JP2005121610A - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 高感度で小型である半導体加速度センサを提供する。
【解決手段】 本発明に係る半導体加速度センサは、半導体基板からなるフレーム1と、弾性を有しフレーム1の表面側でフレーム1に支持されるビーム2と、ビーム2に支持され作用する加速度により揺動する重り部3と、ビーム2に形成されビーム2の変形を検出するセンシング素子4と、センシング素子4からの信号を外部に出力する電極5と、重り部3の表面側に設けた支持部6と、支持部6と接合するとともに、フレーム1とはギャップAを有して設けた第1ストッパ7と、フレーム1の表面側ではない裏面側に設けた枠状である枠部2と、枠部2の内方側に重り部3と接合するとともに、フレーム1とはギャップBを有し、枠部8とはギャップC1、C2を有するように設けた第2ストッパ9とを備えた構成である。
【選択図】図1
【解決手段】 本発明に係る半導体加速度センサは、半導体基板からなるフレーム1と、弾性を有しフレーム1の表面側でフレーム1に支持されるビーム2と、ビーム2に支持され作用する加速度により揺動する重り部3と、ビーム2に形成されビーム2の変形を検出するセンシング素子4と、センシング素子4からの信号を外部に出力する電極5と、重り部3の表面側に設けた支持部6と、支持部6と接合するとともに、フレーム1とはギャップAを有して設けた第1ストッパ7と、フレーム1の表面側ではない裏面側に設けた枠状である枠部2と、枠部2の内方側に重り部3と接合するとともに、フレーム1とはギャップBを有し、枠部8とはギャップC1、C2を有するように設けた第2ストッパ9とを備えた構成である。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば自動車、航空機及び家電製品に用いられる半導体加速度センサに関するものである。
従来の半導体加速度センサは、例えば、半導体基板からなる第1の基板と、第1の基板に形成された重り部と、一端が重り部に一体連結された撓み部と、撓み部に形成され撓み部の変形を検出するセンシング素子と、第1の基板の表面側に重り部が揺動自在に接合された上部キャップと、第1の基板の裏面側に接合された第2の基板と、重り部と接合され第2の基板とは所定のギャップを有して第2の基板にて移動範囲が規制された付加重り部とを備えたものを挙げることができる(特許文献1、図1参照)。
特開2000−235044号公報
ところが、上述のような半導体加速度センサにおいては、上部キャップと第2の基板とによって重り部の上下方向の動きを規制しようとしているため、上下方向の厚みが増すという問題があった。
本発明は上記問題点を改善するためになされたものであり、高感度で小型である半導体加速度センサを提供することを目的とするものである。
上述の目的を達成するために、本発明の請求項1に係る半導体加速度センサは、半導体基板からなるフレームと、弾性を有し前記フレームの表面側で前記フレームに支持されるビームと、該ビームに支持され作用する加速度により揺動する重り部と、前記ビームに形成され前記ビームの変形を検出するセンシング素子と、該センシング素子からの信号を外部に出力する電極と、前記重り部の前記表面側に設けた支持部と、該支持部と接合するとともに、前記フレームとは所定の第1ギャップを有して設けた第1ストッパと、前記フレームの表面側ではない裏面側に設けた枠状である枠部と、前記枠部の内方側に前記重り部と接合するとともに、前記フレームとは所定の第2ギャップを有し、前記枠部とは所定の第3ギャップを有するように設けた第2ストッパと、を備えている。
また、本発明の請求項2に係る半導体加速度センサは、請求項1に記載の半導体加速度センサにおいて、前記支持部は、前記重り部と一体形成された、又は前記重り部と同一の材料である。
また、本発明の請求項3に係る半導体加速度センサは、請求項1に記載の半導体加速度センサにおいて、前記支持部は、前記電極と同一の材料である。
また、本発明の請求項4に係る半導体加速度センサは、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体加速度センサにおいて、前記半導体基板は、SOI基板である。
このような構成の半導体加速度センサは、表面側では、フレームとは所定の第1ギャップを備えながら第1ストッパが支持部を介して重り部と連結され、フレーム裏面側に設けた枠部の内方側には、フレームとの間に所定の第2ギャップを有し、枠部との間に所定の第3ギャップを有するように設けた第2ストッパが重り部と連結されることで、第1ストッパを上面、第2ストッパを下面と定義した場合、上下方向の厚みを薄くすることができるので、センサの小型化をはかることができる。
また、第1ストッパ及び第2ストッパにより、重り部の質量が見かけ上増加することになるので、センサ感度をあげることができる。また、第1ストッパ及び第2ストッパの重り部に対する配置形態を予め制御することで、ビームから支持される箇所の重心位置が自在に制御できるので、オフセット電圧を低減させることができる。
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において、同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
本発明の第1実施形態を図1及び図2に基づいて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体加速度センサを示す図であり、図2は、半導体加速度センサの製造工程の一例を示す図である。なお、図1(a)は、上面からみた要部概略平面図であり、図1(b)は、概略断面図であり、図1(c)は、下面から見た概略平面図である。図1(a)は、各部を見やすくするため、後述する第1ストッパ7及び酸化膜11aを透視した形で要部のみを簡略化して示した概略図である。
ここで、半導体加速度センサは、図1に示すように、半導体基板からなるフレーム1と、弾性を有しフレーム1の表面側でフレーム1に支持されるビーム2と、ビーム2に支持され作用する加速度により揺動する重り部3と、ビーム2に形成されビームの変形を検出するセンシング素子4と、センシング素子4からの信号を外部に出力する電極5と、重り部3の表面側に設けた支持部6と、支持部6と接合するとともにフレーム1とはギャップAを有して設けた第1ストッパ7と、フレーム1の裏面側に設けた枠部8と、枠部8の内方側に重り部3と接合するとともに、フレーム1とはギャップBを有し、枠部8とは後述のX軸、Y軸方向のギャップであるギャップC1、C2を有して設けた第2ストッパ9と、重り部3の裏面側に設けた支持部10とを備えた構成である。また、半導体加速度センサは、フレーム1と重り部3との間には貫通孔P1を備えており、半導体加速度センサは、ビーム2を例えば2本備え、これらフレーム1、ビーム2、重り部3で取り囲む領域には、図1(a)に示すように貫通孔P2を備えている。なお、フレーム1と重り部3との間のギャップD1、D2は、それぞれ後述のX軸、Y軸方向のギャップ幅とする。
なお、図1に示すように、ビーム2の長手方向にX軸を定義し、平面内のX軸に垂直な軸をY軸と定義し、Z軸をX軸、Y軸ともに垂直な上下方向の軸をZ軸と定義する。
ここで、第1実施形態においては、支持部6、支持部10は、重り部3と一体形成された構成である。また、フレーム1を構成する半導体基板は、シリコンであり、第1ストッパ7は、ガラスで形成され、第2ストッパ9と枠部8は、ガラスで形成されている。センシング素子4は、例えばピエゾ抵抗であり、電極5は、例えばAlで形成されている。
また、ここで、ギャップA、B、C1、C2、D1、D2のサイズに関して、図1は、各構成部位の配置関係を分かりやすくするために、実際の大小関係を考慮せずに図示したものである。例えば、図1では、ギャップAとギャップC1、C2とのサイズを略同じく示しているが、実際は、例えば、ギャップAが10μm程度であり、ギャップC1、C2が1μm程度である。なお、第1実施形態においては、ギャップC1とギャップC2は等しい幅であり、また、ギャップD1とギャップD2は、等しい幅であるものとする。ギャップBは、第2ストッパ7がフレーム1に接触しないような所望の幅であればよい。第1ストッパ7及び第2ストッパ9の重量は、最大であっても重り部3の3倍程度以下であることが好ましい。なお、重り部3は、例えば、重量が7×10-7kgで印加加速度が1Gである場合、第1ストッパ7及び第2ストッパ9の各々が、重り部3の3倍の重量であったとしても、ビーム2の歪み量は1μm程度である。
ここで、ギャップD1、D2は、重り部3の揺動がフレーム1から規制されずに適宜なされるような所望の距離であればよいが、この所望の距離範囲の中で、ギャップD1、D2をできる限り小さく設定することにより、X軸、Y軸方向の耐衝撃性を向上させた半導体加速度センサを提供することができる。つまり、ギャップD1、D2をできる限り小さく設定することが、横方向の衝撃に強い半導体加速度センサ構造を可能にする。
ここで、半導体加速度センサの上下方向、表裏面は、実際の使用状態での方位性に依存するため一義的に規定できないが、第1実施形態の記述では説明の便宜上、図1及び図2に示すように、第1ストッパ7の配置側を上側、第2ストッパ9の配置側を下側というように上下方向を規定するものとし、また、各部位の上面側を表面側と規定し、各部位の下面側を裏面側と規定するものとする。
以下に、図2に基づいて半導体加速度センサの製造工程の一例を説明する。シリコンからなるフレーム1の表裏面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11a及び酸化膜11bをエッチング除去し窓開けを行った後、異方性エッチングを行い、凸部である支持部6及び支持部10を形成する。次に、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、イオン注入工程、拡散工程により配線抵抗12を形成する。そして、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、イオン注入工程、拡散工程により拡散ゲージ抵抗であるセンシング素子4を形成する(図2(a)参照)。また、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、電極5を形成する(図2(b)参照)。
そして、フレーム1の裏面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11bをエッチング除去し窓開けを行った後、異方性エッチングを行いビーム2を形成する(図2(c)参照)。フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aをエッチング除去した後、異方性エッチングを行い、フレーム1と重り部3を切り離す(図2(d)参照)。表面の酸化膜11aの一部を除去し、裏面の酸化膜11bを除去後、第1ストッパ7、第2ストッパ相当部材90を各々支持部6、支持部10に接合する(図2(e)参照)。最後に、例えば、レーザーダイサーにより、第2ストッパ相当部材90を切断して前述のギャップC1、C2を形成することで、図1(b)に示す半導体加速度センサが完成する。
第1実施形態に係る半導体加速度センサは、表面側では、フレーム1とはギャップAを備えながら第1ストッパ7が支持部6を介して重り部3と連結され、フレーム1裏面側に設けた枠部の内方側には、フレーム1とギャップBを備えるとともに、枠部8とギャップC1、C2を備えながら第2ストッパ9が重り部3と連結されることで、Z軸方向の厚みを薄くすることができるので、センサの小型化をはかることができる。
また、第1ストッパ7及び第2ストッパ9を重り部3に連結させることで、重り部3の質量が見かけ上増加することになるので、センサ感度をあげることができる。また、第1ストッパ7及び第2ストッパ9を重り部3に対して所望の配置にすることで、ビーム2から支持される箇所の重心位置が自在に制御できるので、オフセット電圧を低減させることができる。
なお、第1実施形態においては、支持部6が重り部3と一体形成されているが、支持部6と重り部3とが一体形成されてはいないが同一の材料で形成されていても勿論よい。支持部6と重り部3とを同一の材料で形成することは、両者間の熱膨張係数の差がないため温度特性による半導体加速度センサの性能低下を防止することができる。
次に、第1実施形態においてフレーム1をSOI(Silicon On Insulater)基板で構成した実施形態を、本発明の第2実施形態として図3に基づいて説明する。図3は、本発明の第2実施形態に係る半導体加速度センサを示す概略断面図である。なお、図3において、半導体加速度センサを示す要部概略平面図、要部概略平面図は図1(a)、(c)に示すものと略同様であるので、図示は省略する。
ここで、第2実施形態において第1実施形態との相違点は、図3に示すように、フレーム1がSOI基板で構成されている点である。SOI基板は、表面側から活性層100、絶縁性である埋め込み中間酸化膜101、支持層102からなり、第2実施形態では、凸部である支持部6(6−1)がSOI基板の表面側からみて活性層100と、中間酸化膜101とで構成されている。
なお、第2実施形態における半導体加速度センサの製造工程は、第1実施形態の図2(a)に対応する工程において、凸部となる支持部相当箇所を残すようにSOI基板の表面側から活性層100、中間酸化膜101を除去して、図3に示す支持部6−1を形成するが、この工程以降は、第1実施形態の図2(a)〜(e)と略共通であるので、詳細な説明及び図示は省略する。
第2実施形態に係る半導体加速度センサは、フレーム1にSOI基板を使用することで、ギャップAが精度良く形成できるため、センシング精度が向上する。
最後に、支持部6をフレーム1とは別部材である実施形態を、本発明の第3実施形態として図4及び図5に基づいて説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係る半導体加速度センサを示す概略断面図であり、図5は、半導体加速度センサの製造工程の一例を示す図である。なお、図4において、半導体加速度センサを示す要部概略平面図、要部概略平面図は図1(a)、(c)に示すものと略同様であるので、図示は省略する。
第3実施形態において、第1実施形態との相違点は、図4に示すように、第1ストッパ7と重り部3とを接続する支持部6(6−2)がフレーム1とが一体形成されておらず、電極5と同一の材料で構成されている点である。なお、支持部6−2の厚みは、10μm程度である。
以下に、図5に基づいて半導体加速度センサの製造工程の一例を説明する。シリコンからなるフレーム1の裏面にフォトリソグラフィー工程を行い、異方性エッチングを行い、凸部である支持部10を形成する。次に、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、イオン注入工程、拡散工程により配線抵抗12を形成する。そして、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、イオン注入工程、拡散工程によりセンシング素子4を形成する(図5(a)参照)。また、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aの一部をエッチング除去した後、電極5とともに支持部6−2を同時に形成する。(図5(b)参照)。
そして、以降の工程は、第1実施形態の図2の説明と同様に、フレーム1の裏面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11bをエッチング除去し窓開けを行った後、異方性エッチングを行いビーム2を形成する(図5(c)参照)。そして、フレーム1の表面にフォトリソグラフィー工程を行い、酸化膜11aをエッチング除去した後、異方性エッチングを行い、フレーム1と重り部3を切り離す(図5(d)参照)。そして、裏面の酸化膜11bを除去後、第1ストッパ7、第2ストッパ相当部材90を各々支持部6−2、支持部10に接合する(図5(e)参照)。最後に、例えば、レーザーダイサーにより、第2ストッパ相当部材90を切断して前述のギャップC1、C2を形成することで、図4に示す半導体加速度センサが完成する。
第3実施形態に係る半導体加速度センサは、支持部6−2と電極5とを同一の材料とした構成にすることで、支持部6−2、電極5を一つの工程で形成することが可能になるので、製造工程の簡略化がはかれる。
なお、第1実施形態乃至第3実施形態においては、半導体加速度センサは、第1ストッパ7を上面に、第2ストッパ9を下面にした状態(以降、横置状態と称する。)を図示して説明しているが、この横置状態から半導体加速度センサを90度回転させた状態(以降、縦置状態と称する。)で使用することもできる。このような縦置状態では、半導体加速度センサは、第1ストッパ7及び第2ストッパ9の重り部3に対する配置形態を予め制御することで、ビーム2から支持される箇所の重心位置が自在に制御できるので、オフセット電圧を低減させることができる。
また、第1実施形態乃至第3実施形態においては、重り部3の一部に凸部である支持部10を設けて前述のギャップBを形成しているが、重り部3と第2ストッパ9とを接合した状態で、フレーム1と第2ストッパ9とがギャップBが備えれば、支持部10を形成しなくても重り部3の裏面を枠部2より下側に突出するような構造にするだけでもよい。
1 フレーム
2 ビーム
3 重り部
4 センシング素子
5 電極
6、6−1、6−2、10 支持部
7、9 ストッパ
8 枠部
2 ビーム
3 重り部
4 センシング素子
5 電極
6、6−1、6−2、10 支持部
7、9 ストッパ
8 枠部
Claims (4)
- 半導体基板からなるフレームと、
弾性を有し前記フレームの表面側で前記フレームに支持されるビームと、
該ビームに支持され作用する加速度により揺動する重り部と、
前記ビームに形成され前記ビームの変形を検出するセンシング素子と、
該センシング素子からの信号を外部に出力する電極と、
前記重り部の前記表面側に設けた支持部と、
該支持部と接合するとともに、前記フレームとは所定の第1ギャップを有して設けた第1ストッパと、
前記フレームの表面側ではない裏面側に設けた枠状である枠部と、
前記枠部の内方側に前記重り部と接合するとともに、前記フレームとは所定の第2ギャップを有し、前記枠部とは所定の第3ギャップを有するように設けた第2ストッパと、
を備えたことを特徴とする半導体加速度センサ。 - 前記支持部は、前記重り部と一体形成された、又は前記重り部と同一の材料である請求項1に記載の半導体加速度センサ。
- 前記支持部は、前記電極と同一の材料である請求項1に記載の半導体加速度センサ。
- 前記半導体基板は、SOI基板である請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003359730A JP2005121610A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 半導体加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003359730A JP2005121610A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 半導体加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005121610A true JP2005121610A (ja) | 2005-05-12 |
Family
ID=34615861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003359730A Pending JP2005121610A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 半導体加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005121610A (ja) |
-
2003
- 2003-10-20 JP JP2003359730A patent/JP2005121610A/ja active Pending
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