JP2005119184A - Method for producing flexible metal foil polyimide substrate - Google Patents

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JP2005119184A JP2003357955A JP2003357955A JP2005119184A JP 2005119184 A JP2005119184 A JP 2005119184A JP 2003357955 A JP2003357955 A JP 2003357955A JP 2003357955 A JP2003357955 A JP 2003357955A JP 2005119184 A JP2005119184 A JP 2005119184A
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Shigehiro Hoshida
繁宏 星田
Tadashi Amano
正 天野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a flexible metal foil polyimide substrate in which metal foil is laid on both sides of a polyimide film having a glass transition temperature of at least 300°C to overlap each other and heated/pressed continuously at the glass transition temperature of the polyimide film or above. <P>SOLUTION: The flexible metal foil polyimide substrate which is excellent in high temperature characteristics including solder heat resistance and high temperature peeling and high in heat resistance can be obtained cheaply. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子材料として有用なフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法に関するもので、特に半田耐熱、高温剥離等の高温特性に優れたフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a flexible metal foil polyimide substrate useful as an electronic material, and particularly to a method for producing a flexible metal foil polyimide substrate having excellent high temperature characteristics such as solder heat resistance and high temperature peeling.

従来、フレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法としては、導体上に熱可塑性ポリイミドを形成してからポリイミドフィルムを張り合わせる方法が行われており、特開平1−244841号公報(特許文献1)、特開2000−103010号公報(特許文献2)、特開平6−190967号公報(特許文献3)等に開示されている。   Conventionally, as a method for producing a flexible metal foil polyimide substrate, a method in which a thermoplastic polyimide is formed on a conductor and then a polyimide film is laminated is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-244841 (Patent Document 1). Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2000-103010 (Patent Document 2), Japanese Patent Laid-Open No. 6-190967 (Patent Document 3), and the like.

この方法は、通常の市販されているポリイミド系フィルム(一般的にはガラス転移点が300℃以上のもの)と銅箔を張り合わせるために、ガラス転移点が低い熱可塑性ポリイミドを接着剤として使用している。ここで言うガラス転移点が低い熱可塑性ポリイミドとは、特開平1−244841号公報に示されているようにガラス転移点が350℃以下であるポリイミド系樹脂である。   This method uses thermoplastic polyimide, which has a low glass transition point, as an adhesive in order to bond a copper foil with an ordinary commercially available polyimide film (generally having a glass transition point of 300 ° C. or higher). doing. The thermoplastic polyimide having a low glass transition point mentioned here is a polyimide resin having a glass transition point of 350 ° C. or lower as disclosed in JP-A-1-2444841.

この方法では、熱可塑性ポリイミドを接着剤として用いて熱圧着するため、熱可塑性ポリイミドの使用は必須であるが、張り合わせた後のフレキシブル金属箔ポリイミド基板の耐熱性は、使用する熱可塑性ポリイミドの耐熱性によって左右されてしまうため、高温での使用が制限されてしまう。   In this method, since thermoplastic polyimide is used as an adhesive for thermocompression bonding, the use of thermoplastic polyimide is indispensable, but the heat resistance of the flexible metal foil polyimide substrate after bonding is the heat resistance of the thermoplastic polyimide used. Since it depends on the nature, use at high temperatures is limited.

特開平1−244841号公報JP-A-1-2444841 特開2000−103010号公報JP 2000-103010 A 特開平6−190967号公報JP-A-6-190967

本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、耐熱性が良好で、半田耐熱、高温剥離等の高温特性に優れたフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the manufacturing method of the flexible metal foil polyimide substrate which was excellent in heat resistance, and was excellent in high temperature characteristics, such as solder heat resistance and high temperature peeling.

本発明者は、上記目的を達成するため鋭意研究を重ねた結果、ガラス転移点が300℃以上であるポリイミドフィルムの両側に金属箔を重ねあわせ、これをポリイミドフィルムのガラス転移点以上の温度で加熱圧着することにより、極めて安価に、耐熱性の高いフレキシブル金属箔ポリイミド基板が得られることを見出し、本発明をなすに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have overlapped a metal foil on both sides of a polyimide film having a glass transition point of 300 ° C. or higher, and this is at a temperature higher than the glass transition point of the polyimide film. By thermocompression bonding, it was found that a flexible metal foil polyimide substrate having high heat resistance was obtained at a very low cost, and the present invention was made.

従って、本発明は、ガラス転移点が300℃以上であるポリイミドフィルムの両側に金属箔を重ねあわせ、ポリイミドフィルムのガラス転移点以上の温度で連続的に加熱圧着させることを特徴とするフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法を提供する。   Accordingly, the present invention provides a flexible metal foil in which a metal foil is superimposed on both sides of a polyimide film having a glass transition point of 300 ° C. or higher, and is continuously heat-pressed at a temperature equal to or higher than the glass transition point of the polyimide film. A method for producing a polyimide substrate is provided.

本発明の製造方法によれば、極めて安価に、半田耐熱、高温剥離等の高温特性に優れた耐熱性の高いフレキシブル金属箔ポリイミド基板を得ることができる。   According to the production method of the present invention, a highly heat-resistant flexible metal foil polyimide substrate having excellent high-temperature characteristics such as solder heat resistance and high-temperature peeling can be obtained at a very low cost.

本発明のポリイミドフィルムは、ガラス転移点が300℃以上、好ましくは350℃以上のものが使用される。ガラス転移点が300℃未満では十分な耐熱性が得られず、半田等の使用時に成型品が変形したり、剥離する問題が起きやすくなる。なお、ガラス転移点の上限温度としては、600℃以下、特に560℃以下であることが好ましい。600℃を超えると加熱によりポリイミドフィルム自体の物性強度の低下を招くおそれがある。   The polyimide film of the present invention has a glass transition point of 300 ° C. or higher, preferably 350 ° C. or higher. When the glass transition point is less than 300 ° C., sufficient heat resistance cannot be obtained, and the molded product tends to be deformed or peeled off when using solder or the like. In addition, as an upper limit temperature of a glass transition point, it is preferable that it is 600 degrees C or less, especially 560 degrees C or less. If it exceeds 600 ° C., the physical strength of the polyimide film itself may be reduced by heating.

本発明で使用されるポリイミドフィルムは、適当な酸無水物とジアミンから合成されるポリアミック酸をイミド化することにより作られたものでよい。   The polyimide film used in the present invention may be prepared by imidizing a polyamic acid synthesized from a suitable acid anhydride and diamine.

ここで、本発明のポリイミドフィルム製造時に使用される酸無水物としては、テトラカルボン酸無水物並びにその誘導体等が挙げられる。なお、以下ではテトラカルボン酸として例示するが、これらのエステル化物、酸無水物、酸塩化物も勿論使用できる。即ち、カルボン酸としては、ピロメリット酸、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、2,3,3′,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルメタンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,4,9,10−テトラカルボキシペリレン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、ブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、トリメリット酸及びその誘導体等も挙げられる。
更に、反応性官能基を有する化合物で変成し、架橋構造やラダー構造を導入することもできる。
Here, as an acid anhydride used at the time of manufacture of the polyimide film of this invention, a tetracarboxylic acid anhydride, its derivative (s), etc. are mentioned. In addition, although illustrated as tetracarboxylic acid below, these esterified products, acid anhydrides, and acid chlorides can of course be used. That is, as carboxylic acid, pyromellitic acid, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4' -Diphenylsulfone tetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid, 2,3,3', 4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic acid, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′-diphenylmethanetetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, 3,4,9,10-tetracarboxyperylene, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) Eniru] propane, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] hexafluoropropane, butane tetracarboxylic acid, and cyclopentane tetracarboxylic acid. Also included are trimellitic acid and its derivatives.
Furthermore, it can be modified with a compound having a reactive functional group to introduce a crosslinked structure or a ladder structure.

一方、本発明のポリイミドフィルム製造時に使用されるジアミンとしては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、2′−メトキシ−4,4′−ジアミノベンズアニリド、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノトルエン、4,4′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノベンズアニリド、ジアミノベンゾエード、ジアミノジフェニルスルフィド、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,5−ジアミノナフタレン、ジアミノトルエン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4′−(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)ジフェニルスルホン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロプロパン、1,5−ビス(アニリノ)デカフルオロプロパン、1,7−ビス(アニリノ)テトラデカフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(2−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジトリフルオロメチルフェニル〕ヘキサフルオロプロパン、p−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、4,4′−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4′−ビス(4−アミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4′−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4′−ビス(4−アミノ−5−トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、2,2−ビス〔4−(4−アミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ベンジジン、3,3′,5,5′−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、3,3′−メトキシベンジジン、o−トリジン、m−トリジン、2,2′,5,5′,6,6′−ヘキサフルオロトリジン、4,4′′−ジアミノターフェニル、4,4′′′−ジアミノクォーターフェニル等のジアミン類、並びにこれらのジアミンとホスゲン等の反応によって得られるジイソシアネート類、更にジアミノシロキサン類等が挙げられる。   On the other hand, the diamine used in the production of the polyimide film of the present invention includes p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminodiphenyl ether, diaminotoluene. 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] propane, 1,2-bis (anilino) ethane, diaminodiphenyl sulfone, diaminobenzanilide, diaminobenzoate, diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2- Bis (p-aminophenyl) hexafluoropropaprop 1,5-diaminonaphthalene, diaminotoluene, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, 4,4 '-(p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 4,4'- Bis (3-aminophenoxyphenyl) diphenylsulfone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 1,5-bis (anilino) decafluoropropane, 1,7 -Bis (anilino) tetradecafluoropropane, 2,2-bis [4- (p-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (2-aminophenoxy) phenyl] hex Fluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-ditrifluoro Methylphenyl] hexafluoropropane, p-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 4,4'-bis (4-amino-5-trifluoro) Methylphenoxy) diphenylsulfone, 2,2-bis [4- (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) fe Nyl] hexafluoropropane, benzidine, 3,3 ', 5,5'-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, 3,3'-methoxybenzidine, o-tolidine, m-tolidine, 2,2', 5,5 Diamines such as ′, 6,6′-hexafluorotolidine, 4,4 ″ -diaminoterphenyl, 4,4 ″ ′-diaminoquaterphenyl, and diisocyanates obtained by reaction of these diamines with phosgene, etc. Furthermore, diaminosiloxanes and the like can be mentioned.

ポリイミドフィルムの製造は、既存の製造方法でよく、特に限定されるものではない。また、下記に示すような一般に市販されているポイミドフィルムを使用することも可能である。
鐘淵化学工業社製、 商品名:アピカル
東レ・デュポン社製、 商品名:カプトン
宇部興産社製、 商品名:ユーピレックス
The production of the polyimide film may be an existing production method and is not particularly limited. Moreover, it is also possible to use the poimide film generally marketed as shown below.
Product name: Apical Toray DuPont, product name: Kapton Ube Industries, product name: Upilex

本発明に用いられるポリイミドフィルムは、好ましくは厚みが50μm以下であるものが使用される。厚みが50μmより厚い場合はポリイミドフィルム自体が厚さのために基板を曲げることが容易でなく、いわゆるフレキシブル性に欠ける。また、用いるポリイミドフィルムの硬さにもよるが、一般的に好ましい厚さとしては、フレキシブル性から35μm以下である。なお、ポリイミドフィルムの厚さの下限としては、5μm以上、特に8μm以上であることが好ましい。   The polyimide film used in the present invention preferably has a thickness of 50 μm or less. When the thickness is larger than 50 μm, it is not easy to bend the substrate due to the thickness of the polyimide film itself, and so-called flexibility is lacking. Further, although depending on the hardness of the polyimide film to be used, a generally preferable thickness is 35 μm or less from the viewpoint of flexibility. In addition, as a minimum of the thickness of a polyimide film, it is preferable that it is 5 micrometers or more, especially 8 micrometers or more.

また、本発明で使用する金属箔としては、銅、鉄、モリブデン、亜鉛、タングステン、ニッケル、クロム、アルミニウム、銀、又はそれらの合金、例えばステンレス等が挙げられ、プリント基板、フレキシブル基板に多用される電子材料として好ましくは銅である。   In addition, examples of the metal foil used in the present invention include copper, iron, molybdenum, zinc, tungsten, nickel, chromium, aluminum, silver, or alloys thereof such as stainless steel. Preferred electronic material is copper.

また、導体である金属箔は、表面処理として金属メッキ、表面酸化、物理的な凹凸等をなしてもよく、更に、シラン、メルカプト等のカップリング剤による処理がなされていてもよい。また、金属箔の厚みとしては、5〜50μmであることが好ましく、より好ましくは5〜25μmである。   In addition, the metal foil as a conductor may be subjected to metal plating, surface oxidation, physical unevenness, or the like as a surface treatment, and may be further treated with a coupling agent such as silane or mercapto. Moreover, as thickness of metal foil, it is preferable that it is 5-50 micrometers, More preferably, it is 5-25 micrometers.

本発明では、上記ポリイミドフィルムの両側に金属箔を重ねて加熱圧着することが必須であるが、加熱圧着の方法は既に知られている一般的な方法でよく、例えば、特開平8−244168号公報、特開2003−118060号公報、特開平5−31869号公報等で用いられている2つの金属ロールではさみ、ラミネートするロールラミネート方法や、特開平9−116254号公報に示されているようなダブルベルトプレス法といわれる方法を用いることができる。   In the present invention, it is indispensable to heat and pressure-bond the metal foil on both sides of the polyimide film. However, the heat-pressure bonding method may be a known general method, for example, JP-A-8-244168. As shown in Japanese Patent Laid-Open No. 9-116254, a roll laminating method for sandwiching and laminating between two metal rolls used in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-118060, Japanese Patent Laid-Open No. 5-31869, etc. A so-called double belt press method can be used.

また、この際の加熱温度は、用いられるポリイミドフィルムのガラス転移点以上の温度であればよいが、好ましくは350℃以上、更に好ましくは400℃以上である。圧着時の圧力は、用いるポリイミドフィルムのフロー性によって異なるが、ロールラミネート機等では線圧にて50kg/cm以上であることが好ましく、より好ましくは75kg/cm以上であり、ベルトプレス機等では面圧にて30kg/cm2以上であることが好ましく、より好ましくは50kg/cm2以上である。 Moreover, the heating temperature in this case should just be the temperature more than the glass transition point of the polyimide film used, Preferably it is 350 degreeC or more, More preferably, it is 400 degreeC or more. The pressure at the time of pressure bonding varies depending on the flow property of the polyimide film to be used, but in a roll laminating machine or the like, the linear pressure is preferably 50 kg / cm or more, more preferably 75 kg / cm or more, and in a belt press machine or the like. The surface pressure is preferably 30 kg / cm 2 or more, more preferably 50 kg / cm 2 or more.

また、本発明においては、加熱圧着させる装置の金属箔と接触する部分に、超硬合金を使用することが好ましい。これは原因が不明であり、一般のステンレス鋼や、カーボンスチールの上にクロムメッキ等をしたものでも張り合わせることは可能であるが、張り合わせているときに金属箔が切れる現象が起きやすく、超硬合金を使用するとこの現象が少なくなる。なお、ここで言う超硬合金としては、一般的に用いられている炭化タングステンを主成分としたコバルト、ニッケル等との混合物が挙げられるが、この他にもダイヤモンド、酸化アルミ、炭化クロム、炭化珪素、炭化硼素等の硬度の高いもの(ビッカース硬度にて1,000以上を示すもの)を成分としたものでもよい。   Moreover, in this invention, it is preferable to use a cemented carbide for the part which contacts the metal foil of the apparatus to heat-press. The cause of this is unknown, and it is possible to bond even general stainless steel or carbon steel with chrome plating, etc. This phenomenon is reduced when a hard alloy is used. In addition, as the cemented carbide mentioned here, a mixture with commonly used tungsten carbide as a main component such as cobalt, nickel and the like can be mentioned, but diamond, aluminum oxide, chromium carbide, carbide A component having a high hardness such as silicon or boron carbide (having a Vickers hardness of 1,000 or more) may be used.

以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example.

[実施例1]
厚み25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製、商品名:カプトンEN)の両側を厚み18μmの銅箔(ジャパンエナジー社製、圧延銅箔)ではさみ、ダブルベルトプレス機(西村マシナリー社製)にて400℃、100kg/cm2にて加熱圧着し、張り合わせたものをロール状に巻き取った。なお、ダブルベルトプレス機の接触部は、炭化タングステン系の合金を使用した。
得られたものを評価するため、半田耐熱テスト、高温剥離テスト、表面観察を行った。また、ポリイミドフィルムのガラス転移点を測定した。結果を表1に示した。
[Example 1]
A 25 μm-thick polyimide film (Toray DuPont, product name: Kapton EN) is sandwiched between 18 μm-thick copper foil (Japan Energy, rolled copper foil) and a double belt press (made by Nishimura Machinery Co., Ltd.). The film was heated and pressure-bonded at 400 ° C. and 100 kg / cm 2 , and the bonded product was wound into a roll. Note that a tungsten carbide alloy was used for the contact portion of the double belt press.
In order to evaluate the obtained one, a solder heat resistance test, a high temperature peeling test, and a surface observation were performed. Moreover, the glass transition point of the polyimide film was measured. The results are shown in Table 1.

[実施例2]
加熱圧着の温度を360℃、圧力を40kg/cm2とする以外は実施例1と同様とした。
[Example 2]
Example 1 was the same as Example 1 except that the temperature of thermocompression bonding was 360 ° C. and the pressure was 40 kg / cm 2 .

[実施例3]
ポリイミドフィルムの厚さを50μmとした以外は実施例1と同様とした。
[Example 3]
Example 1 was repeated except that the thickness of the polyimide film was 50 μm.

[実施例4]
ピロメリット酸(PMDA)220gをジメチルアセトアミド(DMAc)10kgに溶解し、10℃に冷却後、p−フェニレンジアミン(PPD)110gを徐々に加えて反応させ、ポリイミド前駆体樹脂溶液を得た。得られた溶液をキャスティングし、溶媒を飛ばした後に350℃に加熱することでポリイミド化し、ポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの厚みは30μmであった。
得られたポリイミドフィルムの両側を厚み9μmの銅箔(ジャパンエナジー社製、電解銅箔)ではさみ、ロールラミネート機(西村マシナリー社製)にて600℃、80kg/cmにて加熱圧着し、張り合わせたものをロール状に巻き取った。なお、ロールラミネート機の接触部は、炭化クロム系の合金を使用した。
得られたものを評価するため、半田耐熱テスト、高温剥離テスト、表面観察を行った。また、ポリイミドフィルムのガラス転移点を測定した。結果を表1に示した。
[Example 4]
220 g of pyromellitic acid (PMDA) was dissolved in 10 kg of dimethylacetamide (DMAc), cooled to 10 ° C., 110 g of p-phenylenediamine (PPD) was gradually added and reacted to obtain a polyimide precursor resin solution. The obtained solution was cast and the solvent was removed, followed by heating to 350 ° C. to obtain a polyimide film. The polyimide film had a thickness of 30 μm.
Both sides of the obtained polyimide film are sandwiched between 9 μm thick copper foil (manufactured by Japan Energy Co., Ltd., electrolytic copper foil). The roll was wound up into a roll. In addition, the contact part of the roll laminating machine used the chromium carbide type alloy.
In order to evaluate the obtained one, a solder heat resistance test, a high temperature peeling test, and a surface observation were performed. Moreover, the glass transition point of the polyimide film was measured. The results are shown in Table 1.

[実施例5]
加熱圧着の温度を650℃、圧力を50kg/cmとする以外は実施例4と同様とした。
[Example 5]
Example 4 was the same as Example 4 except that the thermocompression bonding temperature was 650 ° C. and the pressure was 50 kg / cm.

[実施例6]
使用するポリイミドフィルムを東レ・デュポン社製、商品名:カプトンHタイプ(厚さ25μm)とし、加熱圧縮温度を500℃にする以外は実施例4と同様とした。
[Example 6]
The polyimide film used was manufactured by Toray DuPont, trade name: Kapton H type (thickness 25 μm), and the same as Example 4 except that the heating compression temperature was 500 ° C.

[実施例7]
加熱圧着の圧力を200kg/cmとする以外は実施例6と同様とした。
[Example 7]
Example 6 was the same as Example 6 except that the pressure for thermocompression bonding was 200 kg / cm.

[実施例8]
ロールラミネート機の接触部をクロムメッキとした以外は実施例6と同様とした。
[Example 8]
Example 6 was the same as Example 6 except that the contact part of the roll laminator was chrome plated.

[比較例1]
熱可塑性ポリイミド層を両面に有するポリイミドフィルム(鐘淵化学工業社製、商品名:ピクシオ、厚さ25μm)を用いる以外は実施例1と同様とした。
[Comparative Example 1]
Example 1 was repeated except that a polyimide film having a thermoplastic polyimide layer on both sides (manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd., trade name: Pixio, thickness 25 μm) was used.

[比較例2]
熱可塑性ポリイミド層を両面に有するポリイミドフィルム(宇部興産社製、商品名:ユーピレックスVT、厚さ25μm)を用いる以外は実施例4と同様とした。
[Comparative Example 2]
The same procedure as in Example 4 was conducted except that a polyimide film having a thermoplastic polyimide layer on both sides (Ube Industries, trade name: Upilex VT, thickness 25 μm) was used.

《半田耐熱テスト》
積層板試験片(長さ25mm×幅25mm)を350℃の半田浴に30秒間浸漬し、はがれや膨れを観察し、下記の基準で評価した。
良好:はがれ、膨れなし。
不良:はがれ、もしくは膨れあり。
《Solder heat resistance test》
A laminate test piece (length 25 mm × width 25 mm) was immersed in a solder bath at 350 ° C. for 30 seconds, observed for peeling and swelling, and evaluated according to the following criteria.
Good: No peeling or swelling.
Bad: Peeled or swollen.

《高温剥離テスト》
JIS C 6471に準拠して、1mm巾の回路を作製し、引張り速度50mm/分、引き剥がし角度90°で剥離強度を200℃の恒温炉の中で測定した。
《High temperature peel test》
In accordance with JIS C 6471, a circuit having a width of 1 mm was prepared, and the peel strength was measured in a constant temperature oven at 200 ° C. with a pulling speed of 50 mm / min and a peeling angle of 90 °.

《表面観察》
積層板の表面を目視にて観察し、下記の基準で評価した。
良好:銅箔の剥がれなし。
不良:銅箔の剥がれあり。
<< Surface observation >>
The surface of the laminate was visually observed and evaluated according to the following criteria.
Good: No peeling of copper foil.
Defect: There is peeling of copper foil.

《ガラス転移点》
ポリイミドフィルムのガラス転移点を、熱分析計(レオメトリックサイエンス社製、分析装置名:RSA−III)を用いて測定した。
《Glass transition point》
The glass transition point of the polyimide film was measured using a thermal analyzer (manufactured by Rheometric Science Co., Ltd., analyzer name: RSA-III).


Claims (5)

ガラス転移点が300℃以上であるポリイミドフィルムの両側に金属箔を重ねあわせ、ポリイミドフィルムのガラス転移点以上の温度で連続的に加熱圧着させることを特徴とするフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法。   A method for producing a flexible metal foil polyimide substrate, comprising: laminating a metal foil on both sides of a polyimide film having a glass transition point of 300 ° C. or higher and continuously heat-pressing the polyimide film at a temperature equal to or higher than the glass transition point of the polyimide film. ポリイミドフィルムが、350℃以上のガラス転移点であることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法。   The method for producing a flexible metal foil polyimide substrate according to claim 1, wherein the polyimide film has a glass transition point of 350 ° C. or higher. ポリイミドフィルムが、50μm以下の厚みであることを特徴とする請求項1又は2に記載のフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法。   The method for producing a flexible metal foil polyimide substrate according to claim 1, wherein the polyimide film has a thickness of 50 μm or less. 加熱圧着させる装置の金属箔と接触する部分に、超硬合金を使用することを特徴とする請求項1,2又は3に記載のフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法。   The method for producing a flexible metal foil polyimide substrate according to claim 1, 2 or 3, wherein a cemented carbide is used in a portion that contacts the metal foil of the apparatus to be thermocompression bonded. 金属箔が、銅箔であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のフレキシブル金属箔ポリイミド基板の製造方法。

The method for producing a flexible metal foil polyimide substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal foil is a copper foil.

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