JP2005116851A - ロードロックチャンバー、露光装置、デバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 高真空雰囲気下で被露光体を露光する露光装置に用いるロードロックチャンバーであって、高スループットを保ったまま、水蒸気凝結によるパーティクルの発生を防ぐことが可能なロードロックチャンバーを提供する。
【解決手段】 露光装置に用いるロードロックチャンバーの給気用配管と排気用配管をバイパスする配管と、内部ガスをその配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に内部ガスの水分を除去する水分除去手段を設けた。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体露光装置に関するものであり、特に真空雰囲気下で半導体基板を露光する装置に付帯して設けられている、ロードロックチャンバーに関するものである。

現在、DRAM、MPU、等の半導体デバイス製造に関して、デザインルールで0．1μｍ以下の線幅を有するデバイスの実現に向けて精力的に研究開発がなされている。この世代に用いられる露光装置は、その露光光にエレクトロンビーム（ＥＢ）、あるいは極端紫外域光（ＥＵＶ）、等が用いられると予測されている。

ＥＢ露光装置、ＥＵＶ露光装置では、大気中での露光は不可能になるため、露光は真空中で行わざるを得なくなり、必然的に、ウエハーの搬入、搬出にはロードロックチャンバーを介して行うことになる。

通常、露光装置のロードロック室は、大気圧下でウエハーを受け入れ、チャンバー内を所定圧力まで真空排気した後、露光装置側の扉を開いて、露光装置側にウエハーを搬入し、露光が終了すると、装置側からウエハーが搬出され、露光装置側の扉を閉め、室内を大気圧下に戻し、ウエハーが取り出される、という機能を有する。

以前より、ロードロック内が真空排気される際に、チャンバー内にパーティクルが発生し、ウエハー表面に付着、堆積することにより、デバイス製造の歩留まりや、デバイスの信頼性が低下するという問題があった。

この現象のメカニズムとしては、従来より、チャンバー内に付着、堆積しているパーティクルが真空排気時に巻き上げられ、それらウエハーに付着するという考え方が主流であった。しかし、これとは別に、チャンバー内に含まれる水蒸気が内部ガスの断熱膨張による急激な温度低下により、凝結し、これがウエハーに付着するという現象も確認されるようになった。

真空排気時のガスの温度は、ガスの種類、チャンバー容積、排気速度、等に大きく依存するが、数十℃の低下量が観測されている。チャンバー内に水蒸気が含まれていると、ガス温度の急激な低下によって、小さなパーティクルを核に水蒸気の凝結が生じ大きなパーティクルに成長し（不均質核形成凝結）、温度によってはさらに氷に凝固し、それがウエハーに付着する。この水蒸気の凝結という現象は、チャンバー内に核となるパーティクルがなくても、ガス中の種々のイオンが凝結核となったり（不均質核形成凝結）、水分子同志が凝集して大きく成長する（均質核形成凝結）など、チャンバー内に水蒸気が含まれること自体が深刻な問題を引き起こす。

そこで、従来より、この真空排気時に発生するパーティクルの対策として、（１）排気速度を制御しスロー排気を行う方法、（２）ベンティング時にドライガスを導入する方法、（３）チャンバー内の水分を除去する方法、（４）ガスに加熱手段を設ける方法、等が提案されている。特に、（３）のチャンバー内の水分除去する方法は、具体的には、ガス導入時にコールドトラップの手法を用いて水分を除去したり、チャンバー内に水分を除去可能な乾燥剤を配置したりする方法である。このような従来技術は、特許文献１、２に開示されている。
特開平１０−１４９９９９号公報 特開平０５−１９０４９７号公報

しかしながら、従来例（１）は、スロー排気により内部ガス温度の急激な低下を防ぐことが可能になるため有効であるが、スループットの低下が懸念される。

従来例（４）は、内部ガスを暖めることにより、相対湿度を低下させ、露点に達しないようにするという方法であるが、真空排気前にガス温度のみを上げても、真空排気時にチャンバー壁からのガスへの熱供給が不十分なため、その効果が小さいということがある。

従来例（２）、（３）はともに、真空排気時に内部ガスの水蒸気濃度を完全に０％に保つことが可能であれば、凝結対策として有効である。しかし、ウエハー搬入時にゲート弁が開いた際、クリーンルームエアが流れや拡散によってチャンバー内に不可避的に混入する。発明者のシミュレーション結果では、相対湿度５０％、ダウンフロー０．２ｍ／sのクリーンルームエア中で、相対湿度を０％に保った枚葉処理用のロードロックチャンバのゲート弁を全開した際、約５秒間で相対湿度が数％に上昇する、という結果が得られた。このシミュレーションでは、ウエハーの搬入動作、ウエハーに付着水蒸気を考慮していないため、この程度の湿度ですむが、これらを考慮した場合は、さらに相対湿度が上昇すると考えられる。従って、このように相対湿度をクリーンルームエアに比較して低く抑えることが可能でも、排気速度が大きくなって、ガス温度が急激に低下する場合は、水蒸気の凝結が発生するため、この対策も十分とはいえない。

本発明は、このようにロードロックチャンバーの動作に伴う不可避的に混入する水蒸気に対しても、従来例（３）をさらに改良することによって、チャンバー内の水蒸気を可能な限り取り除いた上で、真空排気を開始するため、スループットを低下させず、かつ、チャンバー内の水蒸気の凝結を防ぐことが可能となる。

本発明は、前述のように不可避的にロードロックチャンバーに混入した水蒸気に対し、真空排気時の凝結を防ぐため、ロードロックチャンバーに付帯して水分除去機構を設けることを特徴としている。

具体的には、
（１）ロードロックチャンバーの給気用配管と排気用配管をバイパスする配管と、内部ガスをその配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に内部ガスの水分を除去する水分除去手段を設けたことを特徴としている。
（２）チャンバー内ガスは、真空排気を行う前に、前記強制循環手段により前記バイパス配管内を循環させ、前記水分除去手段に所定時間通気して、あらかじめ水分を除去しておく事を特徴としている。
（３）第１の水分除去手段としては、シリカゲル、ゼオライト、等の水分吸着剤を用い、それをHEPA、ULPAフィルターで挟み込んだ構造をしていることを特徴としている。
（４）前記第１の水分除去手段には、その内部に水分吸着剤加熱手段が設けられており、必要に応じて前記水分吸着剤を加熱することで、吸着している水分を蒸発させ、真空ポンプでその水分を吸引、排気することが可能な事を特徴としている。
（５）第２の水分除去手段としては、コールドトラップを用い、その前もしくは後にHEPA、ULPAフィルターを配置していることを特徴としている。
（６）前記第２の水分除去手段は、必要に応じて前記コールドトラップの冷熱源をOFFし、トラップ部材に付着している水分を蒸発させ、真空ポンプでその水分を吸引することが可能な事を特徴としている。

以上説明したように、本発明によれば、内部ガスの水分をあらかじめ水分除去手段により除去することにより、相対湿度を低くする事が可能になる。

以下、本発明の一実施例について図を用いて説明する。

先ず、本発明の詳細について説明する前に、本発明が適用される投影露光装置について、ＥＵＶ露光装置を例に挙げ、その構成を図２を用いて簡単に説明する。

同図で、１はウエハー、２は電子回路パターンが形成されている反射型レチクルで、３はその反射型レチクルを保持し、スキャン方向に粗微動させるためのレチクルステージである。５はレチクルからの反射光をウエハー１に投影露光するための光学系である。６はウエハーを保持して６軸方向に粗動、微動可能なウェハーステージであり、そのｘｙ位置は不図示のレーザー干渉計によって常にモニターされている。通常、レチクルステージ３とウエハーステージ６のスキャン動作は、投影光学系の縮小倍率を１／βとし、レチクルステージの走査速度をVr、ウエハステージの走査速度をVwとすると、両者の走査速度の間には、Vr／Vw＝βの関係が成立するように同期制御される。８は後述するロードロックチャンバーとウエハーステージ６との間でウエハーを搬入、搬出する搬送ハンドである。露光は、真空下で行われるため、これらのユニットは装置チャンバー４の中に入っており、７はチャンバー内を真空排気するための真空ポンプである。１５は本発明のロードロックチャンバーの略図で、詳細は後述するが、９はロードロック内を真空排気するための真空排気系、１０はロードロック内の真空状態を大気圧に戻す際のドライN2,ドライエア、等のベント用ガス供給源である。１１は装置チャンバーとロードロックチャンバーとの間を仕切る装置側ゲートバルブ、１２はロードロックチャンバーと後述するウエハー交換室との間を仕切る交換室側ゲートバルブである。１４はウエハーを大気圧下で一時保管するウエハー交換室であり、１３はロードロックとの間でウエハーを搬入、搬出する搬送ハンドである。

次に本発明のロードロックチャンバーについて詳細に説明する。

ウエハーの搬送手順としては、まず基板交換室１４のウエハーが搬送ハンド１３により大気圧下のロードロック１５内に搬入され、ゲートバルブ１２が閉じると真空排気系９のバルブが開き、排気が開始される。数十秒して、所定の圧力になるとゲートバルブ１１が開き、搬送ハンド８によりウエハーがロードロック１５からウエハーステージ６に搬送され、アライメントの後に露光となる。

このロードロックの真空排気の過程で内部のガスが断熱膨張により急速に冷却される。この温度低下の様子は、図３で説明できる。ゲートバルブ１２が閉じ、真空排気が開始される直前のガス、ウエハーの温度をT0とする。真空排気が始まると、ガスの温度は急速に低下し、チャンバー容積、排気速度、等にもよるが、数十秒後にT0よりも数十度温度低下し、その後は熱容量の大きいチャンバー壁からの伝熱により急速にT0に漸近する。一方、ガスに対し熱容量の大きいウエハーは、ガスよりも長い時定数で温度低下し、数度温度低下した後、再びT0に漸近するのに３０分以上かかる。

前述したように、このガスの急速冷却は、次の問題を引き起こす。すなわち、ガス中に不可避的に混入した水蒸気が、急激な温度低下により露点に達し、凝結し、温度によっては、さらに氷に凝固し、それらがパーティクルとなって、ウエハー上に付着、堆積するというものである。

本発明は、この水蒸気凝結の問題に対し、ロードロックチャンバーの給気系と排気系をバイパスするように配管系を設け、チャンバー内部ガスをこの配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に水分除去手段を設けることにより、あらかじめチャンバー内のガスをこの水分除去手段に通気させ、含まれる水分を除去した上で真空排気を行う、ということが技術的背景にある。

本発明のロードロックチャンバーを図１を用いて具体的に説明する。同図で２０はロードロックチャンバーで、ウエハーの出し入れの際、開閉するゲートバルブは省略している。１は、ウエハーである。２１はチャンバー内にドライN2、ドライエア、等をベントする際の給気系に設けられた給気バルブであり、一方、２６は排気系に設けられた排気バルブであり、その下流側にターボ分子ポンプ２７、ドライポンプ２８が直列に接続されている。この給気系と排気系をバイパスするように設けられた配管系が本発明の特徴である水分除去用の循環配管系である。この配管系は、給気側に設けられたAバルブ２２と、水分除去ユニット２３と、ガスを強制循環させるファン２４と、排気側に設けられたBバルブ２５から構成されており、これらが直列につながっている。従って、給気バルブ２１と排気バルブ２６を閉じ、Aバルブ２２とBバルブ２５を開けることで、循環閉管路が形成される。水分除去ユニット２３は、内部に水分除去材、例えばシリカゲル、ゼオライト等３０が、HEPA,ULPAフィルター２９，３２によってサンドイッチされた構造になっている。この２枚のフィルターは水蒸気を透過し、かつ水分除去材の飛散を封止し、かつチャンバー内のパーティクル、を吸着する役割を果たす。水分除去材３０の内部には、吸着された水分を蒸発させるためのヒーター３１が埋め込まれている。

チャンバー内ガスの水分除去動作としては、給気バルブ２１と排気バルブ２６を閉じ、Aバルブ２２とBバルブ２５を開けた状態で、強制循環ファン２４を作動させると、チャンバー内のガスが水分除去ユニット２３に送り込まれ、水分吸着材３０が水分を吸着し、乾燥した状態のガスが水分除去ユニット２３から排出される。そしてこのガスが再び、チャンバーに送り込まれる。循環経路内のガスの流れる向きは、真空排気時のガスの流れる方向に準じて、図中の矢印のように左回りが望ましく、さらには循環ファンの配置は、発塵の懸念も考慮すると、HEPAフィルター３２の上流側にあるほうがよい。この強制循環をしばらく継続する事により、チャンバー内にわずかに含まれていた水分を除去する事が可能となる。

このガスを強循環させる時間は、チャンバー内の相対湿度がほぼ０％になるまで継続されるか、もしくは真空排気時にチャンバー内に含まれる水蒸気が凝結しない程度の湿度になるまで継続されるかのいずれかである。この真空排気時の水蒸気凝結に関して、本発明者が行なったシミュレーション結果について図４〜７を用いて説明する。

図４〜７はロードロックを真空引きした際の、ガスの圧力低下、ガス温度低下、及び水蒸気の凝結の可能性をシミュレーションしたものである。具体的には、３００ｍｍウエハーを枚葉処理で真空引きする際の容積数リットルのロードロックチャンバーに対し、実効排気速度２１０Ｌ／ｍｉｎの理想排気系で真空引きした場合の、チャンバー内圧力変化を図４に示し、ガス温度変化を図５に示す。図６，７は飽和水蒸気圧Psと水蒸気圧Pvによって定まるS（以後これを飽和度と呼ぶ）、

をプロットしたものである。通常、0＜S＜1のときは、水蒸気凝結が発生しないことを示し、Ｓ＞１のときは、ガス内に微小なパーティクルが存在するとそれを核に凝結が生じる（不均質核形成）。

図６は真空引き前の相対湿度が１０％の場合、図７は本発明の水蒸気除去を行なって相対湿度２％まで低減させた場合を示す。

これらの図からも明らかなように、相対湿度１０％では、排気開始後２秒前後で飽和度Sが最大で３．６に達するため、水蒸気凝結は避けられない事がわかる。しかし、真空引き直前に本発明の水蒸気除去を行い、相対湿度を２％以下まで低減させると、最大飽和度Sを０．７以下まで小さくすることができ、チャンバー内の水蒸気凝結を防ぐことが可能になる。もちろん、相対湿度１０％のガスでも、実効排気速度を小さくすることで、ガス温度低下を小さくして、飽和度Ｓを１以下にすることは可能であるが、スループットが低下するという問題が生じる。チャンバー内のパーティクル発生とスループットはトレードオフになっているが、本発明を用いる事により、スループットの低下を最小限に押さえつつ、水蒸気凝結によるパーティクル発生を防ぐ事が可能になる。

本発明の水蒸気除去法を用いる場合、チャンバー内ガスを所望の相対湿度に下げるために要する強制循環時間は、あらかじめ実験を行ない、強制循環時間と相対湿度低下量を把握しておけばよい。

本発明の水分除去動作の一例を図１１を用いて説明する。Ｎ枚目のウエハーが露光を終了すると（ステップ１００）、Ｎ枚目ウエハーが露光装置からロードロックチャンバーに搬入される（ステップ１０１）。チャンバー内圧力を大気圧まで復帰させるために、装置側ゲート弁を閉じ、ドライＮ２，ドライエア、等の乾燥ベントガスが導入され（ステップ１０２）、大気圧まで導入される（ステップ１０３）。大気圧復帰後、ウエハー交換室側ゲート弁が開き、Ｎ枚目ウエハーが搬出される（ステップ１０４）。そして、Ｎ＋１枚目のウエハーが搬入され（ステップ１０５）、ウエハー交換室側のゲート弁が閉じる。このウエハー交換の際、ウエハー交換室側の水蒸気や、ウエハーに付着している水分がロードロックチャンバー内に不可避的に混入する。本発明では、この不可避的に混入した水蒸気、及び水分を前述した水分除去手段を用いて除去する。すなわち、主配管側の給気バルブ２１と排気バルブ２６を閉じ、強制循環配管側のAバルブ２２とBバルブ２５をあけた状態で、強制循環ファン２４を作動させると、チャンバー内のガスが水分除去ユニット２３に送り込まれ、水分吸着材３０が水分を吸着し、乾燥した状態のガスが水分除去ユニット２３から排出される。そしてこのガスが再び、チャンバーに送り込まれ、これを所定時間T1以上、継続する事により（ステップ１０６、１０７）、チャンバー内を所望の湿度以下に保つことが可能になる。所定時間経過の後、強制循環配管側のAバルブ２２とBバルブ２５排気バルブが閉じ、主配管側の排気バルブ２６が開いて真空排気が開始される（ステップ１０８）。真空排気の過程で、ガス温度が急激に下がるが、相対湿度が凝結しない程度に保たれているので、チャンバー内にパーティクルは発生しない。そして、所定圧力まで到達したのち（ステップ１０９）、Ｎ＋１枚ウエハーがロードロックチャンバーから搬出され（ステップ１１０）、露光となる（ステップ１１１）。以後これを繰り返す。以上が本発明の水分除去動作の一例である。

このように、繰り返し水分除去を行なうことで、水分除去材３０の水分吸着効率が落ちて来るため、これを必要に応じてメンテナンスする必要がある。この動作としては、ロードロックチャンバー内にウエハーが無い状態のときに、吸気バルブ２１、Aバルブ２２を閉じ、ヒーター３１をONにした状態で、排気バルブ２６、Bバルブ２５を開けることにより、水分吸着材から蒸発した水蒸気が、真空ポンプにより内部ガスとともに吸引、排気される。これを所定時間継続することで、水分吸着材から水分が離脱し、再び効率的に吸着が可能な状態になる。

本実施例では、水分吸着手段の配管を図１のように、吸気、排気用配管にバイパスするような構成としたが、配管の分岐が複雑になる場合は、図８のように、独立に構成することも可能である。こうした場合でも、その動作、効果はまったく同様である。

以上説明したように、真空排気前に本水分除去手段を用いて、内部ガスからあらかじめ水分を吸着することにより、相対湿度を低くする事が可能になる。そして、排気速度を大きくしてガス温度が急激に低下しても、ガス中に含まれる水蒸気が露点に達しないため、高スループットを保ったまま、水蒸気凝結によるパーティクルの発生を防ぐことが可能になる。

（実施例）
第２の実施例は、水分除去手段にコールドトラップを用いることを特徴とする。本実施例を図９を用いて説明する。第一の実施例と大きく異なるのは、水分除去ユニット４６の構成である。４５はHEPA、ULPAフィルターであり、水蒸気を透過し、かつチャンバー内のパーティクルを吸着する役割を果たし、強制循環ファンの下流側に一箇所配置されている。第一実施例の場合、水分吸着剤の飛散を防ぐため、これらのフィルターが水分吸着材の前後に二箇所設けられていたが、本実施例では一箇所で必要十分である。本実施例ではコールドトラップの冷熱源に、ペルチェ素子を用いており、４２，４４がペルチェ素子ユニットである。ガス中の水蒸気をトラップするトラップ手段は、トラップ効率が高くなるように図中紙面垂直方向に複数枚配置されたトラップ平板４０から構成され、二つのペルチェ素子ユニット４２，４４の冷却側（吸熱側）にサンドイッチされる形式で接続されている。一方、ペルチェ素子ユニットの高温側（放熱側）は、効果的に熱を散逸させるために、冷却管４１，４３が配置されている。トラップ平板４０の設定温度は、本発明の水蒸気除去動作が常温常圧環境下で行われるため、０℃以下であれば、トラップされた水蒸気が、水滴から氷に相転移することが可能である。

チャンバー内ガスの水分除去動作としては、給気バルブ２１と排気バルブ２６を閉じ、Aバルブ２２とBバルブ２５をあけた状態で、そして強制循環ファン２４を作動させると、チャンバー内のガスが水分除去ユニット２３に送り込まれ、ペルチェ素子ユニットにより０℃以下に冷却されているトラップ平板間４０をガスが通過する際に水分が吸着する。そして乾燥した状態のガスが水分除去ユニット２３から排出される。このガスが再び、チャンバーに送り込まれ、これをしばらく継続する事により、チャンバー内にわずかに含まれていた水分を除去する事が可能となる。

また、このように繰り返し水分除去を行なうことで、トラップ板に氷が堆積し、水分吸着効率が落ちて来るため、これを定期的に取り除く必要がある。この動作としては、ロードロックチャンバー内にウエハーが無い状態のときに、吸気バルブ２１、Aバルブ２２を閉じ、ペルチェ素子ユニットの電源をOFFにしトラップ平板温度を雰囲気温度に戻し、排気バルブ２６、Bバルブ２５を開けることにより、トラップ板から蒸発した水蒸気が、真空ポンプにより内部ガスと共に吸引、排気される。これを所定時間継続することで、トラップ板から水分が離脱し、再び効率的に吸着が可能な状態になる。

本実施例のコールドトラップでは、冷熱源にペルチェ素子、トラップ手段に複数枚で構成されたトラップ平板を用いている。本実施例では、冷熱源の設定温度が０℃以下程度という、比較的実現しやすい温度範囲であるため、これ以外にも様々な手段が考えられる。例えば、冷熱源に、通常の冷却用冷媒（R407C,等）を使った蒸気圧縮式冷凍サイクルを用い、トラップ部材に伝熱管を用いる方法である。

これを図１０を用いて説明する。５５は強制循環ファンの下流側に設けられた、HEPA,ULPAフィルターである。冷媒は、まず圧縮器５１で加圧され、吐出された冷媒は凝縮器５２で凝縮し、キャピラリーチューブ５３で減圧されて、低温冷媒がトラップ部５０に供給される。そして、トラップ部５０で、伝熱管５５と冷媒が熱交換することにより、５５のフィルターを経たガスの水蒸気は、伝熱管５５内壁に付着し氷となって除去される。

以上のように、本実施例はこれ以外の様々な構成のコールドトラップを用いることも容易に可能なため、これに限定されるものではない。

以上説明したように、真空排気前にコールドとラップを用いて、内部ガスからあらかじめ水分を吸着することにより、相対湿度を低くする事が可能になる。そして、排気速度を大きくしてガス温度が急激に低下しても、ガス中に含まれる水蒸気が露点に達しないため、高スループットを保ったまま、水蒸気凝結によるパーティクルの発生を防ぐことが可能になる。特に、本実施例の場合は、トラップ部材に伝熱管を用い、かつ強制循環配管系のHELPA,ULPAフィルターを一箇所設けるだけなので、強制循環配管内の圧力損失を小さく出来るため、強制循環ファンを小型化でき、さらに循環配管の流量を大きくすることが可能になり、水分吸着時間も短くて済むという利点がある。

本出願に関わる第１の発明によれば、内部ガスの水分をあらかじめ水分除去手段により除去することにより、相対湿度を低くする事が可能になる。そして、排気速度を大きくしてガス温度が急激に低下しても、ガス中に含まれる水蒸気が露点に達しないため、高スループットを保ったまま、水蒸気凝結によるパーティクルの発生を防ぐことが可能になる。

本出願に関わる第２の発明によれば、内部ガスの水分をあらかじめ水分除去手段により除去することにより、相対湿度を低くする事が可能になる。
本出願に関わる第３の発明によれば、比較的簡単な構成で内部ガスの水分除去が可能になる。

本出願に関わる第４の発明によれば、水分吸着剤の吸着効率が低下した際、直ちに吸着剤の水分を蒸発させ、真空ポンプで吸引、排気できるため水分吸着剤の効率低下を防ぐ事が出来る。

本出願に関わる第５の発明によれば、循環配管内の圧力損失による流量低下を防ぐ事が可能になるため、水分除去の強制循環時間が短くて済む。
本出願に関わる第６の発明によれば、コールドトラップの吸着効率が低下した際、直ちにトラップ部材の水分を蒸発させ、真空ポンプで吸引、排気できるためコールドトラップの水分吸着効率低下を防ぐ事が出来る。

また、本発明は上記実施例に記載されているロードロックチャンバーや露光装置（図２）に限定されるものではなく、デバイスの製造方法等にも適用可能である。具体的には、上述の露光装置を用いて、ウエハやガラス基板等の被露光体を露光する工程と、その露光された被露光体を現像する工程と、さらに現像された被露光体に後処理を施す工程とを有するデバイスの製造方法である。

本発明の第一の実施例を表す図 本発明が適用される露光装置システム ロードロック内のガス、ウエハーの真空排気時の温度低下を表す図 ロードロックの排気曲線を表す図 ロードロック内の真空排気時のガス温度低下を表す図 相対湿度１０％のガスを真空排気した際の飽和度曲線 本発明を適用し、相対湿度を２％まで低減した場合の飽和度曲線 第一実施例をあらわす第１図とは別の図 本発明の第二の実施例を表す図 第二実施例をあらわす第９図とは別の図 本発明のロードロックの動作を表す図

符号の説明

１ ウエハー
２１ 給気バルブ
２６ 排気バルブ
２７ ターボ分子ポンプ
２８ ドライポンプ
２２ Aバルブ
２５ Bバルブ
２３ 水分除去ユニット
２４ 強制循環ファン
２９，３２ HEPAフィルター
３０ 水分吸着剤
３１ ヒーター

Claims (10)

1. ロードロックチャンバーの給気用配管と排気用配管をバイパスする配管と、内部ガスをその配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に内部ガスの水分を除去する水分除去手段を設けたことを特徴とするロードロックチャンバー。
2. 前記ロードロックチャンバー内のガスは、真空排気を行う前に、前記強制循環手段により前記バイパス配管内を循環させ、前記水分除去手段に所定時間通気して、あらかじめ水分を除去しておく事を特徴としている請求項１のロードロックチャンバー。
3. 第１の水分除去手段は水分吸着材を有しており、該水分吸着材をHEPA、ULPAフィルターで挟み込んだ構造をしていることを特徴としている請求項１のロードロックチャンバー。
4. 前記第１の水分除去手段には、その内部に水分吸着剤加熱手段が設けられており、必要に応じて前記水分吸着剤を加熱することで、吸着している水分を蒸発させ、真空ポンプでその水分を吸引、排気することが可能な事を特徴としている請求項１のロードロックチャンバー。
5. 第２の水分除去手段としては、コールドトラップを用い、その前もしくは後にHEPA、ULPAフィルターを配置していることを特徴としている請求項１のロードロックチャンバー。
6. 前記第２の水分除去手段は、必要に応じて前記コールドトラップの冷熱源をOFFし、トラップ部材に付着している水分を蒸発させ、真空ポンプでその水分を吸引することが可能な事を特徴としている請求項１のロードロックチャンバー。
7. 請求項１乃至６いずれかに記載のロードロックチャンバーを有することを特徴とする露光装置。
8. 被露光体を真空環境下で露光することを特徴とする請求項７記載の露光装置。
9. 前記ロードロックチャンバーを介して、被露光体の前記露光装置への搬入及び搬出を行うことを特徴とする請求項７又は８記載の露光装置。
10. 請求項７乃至９いずれかに記載の投影露光装置を用いて被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
    

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