JP2005123365A - 電源配線の設計方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 正方形状の半導体チップに電源を供給する電源配線構造であって、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造を仮定する第1ステップを有する。また、各配線の両端に電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
と予測する第2ステップと有する。
【選択図】 なし
Description
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造(第1の電源配線構造)を仮定する第1ステップと、
各配線の両端に電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造(第2の電源配線構造)を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造(第3の電源配線構造)を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造(第4の電源配線構造)を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
前記第3ステップにおいて、許容範囲内にないと判定されたときには、前記第2ステップの予測式に用いられるパラメータ値の少なくとも一つを変え、前記第1ステップ及び第2ステップを繰り返す。半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropをパラメータ値の少なくとも一つを変えつつ繰り返し予測して判定することにより、許容範囲内にある電源電圧降下Vdropを有する電源配線を迅速に設計することが出来る。
正方形状の半導体チップが備える電源配線構造であって、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える第1の電源配線構造を想定する。図1に、x方向及びy方向の1配線ピッチあたりの電源配線構造の構成を示す。第1の電源配線構造は、同図において、Rint=Rint_x=Rint_y、pw=pw_x=pw_yとしたものである。
正方形状の半導体チップが備える電源配線構造であって、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える第2の電源配線構造を想定する。第2の電源配線構造におけるx方向及びy方向の1配線ピッチあたりの構成は、図1に示した構成と同様である。
x方向の辺の長さがDc_x、y方向の辺の長さがDc_yの略長方形状の半導体チップが備える電源配線構造であって、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える第3の電源配線構造を想定する。第3の電源配線構造におけるx方向及びy方向の1配線ピッチあたりの構成は、図1に示した構成である。
x方向の辺の長さがDc_x、y方向の辺の長さがDc_yの略長方形状の半導体チップが備える電源配線構造であって、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える第4の電源配線構造を想定する。第4の電源配線構造におけるx方向及びy方向の1配線ピッチあたりの構成は、図1に示した構成と同様である。
前記x方向配線層及びy方向配線層の少なくとも一方が、相互に並列接続の関係にある複数の配線層から構成される場合には、予測式(1)〜(5)で用いる単位長あたりの配線抵抗を、各配線層の単位長あたりの配線抵抗の合成抵抗として計算することにより、予測式(1)〜(5)を適用することが出来る。
ビア抵抗による電圧降下の影響を定電流源を流れる電流Imodとビアの抵抗Rviaの積Imod×Rviaとして、予測式(1)〜(5)にそれぞれ加算することにより、より精度良く電圧降下を計算することが出来る。
本発明の予測精度を確認するために、第6の電源配線構造について、SPICEを用いた回路シミュレーションによる解析結果と、本発明に係る予測式(5)による結果とを比較した。第6の電源配線構造は、プロセス技術UX6(NECエレクトロニクス株式会社)における暫定的な電源配線構造であり、図9に示す配線回路ユニット20をx方向及びy方向に同じ個数づつ並べて形成された構造を想定した。
Claims (10)
- 正方形状の半導体チップに電源を供給する電源配線構造を設計する方法において、
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rintを有し、配線ピッチpwでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造を仮定する第1ステップと、
各配線の両端に電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
- 前記x方向配線層及びy方向配線層の少なくとも一方の配線層の単位長あたりの配線抵抗Rintが、相互に並列接続の関係にある複数の配線層の単位長あたりの配線抵抗の合成抵抗として計算される、請求項1に記載の電源配線の設計方法。
- 正方形状の半導体チップに電源を供給する電源配線構造を設計する方法において、
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
- x方向の辺の長さがDc_x、y方向の辺の長さがDc_yの略長方形状の半導体チップに電源を供給する電源配線構造を設計する方法において、
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
- x方向の辺の長さがDc_x、y方向の辺の長さがDc_yの略長方形状の半導体チップに電源を供給する電源配線構造を設計する方法において、
それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_xを有し、配線ピッチpw_yでy方向に配列されてx方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するx方向配線層と、それぞれが単位長当たりの抵抗値Rint_yを有し、配線ピッチpw_xでx方向に配列されてy方向に延びる相互に平行な複数の配線を有するy方向配線層とを備える電源配線構造を仮定する第1ステップと、
各配線の両端にそれぞれ電源電圧Vddを印加して半導体チップに電源を供給したときに、半導体チップの中心点における電源電圧降下Vdropを
- 前記定数aが、7.36×10-2以上で7.38×10-2以下である、請求項1〜6の何れか一に記載の電源配線の設計方法。
- 前記x方向配線層の単位長あたりの配線抵抗Rint_x、及び、前記y方向配線層の単位長あたりの配線抵抗Rint_yの少なくとも一方が、相互に並列接続の関係にある複数の配線層の単位長あたりの配線抵抗の合成抵抗として計算される、請求項3〜6の何れか一に記載の電源配線の設計方法。
- 前記計算された中心点の電源電圧降下にビア抵抗による電圧降下を加算する、請求項1〜8の何れか一に記載の電源配線の設計方法。
- 予測した電源電圧降下Vdropが許容範囲内にあるか否かを判定する第3ステップを更に有し、
前記第3ステップにおいて、許容範囲内にないと判定されたときには、前記第2ステップの予測式に用いられるパラメータ値の少なくとも一つを変え、前記第1ステップ及び第2ステップを繰り返す、請求項1〜9の何れか一に記載の電源配線の設計方法。
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JPS61156751A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-16 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路 |
JPH10124563A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 論理回路の遅延計算方法、その遅延計算装置及び遅延ライブラリの遅延データ計算方法 |
JP2003233637A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路の電源電圧ドロップ・シミュレーション方法及び装置 |
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