JP2005122933A - 電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 - Google Patents
電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005122933A JP2005122933A JP2003354020A JP2003354020A JP2005122933A JP 2005122933 A JP2005122933 A JP 2005122933A JP 2003354020 A JP2003354020 A JP 2003354020A JP 2003354020 A JP2003354020 A JP 2003354020A JP 2005122933 A JP2005122933 A JP 2005122933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sample
- image
- unit
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【課題】 走査型荷電粒子ビーム装置の電子光学系を画像計測に適するように調整することで、試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の三次元画像計測が行なえる電子線測定装置を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ3に保持された基準テンプレートと照射電子線7とを試料傾斜部5により相対的に傾斜させて、電子線検出部4で撮影されたステレオ画像に基づいて基準テンプレートの形態または座標値を求める測定部20と、測定部20での測定結果と既知基準データとを比較して、電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成部30と、前記校正データに基づき、電子線検出部4で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正部40を備え、校正部40による校正が行なわれたステレオ画像に基づいて、試料9の形態または座標値を求める。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を用いて本発明の原理を説明する。図2は、電子線測定装置の試料ホルダにおける傾斜状態の説明図で、(A)は水平状態を基準状態として傾斜状態を実現する場合、(B)は傾斜状態を基準状態として傾斜状態を実現する場合を示している。試料ホルダ3に対する傾斜状態は、水平状態を基準状態として、基準状態から任意の角度(±θ)傾斜させる第1の態様(図2(A)参照)と、所定の角度(Φ)傾斜した状態を基準状態として、基準状態から任意の角度(±θ)傾斜させる第2の態様(図2(B)参照)とがある。傾斜状態では、試料ホルダ3に載置された基準テンプレート9aや試料9と、入射する電子線との角度が調整されて、ステレオ画像計測に必要な試料の左右画像が電子線測定装置によって取得できる状態となる。ここで、基準テンプレート9aの厚さをtとする。
(1)試料傾斜部5の傾斜量の校正データ。
(2)電子光学系2の照射電子線7に対する照射方向の校正データ。
(3)電子光学系2の倍率に関する校正データ。
(4)電子光学系2の歪み補正に関する校正データ。
(1)試料傾斜部5の傾斜量が校正されるように校正部40を構成する。
(2)電子光学系2の照射電子線7の照射方向が校正されるように校正部40を構成する。
(3)電子光学系2の走査範囲が校正されるように校正部40を構成する。
(4)電子光学系2の走査コイルの走査方向が校正されるように校正部40を構成する。
ここで、電子線装置の校正手続きの前提となる平行投影について説明する。電子顕微鏡では倍率が低倍率〜高倍率(ex.2〜数百万倍)までレンジが幅広いため、電子光学系2が低倍率では中心投影、高倍率では平行投影とみなせる。平行投影と見なせる倍率は、偏位修正パラメータの算出精度を基準にして定めるのがよく、例えば1000倍や10000倍を基準倍率とする。偏位修正パラメータは、ステレオ画像で立体視できるように、試料の左右画像を偏位修正する為のパラメータである。
電子光学系2を構成する電子レンズの歪曲収差まで求める場合は、さらに複数の基準マークを用意し、複数方向からの画像を得ることにより、式(4)によって補正することが可能となる。即ち、式(1)、(2)でさらにレンズ歪を補正したx、y座標をx’、y’とすれば、次式が成立する。
x’=x+Δx ・・・…(4)
y’=y+Δy
ここで、k1、k2を放射方向レンズ歪み係数とすると、次式により行われる。
<ii>:基準画像と捜索画像上の3点以上対応する点を概略指定する。これを画像座標とする。
<iii>:以下の式により、基準画像、捜索画像のそれぞれ各パラメータを算出する。
すなわち、画像座標と対応する基準点座標を式(6)に示す二次の射影変換式に代入し、観測方程式をたてパラメータb1〜b8を求める。
X=(b1・x+b2・y+b3)/(b7・x+b8・y+1) (6)
Y=(b4・x+b5・y+b6)/(b7・x+b8・y+1)
ここで、X,Yは画像座標、x,yは基準点座標を表している。
<v>:各パターンに対応した求められた位置の周辺について、ステレオマッチング処理を行い計測する。
次に、ステレオマッチング処理の一例として、エリアベースの正規化相関係数によるマッチング法について説明する。図10は、正規化相関係数によるマッチング法の説明図で、図中の右画像を基準画像、左画像を捜索画像とする。ここでは、N個のデータからなる基準画像中の基準データブロックをM、座標(U,V)を起点とする捜索画像中の捜索データブロックをIとする。
I=I(U+Xi,V+Yi) (8)
とすると、正規化相関係数R(U,V)は、
R(U,V)=(NΣIiMi−ΣIiΣMi)
/SQRT[{NΣIi2−(ΣIi)2}x{NΣMi2−(ΣMi)2}] (9)
となる。相関係数値Rは常に−1から+1までの値をとる。相関係数値Rが+1の場合には、テンプレートと探索画像が完全に一致した事になる。
ここでは画像変換処理の一例として、アフィン変換について説明する。
x’=b1x+b2y+b3 (10)
y’=b4x+b5y+b6
これら係数b1、…、b6の計算は、左右画像上の対応点4点以上計測することにより、逐次近似解法によって算出される。従って、ターゲット検出された座標値を使って、ステレオペア画像の左右画像について対応させ、計算すればよい。次に、S312で選定された基準画像の検出位置と、傾斜角度0度で取得された画像のターゲット位置もしくは基準値(設計値)とに対し、同様に変換係数を算出する。
続いて、第1の画像補正係数に関して、被計測対象物9の高さ方向のレンズ歪みを補正するパラメータを含める場合を説明する。試料ホルダ3に載置された試料9に関しては、図2(B)に示すように、各傾斜角度Φにおける高さ補正が可能となる。そこで、その角度において空間補正を施し、それぞれの角度における高さの歪補正係数を第1の画像補正係数に含めて記憶させてもよい。そして、被計測対象物9を傾斜角Φ傾けて撮影する事は、電子線7あるいは観察光軸傾斜機構を設けて、角度Φ傾けて電子線7をあてて、被計測対象物9を撮影する事と均等である。図12は、試料ホルダ3の座標系を説明する斜視図である。試料ホルダ3の座標系において、Y軸が回転軸で、角度θは時計回り方向を+方向としている。
左画像 Lx=(X×cosθ+Z×sinθ)×s (11)
Ly=Y
右画像 Rx=(X×cosθ−Z×sinθ)×s (12)
Ry=Y
s:分解能(1pixel)
となり、画像と試料の回転角度を考慮してオリエンテーション行列により三次元の座標を求めると、以下のようになる。
X=Lx+Rx (13)
Z=Lx−Rx
Y=Ly=Ry
式(13)は図14に示すように、ステレオ画像の撮影方向として、左右画像がZ軸を挟んだ角度を持つ場合のみに有効である。次に角度に依存することなく使える式を導く。図15は、ステレオ画像の撮影方向として、左右画像がZ軸に対して夫々θ1、θ2傾斜している場合を示している。
Z’=((Lx−Rx)/(2×sinθ))×s (14)
X’=((Lx+Rx)/(2×cosθ))×s
Y’=Ly=Ry
よって、次式が成立している。
X=X’×cosθ’−Z’×sinθ’ (15)
Z=X’×sinθ’+Z’×cosθ’
Y=Y’
9a、9c 基準テンプレート
10 電子線装置
20 測定部
30 校正データ作成部
40 校正部
50 形態・座標測定部
52 概略測定部
54 精密測定部
60 画像修正部
64 補正係数記憶部
Claims (12)
- 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線測定装置であって;
前記試料ホルダに保持された基準テンプレートと前記照射電子線とを前記試料傾斜部により相対的に傾斜させて、前記電子線検出部で撮影された前記基準テンプレートのステレオ画像に基づいて、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定部と;
前記第1の測定部での基準テンプレートの測定結果と、前記基準テンプレートに関する既知基準データとを比較して、前記電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成部と;
前記校正データに基づき、前記電子線検出部で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正部と;
前記校正部による校正が行なわれた試料ホルダに載置された試料であって、前記試料傾斜部によって形成される傾斜状態で前記電子線検出部により撮影された前記試料のステレオ画像に基づいて、前記試料の形態または座標値を求める第2の測定部と;
を備える電子線測定装置。 - さらに、前記試料傾斜部によって形成される複数の傾斜状態について、前記電子線検出部により撮影されるステレオ画像に対する補正係数を記憶する補正係数記憶部と;
前記ステレオ画像が撮影された傾斜状態に対応する補正係数を、前記補正係数記憶部から読み出し、前記ステレオ画像を修正する画像修正部と;
を備え;
前記第2の測定部が、前記ステレオ画像に撮影されている試料の概略の形態または座標値を求める概略測定部と、前記画像修正部によって修正されたステレオ画像に基づき試料の形態または座標値を求める精密測定部を有し;
前記画像修正部によって、前記概略測定部で求められた試料の形態または座標値に基づいて、前記補正係数記憶部から読み出された補正係数を用いて、前記ステレオ画像を修正するように構成された請求項1記載の電子線測定装置。 - 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線装置と接続される電子線測定装置であって;
前記試料ホルダに保持された基準テンプレートと前記照射電子線とを前記試料傾斜部により相対的に傾斜させて、前記電子線検出部で撮影された前記基準テンプレートのステレオ画像に基づいて、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定部と;
前記第1の測定部での基準テンプレートの測定結果と、前記基準テンプレートに関する既知基準データとを比較して、前記電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成部と;
前記校正データに基づき、前記電子線検出部で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正部と;
前記校正部による校正が行なわれる試料ホルダに載置された試料であって、前記試料傾斜部によって形成される傾斜状態で前記電子線検出部により撮影された前記試料のステレオ画像に基づいて、前記試料の形態または座標値を求める第2の測定部と;
前記電子線検出部により検出された電子線に基づき、前記試料のステレオ画像を表示する画像表示部と;
を備える電子線観察装置。 - 前記試料傾斜部は、電子光学系の電子線の照射方向を試料に対して変更する第1の試料傾斜態様と、前記試料ホルダを電子線に対して傾斜させる第2の試料傾斜態様の、少なくとも一方の試料傾斜態様により、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させるように構成した請求項1又は請求項2に記載の電子線測定装置又は請求項3に記載の電子線観察装置。
- 前記校正データ作成部によって、前記試料傾斜部の傾斜量の校正データが作成され;
前記校正部によって、前記試料傾斜部の傾斜量が校正される;
請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の電子線測定または観察装置。 - 前記校正データ作成部によって、前記電子光学系の照射電子線に対する照射方向の校正データが作成され;
前記校正部によって、前記電子光学系の照射電子線の照射方向が校正される;
請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の電子線測定または観察装置。 - 前記校正データ作成部によって、前記電子光学系の倍率に関する校正データが作成され;
前記校正部によって、前記電子光学系の走査範囲が校正される;
請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の電子線測定または観察装置。 - 前記校正データ作成部によって、前記電子光学系の歪み補正に関する校正データが作成され;
前記校正部によって、前記電子光学系の走査コイルの走査方向が校正される;
請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の電子線測定または観察装置。 - 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線測定装置を用いた電子線測定方法であって;
前記試料ホルダに保持された基準テンプレートと前記照射電子線とを前記試料傾斜部により相対的に傾斜させて、前記電子線検出部で撮影された前記基準テンプレートのステレオ画像に基づいて、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定ステップと;
前記第1の測定ステップでの基準テンプレートの測定結果と、前記基準テンプレートに関する既知基準データとを比較して、前記電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成ステップと;
前記校正データに基づき、前記電子線検出部で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正ステップと;
前記校正ステップによる校正が行なわれる試料ホルダに載置された試料であって、前記試料傾斜部によって形成される傾斜状態で前記電子線検出部により撮影された前記試料のステレオ画像に基づいて、前記試料の形態または座標値を求める第2の測定ステップと;
をコンピュータに実行させる電子線測定方法。 - 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線測定装置を用いた電子線測定方法であって;
前記試料ホルダに保持された基準テンプレートと前記照射電子線とを前記試料傾斜部により相対的に傾斜させて、前記電子線検出部で撮影された前記基準テンプレートのステレオ画像に基づいて、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定ステップと;
前記第1の測定ステップでの基準テンプレートの測定結果と、前記基準テンプレートに関する既知基準データとを比較して、前記電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成ステップと;
前記校正データに基づき、前記電子線検出部で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正ステップと;
前記試料傾斜部によって形成される複数の傾斜状態について、前記電子線検出部により撮影されるステレオ画像に対する補正係数を記憶する補正係数記憶ステップと;
前記校正ステップによる校正が行なわれた試料ホルダに載置された試料であって、前記試料傾斜部によって形成される傾斜状態で前記電子線検出部により撮影された前記試料のステレオ画像に基づいて、前記試料の概略の形態または座標値を求める概略測定ステップと;
前記ステレオ画像が撮影された傾斜状態に対応する補正係数を、前記補正係数記憶ステップで記憶された補正係数から読み出して、前記概略測定ステップで求められた試料の形態または座標値に対して前記補正係数を適用して、前記ステレオ画像を修正する画像修正ステップと;
前記画像修正ステップによって修正されたステレオ画像に基づき試料の形態または座標値を求める精密測定ステップと;
をコンピュータに実行させる電子線測定方法。 - 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線測定装置を用いた電子線観察方法であって;
前記試料ホルダに保持された基準テンプレートと前記照射電子線とを前記試料傾斜部により相対的に傾斜させて、前記電子線検出部で撮影された前記基準テンプレートのステレオ画像に基づいて、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定ステップと;
前記第1の測定ステップでの基準テンプレートの測定結果と、前記基準テンプレートに関する既知基準データとを比較して、前記電子線測定装置により撮影されるステレオ画像の校正データを作成する校正データ作成ステップと;
前記校正データに基づき、前記電子線検出部で検出される試料像の収差を減少させるように校正を行う校正ステップと;
前記校正ステップによる校正が行なわれる試料ホルダに載置された試料であって、前記試料傾斜部によって形成される傾斜状態で前記電子線検出部により撮影された前記試料のステレオ画像に基づいて、前記試料の形態または座標値を求める第2の測定ステップと;
前記電子線検出部により検出された電子線に基づき、前記試料のステレオ画像を表示する画像表示ステップと;
をコンピュータに実行させる電子線観察方法。 - 電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線測定装置であって;
試料傾斜部によって形成される傾斜状態により得られたステレオ画像に相当する出力に基づき、試料の形態または座標値を求める第3の測定部と;
基準のデータとして形状または座標値が判明している基準テンプレートを試料ホルダに載置し、前記照射電子線と前記基準テンプレートとを相対的に傾斜させ、前記電子線検出部から出力されるステレオ画像に相当する信号に基づき、前記基準テンプレートの形態または座標値を求める第1の測定部と;
前記第1の測定部での基準テンプレートの測定結果と前記基準テンプレートの判明している基準データとを比較し、前記試料傾斜部により試料を傾斜させる傾斜面以外の空間における補正係数を記憶しておく補正係数記憶部と;
前記補正係数記憶部から対応する補正係数を読み出し、画像を修正する画像修正部とを備え;
前記第3の測定部が、前記電子線検出部のステレオ画像に相当する出力に基づき概略の試料の形態または座標値を求める概略測定ステップを実行し;
前記画像修正部が、前記概略測定ステップで求められた試料の形態または座標値に基づいて、前記補正係数記憶部から対応す像補正係数を読み出して画像を修正する画像修正ステップを実行し;
前記第3の測定部が、前記画像修正部で修正された修正ステレオ画像に基づき試料の形態または座標値を求める精密測定ステップを実行する;
電子線測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003354020A JP4229799B2 (ja) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | 電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 |
US10/962,752 US7067808B2 (en) | 2003-10-14 | 2004-10-13 | Electron beam system and electron beam measuring and observing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003354020A JP4229799B2 (ja) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | 電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005122933A true JP2005122933A (ja) | 2005-05-12 |
JP4229799B2 JP4229799B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=34612128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003354020A Expired - Fee Related JP4229799B2 (ja) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | 電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4229799B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218259A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Topcon Corp | 検査方法及び検査装置 |
WO2012042738A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
JP2013161795A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Applied Materials Israel Ltd | 走査電子顕微鏡画像を用いた3次元マッピング |
WO2013161539A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線調整支援装置および方法 |
KR101470270B1 (ko) * | 2011-01-25 | 2014-12-05 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 하전 입자선 장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4532177B2 (ja) * | 2004-06-17 | 2010-08-25 | 株式会社トプコン | 電子線システム |
-
2003
- 2003-10-14 JP JP2003354020A patent/JP4229799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218259A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Topcon Corp | 検査方法及び検査装置 |
WO2012042738A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
US8704175B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-04-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
KR101455944B1 (ko) | 2010-09-30 | 2014-10-28 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 주사 전자 현미경 |
JP5663591B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-02-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
KR101470270B1 (ko) * | 2011-01-25 | 2014-12-05 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 하전 입자선 장치 |
US9287083B2 (en) | 2011-01-25 | 2016-03-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device |
JP2013161795A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Applied Materials Israel Ltd | 走査電子顕微鏡画像を用いた3次元マッピング |
WO2013161539A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線調整支援装置および方法 |
JP2013232299A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線調整支援装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4229799B2 (ja) | 2009-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7329867B2 (en) | Electron beam system and electron beam measuring and observing methods | |
US7067808B2 (en) | Electron beam system and electron beam measuring and observing method | |
US7539340B2 (en) | Apparatus and method for three-dimensional coordinate measurement | |
US6538249B1 (en) | Image-formation apparatus using charged particle beams under various focus conditions | |
US7633064B2 (en) | Electric charged particle beam microscopy and electric charged particle beam microscope | |
JP2013069693A (ja) | 試料の観察方法 | |
TWI776085B (zh) | 用於監測束輪廓及功率的方法及設備 | |
JP4500653B2 (ja) | 試料の観察方法及びその装置 | |
US6515296B1 (en) | Pattern dimension measuring system and pattern dimension measuring method | |
JP4750958B2 (ja) | 電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオ画像作成方法 | |
JP4229799B2 (ja) | 電子線測定または観察装置、電子線測定または観察方法 | |
KR101455944B1 (ko) | 주사 전자 현미경 | |
JP4532177B2 (ja) | 電子線システム | |
JP4750959B2 (ja) | 電子線装置用データ処理装置、電子線装置、電子線装置のステレオ測定方法 | |
JP4409877B2 (ja) | 電子線測定装置並びに電子線測定方法及び電子線観察方法 | |
JP4160880B2 (ja) | 電子線測定装置及び電子線測定方法 | |
JP2005005055A (ja) | 試料の高さ情報取得方法 | |
US11177112B2 (en) | Pattern measurement device and non-transitory computer readable medium having stored therein program for executing measurement | |
JP2004325355A (ja) | 三次元座標測定装置及び方法 | |
JP4409861B2 (ja) | 三次元座標測定装置及び方法 | |
JP2006190693A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2002270124A (ja) | 基準テンプレートの製造方法及び当該方法によって製造された基準テンプレート | |
TWI836541B (zh) | 非暫時性電腦可讀媒體及用於監測檢測系統中之束的系統 | |
JP6857575B2 (ja) | 収差測定方法および電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080826 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081125 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |