JP4231511B2 - Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same - Google Patents

Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same Download PDF

Info

Publication number
JP4231511B2
JP4231511B2 JP2006142068A JP2006142068A JP4231511B2 JP 4231511 B2 JP4231511 B2 JP 4231511B2 JP 2006142068 A JP2006142068 A JP 2006142068A JP 2006142068 A JP2006142068 A JP 2006142068A JP 4231511 B2 JP4231511 B2 JP 4231511B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyimide
polyimide film
layer
metal
thermoplastic polyimide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006142068A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007009186A (en
Inventor
将生 川口
英二 大坪
武 津田
田原  修二
健二 飯田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Chemicals Inc filed Critical Mitsui Chemicals Inc
Priority to JP2006142068A priority Critical patent/JP4231511B2/en
Publication of JP2007009186A publication Critical patent/JP2007009186A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4231511B2 publication Critical patent/JP4231511B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

本発明は、ポリイミドフィルム、ならびに該ポリイミドフィルムを用いたポリイミド金属積層体およびその製造方法に関する。詳しくは、ポリイミドフィルムと金属層との接着層を介する密着性が良好で、高密度回路基板材料に適するポリイミド金属積層体およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide film, a polyimide metal laminate using the polyimide film, and a method for producing the same. More specifically, the present invention relates to a polyimide metal laminate having good adhesion through an adhesive layer between a polyimide film and a metal layer and suitable for a high-density circuit board material and a method for producing the same.

ポリイミド金属積層体は、主として回路基板材料として使用され、プリント配線板用基材、一体型サスペンション基材、ICパッケージ用配線基材、面状発熱体、LCD用配線基材等に用いられている。近年、電子機器が小型化、高密度化されるに伴い、部品・素子の高密度実装が可能な、ポリイミド金属積層体の利用が増大している。さらに、回路を高密度化するため、回路パターンの線幅を10μm〜50μmとする微細化が図られており、そのため金属層のポリイミドフィルムへの密着性の優れたポリイミド金属積層体が望まれていた。この回路基板材料の用途においては、通常、種々の接着剤を介してポリイミドフィルムと金属箔(例えば、銅箔)とが接着されて用いられている。ところが、ポリイミドフィルムはその化学構造及び高度な耐薬品(溶剤)安定性により、接着剤を介したとしても銅箔との接着性が不十分な場合が多いことから、現状ではポリイミドフィルムに各種の表面処理(たとえばカップリング剤塗布処理、サンドブラスト処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、アルカリ処理など)を施した後、接着剤を介して金属箔を接着している。   Polyimide metal laminates are mainly used as circuit board materials, and are used for printed wiring board substrates, integrated suspension substrates, IC package wiring substrates, planar heating elements, LCD wiring substrates, and the like. . In recent years, as electronic devices are miniaturized and densified, use of polyimide metal laminates capable of high-density mounting of components and elements is increasing. Furthermore, in order to increase the density of the circuit, the circuit pattern line width is reduced to 10 μm to 50 μm. Therefore, a polyimide metal laminate having excellent adhesion of the metal layer to the polyimide film is desired. It was. In the use of this circuit board material, a polyimide film and a metal foil (for example, copper foil) are usually bonded and used via various adhesives. However, due to its chemical structure and high chemical resistance (solvent) stability, polyimide film often has insufficient adhesion to copper foil even through an adhesive. After the surface treatment (for example, coupling agent application treatment, sand blast treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, alkali treatment, etc.), the metal foil is bonded via an adhesive.

カップリング剤塗布処理により表面処理されたポリイミドフィルムは、Si残渣により電気特性が低下する可能性がある。また、サンドブラスト処理はポリイミドフィルムに付着した研磨剤を除くための洗浄工程に問題を残す。一方、コロナ放電処理、およびプラズマ処理は、その装置の簡便さからフィルム製膜装置への組み込み(インライン化)も可能であり、有利な処理であって若干の密着性の改善が認められている。しかし、コロナ放電またはプラズマ処理されたポリイミドフィルムに、接着剤としてポリイミド系の接着剤を用いて金属箔を接着した場合には、密着性の改善は全く認められず、実用的な処理として問題があった。   The polyimide film surface-treated by the coupling agent coating treatment may have a decrease in electrical characteristics due to Si residues. Moreover, the sandblasting process leaves a problem in the cleaning process for removing the abrasive attached to the polyimide film. On the other hand, corona discharge treatment and plasma treatment can be incorporated (in-line) into a film-forming apparatus because of the simplicity of the apparatus, and it is an advantageous treatment and a slight improvement in adhesion has been recognized. . However, when a metal foil is bonded to a polyimide film that has been subjected to corona discharge or plasma treatment using a polyimide-based adhesive as an adhesive, no improvement in adhesion is observed, and there is a problem as a practical treatment. there were.

また、ポリイミドフィルムの表面をアルカリエッチングすることで、金属層との密着性を改善できる技術も知られている(特許文献1等参照)。しかし、密着性に関して特許文献1に記載されている内容は、単純なアルカリ性水溶液でポリイミドフィルムを処理するだけで密着性が良くなるとの記載のみであり、そのアルカリエッチング液組成について何ら検討されておらず、場合によっては密着性が低下する場合があった。
特表2004−533723号公報
In addition, a technique is known that can improve the adhesion with a metal layer by alkali-etching the surface of a polyimide film (see Patent Document 1, etc.). However, the content described in Patent Document 1 regarding the adhesion is only a description that the adhesion is improved only by treating the polyimide film with a simple alkaline aqueous solution, and the alkaline etching solution composition has not been studied at all. In some cases, the adhesion may be reduced.
JP-T-2004-533723

本発明の目的は、ポリイミド系接着剤によって金属箔が高い密着性で接着されうるポリイミドフィルムを提供すること、および該ポリイミドフィルム上に形成されたポリイミド系接着剤からなる層上に、金属層を配置することにより、金属層とポリイミドフィルムの密着性に優れたポリイミド金属積層体を提供することである。   An object of the present invention is to provide a polyimide film in which a metal foil can be bonded with high adhesion by a polyimide adhesive, and a metal layer on a layer made of a polyimide adhesive formed on the polyimide film. By arranging, it is providing the polyimide metal laminated body excellent in the adhesiveness of a metal layer and a polyimide film.

本発明者らは上記課題を改善するために鋭意検討した結果、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液によって表面処理されたポリイミドフィルムが、ポリイミド系の接着剤によって密着性よく金属箔と接着することを見いだして本発明にいたった。
さらに、ポリイミドフィルム、ポリイミドフィルムに接する熱可塑性ポリイミドを含む層、および熱可塑性ポリイミドを含む層の外側に配置された金属層を有するポリイミド金属積層体に、このポリイミドフィルムを適用することにより、上記課題が解決できることを見出し、本発明にいたった。
As a result of intensive studies to improve the above problems, the present inventors have found that the polyimide film surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate adheres to the metal foil with good adhesion by a polyimide-based adhesive. I found it and came to the present invention.
Furthermore, by applying the polyimide film to a polyimide film, a layer containing a thermoplastic polyimide in contact with the polyimide film, and a metal layer disposed outside the layer containing the thermoplastic polyimide, the above-mentioned problem Has been found to be able to be solved, and the present invention has been reached.

すなわち、本発明の第一は、以下のポリイミドフィルムに関する。
[1] ポリイミド系接着剤によって接着させられるポリイミドフィルムであって、過マンガン酸塩含むアルカリ性水溶液によって表面処理されたポリイミドフィルム。
[2] 前記アルカリ性水溶液はさらに水酸化物を含む、[1]に記載のポリイミドフィルム。
[3] 前記アルカリ性水溶液に含まれる過マンガン酸塩と水酸化物の重量比率は、9:1〜2:8である、[2]に記載のポリイミドフィルム。
[4] 前記過マンガン酸塩が、過マンガン酸カリウムおよび過マンガン酸ナトリウムの少なくともいずれか一方であり、かつ前記水酸化物が、水酸化カリウムおよび水酸化ナトリウムの少なくともいずれか一方である、[2]または[3]に記載のポリイミドフィルム。
[5] 前記ポリイミドフィルムは、酸二無水物成分とジアミン成分の重縮合体であるポリイミドを含み、該酸二無水物成分の50モル%以上は下記一般式(1)で示される酸二無水物であり、かつ該ジアミン成分の50モル%以上は下記一般式(4)で示されるジアミンである、[1]〜[4]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
That is, the first of the present invention relates to the following polyimide film.
[1] A polyimide film that is bonded with a polyimide-based adhesive and that is surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate.
[2] The polyimide film according to [1], wherein the alkaline aqueous solution further contains a hydroxide.
[3] The polyimide film according to [2], wherein the weight ratio of permanganate to hydroxide contained in the alkaline aqueous solution is 9: 1 to 2: 8.
[4] The permanganate is at least one of potassium permanganate and sodium permanganate, and the hydroxide is at least one of potassium hydroxide and sodium hydroxide. The polyimide film according to [2] or [3].
[5] The polyimide film includes a polyimide that is a polycondensate of an acid dianhydride component and a diamine component, and 50 mol% or more of the acid dianhydride component is represented by the following general formula (1). The polyimide film according to any one of [1] to [4], wherein 50 mol% or more of the diamine component is a diamine represented by the following general formula (4).

Figure 0004231511

(式(1)において、Aは下記式(2)または下記一般式(3)を示す。)
Figure 0004231511

(In the formula (1), A represents the following formula (2) or the following general formula (3).)

Figure 0004231511
Figure 0004231511

Figure 0004231511
Figure 0004231511

Figure 0004231511

(式(4)において
nは0もしくは1の整数を示し、
−X−は−O−、−NHC(=O)−、または直接結合を示し、
Rは水素原子、ハロゲン原子、低級アルキル基、または低級アルコキシ基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。)
Figure 0004231511

(In formula (4), n represents an integer of 0 or 1,
-X- represents -O-, -NHC (= O)-, or a direct bond;
R represents a hydrogen atom, a halogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group, which may be the same or different. )

[6] 前記ポリイミド系接着剤は、熱可塑性ポリイミドもしくは熱可塑性ポリイミド前駆体、および下記一般式(5)で示されるビスマレイミドを含む、[1]〜[5]のいずれかに記載のポリイミドフィルム。   [6] The polyimide film according to any one of [1] to [5], wherein the polyimide-based adhesive includes a thermoplastic polyimide or a thermoplastic polyimide precursor and a bismaleimide represented by the following general formula (5). .

Figure 0004231511

(式(5)において
mは0〜4の整数を示し、
−Y−は−O−、−SO−、−S−、−CO−、または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、
R1は水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、かつベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。)
Figure 0004231511

(In Formula (5), m represents an integer of 0 to 4,
-Y- is -O -, - SO 2 -, - S -, - CO-, or shows a direct bond, if there are multiple Y may be the each be the same or different,
R1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, which may be the same or different from each other, and is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring. )

[7] 前記ビスマレイミドは下記一般式(5’)で示される、[6]に記載のポリイミドフィルム。   [7] The polyimide film according to [6], wherein the bismaleimide is represented by the following general formula (5 ′).

Figure 0004231511

(式(5’)において
mは0〜4の整数を示し、
−Y−は−O−、−SO−、−S−、−CO−、または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、
R1は水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、かつベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。)
Figure 0004231511

(In the formula (5 ′), m represents an integer of 0 to 4,
-Y- is -O -, - SO 2 -, - S -, - CO-, or shows a direct bond, if there are multiple Y may be the each be the same or different,
R1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, which may be the same or different from each other, and is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring. )

本発明の第二は、以下のポリイミド金属積層体、およびその製造方法に関する。
[8] [1]に記載のポリイミドフィルム、前記ポリイミドフィルムの両面または片面に配置された、熱可塑性ポリイミドを含む層、および前記熱可塑性ポリイミドを含む層の外側に配置された金属層を含む、ポリイミド金属積層体。
[9] [1]に記載のポリイミドフィルムを用意する工程、前記ポリイミドフィルムの片面または両面にポリイミド系接着剤を塗布して熱可塑性ポリイミドを含む層を形成する工程、および前記熱可塑性ポリイミドを含む層の外側に金属層を形成する工程、を含むポリイミド金属積層体の製造方法。
2nd of this invention is related with the following polyimide metal laminated bodies and its manufacturing method.
[8] The polyimide film according to [1], including a layer containing thermoplastic polyimide disposed on both sides or one side of the polyimide film, and a metal layer disposed outside the layer containing thermoplastic polyimide, Polyimide metal laminate.
[9] A step of preparing the polyimide film according to [1], a step of forming a layer containing a thermoplastic polyimide by applying a polyimide adhesive on one or both sides of the polyimide film, and the thermoplastic polyimide are included. Forming a metal layer on the outer side of the layer.

本発明により、ポリイミド系接着剤を介して接着された金属箔との密着性が高いポリイミドフィルムを得ることができる。また、そのポリイミドフィルムを用いることで、高密度回路の基板材料に適するポリイミド金属積層体を提供することができる。   By this invention, a polyimide film with high adhesiveness with the metal foil adhere | attached through the polyimide-type adhesive agent can be obtained. Moreover, the polyimide metal laminated body suitable for the substrate material of a high-density circuit can be provided by using the polyimide film.

以下において、本発明のポリイミドフィルム、ならびにポリイミド金属積層体、およびポリイミド金属積層体の製造方法を詳細に説明する。   Below, the polyimide film of this invention, a polyimide metal laminated body, and the manufacturing method of a polyimide metal laminated body are demonstrated in detail.

1.本発明のポリイミドフィルム
本発明のポリイミドフィルムは、その片面または両面が、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液によって表面処理されていることを特徴とする。
1. Polyimide film of the present invention The polyimide film of the present invention is characterized in that one or both surfaces thereof are surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate.

本発明のポリイミドフィルムの材質は、特に限定されるものではないが、非熱可塑性ポリイミドフィルムを含む樹脂組成物からなるフィルムであることが好ましい。樹脂組成物に含まれる非熱可塑性ポリイミドは、酸二無水物成分とジアミン成分を含む原料組成物の重縮合体である。原料組成物に含まれる酸二無水物成分とジアミン成分のモル比率は、酸二無水物成分:ジアミン成分が、0.95:1.00〜1.00:0.95であることが好ましく、より好ましくは1.00:1.00〜0.985:1.00である。   Although the material of the polyimide film of this invention is not specifically limited, It is preferable that it is a film which consists of a resin composition containing a non-thermoplastic polyimide film. The non-thermoplastic polyimide contained in the resin composition is a polycondensate of a raw material composition containing an acid dianhydride component and a diamine component. The molar ratio of the acid dianhydride component and the diamine component contained in the raw material composition is preferably such that the acid dianhydride component: diamine component is 0.95: 1.00 to 1.00: 0.95, More preferably, it is 1.00: 1.00-0.985: 1.00.

非熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれる酸二無水物成分には、下記一般式(1)で示される酸二無水物が含まれることが好ましい。より好ましくは、酸二無水物成分の50モル%以上が、一般式(1)で示される酸二無水物である。一般式(1)において、Aは下記式(2)または一般式(3)で示される基である。   The acid dianhydride component contained in the non-thermoplastic polyimide raw material composition preferably contains an acid dianhydride represented by the following general formula (1). More preferably, 50 mol% or more of the acid dianhydride component is the acid dianhydride represented by the general formula (1). In general formula (1), A is a group represented by the following formula (2) or general formula (3).

Figure 0004231511
Figure 0004231511

Figure 0004231511
Figure 0004231511

Figure 0004231511
Figure 0004231511

一般式(1)で示される酸二無水物の好ましい例には、ピロメリット酸二無水物およびビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが含まれる。   Preferable examples of the acid dianhydride represented by the general formula (1) include pyromellitic dianhydride and biphenyltetracarboxylic dianhydride.

非熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれる酸二無水物成分は、一種類の酸二無水物であってもよいが、二種以上の酸二無水物の組み合わせであってもよい。また、原料組成物に含まれる酸二無水物成分は、一般式(1)で示される酸二無水物以外の酸二無水物をも含むことができる。その含有量は、本発明の効果を損なわない範囲であって、酸二無水物成分の50モル%未満であることが好ましい。   The acid dianhydride component contained in the raw material composition of the non-thermoplastic polyimide may be one kind of acid dianhydride, but may be a combination of two or more kinds of acid dianhydrides. Moreover, the acid dianhydride component contained in the raw material composition can also contain an acid dianhydride other than the acid dianhydride represented by the general formula (1). The content is a range that does not impair the effects of the present invention, and is preferably less than 50 mol% of the acid dianhydride component.

一方、非熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるジアミン成分には、下記一般式(4)で示されるジアミンが含まれることが好ましい。より好ましくは、ジアミン成分の50モル%以上が、一般式(4)で示されるジアミンである。一般式(4)において、nは0または1の整数を示す。−X−は−O−,−NHC(=O)−、または直接結合を示す。Rは水素原子、ハロゲン原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基を示し、互いに同一でも異なっていてもよい。   On the other hand, the diamine component contained in the raw material composition of the non-thermoplastic polyimide preferably contains a diamine represented by the following general formula (4). More preferably, 50 mol% or more of the diamine component is the diamine represented by the general formula (4). In the general formula (4), n represents an integer of 0 or 1. —X— represents —O—, —NHC (═O) —, or a direct bond. R represents a hydrogen atom, a halogen atom, a lower alkyl group or a lower alkoxy group, which may be the same or different from each other.

Figure 0004231511
Figure 0004231511

一般式(4)で示されるジアミンの好ましい例には、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノ-2,2'-ジメチルビフェニル、4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルビフェニル、2-メトキシ-4,4'-ジアミノベンズアニリド、2'-メトキシ-4,4'-ジアミノベンズアニリド等が含まれる。   Preferred examples of the diamine represented by the general formula (4) include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4 , 4'-Diamino-2,2'-dimethylbiphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dimethylbiphenyl, 2-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 2'-methoxy-4,4 '-Diaminobenzanilide and the like are included.

非熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるジアミン成分は、一種類のジアミンであってもよいが、二種以上のジアミンの組み合わせであってもよい。また、原料組成物に含まれるジアミン成分には、一般式(4)で示されるジアミン以外のジアミンをも含まれうる。その含有量は、本発明の効果を損なわない範囲であって、ジアミン成分の50モル%未満であることが好ましい。   The diamine component contained in the raw material composition of the non-thermoplastic polyimide may be one kind of diamine, but may be a combination of two or more kinds of diamines. Further, the diamine component contained in the raw material composition may also include diamines other than the diamine represented by the general formula (4). The content is a range that does not impair the effects of the present invention, and is preferably less than 50 mol% of the diamine component.

これらの原料組成物から得られるポリイミドフィルムを使用することによって、より本発明の効果を享受することが可能である。   By using a polyimide film obtained from these raw material compositions, it is possible to further enjoy the effects of the present invention.

本発明において表面処理されるポリイミドフィルムは、市販されているポリイミドフィルムであってもよく、例えば、ユーピレックス(登録商標)S、ユーピレックス(登録商標)SGA、ユーピレックス(登録商標)SN(宇部興産株式会社製、商品名)、カプトン(登録商標)H、カプトン(登録商標)V、カプトン(登録商標)EN(東レ・デュポン株式会社製、商品名)、アピカル(登録商標)AH、アピカル(登録商標)NPI、アピカル(登録商標)NPP、アピカル(登録商標)HP((株)カネカ製、商品名)等が挙げられる。   The polyimide film surface-treated in the present invention may be a commercially available polyimide film, for example, Upilex (registered trademark) S, Upilex (registered trademark) SGA, Upilex (registered trademark) SN (Ube Industries, Ltd.) Product name, Kapton (registered trademark) H, Kapton (registered trademark) V, Kapton (registered trademark) EN (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd., product name), Apical (registered trademark) AH, Apical (registered trademark) NPI, Apical (registered trademark) NPP, Apical (registered trademark) HP (trade name, manufactured by Kaneka Corp.), and the like.

本発明のポリイミドフィルムの厚みは、特に制限はなく、それから製造されるポリイミド金属積層体の用途などに応じて適宜選択すればよいが、5〜250μmであることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the polyimide film of this invention, Although what is necessary is just to select suitably according to the use of the polyimide metal laminated body manufactured from it, etc., it is preferable that it is 5-250 micrometers.

前述の通り本発明のポリイミドフィルムは、その表面を、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液により処理されていることを特徴とするが、処理されるポリイミドフィルムの表面は、片面または両面のいずれでもよい。   As described above, the surface of the polyimide film of the present invention is treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate, but the surface of the polyimide film to be treated may be either single-sided or double-sided. .

ポリイミドフィルムの表面処理に用いられるアルカリ性水溶液は、過マンガン酸塩を含み、かつアルカリ性であればよい。アルカリ性水溶液のpHは9以上であることが好ましい。アルカリ性水溶液に含まれる過マンガン酸塩の好ましい例には、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウムなどが含まれ、これらを単独で、または二種以上を組み合わせて使用してもよい。   The alkaline aqueous solution used for the surface treatment of the polyimide film may contain permanganate and be alkaline. The pH of the alkaline aqueous solution is preferably 9 or more. Preferable examples of permanganate contained in the alkaline aqueous solution include potassium permanganate, sodium permanganate and the like, and these may be used alone or in combination of two or more.

またアルカリ性水溶液は、過マンガン酸塩および水酸化物を含む水溶液であることが好ましい。水酸化物の好ましい例には、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどが含まれるが、これらを単独で、または二種以上を組み合わせて使用してもよい。   The alkaline aqueous solution is preferably an aqueous solution containing a permanganate and a hydroxide. Preferable examples of the hydroxide include potassium hydroxide, sodium hydroxide and the like, but these may be used alone or in combination of two or more.

アルカリ性水溶液に含まれる過マンガン酸塩と水酸化物の重量比率は、9:1〜2:8の範囲であることが好ましく、8:2〜3:6の範囲であることがより好ましく、7:3〜6:4の範囲であることがさらに好ましい。   The weight ratio of permanganate and hydroxide contained in the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9: 1 to 2: 8, more preferably in the range of 8: 2 to 3: 6. : More preferably in the range of 3 to 6: 4.

ポリイミドフィルムの表面処理に用いられるアルカリ性水溶液における過マンガン酸塩と水酸化物の含有量は、その合計重量が、水溶液全体の重量に対して、3%以上であることが好ましく、4%〜30%の範囲であることが好ましく、5%〜20%の範囲であることが好ましく、6%〜15%であることがよりさらに好ましい。   The content of permanganate and hydroxide in the alkaline aqueous solution used for the surface treatment of the polyimide film is preferably 3% or more based on the total weight of the aqueous solution, and preferably 4% to 30%. %, Preferably 5% to 20%, and more preferably 6% to 15%.

アルカリ性水溶液には、さらにその他の任意の成分が含まれていてもよい。   The alkaline aqueous solution may further contain other optional components.

ポリイミドフィルムの表面をアルカリ性水溶液で処理する手段は特に限定されないが、例えば、該ポリイミドフィルムをバッチ式の槽などに入れられたアルカリ性水溶液に浸漬する方法;該ポリイミドフィルムにアルカリ性水溶液をスプレーまたはシャワーによって噴霧または吹きつける方法が挙げられる。また、搬送可能なロール・トゥ・ロール方式で連続的に処理してもよい。   Means for treating the surface of the polyimide film with an alkaline aqueous solution is not particularly limited. For example, a method of immersing the polyimide film in an alkaline aqueous solution placed in a batch-type tank or the like; spraying or showering the alkaline aqueous solution on the polyimide film The method of spraying or spraying is mentioned. Moreover, you may process continuously by the roll-to-roll system which can be conveyed.

過マンガン酸は酸化作用により燃焼または爆発する危険を有するため、ポリイミドフィルムを処理するとき、アルカリ性水溶液の温度を80℃以下とすることが望ましく、50℃〜80℃の範囲とすることが好ましく、70℃〜80℃の範囲とすることがさらに好ましい。
処理時間は、処理に用いられるアルカリ性水溶液の温度などに応じて適宜選択される。アルカリ性水溶液の温度を上げることにより、処理能力が向上して処理時間は短縮される。例えば液の温度が50℃以上であれば0.5分〜20分程度であり、50℃以下であれば5分〜40分程度でありうる。いずれにしても、処理されたポリイミドフィルムの表面には、ポリイミド系接着剤が塗布されうるので、塗布された接着剤が接着性よく接着するように処理されればよい。処理時間が過剰に長いと、接着剤による接着性が低下するなどの不具合が生じることがある。水溶液の温度は処理装置によって調整されることが好ましい。
Since permanganic acid has a risk of burning or exploding due to an oxidizing action, when treating a polyimide film, the temperature of the alkaline aqueous solution is desirably 80 ° C. or less, preferably in the range of 50 ° C. to 80 ° C., More preferably, the temperature is in the range of 70 ° C to 80 ° C.
The treatment time is appropriately selected according to the temperature of the alkaline aqueous solution used for the treatment. By increasing the temperature of the alkaline aqueous solution, the processing capacity is improved and the processing time is shortened. For example, if the temperature of the liquid is 50 ° C. or higher, it may be about 0.5 to 20 minutes, and if it is 50 ° C. or lower, it may be about 5 to 40 minutes. In any case, since the polyimide-based adhesive can be applied to the surface of the processed polyimide film, it may be processed so that the applied adhesive adheres with good adhesiveness. If the treatment time is excessively long, problems such as a decrease in adhesiveness due to the adhesive may occur. It is preferable that the temperature of aqueous solution is adjusted with a processing apparatus.

本発明のポリイミドフィルムは、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液によって表面処理される前に、膨潤処理されていてもよい。膨潤処理は、アルカリ性の溶液によってなされうる。膨潤処理により、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液による表面処理の処理能力が向上されうる。
また本発明のポリイミドフィルムは、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液によって表面処理された後に、還元処理をされていてもよい。還元処理は、還元剤を含む溶液によってなされうる。還元処理により、フィルム表面に残留した過マンガン酸や反応副生物が除去されうる。
The polyimide film of the present invention may be subjected to a swelling treatment before being surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate. The swelling treatment can be performed with an alkaline solution. By the swelling treatment, the treatment ability of the surface treatment with an alkaline aqueous solution containing a permanganate can be improved.
The polyimide film of the present invention may be subjected to a reduction treatment after being surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate. The reduction treatment can be performed with a solution containing a reducing agent. By the reduction treatment, permanganic acid and reaction by-products remaining on the film surface can be removed.

本発明のポリイミドフィルムの表面は、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液による表面処理に加えて、プラズマ処理、コロナ放電処理などを施されていてもよい。プラズマ処理、コロナ放電処理などは、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液による表面処理の前もしくは後、または同時に行ってもよい。   The surface of the polyimide film of the present invention may be subjected to plasma treatment, corona discharge treatment, etc. in addition to surface treatment with an alkaline aqueous solution containing permanganate. Plasma treatment, corona discharge treatment, and the like may be performed before, after, or simultaneously with surface treatment with an alkaline aqueous solution containing a permanganate.

本発明のポリイミドフィルムは任意の用途で用いられるが、その表面処理されたフィルム面は、その面上に配置されるポリイミド系接着剤との接着性が高いという特徴を有する。ポリイミド系接着剤とは、少なくとも熱可塑性ポリイミドまたは熱可塑性ポリイミド前駆体を含む。したがって、本発明のポリイミドフィルムは、その少なくとも一方の面にポリイミド系接着剤を塗布されるなどして熱可塑性ポリイミドを含む層(接着層)を形成され、さらに金属層を形成されることによって、ポリイミド金属積層体とされることが好ましい。   The polyimide film of the present invention is used for any application, but the surface-treated film surface is characterized by high adhesiveness with a polyimide-based adhesive disposed on the surface. The polyimide adhesive contains at least a thermoplastic polyimide or a thermoplastic polyimide precursor. Therefore, the polyimide film of the present invention is formed by forming a layer (adhesive layer) containing thermoplastic polyimide by applying a polyimide adhesive on at least one surface thereof, and further forming a metal layer, A polyimide metal laminate is preferred.

2.本発明のポリイミド金属積層体
本発明のポリイミド金属積層体は、前述の本発明のポリイミドフィルム;前記ポリイミドフィルムの少なくとも一方の面に設けられた熱可塑性ポリイミドを含む層(以下において、この層を「熱可塑性ポリイミド層」と称することがある);および熱可塑性ポリイミド層の外側に配置された金属層を含む。本発明のポリイミド金属積層体は、前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に、熱可塑性ポリイミド層および金属層が積層されていればよく、片面だけに積層されていても、両面に積層されていてもよい。
2. Polyimide metal laminate of the present invention The polyimide metal laminate of the present invention includes the polyimide film of the present invention described above; a layer containing thermoplastic polyimide provided on at least one surface of the polyimide film (hereinafter, this layer is referred to as “ And may be referred to as a "thermoplastic polyimide layer"); and a metal layer disposed on the outside of the thermoplastic polyimide layer. The polyimide metal laminate of the present invention is only required to have a thermoplastic polyimide layer and a metal layer laminated on the surface-treated surface of the polyimide film, and is laminated on both sides even if laminated on only one side. Also good.

本発明のポリイミド金属積層体に含まれる熱可塑性ポリイミド層は、フィルムと金属層との密着性を高める接着層となりうる。本発明のポリイミド金属積層体は、少なくとも一層の熱可塑性ポリイミド層を有していればよく、二層以上の熱可塑性ポリイミド層を有していてもよい。熱可塑性ポリイミド層の厚み(複数の熱可塑性ポリイミド層がある場合は、それらの層の厚みの合計)は、製造されるポリイミド金属積層体の使用目的により選択され制限はないが、0.5μm〜10μmの範囲が好ましい。   The thermoplastic polyimide layer contained in the polyimide metal laminate of the present invention can be an adhesive layer that improves the adhesion between the film and the metal layer. The polyimide metal laminate of the present invention only needs to have at least one thermoplastic polyimide layer, and may have two or more thermoplastic polyimide layers. The thickness of the thermoplastic polyimide layer (when there are a plurality of thermoplastic polyimide layers, the total thickness of those layers) is selected depending on the intended use of the polyimide metal laminate to be produced, but is not limited, but from 0.5 μm to A range of 10 μm is preferred.

本発明のポリイミド金属積層体に含まれる熱可塑性ポリイミド層は、熱可塑性ポリイミドを含有する樹脂組成物からなる層である。樹脂組成物には、熱可塑性ポリイミドに加えて、ビスマレイミドが含有されていてもよい(ビスマレイミドについては後述)。   The thermoplastic polyimide layer contained in the polyimide metal laminate of the present invention is a layer made of a resin composition containing thermoplastic polyimide. The resin composition may contain bismaleimide in addition to the thermoplastic polyimide (bismaleimide will be described later).

熱可塑性ポリイミドは、テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン成分とを含む原料組成物を重縮合反応させて得られる。原料組成物に含まれるテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分のモル比率は、テトラカルボン酸二無水物成分:ジアミン成分=0.90〜1.10の範囲が好ましく、更に好ましくは0.95〜1.00、特に好ましくは0.97〜1.00の範囲である。熱可塑性ポリイミドは、主鎖にイミド構造を有するポリマーであって、ガラス転移温度が130℃〜350℃の範囲内にあり、この温度領域では弾性率が急激に低下するポリマーであることが好ましい。公知の熱可塑性ポリイミドを使用してもよい。   The thermoplastic polyimide is obtained by subjecting a raw material composition containing a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component to a polycondensation reaction. The molar ratio of the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component contained in the raw material composition is preferably in the range of tetracarboxylic dianhydride component: diamine component = 0.90 to 1.10, more preferably 0.95. ˜1.00, particularly preferably 0.97 to 1.00. The thermoplastic polyimide is preferably a polymer having an imide structure in the main chain and having a glass transition temperature in the range of 130 ° C. to 350 ° C., and the elastic modulus rapidly decreases in this temperature range. A known thermoplastic polyimide may be used.

熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるテトラカルボン酸二無水物成分は特に限定されず、公知のテトラカルボン酸二無水物成分が使用可能であるが、その具体例には、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物、オキシ-4,4'-ジフタル酸二無水物、2,2-ビス〔4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、エチレングリコールビストリメリット酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-へキサフルオロプロパン二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、1,2-ビス(3,4-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、1,3-ビス(3,4-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、2,2'-ビス((3,4-ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物、2,3'-ビス((3,4-ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物、2,4'-ビス((3,4-ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物、3,3'-ビス((3,4-ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物、3,4'-ビス((3,4-ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物、4,4'-ビス((3,4−ジカルボキシ)フェノキシ)ベンゾフェノン二無水物等が含まれる。
好ましくは3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも一種のテトラカルボン酸二無水物を含むことが好ましい。
The tetracarboxylic dianhydride component contained in the raw material composition of the thermoplastic polyimide is not particularly limited, and known tetracarboxylic dianhydride components can be used. Specific examples thereof include 3, 3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, oxy-4 , 4'-diphthalic dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, ethylene glycol bistrimellitic dianhydride, 2,2-bis (3 , 4-Dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 1,2- Bis (3,4-dicarboxybenzoyl) benzene Anhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxybenzoyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxybenzoyl) benzene dianhydride, 2,2′-bis ((3 , 4-Dicarboxy) phenoxy) benzophenone dianhydride, 2,3′-bis ((3,4-dicarboxy) phenoxy) benzophenone dianhydride, 2,4′-bis ((3,4-dicarboxy) Phenoxy) benzophenone dianhydride, 3,3′-bis ((3,4-dicarboxy) phenoxy) benzophenone dianhydride, 3,4′-bis ((3,4-dicarboxy) phenoxy) benzophenone dianhydride 4,4′-bis ((3,4-dicarboxy) phenoxy) benzophenone dianhydride and the like are included.
Preferably 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, diphenylsulfonetetracarboxylic acid It is preferable to include at least one tetracarboxylic dianhydride selected from dianhydrides.

熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるテトラカルボン酸二無水物成分は、一種類のテトラカルボン酸二無水物であってもよく、二種以上のテトラカルボン酸二無水物の組み合わせであってもよい。   The tetracarboxylic dianhydride component contained in the thermoplastic polyimide raw material composition may be one type of tetracarboxylic dianhydride or a combination of two or more types of tetracarboxylic dianhydrides. Good.

熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるジアミン成分の具体例には、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3-ビス(3-(3-アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、ビス(3-(3-アミノフェノキシ)フェニル)エーテル、ビス(3-(3-(3-アミノフェノキシ)フェノキシ)フェニル)エーテル、o-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,4'-ジアミノベンゾフェノン、ビス(4-アミノフェニル)スルホン、ビス(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(3-アミノフェニル)スルフィド、ビス(4-アミノフェニル)スルフィド、1,3-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、2,2-ビス(4-アミノフェノキシフェニル)プロパン、1,3-ビス(1-(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)-1-メチルエチル)ベンゼン、1,4-ビス(1-(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)-1-メチルエチル)ベンゼン、1,4-ビス(1-(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)-1-メチルエチル)ベンゼン、2,2-ビス(3-(3-アミノフェノキシ)フェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス(3-(4-アミノフェノキシ)フェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン等が含まれる。
好ましくは1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、および1,3-ビス(3-(3-アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼンから選ばれる少なくとも一種のジアミンを用いることが好ましい。
Specific examples of the diamine component contained in the thermoplastic polyimide raw material composition include 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, and 1,3-bis. (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, bis (3- (3-aminophenoxy) phenyl) ether, bis (3- (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) phenyl) ether, o-phenylenediamine , P-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,4′-diaminobenzophenone, bis (4- Minophenyl) sulfone, bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfone, bis (3-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, 1,3-bis (4- (4-aminophenoxy) -α, α-Dimethylbenzyl) benzene, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 1,3-bis (1- (4- (4-aminophenoxy) phenyl) -1-methylethyl) benzene 1,4-bis (1- (4- (4-aminophenoxy) phenyl) -1-methylethyl) benzene, 1,4-bis (1- (4- (3-aminophenoxy) phenyl) -1- Methylethyl) benzene, 2,2-bis (3- (3-aminophenoxy) phenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (3- (4-amino) Phenoxy) phenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafur Ropuropan the like.
Preferably, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′- It is preferable to use at least one diamine selected from diaminodiphenyl ether and 1,3-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene.

熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるジアミン成分は、一種類のジアミンであってもよく、二種以上のジアミンの組み合わせであってもよい。   One type of diamine may be sufficient as the diamine component contained in the raw material composition of a thermoplastic polyimide, and the combination of 2 or more types of diamine may be sufficient as it.

熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれる酸二無水物成分とジアミン成分との好ましい組み合わせは、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンと、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物;あるいは4,4'-ジアミノジフェニルエーテルおよび/または3,4'-ジアミノジフェニルエーテルおよび/または3,3'-ジアミノジフェニルエーテルと、ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物である。熱可塑性ポリイミドの原料組成物に含まれるジアミン成分と酸二無水物成分の合計の50モル%以上が、これらのジアミンと酸二無水物であることが好ましい。   A preferred combination of the acid dianhydride component and the diamine component contained in the thermoplastic polyimide raw material composition is 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetra. Carboxylic dianhydride; or 4,4′-diaminodiphenyl ether and / or 3,4′-diaminodiphenyl ether and / or 3,3′-diaminodiphenyl ether and diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride. It is preferable that 50 mol% or more of the total of the diamine component and the acid dianhydride component contained in the thermoplastic polyimide raw material composition is these diamine and acid dianhydride.

前述の熱可塑性ポリイミド層を構成する樹脂組成物には、熱可塑性ポリイミドに加えてビスマレイミドが配合されていてもよい。該樹脂組成物に含まれるビスマレイミドの含有量は、0.1重量%〜50重量%程度であればよく、1〜40重量%程度であることが好ましく、5〜30重量%程度であることがさらに好ましい。   In addition to the thermoplastic polyimide, bismaleimide may be blended in the resin composition constituting the thermoplastic polyimide layer. The content of bismaleimide contained in the resin composition may be about 0.1 to 50% by weight, preferably about 1 to 40% by weight, and about 5 to 30% by weight. Is more preferable.

配合されるビスマレイミドは、下記一般式(5)で示されることが好ましい。一般式(5)において、mは0〜4の整数を示し;−Y−は−O−,−SO−,−S−,−CO−,または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく;R1は水素原子,ハロゲン原子,または炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。各R1は、ベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。 The blended bismaleimide is preferably represented by the following general formula (5). In the general formula (5), m represents an integer of 0 to 4; -Y- is -O -, - SO 2 -, - S -, - CO-, or shows a direct bond, when there are multiple Y May be the same or different; R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, and may be the same or different. Each R1 is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring.

Figure 0004231511
Figure 0004231511

配合されるビスマレイミドは、下記一般式(5’)で示されることがさらに好ましい。一般式(5’)において、mは0〜4の整数を示し;−Y−は−O−,−SO−,−S−,−CO−,または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく;R1は水素原子,ハロゲン原子,または炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。各R1は、ベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。 The blended bismaleimide is more preferably represented by the following general formula (5 ′). In General Formula (5 ′), m represents an integer of 0 to 4; —Y— represents —O—, —SO 2 —, —S—, —CO—, or a direct bond, and there are a plurality of Y. Each case may be the same or different; R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, and may be the same or different. Each R1 is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring.

Figure 0004231511
Figure 0004231511

配合されるビスマレイミドの具体例には、1,3-ビス(3-マレイミドフェノキシ)ベンゼン、ビス(3-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)エーテル、1,3-ビス(3-(3-マレイミドフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、ビス(3-(3-(3-マレイミドフェノキシ)フェノキシ)フェニル)エーテル、1,3-ビス(3-(3-(3-マレイミドフェノキシ)フェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、N,N'-p-フェニレンビスマレイミド、N,N'-m-フェニレンビスマレイミド、ビス(4-マレイミドフェニル)メタン、N,N'-4,4'-ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N'-3,4'-ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N'-3,3'-ジフェニルケトンビスマレイミド、2,2-ビス(4-(4-マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、4,4'-ビス(3-マレイミドフェノキシ)ビフェニル、2,2-ビス(4-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)ケトン、ビス(4-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)スルフィド、ビス(4-(3-マレイミドフェノキシ)フェニル)スルホン等が含まれるが、これらに限定されるものではない。より好ましくは1,3-ビス(3-マレイミドフェノキシ)ベンゼンである。   Specific examples of the bismaleimide compounded include 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, bis (3- (3-maleimidophenoxy) phenyl) ether and 1,3-bis (3- (3-maleimide). Phenoxy) phenoxy) benzene, bis (3- (3- (3-maleimidophenoxy) phenoxy) phenyl) ether, 1,3-bis (3- (3- (3- (3-maleimidophenoxy) phenoxy) phenoxy) benzene, N, N′-p-phenylene bismaleimide, N, N′-m-phenylene bismaleimide, bis (4-maleimidophenyl) methane, N, N′-4,4′-diphenyl ether bismaleimide, N, N′-3, 4'-diphenyl ether bismaleimide, N, N'-3,3'-diphenyl ketone bismaleimide, 2,2-bis (4- (4-maleimidophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis 4- (3-maleimidophenoxy) phenyl) propane, 4,4′-bis (3-maleimidophenoxy) biphenyl, 2,2-bis (4- (3-maleimidophenoxy) phenyl) -1,1,1,3 , 3,3-hexafluoropropane, bis (4- (3-maleimidophenoxy) phenyl) ketone, bis (4- (3-maleimidophenoxy) phenyl) sulfide, bis (4- (3-maleimidophenoxy) phenyl) sulfone However, it is not limited to these. More preferred is 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene.

本発明のポリイミド金属積層体に含まれる金属層は、熱可塑性ポリイミド層の外側に配置される。「熱可塑性ポリイミド層の外側に配置される」とは、熱可塑性ポリイミド層に直接接触して配置されること、または中間層を介して配置されることを含む。「中間層」は、例えば樹脂層であり、接着性の層であっても非接着性の層であってもよい。前記金属層は、好ましくは熱可塑性ポリイミド層上に直接接触して配置されている。   The metal layer contained in the polyimide metal laminate of the present invention is disposed outside the thermoplastic polyimide layer. “Arranged outside the thermoplastic polyimide layer” includes being disposed in direct contact with the thermoplastic polyimide layer or disposed through an intermediate layer. The “intermediate layer” is, for example, a resin layer, and may be an adhesive layer or a non-adhesive layer. The metal layer is preferably arranged in direct contact with the thermoplastic polyimide layer.

金属層を構成する金属の種類は特に限定されないが、銅、銅合金、アルミニウム、ニッケル、ステンレス、チタン、または鉄などが挙げられる。金属層はエッチング加工されて電子回路となりうるため、導電率の高い金属で構成されることが好ましい。かかる観点より、金属層は銅からなる層であることが好ましい。   Although the kind of metal which comprises a metal layer is not specifically limited, Copper, copper alloy, aluminum, nickel, stainless steel, titanium, or iron etc. are mentioned. Since the metal layer can be etched to form an electronic circuit, the metal layer is preferably made of a metal having high conductivity. From this viewpoint, the metal layer is preferably a layer made of copper.

金属層の厚みは、テープ状にして利用できる厚みであれば制限はないが、2μm〜150μmの範囲であることが好ましい。   The thickness of the metal layer is not limited as long as it can be used in the form of a tape, but is preferably in the range of 2 μm to 150 μm.

本発明のポリイミド金属積層体は、金属層のポリイミドフィルムへの密着性に優れる。密着性に優れるとは、例えば金属層のピール強度が高いことを含む。このことは、後述の実施例にも示される。そのため、本発明のポリイミド金属積層体は回路材料基板として好適に使用される。   The polyimide metal laminate of the present invention is excellent in adhesion of the metal layer to the polyimide film. “Excellent adhesion” includes, for example, that the peel strength of the metal layer is high. This is also shown in the examples described later. Therefore, the polyimide metal laminate of the present invention is suitably used as a circuit material substrate.

金属層のポリイミドフィルムへの密着性が高まるメカニズムは必ずしも明確ではないが、ポリイミドフィルム表面のポリイミド基の一部分が加水分解して、部分的にアミド基が発生し;該ポリイミドフィルムに塗布されたポリイミド系接着剤に含まれる熱可塑性ポリイミド又は熱可塑性ポリイミド前駆体が、キュアされたときに、ポリイミドフィルム表面に発生したアミド基との間のアンカー効果を得て、ポリイミドフィルムと熱可塑性ポリイミド層との接着性が高まり;さらに、熱可塑性ポリイミド層上に配置された金属層と、ポリイミドフィルムとの密着性も高まり、本発明の効果が奏されるものと推定される。   The mechanism by which the adhesion of the metal layer to the polyimide film is not necessarily clear, but a portion of the polyimide group on the polyimide film surface is hydrolyzed to partially generate an amide group; the polyimide applied to the polyimide film When the thermoplastic polyimide or thermoplastic polyimide precursor contained in the adhesive is cured, the anchor effect between the amide group generated on the polyimide film surface is obtained, and the polyimide film and the thermoplastic polyimide layer It is estimated that the adhesion of the metal layer disposed on the thermoplastic polyimide layer and the polyimide film is enhanced, and the effects of the present invention are exhibited.

3.本発明のポリイミド金属積層体の製造方法
本発明の金属積層体は任意の方法で製造されうるが、例えば、前述の表面処理されたポリイミドフィルムを用意し;前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に、ポリイミド系接着剤を塗布、乾燥させて、熱可塑性ポリイミド層を形成し;形成された熱可塑性ポリイミド層に金属箔を加熱圧着させて金属層を形成する、ことにより製造されうる。
3. Method for Producing Polyimide Metal Laminate of the Present Invention The metal laminate of the present invention can be produced by any method. For example, the aforementioned surface-treated polyimide film is prepared; It can be manufactured by applying and drying a polyimide-based adhesive to form a thermoplastic polyimide layer; forming a metal layer by thermally pressing a metal foil to the formed thermoplastic polyimide layer.

また、本発明の金属積層体は、ポリイミドフィルムの片面だけに金属層を設け、もう一方の面には任意の樹脂層だけを設けることによっても製造されうる。   Moreover, the metal laminated body of this invention can be manufactured also by providing a metal layer only in the single side | surface of a polyimide film, and providing only arbitrary resin layers in the other side.

一方、本発明の金属積層体は、前述の表面処理されたポリイミドフィルムを用意し;前述の熱可塑性ポリイミド層に対応するポリイミドフィルムを用意し、それを表面処理されたポリイミドフィルムの表面処理された面に加熱圧着する事により、熱可塑性ポリイミド層を形成し;形成された熱可塑性ポリイミド層に金属箔を加熱圧着させて金属層を形成する、ことにより製造されてもよい。また、表面処理されたポリイミドフィルム、熱可塑性ポリイミド層に対応するポリイミドフィルム、および金属箔を同時に加熱圧着して本発明の金属積層体を製造してもよい。   On the other hand, the metal laminate of the present invention prepared the above-mentioned surface-treated polyimide film; prepared a polyimide film corresponding to the above-mentioned thermoplastic polyimide layer, and surface-treated the surface-treated polyimide film. It may be manufactured by forming a thermoplastic polyimide layer by thermocompression bonding to the surface; forming a metal layer by thermocompression bonding a metal foil to the formed thermoplastic polyimide layer. Alternatively, the surface-treated polyimide film, the polyimide film corresponding to the thermoplastic polyimide layer, and the metal foil may be simultaneously heat-pressed to produce the metal laminate of the present invention.

さらに、表面処理されたポリイミドフィルム、および金属箔にあらかじめ少なくとも一層の熱可塑性ポリイミド層を塗布することにより作製した積層体を用意し;作製した積層体の熱可塑性ポリイミド層を、前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に加熱圧着する事により、本発明の金属積層体を製造してもよい。   Furthermore, a surface-treated polyimide film and a laminate prepared by applying at least one thermoplastic polyimide layer to a metal foil in advance are prepared; and the thermoplastic polyimide layer of the prepared laminate is formed on the surface of the polyimide film. You may manufacture the metal laminated body of this invention by thermocompression-bonding to the processed surface.

また本発明の金属積層体は、前記熱可塑性ポリイミド層上に一または二以上の中間層を形成し、その中間層に金属箔を加熱圧着させて金属層を形成する、ことにより製造されてもよい。中間層は例えば樹脂層であり、形成された熱可塑性ポリイミド層にポリイミド接着層もしくはフィルムを加熱圧着することにより形成されうる。
さらに、金属層にあらかじめ少なくとも一層以上の熱可塑性ポリイミド層および少なくとも一または二以上の上記中間層を塗布することにより積層体を形成し;形成された積層体の熱可塑性ポリイミド層を、前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に加熱圧着することにより、本発明の金属積層体を製造してもよい。
The metal laminate of the present invention may be manufactured by forming one or two or more intermediate layers on the thermoplastic polyimide layer, and forming a metal layer by heat-pressing a metal foil on the intermediate layer. Good. The intermediate layer is, for example, a resin layer, and can be formed by thermocompression bonding a polyimide adhesive layer or a film to the formed thermoplastic polyimide layer.
Furthermore, at least one or more thermoplastic polyimide layers and at least one or two or more intermediate layers are applied to the metal layer in advance to form a laminate; the thermoplastic polyimide layer of the formed laminate is formed into the polyimide film. The metal laminate of the present invention may be produced by thermocompression bonding to the surface-treated surface.

ポリイミドフィルムや金属箔等に塗布されるポリイミド系接着剤には、熱可塑性ポリイミドまたは熱可塑性ポリイミド前駆体(例えばポリアミック酸)を含むことが好ましく、さらにビスマレイミドを含むことがより好ましい。
ポリイミド系接着剤は、ポリイミドフィルムに塗布されて熱可塑性ポリイミド層を形成するか;または予め薄膜とされるかもしくは金属箔に塗布されて積層体とされてポリイミドフィルムに加熱圧着されて熱可塑性ポリイミド層を形成する。好ましくは、ポリイミド系接着剤はポリイミドフィルムに塗布されて熱可塑性ポリイミド層を形成する。ポリイミド系接着剤を塗布する手段は特に制限されないが、溶媒に溶解して、ダイコーター、コンマコーター、ロールコーター、グラビアコーター、カーテンコーター、スプレーコーター等の公知の方法を採用して塗布すればよい(以下において、溶媒に溶解されたポリイミド系接着剤の溶液を「ワニス」と称することがある)。塗布する手段は、形成する熱可塑性ポリイミド層の厚み、ワニスの粘度などに応じて適宜選択して利用できる。
ワニスに含まれるポリイミドまたはポリイミド前駆体の濃度は、溶液であるワニスの全重量に対して、3〜50重量%であることが好ましく、より好ましくは5〜30重量%、更に好ましくは10〜20重量%である。
The polyimide-based adhesive applied to the polyimide film, the metal foil or the like preferably contains thermoplastic polyimide or a thermoplastic polyimide precursor (for example, polyamic acid), and more preferably contains bismaleimide.
A polyimide-based adhesive is applied to a polyimide film to form a thermoplastic polyimide layer; or is made into a thin film in advance or applied to a metal foil to form a laminate and is thermocompression bonded to the polyimide film to form a thermoplastic polyimide. Form a layer. Preferably, the polyimide adhesive is applied to a polyimide film to form a thermoplastic polyimide layer. The means for applying the polyimide adhesive is not particularly limited, but may be applied by using a known method such as a die coater, a comma coater, a roll coater, a gravure coater, a curtain coater, or a spray coater after being dissolved in a solvent. (Hereinafter, a solution of a polyimide adhesive dissolved in a solvent may be referred to as “varnish”). The means for applying can be appropriately selected and used according to the thickness of the thermoplastic polyimide layer to be formed, the viscosity of the varnish, and the like.
It is preferable that the density | concentration of the polyimide or polyimide precursor contained in a varnish is 3-50 weight% with respect to the total weight of the varnish which is a solution, More preferably, it is 5-30 weight%, More preferably, it is 10-20. % By weight.

テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分と溶媒とを含む原料組成物を重縮合反応させて得られるポリイミド前駆体溶液、またはその溶液に含まれるポリイミド前駆体をイミド化反応させて得られるポリイミド溶液を、ワニスとして用いてもよい。   A polyimide precursor solution obtained by polycondensation reaction of a raw material composition containing a tetracarboxylic dianhydride component, a diamine component and a solvent, or a polyimide solution obtained by imidizing a polyimide precursor contained in the solution May be used as a varnish.

塗布されたワニスは乾燥され、必要に応じてキュアされる。乾燥とはワニスに含まれる溶媒を除去することを含み、キュアとはポリイミド前駆体を(例えばポリアミック酸)をイミド化することを含む。塗布したワニスの乾燥およびキュアは、通常の加熱乾燥炉を利用して行うことができる。乾燥炉の雰囲気は、空気、イナートガス(窒素、アルゴンなど)などで満たしておくことが好ましい。乾燥およびキュアの温度は、溶媒の沸点などに応じて適宜選択されるが、60℃〜600℃の範囲にあることが好ましい。乾燥およびキュアの時間は、形成される熱可塑性ポリイミド層の厚み、ワニスの固形分濃度、溶媒の種類により適宜選択されるが、0.05分〜500分程度であることが望ましい。   The applied varnish is dried and cured as necessary. Drying includes removing a solvent contained in the varnish, and curing includes imidizing a polyimide precursor (for example, polyamic acid). Drying and curing of the applied varnish can be performed using a normal heating and drying furnace. The atmosphere in the drying furnace is preferably filled with air, inert gas (nitrogen, argon, etc.), or the like. The drying and curing temperatures are appropriately selected according to the boiling point of the solvent, but are preferably in the range of 60 ° C to 600 ° C. The drying and curing time is appropriately selected depending on the thickness of the thermoplastic polyimide layer to be formed, the solid content concentration of the varnish, and the type of the solvent, and is preferably about 0.05 to 500 minutes.

本発明のポリイミド金属積層体は、前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に設けられた熱可塑性ポリイミド層に、金属箔を加熱圧着することにより製造されるか;もしくは金属箔に塗布形成された熱可塑性ポリイミド層等を、前記ポリイミドフィルムの表面処理された面に加熱圧着することが好ましい。加熱圧着される金属箔には、公知の金属箔を用いることができる。公知の金属箔の例には、圧延銅箔、電解銅箔、銅合金箔、Al箔、Ni箔、ステンレス箔、チタン箔、鉄箔等が含まれるが、好ましくは圧延銅箔または電解銅箔である。   The polyimide metal laminate of the present invention is produced by thermocompression bonding of a metal foil to a thermoplastic polyimide layer provided on the surface-treated surface of the polyimide film; or heat applied to the metal foil. It is preferable to heat and pressure-bond a plastic polyimide layer or the like to the surface-treated surface of the polyimide film. A known metal foil can be used as the metal foil to be thermocompression bonded. Examples of known metal foils include rolled copper foil, electrolytic copper foil, copper alloy foil, Al foil, Ni foil, stainless steel foil, titanium foil, iron foil, etc., preferably rolled copper foil or electrolytic copper foil It is.

熱可塑性ポリイミド層に金属箔を加熱圧着する手段に制限はないが、例えば代表的方法として、加熱プレス法及び/又はラミネート法が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in the means to heat-press metal foil to a thermoplastic polyimide layer, For example, a hot press method and / or a lamination method are mentioned as a typical method.

加熱プレス法とは、例えば、ポリイミドフィルム上の熱可塑性ポリイミド層と金属箔、または金属箔上の熱可塑性ポリイミド層と前記ポリイミドフィルムとを、それぞれプレス機のプレス部分のサイズにあわせて切り出して重ねあわせを行い、加熱プレスにより加熱圧着する方法である。加熱温度としては150℃〜600℃の範囲が望ましい。加圧力としては、制限はないが、好ましくは0.1〜500kg/cmの範囲である。加圧時間は、特に制限はない。 The heat press method is, for example, a thermoplastic polyimide layer on a polyimide film and a metal foil, or a thermoplastic polyimide layer on a metal foil and the polyimide film cut out and stacked according to the size of the press part of the press machine, respectively. This is a method of combining and heat-pressing with a heating press. As heating temperature, the range of 150 to 600 degreeC is desirable. The applied pressure is not limited, but is preferably in the range of 0.1 to 500 kg / cm 2 . The pressurization time is not particularly limited.

熱ラミネート法とは、特に制限はないが、ロールとロール間に、熱可塑性ポリイミド層を設けたポリイミドフィルムと金属箔、または熱可塑性ポリイミド層を設けた金属箔とポリイミドフィルムとを挟み込み、貼り合わせを行う方法である。ロールは金属ロール、ゴムロールなどが利用できる。ロールの材質に制限はないが、金属ロールとしては鋼材やステンレス材が使用されうる。表面にクロムメッキ等が処理されたロールを使用することが好ましい。ゴムロールとしては、金属ロールの表面に耐熱性のあるシリコンゴム、フッ素系のゴムを配置したロールを使用することが好ましい。ラミネート温度は、100℃〜300℃の範囲であることが好ましい。加熱方式は、伝導加熱方式の他、遠赤外等の輻射加熱方式、誘導加熱方式等も利用できる。   The thermal laminating method is not particularly limited, but a polyimide film provided with a thermoplastic polyimide layer and a metal foil, or a metal foil provided with a thermoplastic polyimide layer and a polyimide film are sandwiched and bonded between rolls. It is a method to do. A metal roll, a rubber roll, etc. can be utilized for a roll. Although there is no restriction | limiting in the material of a roll, Steel materials and stainless steel materials can be used as a metal roll. It is preferable to use a roll whose surface is treated with chrome plating or the like. As the rubber roll, it is preferable to use a roll in which heat-resistant silicon rubber or fluorine-based rubber is disposed on the surface of the metal roll. The laminating temperature is preferably in the range of 100 ° C to 300 ° C. As a heating method, a radiation heating method such as far infrared, an induction heating method, or the like can be used in addition to the conductive heating method.

熱ラミネート後、加熱アニールすることも好ましい。加熱装置として、通常の加熱炉、オートクレーブ等を利用することができる。加熱アニールは、空気またはイナートガス(窒素、アルゴン)等の雰囲気下でなされうる。加熱方法としては、フィルムを連続的に加熱する方法またはフィルムをコアに巻いた状態で加熱炉に放置する方法のどちらの方法も好ましい。加熱方式としては、伝導加熱方式、輻射加熱方式、及び、これらの併用方式等が好ましい。加熱温度は、200℃〜600℃の範囲であることが好ましい。加熱時間は、0.05分〜5000分の範囲であることが好ましい。   It is also preferable to heat anneal after heat lamination. As a heating device, a normal heating furnace, an autoclave, or the like can be used. The thermal annealing can be performed in an atmosphere such as air or inert gas (nitrogen, argon). As a heating method, either a method of continuously heating the film or a method of leaving the film in a heating furnace while being wound around a core is preferable. As the heating method, a conductive heating method, a radiant heating method, a combination method thereof, and the like are preferable. The heating temperature is preferably in the range of 200 ° C to 600 ° C. The heating time is preferably in the range of 0.05 minutes to 5000 minutes.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を更に具体的に説明するが、これらにより本発明の範囲が限定されることはない。なお、実施例および比較例における、ポリイミド金属積層体の金属層とポリイミドフィルムとの密着性(ピール強度)の評価は、以下の方法による。
[ピール強度の評価]
ポリイミド金属積層体の試料(長さ100mm、幅3.2mm)について、JIS C−6471に規定される方法に従い、短辺の端から熱可塑性ポリイミド層とポリイミドフィルム層とを剥離し、その応力を測定し、その測定値をピール強度の指標とした。剥離角度を90゜、剥離速度を50mm/minとした。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically based on Examples and Comparative Examples, but the scope of the present invention is not limited by these. In addition, evaluation of the adhesiveness (peel strength) of the metal layer of a polyimide metal laminated body and a polyimide film in an Example and a comparative example is based on the following method.
[Evaluation of peel strength]
For a polyimide metal laminate sample (length 100 mm, width 3.2 mm), the thermoplastic polyimide layer and the polyimide film layer are peeled off from the end of the short side according to the method specified in JIS C-6471, and the stress is measured. The measured value was used as an index of peel strength. The peeling angle was 90 ° and the peeling speed was 50 mm / min.

<熱可塑性ポリイミド前駆体の合成例>
1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン69.16gと、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物75.85gを秤量し、これらを1000mlのセパラブルフラスコの中でN,N'-ジメチルアセトアミド822gに、窒素気流下にて溶解させた。溶解後、60℃にて6時間攪拌を続けて重合反応を行ない、ポリアミック酸溶液を得た。ポリアミック酸溶液のポリアミック酸含有率が15重量%であった。得られたワニスの一部500gに、1,3-ビス(3-マレイミドフェノキシ)ベンゼン13.24gを加え、室温にて撹拌溶解させたものをビスマレイミド化合物含有熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスとした。
<Synthesis example of thermoplastic polyimide precursor>
69.16 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and 75.85 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride were weighed and placed in a 1000 ml separable flask. Were dissolved in 822 g of N, N′-dimethylacetamide under a nitrogen stream. After dissolution, stirring was continued at 60 ° C. for 6 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution. The polyamic acid content of the polyamic acid solution was 15% by weight. A bismaleimide compound-containing thermoplastic polyimide precursor varnish was obtained by adding 13.24 g of 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene to a part of 500 g of the obtained varnish and stirring and dissolving at room temperature.

実施例1
<ポリイミドフィルムの製造>
市販の非熱可塑性ポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製:商品名Kapton(登録商標)80EN、厚み:20μm)に、前処理として、マキュダイザー9221S(450ml/L)およびマキュダイザー9276(50ml/L)(いずれも日本マクダーミッド株式会社製)の水溶液45℃にて3分間膨潤処理を行い、さらに水洗処理を行った。
Example 1
<Manufacture of polyimide film>
A commercially available non-thermoplastic polyimide film (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd .: trade name Kapton (registered trademark) 80EN, thickness: 20 μm) was pre-treated as Macudizer 9221S (450 ml / L) and Macudizer 9276 (50 ml / L). ) (All manufactured by Nihon McDermid Co., Ltd.) Aqueous solution at 45 ° C. for 3 minutes, followed by washing with water.

その後、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液による処理として、過マンガン酸カリウム(90g/L)および水酸化ナトリウム(10g/L)からなる水溶液75℃にて5分間浸漬処理および水洗処理を行った。   Thereafter, as a treatment with an alkaline aqueous solution containing a permanganate, an immersion treatment and a water washing treatment were performed for 5 minutes at 75 ° C. in an aqueous solution composed of potassium permanganate (90 g / L) and sodium hydroxide (10 g / L).

その後、日本マクダーミッド株式会社製マキュダイザー9279(100ml/L)および硫酸(20ml/L)の水溶液45℃にて5分間浸漬して還元処理を行い、さらに水洗処理を行った。   Then, it was immersed for 5 minutes at 45 ° C. in an aqueous solution of Macudizer 9279 (100 ml / L) and sulfuric acid (20 ml / L) manufactured by Nippon Macder Mid Co., Ltd., and further washed with water.

<熱可塑性ポリイミド層の形成>
各処理をされたポリイミドフィルムの両面上に、前記合成例で合成した熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスを、リバースロールコーターを使用して塗布し、乾燥およびキュアして、熱可塑性ポリイミド層を形成した。形成された熱可塑性ポリイミド層の厚みは2μmであった。なお乾燥およびキュアは、100℃、150℃、200℃、250℃において、各5分間段階的に熱処理して行なった。
<Formation of thermoplastic polyimide layer>
The thermoplastic polyimide precursor varnish synthesized in the above synthesis example was applied on both surfaces of each treated polyimide film using a reverse roll coater, dried and cured to form a thermoplastic polyimide layer. The thickness of the formed thermoplastic polyimide layer was 2 μm. The drying and curing were performed by heat treatment stepwise at 100 ° C., 150 ° C., 200 ° C., and 250 ° C. for 5 minutes each.

<金属層の形成>
形成した熱可塑性ポリイミド層に、圧延銅箔(日鉱マテリアルズ(株)製、商品名:BHY-22B-T、厚み:18μm)を重ね合わせたものを、クッション材(金陽社製、商品名:キンヨーボードF200)ではさみ、加熱プレス機で300℃、25kg/cmの条件下で、4時間加熱圧着した。
これにより、「圧延銅箔/熱可塑性ポリイミド/Kapton(登録商標)80EN/熱可塑性ポリイミド/圧延銅箔」からなるポリイミド金属積層体を製造した。
<Formation of metal layer>
A cushioning material (manufactured by Kinyo Co., Ltd., trade name: Kinyo Board) is formed by superimposing a rolled copper foil (made by Nikko Materials Co., Ltd., trade name: BHY-22B-T, thickness: 18 μm) on the formed thermoplastic polyimide layer. F200), and heat-pressed for 4 hours under the conditions of 300 ° C. and 25 kg / cm 2 with a heating press.
Thus, a polyimide metal laminate composed of “rolled copper foil / thermoplastic polyimide / Kapton (registered trademark) 80EN / thermoplastic polyimide / rolled copper foil” was produced.

実施例2〜4
ポリイミドフィルムを処理するための、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液の組成を、表1に示されるように変更した以外は、実施例1と同様の方法でポリイミド金属積層体を製造した。
Examples 2-4
A polyimide metal laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that the composition of the alkaline aqueous solution containing permanganate for treating the polyimide film was changed as shown in Table 1.

比較例1および2
ポリイミドフィルムを処理するための水溶液の組成を、表1に示されるように変更した以外は、実施例1と同様の方法にてポリイミド金属積層体を製造した。
Comparative Examples 1 and 2
A polyimide metal laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that the composition of the aqueous solution for treating the polyimide film was changed as shown in Table 1.

比較例3
ポリイミドフィルムへの各処理(前処理、過マンガン酸塩を含むアルカリ性水溶液による処理、および還元処理)を行わないこと以外は、実施例1と同様の方法にてポリイミド金属積層体を製造した。
Comparative Example 3
A polyimide metal laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that each treatment (pretreatment, treatment with an alkaline aqueous solution containing permanganate, and reduction treatment) was not performed on the polyimide film.

<ポリイミド金属積層体の評価>
得られたポリイミド金属積層体を用いて、ピール強度を前述のように測定した。その結果を表1に示す。
<Evaluation of polyimide metal laminate>
The peel strength was measured as described above using the obtained polyimide metal laminate. The results are shown in Table 1.

Figure 0004231511
Figure 0004231511

本発明方法により製造されるポリイミド金属積層体は、プリント配線板用基材、一体型サスペンション基材、ICパッケージ用配線基材、面状発熱体、LCD用配線基材等して有用に使用される。   The polyimide metal laminate produced by the method of the present invention is usefully used as a printed wiring board substrate, an integrated suspension substrate, an IC package wiring substrate, a planar heating element, an LCD wiring substrate, and the like. The

Claims (9)

ポリイミド系接着剤によって接着させられるポリイミドフィルムであって、前記ポリイミド系接着剤が配置される面が、過マンガン酸塩含むアルカリ性水溶液によって表面処理されたポリイミドフィルム。 A polyimide film to be bonded by a polyimide adhesive, wherein a surface on which the polyimide adhesive is disposed is surface-treated with an alkaline aqueous solution containing a permanganate. 前記アルカリ性水溶液はさらに水酸化物を含む、請求項1に記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to claim 1, wherein the alkaline aqueous solution further contains a hydroxide. 前記アルカリ性水溶液に含まれる過マンガン酸塩と水酸化物の重量比率は、9:1〜2:8である請求項2に記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to claim 2, wherein a weight ratio of permanganate to hydroxide contained in the alkaline aqueous solution is 9: 1 to 2: 8. 前記過マンガン酸塩が、過マンガン酸カリウムおよび過マンガン酸ナトリウムの少なくともいずれか一方であり、かつ
前記水酸化物が、水酸化カリウムおよび水酸化ナトリウムの少なくともいずれか一方である、請求項2または3に記載のポリイミドフィルム。
The permanganate is at least one of potassium permanganate and sodium permanganate, and the hydroxide is at least one of potassium hydroxide and sodium hydroxide. 3. The polyimide film according to 3.
前記ポリイミドフィルムは、酸二無水物成分とジアミン成分の重縮合体であるポリイミドを含み、
該酸二無水物成分の50モル%以上は下記一般式(1)で示される酸二無水物であり、かつ該ジアミン成分の50モル%以上は下記一般式(4)で示されるジアミンである、請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
Figure 0004231511

(式(1)において、Aは下記式(2)または下記一般式(3)を示す。)
Figure 0004231511

Figure 0004231511

Figure 0004231511

(式(4)において
nは0もしくは1の整数を示し、
−X−は−O−、−NHC(=O)−、または直接結合を示し、
Rは水素原子、ハロゲン原子、低級アルキル基、または低級アルコキシ基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。)
The polyimide film includes a polyimide that is a polycondensate of an acid dianhydride component and a diamine component,
50 mol% or more of the acid dianhydride component is an acid dianhydride represented by the following general formula (1), and 50 mol% or more of the diamine component is a diamine represented by the following general formula (4). The polyimide film as described in any one of Claims 1-4.
Figure 0004231511

(In the formula (1), A represents the following formula (2) or the following general formula (3).)
Figure 0004231511

Figure 0004231511

Figure 0004231511

(In formula (4), n represents an integer of 0 or 1,
-X- represents -O-, -NHC (= O)-, or a direct bond;
R represents a hydrogen atom, a halogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group, which may be the same or different. )
前記ポリイミド系接着剤は、熱可塑性ポリイミドもしくは熱可塑性ポリイミド前駆体、および下記一般式(5)で示されるビスマレイミドを含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
Figure 0004231511

(式(5)において
mは0〜4の整数を示し、
−Y−は−O−、−SO−、−S−、−CO−、または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、
R1は水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、かつベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。)
The said polyimide adhesive is a polyimide film as described in any one of Claims 1-5 containing the bismaleimide shown by a thermoplastic polyimide or a thermoplastic polyimide precursor, and the following general formula (5).
Figure 0004231511

(In Formula (5), m represents an integer of 0 to 4,
-Y- is -O -, - SO 2 -, - S -, - CO-, or shows a direct bond, if there are multiple Y may be the each be the same or different,
R1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, which may be the same or different from each other, and is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring. )
前記ビスマレイミドは下記一般式(5’)で示される、請求項6に記載のポリイミドフィルム。
Figure 0004231511

(式(5’)において
mは0〜4の整数を示し、
−Y−は−O−、−SO−、−S−、−CO−、または直接結合を示し、複数のYがある場合はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、
R1は水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、かつベンゼン環を構成するそれぞれ別個の炭素に結合している。)
The polyimide film according to claim 6, wherein the bismaleimide is represented by the following general formula (5 ′).
Figure 0004231511

(In the formula (5 ′), m represents an integer of 0 to 4,
-Y- is -O -, - SO 2 -, - S -, - CO-, or shows a direct bond, if there are multiple Y may be the each be the same or different,
R1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, which may be the same or different from each other, and is bonded to a separate carbon constituting the benzene ring. )
請求項1に記載のポリイミドフィルム、
前記ポリイミドフィルムの前記表面処理された面に配置された、熱可塑性ポリイミドを含む層、および
前記熱可塑性ポリイミドを含む層の外側に配置された金属層を含む、ポリイミド金属積層体。
The polyimide film according to claim 1,
A polyimide metal laminate comprising: a layer containing thermoplastic polyimide disposed on the surface-treated surface of the polyimide film; and a metal layer disposed outside the layer containing thermoplastic polyimide.
請求項1に記載のポリイミドフィルムを用意する工程、
前記ポリイミドフィルムの前記表面処理された面にポリイミド系接着剤を塗布して熱可塑性ポリイミドを含む層を形成する工程、および
前記熱可塑性ポリイミドを含む層の外側に金属層を形成する工程、
を含むポリイミド金属積層体の製造方法。
Preparing a polyimide film according to claim 1;
Applying a polyimide-based adhesive to the surface-treated surface of the polyimide film to form a layer containing thermoplastic polyimide, and forming a metal layer outside the layer containing thermoplastic polyimide,
The manufacturing method of the polyimide metal laminated body containing this.
JP2006142068A 2005-06-03 2006-05-22 Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same Expired - Fee Related JP4231511B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006142068A JP4231511B2 (en) 2005-06-03 2006-05-22 Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005163466 2005-06-03
JP2006142068A JP4231511B2 (en) 2005-06-03 2006-05-22 Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007009186A JP2007009186A (en) 2007-01-18
JP4231511B2 true JP4231511B2 (en) 2009-03-04

Family

ID=37748083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006142068A Expired - Fee Related JP4231511B2 (en) 2005-06-03 2006-05-22 Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4231511B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5594289B2 (en) * 2009-08-20 2014-09-24 宇部興産株式会社 Polyimide film and method for producing polyimide film
JP5311070B2 (en) * 2010-08-25 2013-10-09 住友金属鉱山株式会社 Metalized polyimide film and evaluation method thereof
US8919915B2 (en) * 2012-02-21 2014-12-30 Xerox Corporation Ultrasonic laminating of materials for ink jet printheads
JP2014043511A (en) * 2012-08-27 2014-03-13 Du Pont-Toray Co Ltd Polyimide film and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007009186A (en) 2007-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100955552B1 (en) Polyimide film, polyimide metal laminate and process for producing the same
JP2004189981A (en) Thermoplastic polyimide resin material and laminated body, and manufacturing method of printed wiring board
KR100973392B1 (en) Polyimide film, polyimide metal laminate using same, and method for manufacturing same
WO2002064363A1 (en) Laminate and process for producing the same
JP2005272520A (en) Polyimide film improved in adhesiveness, its manufacturing method and laminate
JP4907580B2 (en) Flexible copper clad laminate
JP5609891B2 (en) Method for producing polyimide film and polyimide film
JP5480490B2 (en) Adhesive film and flexible metal-clad laminate
JP2007098791A (en) Flexible one side copper-clad polyimide laminated plate
JP4504602B2 (en) Polyimide copper clad laminate and method for producing the same
JP4231511B2 (en) Polyimide film, polyimide metal laminate and method for producing the same
JP2019204977A (en) Rigid flexible substrate
JP2008016603A (en) Substrate for flexible printed circuit board, and its manufacturing method
JP4473833B2 (en) Polyimide metal laminate and manufacturing method thereof
JP2007189011A (en) Substrate for flexible printed wiring board and its production process
WO2016159106A1 (en) Polyimide laminate film, method for manufacturing polyimide laminate film, method for manufacturing thermoplastic polyimide, and method for manufacturing flexible metal-clad laminate
JP4408277B2 (en) Polyimide metal laminate
JP4187465B2 (en) Polyimide copper clad laminate using ultra-thin copper foil and method for producing the same
JP4365663B2 (en) Polyimide metal laminate
JPH03104185A (en) Manufacture of double surface conductor polyimide laminate
JP2004017571A (en) Polymide copper clad laminate and manufacturing method therefor
JP4554839B2 (en) Polyimide metal foil laminate and method for producing the same
JP4056299B2 (en) Polyimide copper clad laminate using ultra-thin copper foil and method for producing the same
JP2009241484A (en) Flexible metal-clad laminate board for chip on film and its manufacturing method
JP4395097B2 (en) Polyimide film, polyimide metal laminate using the same, and method for producing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080623

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080819

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081017

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20081111

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212

Year of fee payment: 5

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees