JP2005119912A - Dielectric porcelain composition, and electronic component - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric porcelain composition having sufficient insulation resistance even when baked in a neutral or reducing atmosphere, capable of suppressing an IR (initial insulation resistance) fraction defective even when a ceramic capacitor is thin-layered or multi-layered, and also having a high dielectric constant. <P>SOLUTION: The dielectric porcelain composition comprises a main component expressed by the compositional formula of ääBa<SB>(1-x)</SB>Ca<SB>x</SB>}O}<SB>A</SB>äTi<SB>(1-y)</SB>Zr<SB>y</SB>}<SB>B</SB>O<SB>2</SB>, and as sub-components, an oxide of Mn, an oxide of Si, an oxide of at least one kind selected from V and W and oxides of two kinds of rare earth elements, in which the total of the oxides of the two kinds of rare earth elements is 0.2 to 1.2 mol to 100 mol of the main component. A, B, x and y satisfy 0.995≤A/B≤1.020, 0≤x≤0.25, and 0.1≤y≤0.3 in the compositional formula. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、たとえば積層セラミックコンデンサの誘電体層などとして用いられる誘電体磁器組成物と、その誘電体磁器組成物を誘電体層として用いる電子部品に関する。   The present invention relates to a dielectric ceramic composition used as, for example, a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor, and an electronic component using the dielectric ceramic composition as a dielectric layer.

電子部品の一例である積層セラミックコンデンサは、たとえば、所定の誘電体磁器組成物からなるセラミックグリーンシートと、所定パターンの内部電極層とを交互に重ね、その後一体化して得られるグリーンチップを、焼成して製造される。積層セラミックコンデンサの内部電極層は、焼成によりセラミック誘電体と一体化されるために、セラミック誘電体と反応しないような材料を選択する必要がある。このため、内部電極層を構成する材料として、従来では白金やパラジウムなどの高価な貴金属を用いることを余儀なくされていた。   A multilayer ceramic capacitor, which is an example of an electronic component, is obtained by, for example, firing a green chip obtained by alternately stacking ceramic green sheets made of a predetermined dielectric ceramic composition and internal electrode layers of a predetermined pattern and then integrating them. Manufactured. Since the internal electrode layer of the multilayer ceramic capacitor is integrated with the ceramic dielectric by firing, it is necessary to select a material that does not react with the ceramic dielectric. For this reason, as a material constituting the internal electrode layer, conventionally, an expensive noble metal such as platinum or palladium has been inevitably used.

これに対して、安価な卑金属(たとえばニッケルや銅など)を内部電極の材料として用いるためには、中性または還元性雰囲気下で焼成しても半導体化せず、すなわち耐還元性に優れ、焼成後には十分な比誘電率と優れた誘電特性(たとえば容量温度変化率が小さいなど)とを有する誘電体磁器組成物を開発することが必要である。   On the other hand, in order to use an inexpensive base metal (for example, nickel or copper) as a material for the internal electrode, it does not become a semiconductor even when fired in a neutral or reducing atmosphere, that is, has excellent reduction resistance, It is necessary to develop a dielectric ceramic composition having a sufficient dielectric constant and excellent dielectric properties (for example, a small rate of change in capacitance temperature) after firing.

内部電極の材料として、ニッケルや銅のような卑金属を用いることができる誘電体磁器組成物として種々の提案がなされている(たとえば、特許文献1参照)。   Various proposals have been made as dielectric ceramic compositions in which a base metal such as nickel or copper can be used as the material of the internal electrode (see, for example, Patent Document 1).

また、BaO−CaO−TiO−ZrO系の誘電体磁器組成物においては、比誘電率が大きくなると、静電容量の温度特性の悪化や交流破壊電圧の低下が問題となる場合があり、これらの問題を解決するために、MgOおよびYを含有することを特徴とする誘電体磁器組成物が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。 In the BaO-CaO-TiO 2 -ZrO 2 based dielectric ceramic composition, the dielectric constant increases, there is a decline in the deterioration and the AC breakdown voltage of the temperature characteristic of the capacitance becomes a problem, In order to solve these problems, a dielectric ceramic composition characterized by containing MgO and Y 2 O 3 has been proposed (see, for example, Patent Document 2).

しかし、この文献においては、単板セラミックコンデンサについて検討されており、積層コンデンサについての検討はなされていない。さらに、誘電体磁器組成物中にMgOを含有しているため比誘電率が大きく低下してしまうという問題も生じている。   However, in this document, a single plate ceramic capacitor is studied, and a multilayer capacitor is not studied. Furthermore, since the dielectric ceramic composition contains MgO, there is a problem that the relative permittivity is greatly reduced.

一方、近年、電子回路の高密度化に伴う電子部品の小型化に対する要求は高く、積層セラミックコンデンサの小型化、大容量化が急速に進んでいる。それに伴い、積層セラミックコンデンサにおける1層あたりの誘電体層の薄層化、および積層数増加による誘電体層の多層化が進み、薄層化および多層化してもコンデンサとしての信頼性を維持できる誘電体磁器組成物が求められている。   On the other hand, in recent years, there is a high demand for downsizing of electronic components due to higher density of electronic circuits, and downsizing and increasing capacity of multilayer ceramic capacitors are rapidly progressing. As a result, dielectric layers per layer in multilayer ceramic capacitors have become thinner and dielectric layers have increased in number due to an increase in the number of layers. Dielectrics that can maintain the reliability of capacitors even when they are made thinner and multilayered. There is a need for a body porcelain composition.

特に、小型化および大容量のためには、誘電体磁器組成物に対して非常に高い信頼性が要求される。なぜなら、小型化および大容量化のために、誘電体層の薄層化および多層化が進むと、誘電体磁器組成物の絶縁抵抗が十分でない場合、初期絶縁抵抗不良つまり、IR不良が生じる可能性が高くなってしまうからである。   Particularly for miniaturization and large capacity, very high reliability is required for the dielectric ceramic composition. This is because if the dielectric layer is made thinner and multi-layered for miniaturization and capacity increase, if the dielectric ceramic composition has insufficient insulation resistance, an initial insulation resistance failure, that is, an IR failure may occur. It is because the nature becomes high.

特開平6−45182号公報JP-A-6-45182 特開2003−109430号公報JP 2003-109430 A

本発明の目的は、中性または還元性雰囲気下で焼成した場合においても十分な絶縁抵抗を有し、積層セラミックコンデンサの誘電体層として使用し、積層セラミックコンデンサを薄層化および多層化した場合においても、IR不良率を低く抑えることができ、かつ高い比誘電率を有する誘電体磁器組成物を提供することである。また、本発明は、このような誘電体磁器組成物を用いて製造され、信頼性が高められた積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することも目的とする。特に本発明は、薄層化、多層化および小型化対応の積層セラミックコンデンサ等の電子部品を提供することを目的としている。   The object of the present invention is to have sufficient insulation resistance even when fired in a neutral or reducing atmosphere, and when used as a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor, the multilayer ceramic capacitor is thinned and multilayered Is to provide a dielectric ceramic composition that can keep the IR defect rate low and has a high relative dielectric constant. Another object of the present invention is to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor manufactured using such a dielectric ceramic composition and having improved reliability. In particular, an object of the present invention is to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor capable of being thinned, multilayered and miniaturized.

本発明の発明者等は、積層型セラミックチップコンデンサなどの電子部品の誘電体層として用いられる誘電体磁器組成物において、積層セラミックコンデンサの誘電体層として使用し、積層セラミックコンデンサを薄層化および多層化しても、IR不良率を低く抑えることができ、かつ高い比誘電率を有する誘電体磁器組成物について鋭意検討した結果、特定組成の誘電体磁器組成物において、副成分として、2種類の希土類元素の酸化物を添加することで、本発明の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   The inventors of the present invention use a dielectric ceramic composition used as a dielectric layer of an electronic component such as a multilayer ceramic chip capacitor as a dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor. As a result of intensive investigations on a dielectric ceramic composition having a high relative dielectric constant even when the number of layers is reduced, two types of subcomponents are used as the dielectric ceramic composition. The inventors have found that the object of the present invention can be achieved by adding rare earth element oxides, and have completed the present invention.

すなわち、本発明に係る誘電体磁器組成物は、
主成分が組成式
{{Ba(1−x)Ca}O}{Ti(1−y)Zr
(ただし、A,B,x,yが、0.995≦A/B≦1.020、0≦x≦0.25、0.1≦y≦0.3)
で表され、副成分として、主成分100モルに対して、Mnの酸化物をMnO換算で0.03〜1.70モル、Siの酸化物をSiO換算で0〜1.00モル、VおよびWの少なくとも1種の酸化物をVおよびWO換算で0.001〜0.7モル含有する誘電体磁器組成物であって、
2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)をさらに副成分として含み、前記R1の酸化物と前記R2の酸化物の含有量の合計が、主成分100モルに対して、R1の酸化物およびR2の酸化物換算で0.1〜1.2モルであることを特徴とする。
That is, the dielectric ceramic composition according to the present invention is
The main component is a composition formula {{Ba (1-x) Ca x } O} A {Ti (1-y) Zr y } B O 2.
(However, A, B, x, y are 0.995 ≦ A / B ≦ 1.020, 0 ≦ x ≦ 0.25, 0.1 ≦ y ≦ 0.3)
As an auxiliary component, with respect to 100 mol of the main component, the oxide of Mn is 0.03 to 1.70 mol in terms of MnO, the oxide of Si is 0 to 1.00 mol in terms of SiO 2 , V And a dielectric ceramic composition containing at least one oxide of W and W in an amount of 0.001 to 0.7 mol in terms of V 2 O 5 and WO 3 ,
Two kinds of rare earth oxides (R1 oxide, R2 oxide) are further included as subcomponents, and the total content of the R1 oxide and the R2 oxide is 100 mol of the main component. In addition, it is 0.1 to 1.2 mol in terms of oxide of R1 and oxide of R2.

本発明に係る誘電体磁器組成物において、好ましくは、前記R1の酸化物が、Yの酸化物である。   In the dielectric ceramic composition according to the present invention, preferably, the R1 oxide is a Y oxide.

本発明に係る誘電体磁器組成物において、好ましくは、前記R1の酸化物の含有量が、主成分100モルに対して、R1の酸化物換算で0.1〜0.6モルである。   In the dielectric ceramic composition according to the present invention, preferably, the content of the R1 oxide is 0.1 to 0.6 mol in terms of the oxide of R1 with respect to 100 mol of the main component.

本発明に係る誘電体磁器組成物において、好ましくは、前記R2の酸化物の含有量が、主成分100モルに対して、R2の酸化物換算で0.1〜0.6モルである。   In the dielectric ceramic composition according to the present invention, preferably, the content of the R2 oxide is 0.1 to 0.6 mol in terms of the oxide of R2 with respect to 100 mol of the main component.

本発明に係る電子部品は、上記のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有する。電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップインダクタ、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品が例示される。   The electronic component according to the present invention has a dielectric layer made of any one of the above dielectric ceramic compositions. Although it does not specifically limit as an electronic component, A multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric element, a chip inductor, a chip varistor, a chip thermistor, a chip resistor, and other surface mount (SMD) chip type electronic components are illustrated.

本発明に係る積層セラミックコンデンサは、上記のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層と、内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ素子本体を有する。   A multilayer ceramic capacitor according to the present invention has a capacitor element body in which dielectric layers composed of the dielectric ceramic composition described above and internal electrode layers are alternately stacked.

本発明に係る積層セラミックコンデンサにおいて、好ましくは、前記誘電体層の積層数が、20以上であり、さらに好ましくは50以上であり、より好ましくは100以上である。   In the multilayer ceramic capacitor according to the present invention, the number of stacked dielectric layers is preferably 20 or more, more preferably 50 or more, and more preferably 100 or more.

本発明に係る積層セラミックコンデンサにおいて、好ましくは、前記誘電体層の厚みが、4.5μm以下、さらに好ましくは、3.0μm以下である。   In the multilayer ceramic capacitor according to the present invention, preferably, the dielectric layer has a thickness of 4.5 μm or less, more preferably 3.0 μm or less.

本発明によれば、中性または還元性雰囲気下で焼成した場合においても、高い絶縁抵抗を有し、セラミックコンデンサを薄層化、多層化した場合においても、IR不良率を低くすることが可能であり、高い比誘電率を有する誘電体磁器組成物を提供することができる。また、本発明によれば、薄層化、多層化しても、IR不良率が低く、比誘電率の高い積層型セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することができる。   According to the present invention, even when fired in a neutral or reducing atmosphere, it has a high insulation resistance, and even when a ceramic capacitor is thinned or multilayered, the IR defect rate can be lowered. Thus, a dielectric ceramic composition having a high relative dielectric constant can be provided. In addition, according to the present invention, it is possible to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having a low IR defect rate and a high relative dielectric constant even when it is thinned or multilayered.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図、
図2は本発明の実施例および比較例に係る誘電体磁器組成物における希土類元素の酸化物のモル数と、比誘電率との関係を示すグラフ、
図3は本発明の実施例および比較例に係る誘電体磁器組成物における希土類元素の酸化物のモル数と、IR不良率との関係を示すグラフである。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the number of moles of an oxide of a rare earth element and the relative dielectric constant in dielectric ceramic compositions according to examples and comparative examples of the present invention,
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the number of moles of rare earth element oxides and the IR defect rate in dielectric ceramic compositions according to examples and comparative examples of the present invention.

図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。   As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention includes a capacitor element body 10 having a configuration in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked. At both ends of the capacitor element body 10, a pair of external electrodes 4 are formed which are electrically connected to the internal electrode layers 3 arranged alternately in the element body 10. The shape of the capacitor element body 10 is not particularly limited, but is usually a rectangular parallelepiped shape. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also in the dimension, What is necessary is just to set it as a suitable dimension according to a use.

内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。   The internal electrode layers 3 are laminated so that the end faces are alternately exposed on the surfaces of the two opposite ends of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and are connected to the exposed end surfaces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to constitute a capacitor circuit.

誘電体層2は、本発明の誘電体磁器組成物を含有する。
本発明の誘電体磁器組成物は、{{Ba(1−x)Ca}O}{Ti(1−y)Zrで表される組成の誘電体酸化物を含む主成分と、Mnの酸化物と、Siの酸化物と、VおよびWの少なくとも1種の酸化物と、2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)とを含む副成分とを有する。この際、酸素(O)量は、上記式の化学量論組成から若干偏倚してもよい。
The dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition of the present invention.
The dielectric ceramic composition of the present invention, {{Ba (1-x ) Ca x} O} A {Ti (1-y) Zr y} mainly containing a dielectric oxide represented by the composition by B O 2 A sub-component that includes a component, an oxide of Mn, an oxide of Si, at least one oxide of V and W, and an oxide of two rare earth elements (an oxide of R1 and an oxide of R2). With ingredients. At this time, the amount of oxygen (O) may be slightly deviated from the stoichiometric composition of the above formula.

上記式中、xは、0以上0.25以下、好ましくは0.01以上0.1以下である。また、yは、0.1以上0.3以下、好ましくは0.15以上0.25以下である。また、A/Bは、0.995以上1.020以下、好ましくは1.000以上1.010以下である。   In the above formula, x is 0 or more and 0.25 or less, preferably 0.01 or more and 0.1 or less. Moreover, y is 0.1 or more and 0.3 or less, preferably 0.15 or more and 0.25 or less. A / B is 0.995 or more and 1.020 or less, preferably 1.000 or more and 1.010 or less.

この組成において、xはCaの比率を表すが、このCaは、主に焼結安定性を向上させるとともに、絶縁抵抗値を向上させる元素として作用するものである。xが0.25を超えると、比誘電率が低くなる傾向にある。従って、xの値は、0≦x≦0.25の範囲が望ましい。   In this composition, x represents the ratio of Ca. This Ca mainly acts as an element that improves the sintering stability and the insulation resistance value. When x exceeds 0.25, the relative permittivity tends to be low. Therefore, the value of x is preferably in the range of 0 ≦ x ≦ 0.25.

前記組成式において、yはZrの比率を表すが、このZrは、主にキュリー点を低温側に移動させるシフターとして作用するものである。yが0.1未満となると誘電損失が高くなる傾向にあり、また、yが0.3を超えると比誘電率が低くなる傾向にある。従って、yの値は0.1≦y≦0.3の範囲が望ましい。   In the composition formula, y represents the ratio of Zr, and this Zr mainly functions as a shifter that moves the Curie point to the low temperature side. When y is less than 0.1, the dielectric loss tends to increase, and when y exceeds 0.3, the relative permittivity tends to decrease. Therefore, the value of y is preferably in the range of 0.1 ≦ y ≦ 0.3.

前記組成式において、A/Bが0.995未満になると、焼成時に誘電体層の異常粒成長が生じ易くなると共に、絶縁抵抗値が低下する傾向にあり、A/Bが1.020を超えると焼結性が低下する傾向にあり、緻密な焼結体が得にくくなる。従って、A/Bは0.995≦A/B≦1.020の範囲が好ましい。   In the composition formula, when A / B is less than 0.995, abnormal grain growth of the dielectric layer tends to occur during firing, and the insulation resistance value tends to decrease, and A / B exceeds 1.020. And the sinterability tends to decrease, making it difficult to obtain a dense sintered body. Therefore, A / B is preferably in the range of 0.995 ≦ A / B ≦ 1.020.

前記Mnの酸化物は、焼結を促進する効果と、IRを高くする効果と、IR寿命を向上させる効果とがあり、主成分100モルに対して、MnO換算で0.03〜1.70モル、好ましくは、0.1〜1.0モルであり、さらに好ましくは、0.3〜0.7モルである。Mnの酸化物の含有量が少な過ぎると、添加した効果が得にくくなる傾向にあり、多過ぎると、比誘電率が低下する傾向にある。   The oxide of Mn has an effect of promoting sintering, an effect of increasing IR, and an effect of improving the IR lifetime, and is 0.03 to 1.70 in terms of MnO with respect to 100 mol of the main component. Mol, preferably 0.1 to 1.0 mol, and more preferably 0.3 to 0.7 mol. If the Mn oxide content is too small, the added effect tends to be difficult to obtain, and if it is too much, the relative dielectric constant tends to decrease.

前記Siの酸化物は、焼結助剤として作用し、主成分100モルに対して、SiO換算で0〜1.00モル、好ましくは、0.4〜1.0モルである。Siの酸化物の含有量が多過ぎると、比誘電率が低下する傾向にある。 The oxide of Si acts as a sintering aid and is 0 to 1.00 mol, preferably 0.4 to 1.0 mol in terms of SiO 2 with respect to 100 mol of the main component. When the content of Si oxide is too large, the dielectric constant tends to decrease.

前記Vの酸化物およびWの酸化物は、IR寿命を向上させる効果があり、VおよびWの少なくとも1種の酸化物は、主成分100モルに対して、VおよびWO換算で0.001〜0.7モル、好ましくは、0.01〜0.2モルである。Vの酸化物およびWの酸化物の含有量が少な過ぎると、添加した効果が得にくくなる傾向にあり、多過ぎると、IRが著しく低下する傾向にある。 The oxide of V and the oxide of W have an effect of improving the IR lifetime, and at least one oxide of V and W is converted to V 2 O 5 and WO 3 with respect to 100 mol of the main component. 0.001 to 0.7 mol, preferably 0.01 to 0.2 mol. When the content of the oxide of V and the oxide of W is too small, the added effect tends to be difficult to obtain, and when it is too large, IR tends to be remarkably lowered.

本発明の誘電体磁器組成物の特徴点は、前記主成分と前記各副成分とを含有し、さらに、2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)を所定量添加する点にある。希土類元素の酸化物を2種類添加することにより、中性または還元性雰囲気下において焼成した場合においても、十分な絶縁抵抗を有し、セラミックコンデンサを薄層化および多層化した場合においても、IR不良率を低くすることができ、かつ比誘電率を高くすることが可能となる。   The feature of the dielectric ceramic composition of the present invention is that the main component and the subcomponents are contained, and two kinds of rare earth element oxides (R1 oxide and R2 oxide) are added in a predetermined amount. It is in the point to add. By adding two kinds of rare earth element oxides, even when fired in a neutral or reducing atmosphere, it has sufficient insulation resistance, and even when ceramic capacitors are thinned and multilayered, IR The defect rate can be lowered and the relative dielectric constant can be increased.

希土類の酸化物を含有しない場合には、中性または還元性雰囲気下で焼成を行うと、誘電体磁器組成物が半導体化してしまい、十分な絶縁抵抗が確保できなくなるため、コンデンサの薄層化が困難となってしまう。また、この問題を解決するためにMgの酸化物を添加した場合においては、比誘電率が低下してしまう。   When rare earth oxides are not included, firing in a neutral or reducing atmosphere causes the dielectric porcelain composition to become a semiconductor, making it impossible to secure sufficient insulation resistance. Becomes difficult. In addition, when a Mg oxide is added to solve this problem, the relative permittivity is lowered.

さらに、希土類元素の酸化物を1種類だけ添加した場合においては、十分な絶縁抵抗が確保でき、比誘電率を高くすることが可能となるが、セラミックコンデンサを薄層化および多層化した場合、その添加量を増やしても、IR不良率を低く抑えることができない。   Furthermore, when only one kind of rare earth element oxide is added, sufficient insulation resistance can be secured and the relative dielectric constant can be increased. However, when the ceramic capacitor is thinned and multilayered, Even if the amount added is increased, the IR defect rate cannot be kept low.

なお、希土類元素の酸化物を2種類添加することによって、IR不良率を低く抑えることができる理由について、その詳細については、判明していないが、希土類元素の酸化物を2種類添加した方が、1種類のみ添加した場合と比較して、主成分に固溶しやすくなることが、要因の一つであると考えられる。   The reason why the IR defect rate can be reduced by adding two kinds of rare earth element oxides has not been clarified in detail, but it is better to add two kinds of rare earth element oxides. It is considered that one of the factors is that it becomes easier to dissolve in the main component than when only one kind is added.

なお、本発明の目的を達成できる範囲において、その他の希土類元素の酸化物あるいは、その他の副成分を添加してもよい。   It should be noted that other rare earth element oxides or other subcomponents may be added as long as the object of the present invention can be achieved.

2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)は、前記R1の酸化物とR2の酸化物の含有量の合計が、主成分100モルに対して、R1の酸化物およびR2の酸化物換算で0.1〜1.2モルであり、好ましくは、0.2〜1.0モルであり、さらに好ましくは、0.4〜0.9モルである。2種類の希土類元素の酸化物の含有量が少な過ぎると、IR不良率が高くなる傾向にあり、多過ぎると比誘電率が低下する傾向にある。   The two types of rare earth oxides (R1 oxide, R2 oxide), the total content of the R1 oxide and the R2 oxide is 100 moles of the R1 oxide. And 0.1 to 1.2 mol in terms of oxide of R2, preferably 0.2 to 1.0 mol, and more preferably 0.4 to 0.9 mol. If the content of the oxides of the two rare earth elements is too small, the IR defect rate tends to increase, and if it is too large, the relative permittivity tends to decrease.

前記R1の酸化物は、Yの酸化物であることが好ましい。つまり、2種類の希土類元素の酸化物のうち1種類は、Yの酸化物であることが好ましい。2種類の希土類元素の酸化物のうちの1種をYの酸化物とすることで、2種類の希土類元素の酸化物を含有するが、Yの酸化物を含有しない場合と比較して、よりIR不良率を低く抑えることができ、より比誘電率を向上することができるためである。   The oxide of R1 is preferably a Y oxide. That is, it is preferable that one of the two types of rare earth oxides is an oxide of Y. By making one of the two kinds of rare earth element oxides into Y oxides, it contains two kinds of rare earth element oxides. This is because the IR defect rate can be kept low and the relative dielectric constant can be further improved.

前記R1の酸化物の含有量は、主成分100モルに対して、R1の酸化物換算で0.1〜0.6モルであることが好ましく、より好ましくは0.1〜0.45モルである。R1の酸化物の含有量が少な過ぎると、IR不良率が高くなる傾向にあり、多過ぎると比誘電率が低下する傾向にある。   The content of the R1 oxide is preferably 0.1 to 0.6 mol, more preferably 0.1 to 0.45 mol in terms of the oxide of R1 with respect to 100 mol of the main component. is there. If the content of the R1 oxide is too small, the IR defect rate tends to be high, and if it is too large, the relative dielectric constant tends to decrease.

前記R2の酸化物は、Y以外の希土類元素の酸化物であれば何でも良いが、より好ましくは、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、TmまたはYbの各元素の酸化物である。R2の酸化物として、このような元素の酸化物とした場合に、特に本発明の効果が向上する。   The oxide of R2 may be anything as long as it is an oxide of a rare earth element other than Y, but more preferably an oxide of each element of Eu, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, or Yb. When the oxide of R2 is an oxide of such an element, the effect of the present invention is particularly improved.

前記R2の酸化物の含有量は、主成分100モルに対して、R2の酸化物換算で0.1〜0.6モルであり、好ましくは0.1〜0.45モルである。R2の酸化物の含有量が少な過ぎると、IR不良率が高くなる傾向にあり、多過ぎると比誘電率が低下する傾向にある。   The content of the R2 oxide is 0.1 to 0.6 mol, preferably 0.1 to 0.45 mol in terms of the oxide of R2 with respect to 100 mol of the main component. When the content of the oxide of R2 is too small, the IR defect rate tends to increase, and when it is too large, the relative permittivity tends to decrease.

なお、本明細書では、主成分および各副成分を構成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであってもよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成の酸化物に換算して求める。   Note that, in this specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition, but the oxidation state of each oxide may be out of the stoichiometric composition. . However, the said ratio of each subcomponent is calculated | required by converting into the oxide of the said stoichiometric composition from the metal amount contained in the oxide which comprises each subcomponent.

誘電体層2の厚さは、特に限定されないが、一層あたり7μm以下であることが好ましく、より好ましくは4.5μm以下、特に好ましくは、3μm以下である。厚さの下限は、特に限定されないが、たとえば0.5μm程度である。   The thickness of the dielectric layer 2 is not particularly limited, but is preferably 7 μm or less per layer, more preferably 4.5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less. Although the minimum of thickness is not specifically limited, For example, it is about 0.5 micrometer.

誘電体層2の積層数は、特に限定されないが、20以上であることが好ましく、より好ましくは50以上、特に好ましくは、100以上である。   The number of laminated dielectric layers 2 is not particularly limited, but is preferably 20 or more, more preferably 50 or more, and particularly preferably 100 or more.

本実施形態では、誘電体層2の厚みを、4.5μm以下に薄くし、積層数を20以上、特に、100以上とした場合でも、IR不良率が低く、かつ高い比誘電率を有する積層セラミックコンデンサを得ることができる。   In the present embodiment, even when the thickness of the dielectric layer 2 is reduced to 4.5 μm or less and the number of laminations is 20 or more, particularly 100 or more, the IR defect rate is low and the lamination has a high relative dielectric constant. A ceramic capacitor can be obtained.

誘電体層2に含まれる誘電体粒子の平均結晶粒径は、特に限定されず、誘電体層2の厚さなどに応じて、例えば1.0〜5.0μmの範囲から適宜決定すればよく、好ましくは2.0〜3.0μmである。平均結晶粒径を小さくすることにより、比誘電率は低下する傾向にあるが、HALTを改良することができる。   The average crystal grain size of the dielectric particles contained in the dielectric layer 2 is not particularly limited, and may be appropriately determined from the range of 1.0 to 5.0 μm, for example, according to the thickness of the dielectric layer 2 and the like. The thickness is preferably 2.0 to 3.0 μm. By reducing the average grain size, the relative permittivity tends to decrease, but the HALT can be improved.

内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。   The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or Ni alloy is preferable. The Ni alloy is preferably an alloy of Ni and one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more.

外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。   The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited, but in the present invention, inexpensive Ni, Cu, and alloys thereof can be used. The thickness of the external electrode 4 may be determined as appropriate according to the application and the like, but is usually preferably about 10 to 50 μm.

本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。   In the multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention, as in the conventional multilayer ceramic capacitor, a green chip is produced by a normal printing method or sheet method using a paste, and this is fired, and then externally It is manufactured by printing or transferring an electrode and firing. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.

まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物粉末を準備し、これを塗料化して、誘電体層用ペーストを調整する。   First, the dielectric ceramic composition powder contained in the dielectric layer paste is prepared, and this is made into a paint to prepare the dielectric layer paste.

誘電体層用ペーストは、誘電体磁器組成物粉末と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。   The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition powder and an organic vehicle, or may be a water-based paint.

誘電体磁器組成物粉末としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。誘電体磁器組成物粉末中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。塗料化する前の状態で、誘電体磁器組成物粉末の粒径は、通常、平均粒径0.1〜1μm程度である。   As the dielectric ceramic composition powder, the above-described oxides, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the above-described oxides and composite oxides by firing, such as carbonates and An acid salt, a nitrate, a hydroxide, an organometallic compound, or the like can be appropriately selected and mixed for use. What is necessary is just to determine content of each compound in a dielectric ceramic composition powder so that it may become a composition of the above-mentioned dielectric ceramic composition after baking. The particle size of the dielectric ceramic composition powder is usually about 0.1 to 1 [mu] m in average before the coating.

有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。   An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. Further, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene, and the like, depending on a method to be used such as a printing method or a sheet method.

また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。   Further, when the dielectric layer paste is used as a water-based paint, a water-based vehicle in which a water-soluble binder or a dispersant is dissolved in water and a dielectric material may be kneaded. The water-soluble binder used for the water-based vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, or the like may be used.

内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。   The internal electrode layer paste is obtained by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals and alloys as described above, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare.

外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。   The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in each above-mentioned paste, For example, what is necessary is just about 1-5 weight% of binders, for example, about 10-50 weight% of binders. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.

印刷法を用いる場合、誘電体層用ペーストおよび内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。   When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then peeled from the substrate to obtain a green chip.

また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。   When the sheet method is used, a dielectric layer paste is used to form a green sheet, the internal electrode layer paste is printed thereon, and these are stacked to form a green chip.

焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、内部電極層ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、脱バインダ雰囲気中の酸素分圧を10−45 〜10Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、脱バインダ効果が低下する。また酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 Before firing, the green chip is subjected to binder removal processing. The binder removal treatment may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste. However, when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen partial pressure in the binder removal atmosphere is 10 It is preferable to be −45 to 10 5 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the binder removal effect is lowered. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to oxidize.

また、それ以外の脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、より好ましくは10〜100℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、より好ましくは200〜350℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜24時間、より好ましくは2〜20時間とする。また、焼成雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とすることが好ましく、還元性雰囲気における雰囲気ガスとしては、たとえばNとHとの混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other binder removal conditions, the temperature rising rate is preferably 5 to 300 ° C./hour, more preferably 10 to 100 ° C./hour, and the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C., more preferably 200 to 350. The temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours, more preferably 2 to 20 hours. The firing atmosphere is preferably air or a reducing atmosphere, and as an atmosphere gas in the reducing atmosphere, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.

グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−9〜10−4Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 The atmosphere at the time of green chip firing may be appropriately determined according to the type of conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere The pressure is preferably 10 −9 to 10 −4 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may be abnormally sintered and may be interrupted. Further, when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

また、焼成時の保持温度は、好ましくは1100〜1400℃、より好ましくは1200〜1300℃である。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。   Moreover, the holding temperature at the time of baking becomes like this. Preferably it is 1100-1400 degreeC, More preferably, it is 1200-1300 degreeC. If the holding temperature is lower than the above range, the densification becomes insufficient. If the holding temperature is higher than the above range, the electrode temperature is interrupted due to abnormal sintering of the internal electrode layer, the capacity temperature characteristic deteriorates due to diffusion of the constituent material of the internal electrode layer, and the dielectric Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.

これ以外の焼成条件としては、昇温速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間、温度保持時間を好ましくは0.5〜8時間、より好ましくは1〜3時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間とする。また、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、NとHとの混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other firing conditions, the rate of temperature rise is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour, and the temperature holding time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 1 to 3 hours. The time and cooling rate are preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour. Further, the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and as the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used by humidification.

還元性雰囲気中で焼成した場合、コンデンサ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。   When firing in a reducing atmosphere, it is preferable to anneal the capacitor element body. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer, and this can significantly increase the IR lifetime, thereby improving the reliability.

アニール雰囲気中の酸素分圧は、10−3Pa以上、特に10−2〜10Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸化する傾向にある。 The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably 10 −3 Pa or more, particularly preferably 10 −2 to 10 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when it exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

アニールの際の保持温度は、1100℃以下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりやすい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、アニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。   The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly 500 to 1100 ° C. When the holding temperature is lower than the above range, the dielectric layer is not sufficiently oxidized, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, if the holding temperature exceeds the above range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is lowered, but the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, the capacity temperature characteristic is deteriorated, the IR is lowered, the IR Life is likely to decrease. Note that annealing may be composed of only a temperature raising process and a temperature lowering process. That is, the temperature holding time may be zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

これ以外のアニール条件としては、温度保持時間を好ましくは0〜20時間、より好ましくは2〜10時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。また、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿したNガス等を用いることが好ましい。 As other annealing conditions, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, more preferably 2 to 10 hours, and the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. . Further, as the annealing atmosphere gas, for example, humidified N 2 gas or the like is preferably used.

上記した脱バインダ処理、焼成およびアニールにおいて、Nガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。
脱バインダ処理、焼成およびアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。
In the above-described binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to wet the N 2 gas or mixed gas. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.
The binder removal treatment, firing and annealing may be performed continuously or independently.

上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、加湿したNとHとの混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
The capacitor element body obtained as described above is subjected to end surface polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing conditions of the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.
The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.

本発明によれば、特定組成の誘電体磁器組成物において、副成分として、2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)を特定量添加することで、積層セラミックコンデンサの誘電体層の厚みを薄くし、誘電体層の積層数を増やした場合でも、IR不良率を低く抑えることができると共に、高い比誘電率と信頼性を確保しつつ、性能をさらに向上させることができる。   According to the present invention, in a dielectric ceramic composition having a specific composition, a specific amount of two rare earth element oxides (R1 oxide and R2 oxide) are added as subcomponents. Even when the thickness of the dielectric layer is reduced and the number of laminated dielectric layers is increased, the IR defect rate can be kept low, and the performance is further improved while ensuring a high relative dielectric constant and reliability. be able to.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention.

たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、上記組成の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有するものであれば何でも良い。   For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and is composed of a dielectric ceramic composition having the above composition. Any material having a dielectric layer can be used.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
出発原料として、ゾルゲル合成により生成された{{Ba(1−x)Ca}O}{Ti(1−y)Zrで示される組成の誘電体酸化物から成る主成分を用いた。主成分を示す式中の組成比を示す記号A,B,x,yが、
A/B=1.005、
x=0.01、
y=0.20の関係の関係にあった。
なお、上記誘電体酸化物の平均粒径は、0.5μmであった。
Example 1
As a starting material, a main component composed of a dielectric oxide having a composition represented by {{Ba (1-x) Ca x } O} A {Ti (1-y) Zr y } B O 2 produced by sol-gel synthesis Was used. The symbols A, B, x, y indicating the composition ratio in the formula indicating the main component are
A / B = 1.005,
x = 0.01,
The relationship was y = 0.20.
The average particle size of the dielectric oxide was 0.5 μm.

また、副成分であるMnO、SiO、V、WO、R1の酸化物、R2の酸化物、およびMgOを表1および2に示すモル比にて、各々ボールミルで16時間湿式粉砕し、900℃および3時間の条件で、大気雰囲気中で仮焼きし、その後、解砕のためにボールミルで20時間湿式粉砕し、副成分の添加物とした。 Also, the auxiliary components MnO, SiO 2 , V 2 O 5 , WO 3 , R1 oxide, R2 oxide, and MgO were wet pulverized in a ball mill for 16 hours in the molar ratios shown in Tables 1 and 2, respectively. The mixture was calcined in the atmosphere at 900 ° C. for 3 hours, and then wet pulverized with a ball mill for 20 hours for pulverization to obtain an additive of an auxiliary component.

そして、主成分と副成分とを、ボールミルで16時間、湿式粉砕し、乾燥して、表1および2に示す試料番号1〜21の誘電体材料を得た。   Then, the main component and the subcomponent were wet pulverized with a ball mill for 16 hours and dried to obtain dielectric materials of sample numbers 1 to 21 shown in Tables 1 and 2.

これら試料番号1〜21の誘電体材料の各々を用いて、誘電体原料100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、トルエン10重量部と、酢酸エチル70重量部と、ミネラルスピリット6重量部と、アセトン4重量部とをボールミルで混合し、ペースト化して誘電体層用ペーストを得た。   Using each of these dielectric materials of sample numbers 1 to 21, 100 parts by weight of dielectric material, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 10 parts by weight of toluene, 70 parts by weight of ethyl acetate, and 6 parts by weight of mineral spirits. Part and 4 parts by weight of acetone were mixed with a ball mill and made into a paste to obtain a dielectric layer paste.

平均粒径0.2〜0.8μmのNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部と、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練し、ペースト化して内部電極層用ペーストを得た。   100 parts by weight of Ni particles having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol It knead | mixed with 3 rolls and was made into the paste and obtained the paste for internal electrode layers.

得られた誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上にグリーンシートを形成した。この上に内部電極用ペーストを印刷した後、PETフィルムからシートを剥離した。次いで、これらのグリーンシートと保護用グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積層、圧着して、グリーンチップを得た。   Using the obtained dielectric layer paste, a green sheet was formed on a PET film. After the internal electrode paste was printed thereon, the sheet was peeled from the PET film. Next, these green sheets and protective green sheets (not printed with internal electrode layer paste) were laminated and pressure-bonded to obtain green chips.

次いで、グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行って、積層セラミック焼成体を得た。脱バインダ処理条件は、昇温速度:25.0℃/時間、保持温度:260℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。焼成条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1250℃、温度保持時間:2時間、冷却速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したN+H混合ガス(酸素分圧:10−6Pa)とした。アニール条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1050℃、温度保持時間:2時間、冷却速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したNガス(酸素分圧:10−1Pa)とした。なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、水温を20℃としたウエッターを用いた。 Next, the green chip was cut into a predetermined size and subjected to binder removal processing, firing and annealing under the following conditions to obtain a multilayer ceramic fired body. The binder removal treatment conditions were temperature rising rate: 25.0 ° C./hour, holding temperature: 260 ° C., temperature holding time: 8 hours, atmosphere: in air. Firing conditions were: temperature rising rate: 200 ° C./hour, holding temperature: 1250 ° C., temperature holding time: 2 hours, cooling rate: 200 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 + H 2 mixed gas (oxygen partial pressure: 10 −6 Pa). The annealing conditions were as follows: temperature rising rate: 200 ° C./hour, holding temperature: 1050 ° C., temperature holding time: 2 hours, cooling rate: 200 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 gas (oxygen partial pressure: 10 −1 Pa). Note that a wetter with a water temperature of 20 ° C. was used for humidifying the atmospheric gas during firing and annealing.

次いで、得られた積層セラミック焼成体の端面をサンドブラストにて研磨した後、外部電極としてIn−Gaを塗布し、図1に示す積層セラミックコンデンサの試料1〜21を得た。   Next, after polishing the end face of the obtained multilayer ceramic fired body by sand blasting, In-Ga was applied as an external electrode to obtain samples 1 to 21 of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG.

得られたコンデンサ試料のサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は100、1層あたりの誘電体層の厚み(層間厚み)は4.5μmであり、内部電極層の厚さは1.2μmであった。また、各試料の誘電体層における平均結晶粒径を調べたところ、2.5μmであった。各試料について下記特性の評価を行った。   The size of the obtained capacitor sample was 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between internal electrode layers was 100, and the thickness of the dielectric layers per one layer (interlayer thickness) ) Was 4.5 μm, and the thickness of the internal electrode layer was 1.2 μm. Further, when the average crystal grain size in the dielectric layer of each sample was examined, it was 2.5 μm. The following characteristics were evaluated for each sample.

比誘電率(ε )、誘電損失(tanδ)、絶縁抵抗(IR)、CR積
コンデンサの試料に対し、基準温度20℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数120Hz,入力信号レベル(測定電圧)0.625Vrms/μmの条件下で、静電容量Cおよび誘電損失tanδを測定した。そして、得られた静電容量から、比誘電率(単位なし)を算出した。その後、絶縁抵抗計(アドバンテスト社製R8340A)を用いて、20℃においてDC20Vを、コンデンサ試料に60秒間印加した後の絶縁抵抗IRを測定した。CR積は、静電容量(C,μF)と、絶縁抵抗(IR,MΩ)との積で表した。CR積は、大きいほど好ましい。
For a sample of relative permittivity (ε r ), dielectric loss (tan δ), insulation resistance (IR), and CR product capacitor, at a reference temperature of 20 ° C., a digital LCR meter (YHP 4274A), frequency 120 Hz, input Capacitance C and dielectric loss tan δ were measured under the condition of a signal level (measurement voltage) of 0.625 Vrms / μm. Then, the relative dielectric constant (no unit) was calculated from the obtained capacitance. Thereafter, the insulation resistance IR after applying DC 20V to the capacitor sample for 60 seconds at 20 ° C. was measured using an insulation resistance meter (R8340A manufactured by Advantest Corporation). The CR product is represented by the product of capacitance (C, μF) and insulation resistance (IR, MΩ). A larger CR product is preferable.

比誘電率εは、小型で高誘電率のコンデンサを作成するために重要な特性である。本実施例では、比誘電率εの値は、コンデンサの試料数n=10個を用いて測定した値の平均値として算出した。比誘電率は、大きいほど好ましい。 The relative dielectric constant ε r is an important characteristic for producing a small and high dielectric constant capacitor. In the present example, the value of the relative dielectric constant ε r was calculated as an average value of values measured using the number of capacitor samples n = 10. The relative dielectric constant is preferably as large as possible.

本実施例では、誘電損失tanδの値は、コンデンサの試料数n=10個を用いて測定した値の平均値として算出した。tanδは、小さいほど好ましい。結果を表1および2に示す。なお、表1および2中、絶縁抵抗(IR)の数値において、「mE+n」は「m×10+n」を意味する。 In this example, the value of the dielectric loss tan δ was calculated as the average value of the values measured using n = 10 capacitor samples. The smaller tan δ is, the better. The results are shown in Tables 1 and 2. In Tables 1 and 2, in the values of insulation resistance (IR), “mE + n” means “m × 10 + n ”.

IR不良率
コンデンサの試料に対し、20V直流電圧を1分間印加して、絶縁抵抗を測定し、絶縁抵抗値が1.0×10以下となった試料を不良品とし、不良品の発生割合を%で示した。この値が小さいほど、IR不良率が低く、良品が多いこととなる。結果を表1および2に示す。
Applying 20V DC voltage for 1 minute to a sample of an IR defect rate capacitor, measuring the insulation resistance, taking a sample with an insulation resistance value of 1.0 × 10 6 or less as a defective product, the rate of occurrence of defective products In%. The smaller this value, the lower the IR defect rate and the more non-defective products. The results are shown in Tables 1 and 2.

破壊電圧(VB)
コンデンサの試料に対し、直流電圧を昇温速度100V/sec.で印加し、100mAの漏洩電流を検知するか、または素子の破壊時の電圧(破壊電圧、単位はV/μm)を測定した。本実施例では、破壊電圧は、10個のコンデンササンプルを用いて測定した値の平均値として算出した。破壊電圧は大きいほどよい。結果を表1および2に示す。
Breakdown voltage (VB)
A DC voltage was applied to the capacitor sample at a heating rate of 100 V / sec. And a leakage current of 100 mA was detected, or a voltage at the time of destruction of the element (breakdown voltage, unit: V / μm) was measured. In this example, the breakdown voltage was calculated as an average value of values measured using 10 capacitor samples. The higher the breakdown voltage, the better. The results are shown in Tables 1 and 2.

Figure 2005119912
Figure 2005119912

Figure 2005119912
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評価1
表1は、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)を、主成分100モルに対して、一定量0.60モルとしたコンデンサ試料について組成と特性についてまとめたものである。
Evaluation 1
Table 1 summarizes the composition and characteristics of capacitor samples in which the total content of rare earth element oxides (R1 + R2) is set to a constant amount of 0.60 mol with respect to 100 mol of the main component.

表1に示すように、R1をYとし、R2をY以外の希土類元素とした本実施例の試料1〜7は、比誘電率が高く、IR不良率も低く抑えられており、良好であることが判明した。また、R2として添加する元素として、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、TmおよびYb等種々の希土類元素を使用した場合においても、本発明の効果が得られることが確認できた。   As shown in Table 1, Samples 1 to 7 of this example in which R1 is Y and R2 is a rare earth element other than Y have a high relative dielectric constant and a low IR defect rate, and are good. It has been found. It was also confirmed that the effects of the present invention can be obtained even when various rare earth elements such as Eu, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, and Yb are used as the element added as R2.

一方、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)は0.60モルと実施例の試料1〜7と同量であるが、希土類元素の酸化物としてYの酸化物のみを添加した比較例の試料9は、比誘電率は、良好な値であったが、IR不良率が50%と高い結果となってしまい、コンデンサとしての信頼性が低いということがわかった。この結果より、希土類元素の酸化物は、1種類だけでなく、2種類添加する必要があることが確認できた。   On the other hand, the total content (R1 + R2) of the rare earth element oxide is 0.60 mol, which is the same as the samples 1 to 7 in the examples, but a comparison in which only the oxide of Y is added as the rare earth element oxide. Sample 9 of the example had a good relative dielectric constant, but the IR defect rate was as high as 50%, and it was found that the reliability as a capacitor was low. From this result, it was confirmed that it was necessary to add not only one kind of rare earth element oxide but also two kinds of oxides.

希土類元素の他にMgの酸化物を添加した比較例の試料10、11については、IR不良率は0%と良好な結果であったが、比誘電率が低い値となり、実施例の試料と比較して、性能面で劣るということがわかった。この結果より、本実施例の試料は、従前に使用されていたMgの酸化物を添加した場合と同程度に低いIR不良率を達成でき、かつMgの酸化物を添加した場合と比較して、高い比誘電率を有するということが確認できた。   As for Comparative Samples 10 and 11 in which Mg oxide was added in addition to the rare earth element, the IR defect rate was a good result of 0%, but the relative dielectric constant was a low value. In comparison, it was found that the performance was inferior. From this result, the sample of this example can achieve an IR defect rate as low as that in the case where the Mg oxide used previously is added, and compared with the case where the Mg oxide is added. It was confirmed that it has a high relative dielectric constant.

なお、R1としてDy、R2としてHoを添加した実施例の試料8は、比誘電率、IR不良率とも比較的良好な結果となったが、実施例の試料1〜7の比誘電率、IR不良率と比較すると若干劣る結果となった。この結果より、R1がYであることが好ましいということが確認できた。   The sample 8 of the example in which Dy was added as R1 and Ho was added as R2 had relatively good results in both the relative permittivity and the IR defect rate, but the relative permittivity and IR of the samples 1 to 7 in the example The result was slightly inferior to the defective rate. From this result, it was confirmed that R1 is preferably Y.

評価2
表2は、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)を変化させたコンデンサ試料について組成と特性についてまとめたものである。また、図2,3に実施例の試料(R1=Y、R2=Ho)と比較例の試料(R1=Y、R2無し)について、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)と比誘電率との関係(図2)、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)とIR不良率との関係(図3)を示した。
Evaluation 2
Table 2 summarizes the composition and characteristics of capacitor samples in which the total content (R1 + R2) of rare earth element oxides was changed. 2 and 3 show the total content of rare earth oxides (R1 + R2) and the ratio of the sample of the example (R1 = Y, R2 = Ho) and the sample of the comparative example (without R1 = Y, R2). The relationship between the dielectric constant (FIG. 2) and the total content of rare earth oxides (R1 + R2) and the IR defect rate are shown (FIG. 3).

表2より、Yの酸化物の含有量およびHoの酸化物の含有量を変化させた実施例および比較例の試料4,12〜19については、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)を増やすと比誘電率は低下し、IR不良率は、一定の含有量(本実施例においては、0.90モル)までは低下していき、再び増加するという傾向がみられた。この傾向は、表2中の特定のデータをグラフ化した図2および図3の結果からも明らかである。   From Table 2, for the samples 4 and 12 to 19 of the examples and comparative examples in which the content of the oxide of Y and the content of the oxide of Ho were changed, the total content of the rare earth oxides (R1 + R2) ) Increased, the relative dielectric constant decreased, and the IR defect rate tended to decrease to a certain content (0.90 mol in this example) and increase again. This tendency is also apparent from the results of FIGS. 2 and 3 in which specific data in Table 2 is graphed.

また、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)を0.05モルとした比較例の試料12は、IR不良率が45%と高くなってしまい、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)を1.5モルとした比較例の試料19は、比誘電率が7700と低くなり、IR不良率が35%と高い値となった。この結果より、希土類元素の酸化物の含有量の合計(R1+R2)は、主成分100モルに対して、0.1〜1.2モルであることが望ましく、好ましくは、0.2〜1.0モルであり、さらに好ましくは、0.4〜0.9モルであることが確認できた。   Further, the sample 12 of the comparative example in which the total content (R1 + R2) of the rare earth element oxide was 0.05 mol had a high IR defect rate of 45%, and the rare earth element oxide content. In the sample 19 of the comparative example in which the total (R1 + R2) was 1.5 mol, the relative dielectric constant was as low as 7700, and the IR defect rate was as high as 35%. From this result, it is desirable that the total content (R1 + R2) of rare earth element oxides is 0.1 to 1.2 mol, preferably 0.2 to 1. It was confirmed that the amount was 0 mol, and more preferably 0.4 to 0.9 mol.

また、表2に示すように、R1をY、R2をErまたはYbとした実施例の試料5,7,20および21についても同様の傾向となることが確認できた。   Further, as shown in Table 2, it was confirmed that the same tendency was observed for Samples 5, 7, 20 and 21 of Examples in which R1 was Y and R2 was Er or Yb.

図2に示すように、実施例の試料と、Yの酸化物のみを添加した比較例の試料とは、希土類元素の酸化物の含有量が同程度であれば、比誘電率の値もほぼ同程度であることが確認された。しかし、図3に示すように、希土類の酸化物の含有量が本発明の範囲内である場合には、2種の希土類の酸化物を含有する実施例の試料と、Yの酸化物のみを添加した比較例の試料とは、IR不良率に大きな違いがあることが確認された。この結果から、希土類元素の酸化物を1種類だけ添加した場合は、その添加量を増やしても、IR不良率を低く抑えることができず、IR不良率を低く抑えるためには、希土類元素の酸化物を2種類添加する必要があるということが確認できた。   As shown in FIG. 2, the sample of the example and the sample of the comparative example to which only the oxide of Y is added have almost the same relative dielectric constant as long as the rare earth element oxide content is about the same. It was confirmed that it was comparable. However, as shown in FIG. 3, when the rare earth oxide content is within the scope of the present invention, only the sample of the example containing two kinds of rare earth oxides and the Y oxide were used. It was confirmed that there was a great difference in the IR defect rate from the added comparative sample. From this result, when only one kind of rare earth element oxide was added, the IR defect rate could not be kept low even if the amount added was increased. It was confirmed that it was necessary to add two kinds of oxides.

実施例2
実施例1で作成した試料4および9と同様の誘電体磁器組成物を誘電体層とし、誘電体層の積層数の異なる試料および誘電体層の厚みの異なる試料を作成した。表3に作製したコンデンサの誘電体層の積層数および厚みと、比誘電率およびIR不良率との関係を示す。
Example 2
Dielectric porcelain compositions similar to Samples 4 and 9 prepared in Example 1 were used as dielectric layers, and samples with different numbers of dielectric layers and samples with different thicknesses of dielectric layers were prepared. Table 3 shows the relationship between the number and thickness of the dielectric layers of the capacitor produced, the relative dielectric constant, and the IR defect rate.

Figure 2005119912
Figure 2005119912

表3より、2種の希土類の酸化物を含有する実施例の試料においては、誘電体層の厚みを4.5μmとした場合には、誘電体層の積層数に関係なくIR不良率が低い結果となった。一方、希土類の酸化物を1種類しか含有しない比較例の試料は、誘電体層の積層数が増加するとIR不良率が悪化する傾向がみられ、いずれの場合においても、IR不良率は、30%以上と高い結果となった。   From Table 3, in the sample of the example containing two kinds of rare earth oxides, when the thickness of the dielectric layer is 4.5 μm, the IR defect rate is low regardless of the number of laminated dielectric layers. As a result. On the other hand, in the sample of the comparative example containing only one kind of rare earth oxide, the IR defect rate tends to deteriorate as the number of laminated dielectric layers increases. In any case, the IR defect rate is 30 It became a high result with more than%.

また、表3より明らかなように、誘電体層の積層数を増やすほど、本発明の効果は、顕著に発揮されることが確認できた。   Further, as is clear from Table 3, it was confirmed that the effect of the present invention was remarkably exhibited as the number of dielectric layers was increased.

同様に、誘電体層の積層数を100とし、誘電体層の厚みを3.0μmとさらに薄層化した場合においては、比較例の試料では、IR不良率が80%と非常に高い値となったが、実施例の試料では、25%と低く抑えることが可能であった。この結果より、本発明の誘電体磁器組成物を積層セラミックコンデンサの誘電体層として使用することにより、さらに誘電体層を薄層化した場合、たとえば3.0μmとした場合においても、IR不良率を低く抑えることができ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができることが確認できた。   Similarly, when the number of dielectric layers is 100 and the thickness of the dielectric layer is further reduced to 3.0 μm, the comparative sample has an IR defect rate of 80%, which is a very high value. However, in the sample of the example, it was possible to keep it as low as 25%. From this result, when the dielectric ceramic composition of the present invention is used as a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor, the IR defect rate is reduced even when the dielectric layer is further thinned, for example, 3.0 μm. It was confirmed that a highly reliable multilayer ceramic capacitor can be obtained.

図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は本発明の実施例および比較例に係る誘電体磁器組成物における希土類元素の酸化物のモル数と、比誘電率との関係を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the number of moles of oxides of rare earth elements and the relative dielectric constant in the dielectric ceramic compositions according to the examples and comparative examples of the present invention. 図3は本発明の実施例および比較例に係る誘電体磁器組成物における希土類元素の酸化物のモル数と、IR不良率との関係を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the number of moles of rare earth element oxides and the IR defect rate in dielectric ceramic compositions according to examples and comparative examples of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素子本体
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 10 ... Capacitor element main body 2 ... Dielectric layer 3 ... Internal electrode layer 4 ... External electrode

Claims (8)

主成分が組成式
{{Ba(1−x)Ca}O}{Ti(1−y)Zr
(ただし、A,B,x,yが、0.995≦A/B≦1.020、0≦x≦0.25、0.1≦y≦0.3)
で表され、副成分として、主成分100モルに対して、Mnの酸化物をMnO換算で0.03〜1.70モル、Siの酸化物をSiO換算で0〜1.00モル、VおよびWの少なくとも1種の酸化物をVおよびWO換算で0.001〜0.7モル含有する誘電体磁器組成物であって、
2種類の希土類元素の酸化物(R1の酸化物、R2の酸化物)をさらに副成分として含み、前記R1の酸化物と前記R2の酸化物の含有量の合計が、主成分100モルに対して、R1の酸化物およびR2の酸化物換算で0.1〜1.2モルであることを特徴とする誘電体磁器組成物。
The main component is a composition formula {{Ba (1-x) Ca x } O} A {Ti (1-y) Zr y } B O 2.
(However, A, B, x, y are 0.995 ≦ A / B ≦ 1.020, 0 ≦ x ≦ 0.25, 0.1 ≦ y ≦ 0.3)
As an auxiliary component, with respect to 100 mol of the main component, the oxide of Mn is 0.03 to 1.70 mol in terms of MnO, the oxide of Si is 0 to 1.00 mol in terms of SiO 2 , V And a dielectric ceramic composition containing at least one oxide of W and W in an amount of 0.001 to 0.7 mol in terms of V 2 O 5 and WO 3 ,
Two kinds of rare earth oxides (R1 oxide, R2 oxide) are further included as subcomponents, and the total content of the R1 oxide and the R2 oxide is 100 mol of the main component. The dielectric ceramic composition is characterized by being 0.1 to 1.2 mol in terms of the oxide of R1 and the oxide of R2.
前記R1の酸化物が、Yの酸化物であることを特徴とする請求項1に記載の誘電体磁器組成物。   The dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein the oxide of R1 is an oxide of Y. 前記R1の酸化物の含有量が、主成分100モルに対して、R1の酸化物換算で0.1〜0.6モルであることを特徴とする請求項1または2に記載の誘電体磁器組成物。   3. The dielectric ceramic according to claim 1, wherein the content of the oxide of R1 is 0.1 to 0.6 mol in terms of the oxide of R1 with respect to 100 mol of the main component. Composition. 前記R2の酸化物の含有量が、主成分100モルに対して、R2の酸化物換算で0.1〜0.6モルであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。   The content of the oxide of R2 is 0.1 to 0.6 mol in terms of oxide of R2 with respect to 100 mol of the main component, according to any one of claims 1 to 3. Dielectric ceramic composition. 請求項1〜4のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有する電子部品。   The electronic component which has a dielectric material layer comprised with the dielectric material ceramic composition in any one of Claims 1-4. 請求項1〜4のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層と、内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ素子本体を有する積層セラミックコンデンサ。   A multilayer ceramic capacitor having a capacitor element body in which dielectric layers composed of the dielectric ceramic composition according to any one of claims 1 to 4 and internal electrode layers are alternately laminated. 前記誘電体層の積層数が、20以上であることを特徴とする請求項6記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 6, wherein the number of laminated dielectric layers is 20 or more. 前記誘電体層の厚みが、4.5μm以下であることを特徴とする請求項6または7に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 6 or 7, wherein the dielectric layer has a thickness of 4.5 µm or less.
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