記インク供給口と前記開口とが連通して接合されるように支持する支持部材と、を有し、記録素子基板と支持部材との接合に、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤が用いられているインクジェット記録ヘッドであって、接着剤は、紫外線を吸収し、かつ紫外線による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤を含んでいることを特徴とする。   In order to achieve the above-described object, an ink jet recording head of the present invention includes a discharge energy generating element that generates energy for discharging ink from a nozzle, and an ink supply port that receives supply of discharged ink. A recording element substrate, comprising: an element substrate; and a support member that includes an opening connected to the ink supply port, and supports the recording element substrate so that the ink supply port and the opening communicate with each other. The inkjet recording head uses an ultraviolet / thermosetting adhesive that is cured by both irradiation and heating of ultraviolet rays for bonding between the support member and the support member. It contains an ultraviolet absorber that does not cause a curing reaction due to.

この構成によれば、記録素子基板と支持部材との接合に、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤を用いているので、両者を接着する際、まず、両者を位置決めした状態で紫外線を照射して仮止めし、その後、接着剤を熱硬化させることによって、両者を精度良く位置決めして接着することができる。この際、紫外線を照射すると、紫外線は、記録素子基板の外周部に達し、また、場合によっては、乱反射して、インク供給口の縁の部分に達するが、これらの部分から内側に進入するにつれて、紫外線吸収剤によって吸収され、したがって、これらの部分より内側へは一定の距離以上進入しないようにすることができる。このため、インク供給口の周囲に、接着剤が熱硬化のみによって硬化された部分を形成することができる。接着剤の、熱硬化のみによって硬化される部分では、シランカップリング剤を有効に作用させ、強固な接合を行うことができる。   According to this configuration, since the ultraviolet / thermosetting adhesive that cures by both ultraviolet irradiation and heating is used for joining the recording element substrate and the support member, when bonding them together, In a state where both are positioned, ultraviolet rays are irradiated and temporarily fixed, and then the adhesive is thermally cured, whereby both can be positioned and bonded with high accuracy. At this time, when the ultraviolet rays are irradiated, the ultraviolet rays reach the outer peripheral portion of the recording element substrate, and in some cases, diffusely reflect and reach the edge portion of the ink supply port. It is absorbed by the ultraviolet absorber, and therefore, it is possible to prevent the inward entry of these portions beyond a certain distance. Therefore, a portion where the adhesive is cured only by thermal curing can be formed around the ink supply port. In the portion of the adhesive that is cured only by thermal curing, the silane coupling agent can be effectively acted on to perform strong bonding.

本発明のインクジェット記録ヘッドにおいて、接着剤における紫外線吸収剤の添加量は、他の固形分に対して0.01〜10%の範囲とするのが好ましい。これによって、紫外線吸収剤による紫外線吸収作用を有効に生じさせ、かつ、紫外線吸収剤のために接着力が低下するのを回避することができる。   In the ink jet recording head of the present invention, the amount of the ultraviolet absorber added to the adhesive is preferably in the range of 0.01 to 10% with respect to the other solid content. As a result, it is possible to effectively cause the ultraviolet absorbing action by the ultraviolet absorbent and to prevent the adhesive force from being lowered due to the ultraviolet absorbent.

また、本発明による、インクジェット記録ヘッドの製造方法は、ノズルからインクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出されるインクの供給を受けるインク供給口と、を備える記録素子基板を、記録素子基板のインク供給口に接続する開口が形成された支持部材上に接合する工程を含む、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記支持部材上に、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤を転写する工程と、支持部材上に、記録素子基板を位置決めして配置し、その状態で紫外線を照射して、記録素子基板を支持部材上に仮止めする工程と、接着剤を加熱硬化させる工程と、を有し、接着剤として、紫外線を吸収し、かつ紫外線による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤が含まれたものを用いることを特徴とする。   According to the present invention, a method for manufacturing an ink jet recording head includes a recording element substrate comprising: an ejection energy generating element that generates energy for ejecting ink from a nozzle; and an ink supply port that receives supply of ejected ink. A method for manufacturing an ink jet recording head, comprising the step of joining a support member having an opening connected to an ink supply port of a recording element substrate, wherein both ultraviolet irradiation and heating are performed on the support member. The step of transferring the UV / thermosetting adhesive that cures at the same time, and the recording element substrate is positioned and arranged on the support member, and the recording element substrate is irradiated on the support member in that state, and the recording element substrate is placed on the support member. UV absorption that has a step of temporarily fixing and a step of heat-curing the adhesive, and absorbs ultraviolet rays and does not cause a curing reaction due to ultraviolet rays. Characterized by using what was included.

この構成による製造方法によれば、記録素子基板と支持部材とを、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤を用いて接合するので、両者を位置決めした状態で紫外線を照射して仮止めし、その後、接着剤を熱硬化させることによって、両者を精度良く位置決めして接着することができる。   According to the manufacturing method of this configuration, the recording element substrate and the support member are bonded together using an ultraviolet / thermosetting adhesive that cures by both ultraviolet irradiation and heating. By temporarily irradiating with ultraviolet rays and then thermally curing the adhesive, both can be positioned and bonded with high accuracy.

本発明によれば、紫外線・熱硬化併用型の接着剤を用いることによって、記録素子基板を支持部材上に精度良く位置決めして接合することを可能としつつ、接着剤に紫外線吸収剤を添加することによって、紫外線照射した際に、紫外線が乱反射されるなどしても、インク供給口の周囲に、接着剤が熱硬化のみによって硬化され、したがって、シランカップリング剤を有効に作用させて強力な接合が行われる領域を確保して、インク供給口部分からのインクの染み出しを長期にわたって、高い信頼性で防止することができる。   According to the present invention, an ultraviolet absorber is added to the adhesive while allowing the recording element substrate to be accurately positioned and bonded on the support member by using an ultraviolet / thermosetting adhesive. Thus, even when ultraviolet rays are irregularly reflected when irradiated with ultraviolet rays, the adhesive is cured only by thermal curing around the ink supply port, and therefore, the silane coupling agent is effectively acted on and powerful. A region where the bonding is performed can be secured, and the bleeding of the ink from the ink supply port portion can be prevented with high reliability over a long period.

したがって、本発明によれば、複数の吐出口群を高密度に配列し、そのために複数のインク供給口のピッチを小さくした場合でも、各インク供給口に供給されるインク同士が染み出し、漏洩したり混ざったりしないようにし、長期にわたって高い信頼性で動作可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。また、本発明では、このようなインクジェット記録ヘッドの構成を、接着剤の組成の一部を変更することによって得ているため、製造コストが高くなることもなく、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを安価で容易に製造することが可能である。   Therefore, according to the present invention, even when a plurality of ejection port groups are arranged at a high density and therefore the pitch of the plurality of ink supply ports is reduced, the ink supplied to each ink supply port oozes out and leaks. Therefore, it is possible to provide an ink jet recording head that can operate with high reliability over a long period of time. Further, in the present invention, since the configuration of the ink jet recording head is obtained by changing a part of the composition of the adhesive, the manufacturing cost does not increase and the ink jet recording head of the present invention is manufactured. According to the method, it is possible to easily manufacture a highly reliable ink jet recording head at low cost.

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

最初に、図2〜8を参照して、本発明を適用するのに好適な一例の記録ヘッドカートリッジH1000について説明する。   First, an example of a recording head cartridge H1000 suitable for applying the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施形態のインクジェット記録ヘッドを含む記録ヘッドH1001は、図2から分かるように、記録ヘッドカートリッジH1000を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジH1000は、記録ヘッドH1001と、これに着脱自在に保持された、記録ヘッドH1001に供給するインクを収容するインクタンクH1900によって構成されている。この記録ヘッドカートリッジH1000は、インクジェット記録装置本体に取り付けられたキャリッジ(不図示)に、その位置決め手段および電気的接点を介して着脱自在に装着されて使用される。   As can be seen from FIG. 2, the recording head H1001 including the ink jet recording head according to the present embodiment is one constituent element of the recording head cartridge H1000. The recording head cartridge H1000 is detachably attached to the recording head H1001. It is configured by an ink tank H1900 that holds the ink to be supplied to the recording head H1001. The recording head cartridge H1000 is used by being detachably attached to a carriage (not shown) attached to the main body of the ink jet recording apparatus via its positioning means and electrical contacts.

インクタンクH1900としては、それぞれブラック、シアン、マゼンタ、イエローのインク用のブラックインクタンクH1901、シアンインクタンクH1902、マゼンタインクタンクH1903、イエローインクタンクH1904の4つが、記録ヘッドH1001に対してそれぞれ着脱自在に設けられている。したがって、インクタンクH1900のそれぞれは独立して交換可能であり、それによって、インクジェット記録装置による画像記録のランニングコストを低く抑えることを可能としている。   As the ink tank H1900, there are four black ink tanks H1901, black ink tank H1902, magenta ink tank H1903, and yellow ink tank H1904 for black, cyan, magenta, and yellow ink, respectively, which are detachable from the recording head H1001. Is provided. Accordingly, each of the ink tanks H1900 can be replaced independently, thereby making it possible to keep the running cost of image recording by the ink jet recording apparatus low.

以下、記録ヘッドH1001についてより詳細に説明する。
<1>記録ヘッド
記録ヘッドH1001は、インクに膜沸騰を生じさせるための熱エネルギーを電気信号に応じて生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット(登録商標)方式のサイドシュータ型の記録ヘッドである。記録ヘッドH1001は、図3,4の分解斜視図に示すように、大きく分けて、記録素子ユニットH1002と、インク供給ユニットH1003と、タンクホルダーH2000とから構成されている。
<1−1>記録素子ユニット
記録素子ユニットH1002は、第1のプレートH1200の一面上に、第1の記録素子基板H1100、第2の記録素子基板H1101、および第2のプレートH1400が接合され、さらに、第1の記録素子基板H1100、第2の記録素子基板H1101に、電気配線テープH1300を介して電気コンタクト基板H2200が接続されて構成されている。
Hereinafter, the recording head H1001 will be described in more detail.
<1> Recording Head The recording head H1001 is a bubble jet (registered trademark) side shooter type that performs recording using an electrothermal transducer that generates thermal energy for causing film boiling in ink according to an electrical signal. Recording head. As shown in the exploded perspective views of FIGS. 3 and 4, the recording head H1001 is roughly composed of a recording element unit H1002, an ink supply unit H1003, and a tank holder H2000.
<1-1> Recording Element Unit In the recording element unit H1002, the first recording element substrate H1100, the second recording element substrate H1101, and the second plate H1400 are joined on one surface of the first plate H1200. Further, an electrical contact substrate H2200 is connected to the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 via an electrical wiring tape H1300.

図5は、第1の記録素子基板H1100の構成を示す、一部を破断して示す斜視図である。同図に示すように、第1の記録素子基板H1100は、例えば、厚さ0.5〜1mmのSi基板H1110を有している。Si基板H1110には、インク流路として機能する長溝状の貫通口であるインク供給口H1102が形成されている。インク供給口H1102は、Siの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの手法で形成することができる。   FIG. 5 is a partially cutaway perspective view showing the configuration of the first recording element substrate H1100. As shown in the drawing, the first recording element substrate H1100 has, for example, a Si substrate H1110 having a thickness of 0.5 to 1 mm. The Si substrate H1110 is formed with an ink supply port H1102 that is a long groove-like through-hole that functions as an ink flow path. The ink supply port H1102 can be formed by a method such as anisotropic etching or sandblasting using the crystal orientation of Si.

Si基板H1110の一面の、インク供給口H1102を挟んだ両側には、吐出エネルギー発生素子である電気熱変換素子H1103がそれぞれ1列ずつ、両列の電気熱変換素子H1103が千鳥状の配列を形成するように設けられている。また、Si基板H1110上には、電気熱変換素子H1103に電力を供給する、Al等によって構成される不図示の電気配線が形成されており、これらの電気熱変換素子H1103と電気配線は、成膜技術により形成されている。さらに、Si基板H1110上には、電気配線テープH1300の電極端子H1302に接続されて電気配線に電力を供給するための電極部H1104が長手方向の両端部付近に設けられており、電極部H1104にはAu等のバンプH1105が配列されている。   On one side of the Si substrate H1110 across the ink supply port H1102, one row of electrothermal conversion elements H1103 as ejection energy generating elements is formed, and the electrothermal conversion elements H1103 in both rows form a staggered arrangement. It is provided to do. On the Si substrate H1110, electric wiring (not shown) made of Al or the like for supplying electric power to the electrothermal conversion element H1103 is formed. The electrothermal conversion element H1103 and the electric wiring are not formed. It is formed by membrane technology. Further, on the Si substrate H1110, electrode portions H1104 connected to the electrode terminals H1302 of the electric wiring tape H1300 for supplying electric power to the electric wiring are provided in the vicinity of both ends in the longitudinal direction. Bumps H1105 such as Au are arranged.

また、Si基板H1110上には、フォトリソグラフィー技術を用いてパターニングされた樹脂材料によって、各電気熱変換素子H1103に対向する位置に配置された吐出口H1107からなる吐出口群H1108が形成され、また、インク供給口H1102から各吐出口H1107への複数のインク流路を隔てるインク流路壁H1106が形成されている。したがって、これらのインク流路および吐出口H1107によって構成されるノズル内にインク供給口H1102を介してインクが充填された状態で、各電気熱変換素子H1103を選択的に駆動することによって、各電気熱変換素子H1103の部分でインクに気泡が発生し、それによって、各吐出口H1107からインクが選択的に吐出される。   Further, on the Si substrate H1110, a discharge port group H1108 including discharge ports H1107 arranged at positions facing the respective electrothermal transducers H1103 is formed of a resin material patterned by using a photolithography technique. In addition, an ink flow path wall H1106 that separates a plurality of ink flow paths from the ink supply port H1102 to each of the ejection ports H1107 is formed. Therefore, by selectively driving each electrothermal conversion element H1103 in a state where the nozzles constituted by these ink flow paths and the ejection ports H1107 are filled with ink via the ink supply port H1102, each electric heat conversion element H1103 is selectively driven. Bubbles are generated in the ink at the portion of the heat conversion element H1103, whereby the ink is selectively ejected from each ejection port H1107.

また、図6は、第2の記録素子基板H1101を示す、一部を破断して示す斜視図である。同図において、第1の記録素子基板H1101と同様の構成要素については、便宜上同一の符合を付している。   FIG. 6 is a perspective view showing a second recording element substrate H1101 with a part thereof broken. In the figure, the same reference numerals are given to the same components as those of the first recording element substrate H1101 for convenience.

第2の記録素子基板H1101は、3色のインクを吐出させるための記録素子基板であり、3個のインク供給口H1102が並列して形成されており、各インク供給口1102を挟んだ両側に電気熱変換素子H1103とインク吐出口H1107が形成されている。この第2の記録素子基板H1101においても、Si基板H1110にインク供給口H1102や電気熱変換素子H1103の他、電気配線、Au等のバンプH1105からなる電極部H1104などが形成され、その上に、フォトリソ技術を用いてパターニングされた樹脂材料によってインク流路やインク吐出口が形成されているのは、第1の記録素子基板H1100と同様である。   The second recording element substrate H1101 is a recording element substrate for discharging ink of three colors, and has three ink supply ports H1102 formed in parallel, on both sides of each ink supply port 1102. An electrothermal conversion element H1103 and an ink discharge port H1107 are formed. Also in the second recording element substrate H1101, in addition to the ink supply port H1102 and the electrothermal conversion element H1103, an electrode portion H1104 made of bumps H1105 such as Au is formed on the Si substrate H1110, and further, The ink flow path and the ink discharge port are formed by the resin material patterned using the photolithography technique, as in the first recording element substrate H1100.

ここで再び図4を参照する。第1のプレートH1200は、例えば、厚さ0.5〜10mmのアルミナ(Al23)材料で形成されている。なお、第1のプレートH1200の素材は、アルミナに限られることないが、記録素子基板H1100の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板H1100材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料から形成するのが好ましい。第1のプレートH1200のこのような素材としては、例えば、シリコン(Si)、窒化アルミニウム(AlN)、ジルコニア、窒化珪素(Si34)、炭化珪素(SiC)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)を用いることができる。 Reference is again made to FIG. The first plate H1200 is made of, for example, an alumina (Al 2 O 3 ) material having a thickness of 0.5 to 10 mm. The material of the first plate H1200 is not limited to alumina, but has a linear expansion coefficient equivalent to the linear expansion coefficient of the material of the recording element substrate H1100 and the thermal conductivity of the recording element substrate H1100 material. It is preferable to form it from a material having a thermal conductivity equal to or greater than. Examples of such a material of the first plate H1200 include silicon (Si), aluminum nitride (AlN), zirconia, silicon nitride (Si 3 N 4 ), silicon carbide (SiC), molybdenum (Mo), tungsten ( W) can be used.

第1のプレートH1200には、第1の記録素子基板H1100にブラックのインクを供給するためのものと、第2の記録素子基板H1101にシアン、マゼンタ、イエローのインクをそれぞれ供給するためのものとの、全部で4つのインク供給口H1201が形成されている。第1、第2の記録素子基板H1100,H1101は、それらの各インク供給口1102が第1のプレートH1200の、対応するインク供給口H1201にそれぞれ接続されるように位置精度良く接着固定されている。この接着に用いる接着剤H1203としては、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。   The first plate H1200 is for supplying black ink to the first recording element substrate H1100, and is for supplying cyan, magenta, and yellow ink to the second recording element substrate H1101, respectively. A total of four ink supply ports H1201 are formed. The first and second recording element substrates H1100 and H1101 are bonded and fixed with high positional accuracy so that their ink supply ports 1102 are connected to the corresponding ink supply ports H1201 of the first plate H1200, respectively. . As the adhesive H1203 used for this adhesion, an adhesive having a low viscosity, a low curing temperature, a curing in a short time, a relatively high hardness after curing, and an ink resistance is desirable.

第2のプレートH1400は、例えば、厚さ0.5〜1mmの一枚の板状部材であり、例えばアルミナ(Al23)等のセラミックや、Al、SUSなどの金属材料で形成されている。第2のプレートH1400には、第1のプレートH1200に接着固定された第1の記録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101に対応する位置に、対応する記録素子基板H1100,H1101の外形寸法よりも大きな開口部が形成されている。この第2のプレートH1400は、第1のプレートH1200に第2の接着剤により接着され、この上に電気配線テープH1300の裏面が第3の接着剤により接着固定されている。この際、第2のプレートH1400は、電気配線テープH1300を第1の記録素子基板H1100および第2の記録素子基板H1101に、電気配線テープH1300が接着固定された平面上で電気接続できるようにする働きをする。 The second plate H1400 is, for example, a single plate-like member having a thickness of 0.5 to 1 mm, and is formed of a ceramic material such as alumina (Al 2 O 3 ) or a metal material such as Al or SUS. Yes. On the second plate H1400, the outer dimensions of the corresponding recording element substrates H1100 and H1101 at positions corresponding to the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 that are bonded and fixed to the first plate H1200. A larger opening is formed. The second plate H1400 is bonded to the first plate H1200 with a second adhesive, and the back surface of the electric wiring tape H1300 is bonded and fixed thereon with a third adhesive. At this time, the second plate H1400 enables the electrical wiring tape H1300 to be electrically connected to the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 on a plane on which the electrical wiring tape H1300 is bonded and fixed. Work.

電気配線テープH1300は、さらに、第1のプレートH1200の一側面で折り曲げられ、この側面にも第3の接着剤によって接着されている。この第3の接着剤としは、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ10〜100μmの熱硬化接着剤が使用される。   The electric wiring tape H1300 is further bent on one side surface of the first plate H1200, and this side surface is also bonded with a third adhesive. As the third adhesive, for example, a thermosetting adhesive having a thickness of 10 to 100 μm mainly composed of an epoxy resin is used.

電気配線テープH1300は、インクを吐出するための電気信号を第1の記録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101に伝達する働きをする。電気配線テープH1300には、それぞれの記録素子基板H1100,H1101の吐出口面を露出させる開口が形成されており、各開口の縁に、各記録素子基板H1100,H1101の電極部H1104に対応する電極端子H1302が形成されている。また、電気配線テープH1300の一端部には、記録ヘッドカートリッジH1100をキャリッジに搭載した状態で、キャリッジの端子と接続され、本体装置からの電気信号を受け取る働きをする外部信号入力端子H1301を有する電気コンタクト基板H2200と電気的接続をおこなうための電気端子接続部H1303が形成されている。電極端子H1302と電気端子接続部H1303は連続した銅箔の配線パターンによってつながれている。   The electrical wiring tape H1300 functions to transmit an electrical signal for ejecting ink to the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101. The electrical wiring tape H1300 is formed with openings that expose the discharge port surfaces of the recording element substrates H1100 and H1101, and electrodes corresponding to the electrode portions H1104 of the recording element substrates H1100 and H1101 at the edges of the openings. A terminal H1302 is formed. In addition, an electrical wiring tape H1300 has an electrical signal having an external signal input terminal H1301 connected to a terminal of the carriage and receiving an electrical signal from the main body in a state where the recording head cartridge H1100 is mounted on the carriage. An electrical terminal connection portion H1303 for electrical connection with the contact substrate H2200 is formed. The electrode terminal H1302 and the electric terminal connection portion H1303 are connected by a continuous wiring pattern of copper foil.

電気配線テープH1300と第1の記録素子基板H1100および第2の記録素子基板H1101との電気的な接続は、例えば、記録素子基板H1100,H1101の電極部1104と電気配線テープH1300の電極端子H1302を熱超音波圧着法により電気接合することによって行うことができる。第1の記録素子基板H1100および第2の記録素子基板H1101と電気配線テープH1300との電気接続部分は、第1の封止剤H1307および第2の封止剤H1308(図3参照)により封止されており、これによって、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。この際、第1の封止剤H1307は、主に電気配線テープH1300の電極端子H1302と記録素子基板H1100,H1101の電極部H1104との接続部の裏面側と記録素子基板1100,H1101の外周部分を封止し、第2の封止剤H1308は、この接続部の表側を封止している。また、電気配線テープH1300と電気コンタクト基板H2200との電気的接続は、例えば、異方性導電フィルムを用いて熱圧着することによって行うことができる。
<1−2>インク供給ユニット
インク供給ユニットH1003は、図4に示すように、インク供給部材H1500、流路形成部材H1600、ジョイントシール部材H2300、フィルターH1700、シールゴムH1800から構成されている。
The electrical connection between the electrical wiring tape H1300, the first recording element substrate H1100, and the second recording element substrate H1101 includes, for example, the electrode portion 1104 of the recording element substrates H1100 and H1101 and the electrode terminal H1302 of the electrical wiring tape H1300. It can be performed by electrical bonding by a thermosonic bonding method. Electrical connection portions between the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 and the electric wiring tape H1300 are sealed with a first sealing agent H1307 and a second sealing agent H1308 (see FIG. 3). This protects the electrical connection from ink corrosion and external impacts. At this time, the first sealant H1307 mainly includes the back surface side of the connection portion between the electrode terminal H1302 of the electric wiring tape H1300 and the electrode portion H1104 of the recording element substrates H1100 and H1101, and the outer peripheral portion of the recording element substrates 1100 and H1101. The second sealant H1308 seals the front side of the connection portion. The electrical connection between the electrical wiring tape H1300 and the electrical contact substrate H2200 can be performed by, for example, thermocompression bonding using an anisotropic conductive film.
<1-2> Ink Supply Unit As shown in FIG. 4, the ink supply unit H1003 includes an ink supply member H1500, a flow path forming member H1600, a joint seal member H2300, a filter H1700, and a seal rubber H1800.

インク供給部材H1500は、例えば、樹脂成形により形成されている。この樹脂成形には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを5〜40%混入した樹脂材料を使用することが望ましい。   The ink supply member H1500 is formed by, for example, resin molding. In this resin molding, it is desirable to use a resin material mixed with 5 to 40% of glass filler in order to improve the shape rigidity.

インク供給部材H1500は、流路形成部材H1600を超音波溶着することにより、図7に示すように、インクタンクH1900から記録素子ユニットH1002に通じるインク流路H1501を形成し、主として、インクタンクH1900から記録素子ユニットH1002にインクを導く働きをする。インクタンクH1900のインク供給口H1907と接続される、インク供給部材H1500のジョイント部H1520には、外部からのゴミの進入を防ぐフィルターH1700が溶着により接合されており、さらに、ジョイント部H1520の部分からのインクの蒸発を防止するために、シールゴムH1800が装着されている。   As shown in FIG. 7, the ink supply member H1500 ultrasonically welds the flow path forming member H1600 to form an ink flow path H1501 leading from the ink tank H1900 to the recording element unit H1002, and mainly from the ink tank H1900. It serves to guide ink to the recording element unit H1002. A filter H1700 for preventing entry of dust from the outside is joined to a joint portion H1520 of the ink supply member H1500 connected to the ink supply port H1907 of the ink tank H1900 by welding, and further from the joint portion H1520 portion. In order to prevent the ink from evaporating, a seal rubber H1800 is attached.

さらに、インク供給部材H1500は、タンクホルダーH2000と連結されて、着脱自在のインクタンクH1900を保持する保持部を構成する働きもしている。インクタンクH1900には、保持部の所定位置に装着するための機構として、その外周に、第1の爪H1909、第2の爪H1910、弾性変形可能な可動レバーH1912に形成された第3の爪H1911,およびタンク位置決めピンH1908が形成されている。これらにそれぞれ対応して、インク供給部材H1500には、第1の穴H1503、第2の穴H1504が形成され、タンクホルダーH2000には、第3の穴H1505、タンク位置決め穴H1502が形成されている。   Further, the ink supply member H1500 is connected to the tank holder H2000, and also functions as a holding unit that holds the removable ink tank H1900. The ink tank H1900 has a first claw H1909, a second claw H1910, and a third claw formed on a movable lever H1912, which can be elastically deformed, as a mechanism for mounting the holding unit at a predetermined position. H1911 and a tank positioning pin H1908 are formed. Corresponding to these, the ink supply member H1500 has a first hole H1503 and a second hole H1504, and the tank holder H2000 has a third hole H1505 and a tank positioning hole H1502. .

また、インク供給部材H1500は、記録ヘッドカートリッジH1000をインクジェット記録装置本体のキャリッジの所定位置に装着固定できるようにする機能も有しており、このために、X方向(キャリッジスキャン方向)突き当て部H1509、Y方向(被記録媒体搬送方向)突き当て部H1510、Z方向(インク吐出方向)突き当て部H1511を備えている(図4,8参照)。さらに、流路形成部材H1600には、記録ヘッドカートリッジH1000をインクジェット記録装置本体のキャリッジの装着位置に案内するための、X方向両側に突出する装着ガイドH1601が形成され、インク供給部材H1500の上端は、記録ヘッドカートリッジH1000を、キャリッジに設けられたヘッドセットレバー(不図示)によって押さえてキャリッジに装着固定するための係合部H1508が設けられている。   The ink supply member H1500 also has a function of allowing the recording head cartridge H1000 to be mounted and fixed at a predetermined position on the carriage of the ink jet recording apparatus main body. For this purpose, the X direction (carriage scan direction) abutting portion H1509, a Y direction (recording medium conveyance direction) abutting portion H1510, and a Z direction (ink discharge direction) abutting portion H1511 (see FIGS. 4 and 8). Further, the flow path forming member H1600 is formed with mounting guides H1601 that protrude on both sides in the X direction for guiding the recording head cartridge H1000 to the mounting position of the carriage of the ink jet recording apparatus main body, and the upper end of the ink supply member H1500 is An engaging portion H1508 is provided for pressing the recording head cartridge H1000 by a head set lever (not shown) provided on the carriage and fixing the recording head cartridge H1000 to the carriage.

また、インク供給部材H1500の一側面には、記録素子ユニットH1002の電気コンタクト基板H2200が位置決め固定される端子固定部H1512が設けられている。この端子固定部H1512およびその周囲には複数のリブが設けられ、端子固定部H1512が位置する面の剛性が高められている。
<1−3>記録ヘッドユニット、インク供給ユニット、およびタンクホルダーの結合
記録ヘッドH1001は、記録素子ユニットH1002をインク供給ユニットH1003に結合し、さらにタンクホルダーH2000と結合することにより完成する。これらの結合は以下のように行われる。
In addition, a terminal fixing portion H1512 on which the electrical contact substrate H2200 of the recording element unit H1002 is positioned and fixed is provided on one side surface of the ink supply member H1500. A plurality of ribs are provided around the terminal fixing portion H1512 and the periphery thereof to increase the rigidity of the surface on which the terminal fixing portion H1512 is located.
<1-3> Coupling of recording head unit, ink supply unit, and tank holder The recording head H1001 is completed by coupling the recording element unit H1002 to the ink supply unit H1003 and further to the tank holder H2000. These couplings are performed as follows.

まず、記録素子ユニットH1002とインク供給ユニットH1003とは、ビスH2400(図3参照)を、第1のプレートH1200のビス止め部H1206に形成された凹部の部分を通し、インク供給部材H1517の底面のビス止めボス部H1517にねじ込むことによって結合される。この際、記録素子ユニットH1002のインク供給口(第1のプレートH1200のインク供給口H1201)とインク供給ユニットH1003のインク供給口(流路形成部材H1600のインク導入口H1602)をインクがリークしないように連通させるために、ジョイントシール部材H2300を第1のプレートH1200と流路形成部材H1600の間に挟んで、各部材同士が圧着される。また、この結合時には、記録素子ユニットH1002は、インク供給ユニットH1003のX方向、Y方向、Z方向の基準位置に対して正確に位置決めされて固定される。   First, the recording element unit H1002 and the ink supply unit H1003 pass a screw H2400 (see FIG. 3) through the concave portion formed in the screw stopper H1206 of the first plate H1200, and the bottom of the ink supply member H1517. It is connected by screwing into the screw fixing boss H1517. At this time, ink does not leak through the ink supply port of the recording element unit H1002 (ink supply port H1201 of the first plate H1200) and the ink supply port of the ink supply unit H1003 (ink introduction port H1602 of the flow path forming member H1600). In order to communicate with each other, the joint seal member H2300 is sandwiched between the first plate H1200 and the flow path forming member H1600, and the respective members are pressure-bonded. At this time, the recording element unit H1002 is accurately positioned and fixed with respect to the reference positions of the ink supply unit H1003 in the X direction, Y direction, and Z direction.

そして、記録素子ユニットH1002の電気コンタクト基板H2200は、インク供給部材H1500の一側面に設けられた端子固定部H1512に固定される。端子固定部H1512には、2つの端子位置決めピンH1515が設けられており、これらを電気コンタクト基板H2200の2つの端子位置決め穴H1309に通すことによって、電気コンタクト基板H2200は位置決めされる。電気コンタクト基板H2200の固定は、図に示す例では、端子固定部H1512に設けられた端子結合ピンH1516を電気コンタクト基板H2200の端子結合穴H1310に通してかしめることによって実施できるが、他の固定手段を用いて固定してもよい。   The electrical contact substrate H2200 of the recording element unit H1002 is fixed to a terminal fixing portion H1512 provided on one side surface of the ink supply member H1500. The terminal fixing portion H1512 is provided with two terminal positioning pins H1515, and the electrical contact substrate H2200 is positioned by passing these through the two terminal positioning holes H1309 of the electrical contact substrate H2200. In the example shown in the figure, the electrical contact substrate H2200 can be fixed by caulking the terminal coupling pin H1516 provided in the terminal fixing portion H1512 through the terminal coupling hole H1310 of the electrical contact substrate H2200. You may fix using a means.

このようにして、記録素子ユニットH1002とインク供給ユニットH1003を結合させたものの模式図を図8に示す。記録ヘッドH1001は、さらにインク供給部材H1500の、タンクホルダーH2000との結合穴および結合部をタンクホルダーH2000に勘合させてタンクホルダーH2000を結合することにより完成する。   FIG. 8 shows a schematic diagram of the recording element unit H1002 and the ink supply unit H1003 combined in this manner. The recording head H1001 is further completed by coupling the tank holder H2000 by fitting the coupling hole and coupling portion of the ink supply member H1500 with the tank holder H2000 into the tank holder H2000.

次に、このような形態の記録ヘッドカートリッジH1000において、記録素子基板H1100,H1101と、その支持部材である第1のプレートH1200との接着の信頼性を向上させる、本実施形態の構成について図1を参照して説明する。本実施形態の構成は、特に、複数のインク供給口H1102が形成され、このために、インク供給口H1102同士の間に、比較的狭い接着領域しかない場合においても、接着信頼性を向上させることによって、インク供給口H1102同士の間でインクが混ざるのを、長期使用時にも防止することができるものである。そこで、以下では、複数のインク供給口H1102が形成された第2の記録素子基板H1101の接着について説明するが、第1の記録素子基板H1100についても本実施形態の構成を用いることができるのはもちろんである。図1(a)は第2の記録素子基板H1101と第1のプレートH1200との接着状態を示す透視図であり、図1(b)は図1(a)の中心線A−Aに沿った断面図である。   Next, in the recording head cartridge H1000 having such a configuration, the configuration of this embodiment for improving the reliability of adhesion between the recording element substrates H1100 and H1101 and the first plate H1200 that is the supporting member thereof is shown in FIG. Will be described with reference to FIG. In particular, the configuration of the present embodiment improves the adhesion reliability even when a plurality of ink supply ports H1102 are formed, and therefore there is only a relatively narrow adhesion region between the ink supply ports H1102. Thus, it is possible to prevent ink from being mixed between the ink supply ports H1102 even during long-term use. Therefore, in the following, the adhesion of the second recording element substrate H1101 formed with a plurality of ink supply ports H1102 will be described. However, the configuration of this embodiment can also be used for the first recording element substrate H1100. Of course. FIG. 1A is a perspective view showing a bonding state between the second recording element substrate H1101 and the first plate H1200, and FIG. 1B is along the center line AA in FIG. It is sectional drawing.

第2の記録素子基板H1101は、前述のように接着剤H1203を用いて第1のプレートH1200に接着固定されている。この接着剤H1203としては、紫外線・熱硬化併用型の接着剤に、紫外線を吸収し、かつ紫外線による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤を均一に含ませたものを用いている。ここで「均一」とは、両剤を混合したものを所要の個所に塗布した場合に、そこに紫外線吸収剤が存在しないといったことがないように、両剤を均一に混ざるように混合したものをいい、実質的に均一となっている状態を表す。   As described above, the second recording element substrate H1101 is bonded and fixed to the first plate H1200 using the adhesive H1203. As the adhesive H1203, an ultraviolet / heat-curing combined adhesive that uniformly absorbs ultraviolet rays and does not cause a curing reaction by ultraviolet rays is used. Here, the term “uniform” refers to a mixture in which both agents are mixed uniformly so that there is no UV absorber present when a mixture of both agents is applied to the required location. Represents a substantially uniform state.

この接着剤H1203を用いた第2の記録素子基板H1101の接着工程は以下のように実施される。   The bonding process of the second recording element substrate H1101 using the adhesive H1203 is performed as follows.

まず、接着剤H1203を第1のプレートH1200上の所定の領域に転写する。次に、第2の記録素子基板H1101を第1のプレートH1200上に位置決めして配置し、第2の記録素子基板H1101と第1のプレートH1200とを互いに押し付ける。次に、紫外線を照射して、接着剤H1203を部分的に紫外線硬化させ、仮止めする。最後に、接着剤H1203を加熱硬化させて、第2の記録素子基板H1101を第1のプレートH1200上に完全に固定する。   First, the adhesive H1203 is transferred to a predetermined area on the first plate H1200. Next, the second recording element substrate H1101 is positioned and arranged on the first plate H1200, and the second recording element substrate H1101 and the first plate H1200 are pressed against each other. Next, ultraviolet rays are irradiated to partially cure the adhesive H1203 with ultraviolet rays and temporarily fix the adhesives. Finally, the adhesive H1203 is cured by heating to completely fix the second recording element substrate H1101 on the first plate H1200.

この接着方法では、紫外線を照射した際、接着剤H1203が瞬時に硬化するので、第2の記録素子基板H1101を、位置ずれを生じさせることなく、精度よく仮止めすることができる。そして、その後の熱硬化工程でも、紫外線硬化による仮止めのために、第2の記録素子基板H1101の位置を所定の位置に保つことができる。したがって、この接着方法によれば、第2の記録素子基板H1101を精度良く位置決めして接合することができる。   In this bonding method, the adhesive H1203 is instantaneously cured when irradiated with ultraviolet rays, so that the second recording element substrate H1101 can be temporarily fixed with high accuracy without causing a positional shift. In the subsequent heat curing step, the position of the second recording element substrate H1101 can be kept at a predetermined position for temporary fixing by ultraviolet curing. Therefore, according to this bonding method, the second recording element substrate H1101 can be accurately positioned and bonded.

この際、紫外線照射による仮止め工程では、照射された紫外線が、第2の記録素子基板H1101の縁部に到達し、また、場合によっては、乱反射されるなどした紫外線が、インク供給口1102の縁部に到達する。しかし、接着剤H1203が紫外線吸収剤を含んでいるため、紫外線は、第2の記録素子基板H1101の縁部およびインク供給口1102の縁部から奥に進入するにつれて吸収され、したがって、内側に行くほど徐々に減衰する。したがって、第2の記録素子基板H1101の縁部およびインク供給口1102の縁部から遠い部分ほど、紫外線硬化に対する熱硬化の比率が高くなる。特に、紫外線は、第2の記録素子基板H1101の縁部およびインク供給口1102の縁部から一定距離以上離れた部分にはほとんど到達しない。このため、紫外線を第2の記録素子基板1101全体に当るように照射したとしても、図に示すように、第2の記録素子基板H1101の縁部およびインク供給口1102の縁部から一定距離内の紫外線硬化領域H1204でのみ、紫外線硬化が行なわれる。   At this time, in the temporary fixing step by ultraviolet irradiation, the irradiated ultraviolet rays reach the edge of the second recording element substrate H1101, and in some cases, the ultraviolet rays that are irregularly reflected, etc. Reach the edge. However, since the adhesive H1203 contains an ultraviolet absorber, the ultraviolet rays are absorbed as they enter from the edge of the second recording element substrate H1101 and the edge of the ink supply port 1102 and thus go inward. It gradually attenuates. Accordingly, the ratio of the thermal curing to the ultraviolet curing increases as the distance from the edge of the second recording element substrate H1101 and the edge of the ink supply port 1102 increases. In particular, the ultraviolet rays hardly reach the edge of the second recording element substrate H1101 and the edge away from the edge of the ink supply port 1102 by a certain distance or more. For this reason, even if the ultraviolet ray is irradiated so as to hit the entire second recording element substrate 1101, it is within a certain distance from the edge of the second recording element substrate H1101 and the edge of the ink supply port 1102 as shown in the figure. The ultraviolet curing is performed only in the ultraviolet curing region H1204.

このようにして、本実施形態の構成では、各インク供給口H1102が、接着剤H1203が、熱硬化のみによって硬化された部分により囲われた状態となるようにすることができる。前述のように、本発明者らは、紫外線・熱硬化併用型の接着剤をこのように熱硬化のみによって硬化させた部分では、一旦紫外線硬化させた部分に比べて、長期間にわたって高い信頼性で強固な接合が維持されることを確認している。したがって、このように、各インク供給口H1102の周囲に、熱硬化のみによって硬化された部分が存在するようにすることによって、インク供給口H1102部分から他のインク供給口H1102の部分や、第2の記録素子基板H1101の周囲の部分へとインクが染み出すのを、長期にわたって高い信頼性で防止することができる。   In this manner, in the configuration of the present embodiment, each ink supply port H1102 can be in a state surrounded by a portion where the adhesive H1203 is cured only by thermal curing. As described above, the inventors of the present invention have high reliability over a long period of time when the UV / thermosetting adhesive is cured only by thermal curing as compared to the UV cured portion. It has been confirmed that strong bonding is maintained. Therefore, in this way, by allowing a portion cured only by thermal curing to exist around each ink supply port H1102, a portion of the ink supply port H1102 to another ink supply port H1102 or the second It is possible to prevent the ink from oozing out to the peripheral portion of the recording element substrate H1101 with high reliability over a long period of time.

本実施形態において、接着剤H1203に添加する、紫外線の照射による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤の例としては、2,4−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−ドデシルオキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ベンジルオキシベンゾフェノン、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどを挙げることができる。これら以外のものであっても、上述のように紫外線を吸収する働きをし、接着剤H1203に添加することが可能なものであれば、紫外線吸収剤として使用することができる。   In this embodiment, examples of the ultraviolet absorber that is added to the adhesive H1203 and does not cause a curing reaction due to ultraviolet irradiation include 2,4-di-hydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy -4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-dodecyloxybenzophenone, 2-hydroxy-4-benzyloxybenzophenone, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone, phenyl salicylate, 4-t- Examples thereof include butylphenyl salicylate, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate. Even those other than these can be used as ultraviolet absorbers as long as they function to absorb ultraviolet rays as described above and can be added to the adhesive H1203.

紫外線硬化領域H1204が、紫外線が直接照射される縁部からどの程度の距離の部分までになるかは、接着剤H1203への紫外線吸収剤の添加量を調整することによって、設定することができる。したがって、紫外線吸収剤の添加量は、紫外線が直接照射される縁部からインク供給口H1102の縁部までの距離や、インク供給口H1102同士の間の距離に応じて調整するのが好ましい。このような調整は、紫外線の減衰距離と紫外線吸収剤の添加量との関係を実験データより算出して実施することができる。このように、紫外線吸収剤の添加量を調整することによって、インク供給口H1102同士の間の距離が短い場合であっても、インク供給口H1102同士の間に、接着剤H1203が熱硬化のみによって硬化される領域を確実に形成し、インクが混ざってしまうといった不具合が発生するのを、長期間にわたって高い信頼性で防止することができる。   It can be set by adjusting the addition amount of the ultraviolet absorber to the adhesive H1203 how far the ultraviolet curing region H1204 is from the edge directly irradiated with ultraviolet rays. Therefore, it is preferable to adjust the addition amount of the ultraviolet absorber according to the distance from the edge directly irradiated with ultraviolet rays to the edge of the ink supply port H1102 and the distance between the ink supply ports H1102. Such adjustment can be carried out by calculating the relationship between the ultraviolet attenuation distance and the amount of the ultraviolet absorber added from experimental data. In this way, by adjusting the addition amount of the ultraviolet absorber, even if the distance between the ink supply ports H1102 is short, the adhesive H1203 is only thermally cured between the ink supply ports H1102. It is possible to reliably prevent the problem that the region to be cured is reliably formed and the ink is mixed with high reliability over a long period of time.

ただし、本発明者らは、実験結果から、紫外線吸収効果と接着力低下を考慮して、紫外線吸収剤の添加量範囲は、他の固形分に対する重量比率で、0.01%から10%とするのが好ましいことを見出した。これ以上添加量が少ないと、紫外線吸収剤の添加効果がほとんど得られない。また、添加量がこれより多いと接着剤硬化後の接着力が低下する可能性があり、特に、図1に示した紫外線硬化領域H1204での接着力不足を生じる虞がある。   However, from the experimental results, the present inventors consider that the ultraviolet absorption effect and the adhesive strength decrease, the addition amount range of the ultraviolet absorber is 0.01% to 10% by weight ratio with respect to the other solid content. It has been found that this is preferable. If the addition amount is too small, the effect of adding the ultraviolet absorber is hardly obtained. Moreover, when there is more addition amount than this, there exists a possibility that the adhesive force after adhesive hardening may fall, and there exists a possibility of producing the adhesive force shortage especially in the ultraviolet curing region H1204 shown in FIG.

また、紫外線吸収剤の添加量を多くした場合には、紫外線の減衰が大きくなることから、紫外線の到達する距離が非常に短くなる可能性がある。しかし、紫外線硬化による接合は、第2の記録素子基板H1101を熱硬化によって完全に接合するまでの仮止めであることから、紫外線の到達する距離が短く、したがって紫外線硬化領域H1204が狭くなることには、さほどの問題はなく、むしろ、紫外線吸収剤の添加量は、上述のように接着力が低下しない範囲で、なるべく多めにすることが好ましい。   Further, when the amount of the ultraviolet absorber added is increased, the attenuation of the ultraviolet rays increases, so that the distance that the ultraviolet rays reach may be very short. However, since the bonding by ultraviolet curing is temporary fixing until the second recording element substrate H1101 is completely bonded by thermal curing, the distance that ultraviolet rays reach is short, and therefore the ultraviolet curing region H1204 is narrowed. However, it is preferable that the amount of the ultraviolet absorber added is as large as possible within the range in which the adhesive strength does not decrease as described above.

本実施形態において、接着剤H1203としては、エポキシ樹脂を主成分する接着剤を用いることができ、この場合、光硬化開始剤としては、光カチオン重合開始剤がよく使われる。この光カチオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩[J.POLYMER SCI:Symposium No.56 383−395(1976)参照]や、旭電化工業株式会社より上市されている商品名SP−150、SP−170、SP−172等が挙げられる。   In the present embodiment, an adhesive mainly composed of an epoxy resin can be used as the adhesive H1203. In this case, a photocationic polymerization initiator is often used as the photocuring initiator. Examples of the photocationic polymerization initiator include aromatic iodonium salts, aromatic sulfonium salts [J. POLYMER SCI: Symposium No. 56 383-395 (1976)] and trade names SP-150, SP-170, SP-172 marketed by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. and the like.

この光カチオン重合開始剤は、還元剤(熱硬化開始剤)を併用し、加熱することによってカチオン重合を促進させる(単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上する)ことができる。ただし、光カチオン重合開始剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度以上(好ましくは60℃以上)で反応するいわゆるレドックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必要がある。このような還元剤としては、銅化合物、特に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフラート(トリフルオロメタンスルフォン酸銅(II))が最適である。また、アスコルビン酸等の還元剤も有用である。   This cationic photopolymerization initiator can be used in combination with a reducing agent (thermosetting initiator) and heated to promote cationic polymerization (crosslinking density is improved as compared to single photocationic polymerization). However, when a photocationic polymerization initiator and a reducing agent are used in combination, the reducing agent is selected so that it becomes a so-called redox type initiator system that does not react at room temperature and reacts at a certain temperature or higher (preferably 60 ° C. or higher). There is a need. As such a reducing agent, copper triflate (copper trifluoromethanesulfonate (II)) is most suitable in consideration of the copper compound, particularly reactivity and solubility in the epoxy resin. A reducing agent such as ascorbic acid is also useful.

また、本実施形態において、接着剤H1203は、紫外線硬化を仮止めに用いているものであり、この仮止めは、第2の記録素子基板H1101の周囲の部分でのみ行えば十分であり、インク供給口H1102周囲部で、紫外線照射による瞬間硬化を利用する必要はない。そこで、インク供給口H1102周囲部には、光が当っても硬化しない、熱のみで硬化する接着剤、すなわち、第2の記録素子基板H1101の縁付近で用いる接着剤から光硬化開始剤を除いたものを用いてもよい。このようにすることによって、仮止め工程で、照射する紫外線が乱反射などのためにインク供給口H1102部に回り込んだとしても、インク供給口H1102周囲部で、不必要な紫外線硬化が起こるのを回避することができる。そして、本発明者らは、鋭意検討の結果、このように、熱硬化のみで硬化する接着剤では、シランカップリング剤の効果で、接着力が向上することを見出した。そこで、このような熱硬化のみで硬化する接着剤をインク供給口H1102の周囲部に用いる構成は、この部分での接合の信頼性をさらに向上させることができ、それによって、インク供給口H1102から周囲にインクが染み出すのを長期にわたってより高い信頼性で防止することができ、好ましい。   Further, in this embodiment, the adhesive H1203 uses ultraviolet curing for temporary fixing, and it is sufficient that this temporary fixing is performed only in a portion around the second recording element substrate H1101. It is not necessary to use instantaneous curing by ultraviolet irradiation around the supply port H1102. Therefore, the peripheral portion of the ink supply port H1102 is not cured even when light strikes, and the photocuring initiator is removed from the adhesive that is cured only by heat, that is, the adhesive used near the edge of the second recording element substrate H1101. May be used. By doing so, even if the ultraviolet rays to be irradiated wrap around the ink supply port H1102 due to irregular reflection or the like in the temporary fixing step, unnecessary ultraviolet curing occurs around the ink supply port H1102. It can be avoided. As a result of intensive studies, the present inventors have found that the adhesive strength is improved by the effect of the silane coupling agent in the adhesive that is cured only by thermal curing. Therefore, the configuration in which the adhesive that is cured only by thermal curing is used in the peripheral portion of the ink supply port H1102 can further improve the reliability of bonding at this portion. It is preferable because the ink can be prevented from exuding to the surrounding area with higher reliability over a long period of time.

以上のように、本実施形態によれば、第1の支持部材H1200と記録素子基板H1100,H1101との接合に使用する接着剤の接着力を高め、長期にわたって高い信頼性で動作可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。また、このインクジェット記録ヘッドの製造では、第1の支持部材H1200と記録素子基板H1100,H1101との接合工程において、紫外線照射範囲や照射量に厳格な管理をする必要がなく、容易に安定して接合工程を実施することが可能である。   As described above, according to the present embodiment, the ink-jet recording capable of increasing the adhesive force of the adhesive used for joining the first support member H1200 and the recording element substrates H1100 and H1101 and operating with high reliability over a long period of time. A head can be provided. Further, in the manufacture of the ink jet recording head, it is not necessary to strictly control the ultraviolet irradiation range and the irradiation amount in the bonding process between the first support member H1200 and the recording element substrates H1100 and H1101, and it is easily and stably performed. It is possible to perform a joining process.

本発明の一実施形態のインクジェット記録ヘッドの要部を示す模式図であり、図1(a)は、接着剤を透視して示す平面図、図1(b)は図1(a)のA−A線に沿った断面図である。1A and 1B are schematic views illustrating a main part of an ink jet recording head according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a plan view showing the adhesive transparently, and FIG. 1B is A in FIG. It is sectional drawing along the -A line. 図1のインクジェット記録ヘッドとインクタンクとを組み合わせた一例の記録ヘッドカートリッジの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of an example recording head cartridge in which the ink jet recording head of FIG. 1 and an ink tank are combined. 図2の記録ヘッドカートリッジの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head cartridge in FIG. 2. 図3のインク供給ユニットおよび記録素子ユニットの分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of the ink supply unit and the recording element unit of FIG. 3. 図4の第1の記録素子基板を、一部を破断して示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing the first recording element substrate of FIG. 4 with a part thereof broken. 図4の第2の記録素子基板を、一部を破断して示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a second recording element substrate of FIG. 4 with a part thereof broken. 図2の記録ヘッドカートリッジの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head cartridge in FIG. 2. 図2の記録ヘッドカートリッジにおける記録素子ユニットとインク供給ユニットとの結合体を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a combined body of a recording element unit and an ink supply unit in the recording head cartridge of FIG. 2. 従来例のインクジェット記録ヘッドの要部の、接着剤を透視して示す平面図である。It is a top view which sees through and shows the adhesive agent of the principal part of the inkjet recording head of a prior art example. 図9のB−B線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB line of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

H1000 記録ヘッドカートリッジ
H1001 記録ヘッド
H1002 記録素子ユニット
H1003 インク供給ユニット
H1100 第1の記録素子基板
H1101 第2の記録素子基板
H1102,H1201,H1907,106 インク供給口
H1103 電気熱変換素子
H1104 電極部
H1105 バンプ
H1106 インク流路壁
H1107,104a 吐出口
H1108 吐出口群
H1110 Si基板
H1200 第1のプレート
H1202,H1203 接着剤
H1204 紫外線硬化領域
H1400 第2のプレート
H1500 インク供給部材
H2000 タンクホルダー
H2200 電気コンタクト基板
101 支持部材
101b 隔壁
103 記録素子基板
104 吐出口プレート
105 吐出エネルギー発生素子
H1000 Recording head cartridge H1001 Recording head H1002 Recording element unit H1003 Ink supply unit H1100 First recording element substrate H1101 Second recording element substrate H1102, H1201, H1907, 106 Ink supply port H1103 Electrothermal conversion element H1104 Electrode portion H1105 Bump H1106 Ink flow path wall H1107, 104a Ejection port H1108 Ejection port group H1110 Si substrate H1200 First plate H1202, H1203 Adhesive H1204 UV curing region H1400 Second plate H1500 Ink supply member H2000 Tank holder H2200 Electrical contact substrate 101 Support member 101b Partition 103 Recording element substrate 104 Discharge port plate 105 Discharge energy generating element

Claims (3)

ノズルからインクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出されるインクの供給を受けるインク供給口と、を備える記録素子基板と、
前記インク供給口と接続される開口を備え、前記記録素子基板を、前記インク供給口と前記開口とが連通して接合されるように支持する支持部材と、
を有し、前記記録素子基板と前記支持部材との接合に、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤が用いられているインクジェット記録ヘッドであって、
前記接着剤は、紫外線を吸収し、かつ紫外線による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤を含んでいるインクジェット記録ヘッド。
A recording element substrate comprising: an ejection energy generating element that generates energy for ejecting ink from the nozzle; and an ink supply port that receives supply of the ejected ink;
A support member provided with an opening connected to the ink supply port, and supporting the recording element substrate so that the ink supply port and the opening are connected and joined;
An inkjet recording head in which an ultraviolet / thermosetting adhesive that cures by both ultraviolet irradiation and heating is used for joining the recording element substrate and the support member,
The ink jet recording head, wherein the adhesive contains an ultraviolet absorber that absorbs ultraviolet rays and does not cause a curing reaction due to ultraviolet rays.
前記接着剤における前記紫外線吸収剤の添加量が、他の固形分に対して0.01〜10%である、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。   The inkjet recording head according to claim 1, wherein an addition amount of the ultraviolet absorber in the adhesive is 0.01 to 10% with respect to other solid contents. ノズルからインクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出されるインクの供給を受けるインク供給口と、を備える記録素子基板を、該記録素子基板の前記インク供給口に接続する開口が形成された支持部材上に接合する工程を含む、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記支持部材上に、紫外線の照射と加熱の両方で硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤を転写する工程と、
前記支持部材上に、前記記録素子基板を位置決めして配置し、その状態で紫外線を照射して、前記記録素子基板を前記支持部材上に仮止めする工程と、
前記接着剤を加熱硬化させる工程と、
を有し、前記接着剤として、紫外線を吸収し、かつ紫外線による硬化反応を起こさない紫外線吸収剤が含まれたものを用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
A recording element substrate including an ejection energy generating element that generates energy for ejecting ink from a nozzle and an ink supply port that receives supply of the ejected ink is connected to the ink supply port of the recording element substrate. A method of manufacturing an ink jet recording head, comprising a step of bonding onto a support member having an opening formed thereon,
On the support member, a step of transferring an ultraviolet / thermosetting adhesive that cures by both ultraviolet irradiation and heating;
Positioning and arranging the recording element substrate on the support member, irradiating ultraviolet rays in that state, and temporarily fixing the recording element substrate on the support member;
Heat-curing the adhesive;
And an adhesive containing an ultraviolet absorber that absorbs ultraviolet rays and does not cause a curing reaction due to ultraviolet rays is used as the adhesive.
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