JP2005114418A - 多孔質薄板の欠陥検査方法および欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多孔質薄板に対して欠陥検査を容易に確実に行なうことのできる検査方法を提供する。
【解決手段】多孔質薄板の欠陥検査方法は、例えば、多孔質薄板１３２を治具１１０に取り付けて変形可能に保持し、治具１１０の圧力室１２８に気体を送り込んで、多孔質薄板１３２に圧力を与えて、多孔質薄板１３２を上方に反るように変形させる。更に、変形した多孔質薄板１３２の画像を観察光学系１５０により取得する。多孔質薄板１３２にある欠陥の存在を、観察光学系１５０で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥を検査する方法と装置に関する。

薄板は様々な用途に使用されるが、薄くなればなるほど割れやひびなどの欠陥が生じやすくなる。例えば、特表２０００−５１５２５１号公報においては、を基板とするＤＮＡチップが開示されている。このようなＤＮＡチップにおいては、基板となる多孔質の陽極酸化アルミニウム薄板に複数のプローブＤＮＡを固相化しておいて、被検溶液を接触させることで反応が生じることを利用している。更に、被検溶液を繰り返し透過させることで、その反応を著しく加速させることが出来るとされている。

ところが、上述の例の場合、その薄板に割れやひびなどの欠陥が生じると、例え極微小なものであってもその部分に被検溶液を透過させる圧力が集中してしまい、薄板全体に均一な被検溶液の透過がなされず、正確な反応を生じさせることが出来なくなってしまう。更に、そのひびを起点にして更に欠陥が大きくなり、薄板全体が破壊されてしまう場合もある。

このような問題を解決するために、特願２００２−３３２１７４号公報は、被検溶液の駆動装置側に圧力を調整して欠陥の発生を防止する手法を開示している。
特表２０００−５１５２５１号公報

しかし、特願２００２−３３２１７４号公報においては、既に欠陥の生じている薄板に対しては解決策を示しておらず、依然として課題が残っている。

割れやひびなどの欠陥の存在を容易に確実に認識することの出来る検査方法として、例えば、超音波測定が知られている。

しかし、多孔質薄板は、その全体に多数の空孔を有しているため、超音波測定による検査では、適正な空孔と欠陥との判別が難しい。このような理由から、超音波測定は、現実的には、多孔質薄板の欠陥検査には適用できない。

本発明は、この様な実状を考慮して成されたものであり、その目的は、多孔質薄板に対して欠陥検査を容易に確実に行なうことのできる技術を提供することである。

本発明は、ひとつには、多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥を検査する欠陥検査方法に向けられている。

本発明の欠陥検査方法は、多孔質薄板に外部から力を加えて多孔質薄板を変形させ、変形した多孔質薄板の画像を取得し、取得した画像に基づいて欠陥を検出する。

本発明は、ひとつには、多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥を検査する欠陥検査装置に向けられている。

本発明の欠陥検査装置は、多孔質薄板に外部から力を加えて多孔質薄板を変形させる手段と、変形した多孔質薄板の画像を取得する観察光学系とを備えている。

多孔質薄板は多数の空孔を有しているため、多孔質薄板に生じた割れやひびなどの欠陥の存在を、適正な空孔と正確に識別して検出することは難しい。

本発明では、多孔質薄板を変形させることにより、割れやひびの欠陥の空隙を人為的に広げている。これにより、欠陥の存在を容易かつ確実に光学的に検出することが可能となる。

本発明によれば、多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥の存在を容易に確実に検出できる装置と方法が提供される。

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。

第一実施形態
本実施形態は、多孔質薄板の欠陥検査装置と欠陥検査方法に向けられている。図１は、本発明の第一実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具の分解斜視図である。図２は、図１に示された治具の完成斜視図である。図３は、図２に示された治具の縦断面図である。

図１〜図３に示されるように、本実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具１１０は、抑え板１１２と台座１１４とパッキン１１６とからなり、検査対象物である多孔質薄板１３２を変形可能に保持する。

抑え板１１２は、固定ビス１１８が通る貫通穴１２０を有し、台座１１４は、固定ビス１１８が螺合するネジ穴１２２を有している。抑え板１１２は、固定ビス１１８により、多孔質薄板１３２とパッキン１１６を台座１１４との間に挟み込んで固定される。

抑え板１１２は、多孔質薄板１３２の光学的観察のために、開口からなる観察窓１２４を有している。抑え板１１２の観察窓１２４は、多孔質薄板１３２が上方へ変形する空間を与える。パッキン１１６は、観察窓１２４に対応する部分に穴１２６を有している。台座１１４は、圧力室１２８と圧力導入部１３０を有している。圧力室１２８は、観察窓１２４に対応する部分に形成されている。

多孔質薄板１３２と台座１１４の間に配置されたパッキン１１６により、多孔質薄板１３２と圧力室１２８の間は流体的に密に保たれている。ここで、流体的に密に保たれているとは、気密または液密に保たれていることを意味する。気密または液密のいずれであるかは、後述するように、多孔質薄板１３２を変形させるために使用する流体が気体であるか液体であるかに対応して決まる。

圧力導入部１３０は、圧力室１２８と流体的に連絡していると共に、治具１１０の外部とも流体的に連絡しており、外部から圧力室１２８への圧力の導入を可能にしている。圧力導入部１３０を介して外部から圧力室１２８に流体を送り込むことにより、多孔質薄板２３２は流体の圧力による上向きの力を受ける。その結果、多孔質薄板１３２は、観察窓１２４の内側において、上方に変形される。

このような治具１１０において、抑え板１１２と台座１１４の材質は、特に制限はない。パッキン１１６の材質は、特に制限はないが、好適に気密または水密を得るために、適当な弾性または粘着性を有している材質が好ましい。欠陥を検査する領域の位置や大きさは、観察窓１２４と圧力室１２８の位置や大きさに依存するが、例えば、２０ｍｍ角、０．１ｍｍ厚の多孔質セラミックの中央部分を観察するためには観察窓１２４は直径１８ｍｍ、圧力室１２８の直径も１８ｍｍとし、観察窓１２４と圧力室１２８は同軸上に配置されるように組み合わされる。観察窓１２４と圧力室１２８の位置や大きさは、本実施形態に限定されるものではない。また、観察窓１２４と圧力室１２８の個数は、一つに限定されるものではなく、複数個であってもよい。また、固定の手法は、固定ビスによる固定に限定されるものではなく、圧力室１２８の圧力が漏れなければ、他の手法によって固定されてもよく、例えば、抑え板の重量のみで固定されてもよい。

図４は、前述の治具１１０を利用した、本発明の第一実施形態による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。

図４に示されるように、本実施形態の欠陥検査装置１００は、前述の治具１１０に加えて、流体を送り出して圧力を発生させる圧力発生装置１６０と、治具１１０の圧力導入部１３０と圧力発生装置１６０とを流体的に連絡する流路を与えるチューブ１６４と、治具１１０と圧力発生装置１６０の間の流路上に設けられた圧力調整装置１６２とを有している。

本実施形態の欠陥検査装置１００において、治具１１０は多孔質薄板１３２を変形可能に保持する手段を構成しており、圧力発生装置１６０とチューブ１６４は、治具１１０の圧力室１２８と圧力導入部１３０と共働して、多孔質薄板１３２に圧力を与える手段を構成している。すなわち、治具１１０と圧力発生装置１６０とチューブ１６４は、多孔質薄板１３２に外部から力を加えて多孔質薄板１３２を変形させる手段を構成している。

圧力発生装置１６０は、例えば、気体を送り出すポンプであってよい。この場合、多孔質薄板１３２は気圧により変形される。このように気体により多孔質薄板１３２を変形させる手法では、観察光学系１５０により観察される多孔質薄板１３２の表面に光学的な影響を与えることなく、多孔質薄板１３２を変形させることができる。

圧力発生装置１６０は、あるいは、液体を送り出すポンプであってもよい。この場合、多孔質薄板１３２は液圧により変形される。このように液体により多孔質薄板１３２を変形させる手法では、気体を用いる手法に比べて、多孔質薄板１３２を効率良く変形させることができる。

なお、圧力発生装置１６０が液体を送り出すポンプである場合、液体が多孔質薄板１３２を透過して多孔質薄板１３２の表面に滲み出て、観察光学系１５０による観察に悪影響を与えないように、パッキン１１６は穴１２６を有していない方が好ましい。

圧力調整装置１６２は、これに限定されないが、例えば、レギュレーターであってよい。圧力調整装置１６２は、適宜、省略されてもよい。また、圧力発生装置１６０が圧力調整器機能を有していてもよい。この場合、圧力調整装置１６２を設ける必要はない。

欠陥検査装置１００は、更に、多孔質薄板１３２の画像を取得する観察光学系１５０を有している。観察光学系１５０は、多孔質薄板１３２の像を結像させる結像光学系１５２と、結像された像を取得する撮像素子１５４と、画像表示解析装置１５６と、多孔質薄板１３２を照明する照明光を発する光源１５８とを含んでいる。光源１５８は、結像光学系１５２と組み合わされて、同軸落射照明光学系を構成している。

撮像素子１５４は、これに限定されないが、例えば、ＣＣＤカメラであってよい。画像表示解析装置１５６は、これに限定されないが、例えば、コンピューターであってよい。

画像表示解析装置１５６は、撮像素子１５４で取得された多孔質薄板１３２の画像を表示する。これにより、多孔質薄板１３２の画像の操作者の目視観察を可能にする。操作者は、多孔質薄板の欠陥の存在を、画像表示解析装置１５６に表示された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出してよい。

画像表示解析装置１５６は、より好ましくは、予め与えられた判断条件に従って、多孔質薄板の欠陥の存在を、撮像素子１５４で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出するとよい。

以下、本実施形態の欠陥検査装置１００を用いた検査、すなわち、本実施形態の欠陥検査方法の具体例について説明する。

検査対象物である多孔質薄板１３２を治具１１０に取り付けて変形可能に保持する。多孔質薄板１３２は、例えば、１００μｍ厚の無機のセラミック薄板である。圧力発生装置１６０により治具１１０の圧力室１２８に気体、例えば空気を送り込み、多孔質薄板１３２に、例えば３気圧の圧力を与えて、多孔質薄板１３２を上方に反るように変形させる。

変形した多孔質薄板１３２の画像を観察光学系１５０により取得する。本実施形態では、多孔質薄板１３２は、同軸落射照明光学系によって照明される。その結果、多孔質薄板１３２に小さな割れやひびなどがあると、多孔質薄板１３２の変形に伴って、その部分の隙間が大きくなり、その部分に空隙が生じる。そのため、観察光学系１５０で取得された画像においては、その部分では光源１５８からの光が反射されず、その部分が黒いスジとしてはっきりと認識され得る。

このように、本実施形態においては、多孔質薄板１３２にある欠陥の存在を、観察光学系１５０で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出することが可能である。

このような多孔質薄板１３２の欠陥の存在の検出は、例えば、操作者が、画像表示解析装置１５６に表示された画像を目視観察することにより行なってもよい。あるいは、画像表示解析装置１５６において、予め与えられた判断条件に従って自動処理により行なってもよい。

多孔質薄板１３２における割れやひびなどの欠陥は、必ずしもその部分が欠落や空隙が生じるとは限らない。多孔質薄板１３２における微小な欠陥は、それが欠陥であるのか、単なる空孔であるのかを判別することが難しい。

本実施形態の欠陥検査装置１００では、検査対象物である多孔質薄板１３２を変形させて、割れやひびの欠陥の空隙を人為的に広げることにより、欠陥の存在の検出を容易かつ確実に行なうことを可能にしている。

第一変形例
図５は、本発明の第一実施形態の第一変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。図５において、図４に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材を示している。

本変形例の欠陥検査装置１００Ａにおいては、光源１５８は、結像光学系１５２とは別に配置されており、暗視野照明光学系を構成している。他の構成と検査の仕方は第一実施形態と同様である。

本変形例においても、多孔質薄板１３２に圧力をかけることにより、多孔質薄板１３２を上方に反るように変形させる。この状態で、観察光学系１５０により変形した多孔質薄板１３２の画像を取得する。

本変形例では、多孔質薄板１３２は、暗視野照明光学系によって照明される。その結果、多孔質薄板１３２の変形に伴って空隙が大きくなった欠陥の部分では、光源１５８からの光の乱反射が多く生じる。

このため、観察光学系１５０で取得された画像においては、その部分が輝度の高いスジとして容易に認識され得る。つまり、多孔質薄板１３２の欠陥の存在が、観察光学系１５０で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出され得る。

第二変形例
図６は、本発明の第一実施形態の第二変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。図６において、図４に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材を示している。

本変形例の欠陥検査装置１００Ｂにおいては、光源１５８は、治具１１０の圧力室１２８の内部に配置されており、透過照明光学系を構成している。他の構成と検査の仕方は第一実施形態と同様である。

本変形例においても、多孔質薄板１３２に圧力をかけることにより、多孔質薄板１３２を上方に反るように変形させる。この状態で、観察光学系１５０により変形した多孔質薄板１３２の画像を取得する。

本変形例では、多孔質薄板１３２は、透過照明光学系によって照明される。その結果、多孔質薄板１３２の変形に伴って空隙が大きくなった欠陥の部分においてのみ、光源１５８からの光が多孔質薄板１３２を透過する。

このため、観察光学系１５０で取得された画像においては、欠陥の部分が輝度の高いスジとして容易に認識され得る。つまり、多孔質薄板１３２の欠陥の存在が、観察光学系１５０で取得された画像内の局所的な光の透過率の違いとして検出され得る。

第二実施形態
本実施形態は、多孔質薄板の欠陥検査装置と欠陥検査方法に向けられている。図７は、本発明の第二実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具の分解斜視図である。図８は、図７に示された治具の完成斜視図である。図９は、図８に示された治具の縦断面図である。

図７〜図９に示されるように、本実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具２１０は、抑え板２１２と台座２１４とからなり、検査対象物である多孔質薄板２３２を変形させて保持する。

抑え板２１２は、固定ビス２１８が通る貫通穴２２０を有し、台座２１４は、固定ビス２１８が螺合するネジ穴２２２を有している。抑え板２１２は、固定ビス２１８により、多孔質薄板２３２を台座２１４との間に挟み込んで固定される。

抑え板２１２は、多孔質薄板２３２の光学的観察のために、開口からなる観察窓２２４を有している。抑え板２１２の観察窓２２４は、多孔質薄板２３２が上方へ変形する空間を与える。台座２１４は、観察窓２２４に対応する部分に凸部２２８を有している。

多孔質薄板２３２は、抑え板２１２と台座２１４との間に挟み込んで固定された際に、台座２１４の凸部２２８に押し当てられる。その結果、多孔質薄板２３２は、観察窓２２４の内側において、上方に変形される。

このような治具２１０において、抑え板２１２と台座２１４の材質は、特に制限はない。凸部２２８は、多孔質薄板２３２の材質や厚さなどに応じて、多孔質薄板２３２を破壊しない形状である必要がある。欠陥を検査する領域の位置や大きさは、観察窓２２４と凸部２２８の位置や大きさに依存するが、例えば、２０ｍｍ角、０．１ｍｍ厚の多孔質セラミックの中央部分を観察するためには観察窓は直径１８ｍｍ、凸部２２８の直径は１７ｍｍ、凸部２２８の高さは１ｍｍとし、観察窓と凸部２２８は同軸上に配置されるように組み合わされる。観察窓２２４と凸部２２８の位置や大きさは、本実施形態に限定されるものではない。また、観察窓２２４と凸部２２８の個数は、一つに限定されるものではなく、複数個であってもよい。また、固定の手法は、固定ビスによる固定に限定されるものではなく、他の手法によって固定されてもよく、例えば、抑え板の重量のみで固定されてもよい。

図１０は、前述の治具２１０を利用した、本発明の第二実施形態による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。

図１０に示されるように、本実施形態の欠陥検査装置２００は、前述の治具２１０に加えて、多孔質薄板２３２の画像を取得する観察光学系２５０とを有している。観察光学系２５０は、多孔質薄板２３２の像を結像させる結像光学系２５２と、結像された像を取得する撮像素子２５４と、画像表示解析装置２５６と、多孔質薄板２３２を照明する照明光を発する光源２５８とを含んでいる。光源２５８は、結像光学系２５２と組み合わされて、同軸落射照明光学系を構成している。

撮像素子２５４は、これに限定されないが、例えば、ＣＣＤカメラであってよい。画像表示解析装置２５６は、これに限定されないが、例えば、コンピューターであってよい。

画像表示解析装置２５６は、撮像素子２５４で取得された多孔質薄板２３２の画像を表示する。これにより、多孔質薄板２３２の画像の操作者の目視観察を可能にする。操作者は、多孔質薄板の欠陥の存在を、画像表示解析装置２５６に表示された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出してよい。

画像表示解析装置２５６は、より好ましくは、予め与えられた判断条件に従って、多孔質薄板の欠陥の存在を、撮像素子２５４で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出するとよい。

以下、本実施形態の欠陥検査装置２００を用いた検査、すなわち、本実施形態の欠陥検査方法の具体例について説明する。

検査対象物である多孔質薄板２３２を治具２１０に取り付ける。多孔質薄板２３２は、例えば、１００μｍ厚の無機のセラミック薄板である。治具２１０の台座２１４の凸部２２８は、例えば、直径が２０ｍｍで、高さが０．５ｍｍの形状を有している。多孔質薄板２３２は、凸部２２８によって上方に押された状態で治具２１０に保持されることにより、多孔質薄板２３２を上方に反るように変形される。

変形した多孔質薄板２３２の画像を観察光学系２５０により取得する。本実施形態では、多孔質薄板２３２は、同軸落射照明光学系によって照明される。その結果、多孔質薄板２３２に小さな割れやひびなどがあると、多孔質薄板２３２の変形に伴って、その部分の隙間が大きくなり、その部分に空隙が生じる。そのため、観察光学系２５０で取得された画像においては、その部分では光源２５８からの光が反射されず、その部分が黒いスジとしてはっきりと認識され得る。

このように、本実施形態においては、多孔質薄板２３４にある欠陥の存在を、観察光学系２５０で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出することが可能である。

このような多孔質薄板２３４の欠陥の存在の検出は、例えば、操作者が、画像表示解析装置２５６に表示された画像を目視観察することにより行なってもよい。あるいは、画像表示解析装置２５６において、予め与えられた判断条件に従って自動処理により行なってもよい。

多孔質薄板２３２における割れやひびなどの欠陥は、必ずしもその部分が欠落や空隙が生じるとは限らない。多孔質薄板２３２における微小な欠陥は、それが欠陥であるのか、単なる空孔であるのかを判別することが難しい。

本実施形態の欠陥検査装置２００では、検査対象物である多孔質薄板２３２を変形させて、割れやひびの欠陥の空隙を人為的に広げることにより、欠陥の存在の検出を容易かつ確実に行なうことを可能にしている。

変形例
図１１は、本発明の第二実施形態の変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。図１１において、図１０に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材を示している。

本変形例の欠陥検査装置２００Ａにおいては、光源２５８は、結像光学系２５２とは別に配置されており、暗視野照明光学系を構成している。他の構成と検査の仕方は第二実施形態と同様である。

本変形例においても、多孔質薄板２３２に治具２１０に取り付けることにより、多孔質薄板２３２を上方に反るように変形させる。この状態で、観察光学系２５０により変形した多孔質薄板２３２の画像を取得する。

本変形例では、多孔質薄板２３２は、暗視野照明光学系によって照明される。その結果、多孔質薄板２３２の変形に伴って空隙が大きくなった欠陥の部分では、光源２５８からの光の乱反射が多く生じる。

このため、観察光学系２５０で取得された画像においては、その部分が輝度の高いスジとして容易に認識され得る。つまり、多孔質薄板２３２の欠陥の存在が、観察光学系２５０で取得された画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出され得る。

これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。

本発明の第一実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具の分解斜視図である。 図１に示された治具の完成斜視図である。 図２に示された治具の縦断面図である。 本発明の第一実施形態による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。 本発明の第一実施形態の第一変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。 本発明の第一実施形態の第二変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。 本発明の第二実施形態の欠陥検査装置に用いられる治具の分解斜視図である。 図７に示された治具の完成斜視図である。 図８に示された治具の縦断面図である。 本発明の第二実施形態による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。 本発明の第二実施形態の変形例による多孔質薄板の欠陥検査装置を示している。

符号の説明

１００…欠陥検査装置、１００Ａ…欠陥検査装置、１００Ｂ…欠陥検査装置、１１０…治具、１１２…抑え板、１１４…台座、１１６…パッキン、１１８…固定ビス、１２０…貫通穴、１２２…ネジ穴、１２４…観察窓、１２６…穴、１２８…圧力室、１３０…圧力導入部、１３２…多孔質薄板、１５０…観察光学系、１５２…結像光学系、１５４…撮像素子、１５６…画像表示解析装置、１５８…光源、１６０…圧力発生装置、１６２…圧力調整装置、１６４…チューブ、２００…欠陥検査装置、２００Ａ…欠陥検査装置、２１０…治具、２１２…抑え板、２１４…台座、２１８…固定ビス、２２０…貫通穴、２２２…ネジ穴、２２４…観察窓、２２８…凸部、２３２…多孔質薄板、２３４…多孔質薄板、２５０…観察光学系、２５２…結像光学系、２５４…撮像素子、２５６…画像表示解析装置、２５８…光源。

Claims (18)

1. 多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥を検査する欠陥検査方法であり、
   多孔質薄板に外部から力を加えて多孔質薄板を変形させ、
   変形した多孔質薄板の画像を取得し、
   取得した画像に基づいて欠陥を検出する多孔質薄板の欠陥検査方法。
2. 多孔質薄板の欠陥の存在を、取得した画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出する、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
3. 多孔質薄板の欠陥の存在を、取得した画像内の局所的な光の透過率の違いとして検出する、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
4. 多孔質薄板に気圧を与えることにより多孔質薄板を変形させる、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
5. 多孔質薄板に液圧を与えることにより多孔質薄板を変形させる、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
6. 多孔質薄板を凸面に接触させることにより多孔質薄板を変形させる、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
7. 多孔質薄板が無機材料からなる、請求項１に記載の多孔質薄板の欠陥検査方法。
8. 多孔質薄板の割れやひびなどの欠陥を検査する欠陥検査装置であり、
   多孔質薄板に外部から力を加えて多孔質薄板を変形させる手段と、
   変形した多孔質薄板の画像を取得する観察光学系とを備えている多孔質薄板の欠陥検査装置。
9. 取得した多孔質薄板の画像を表示する表示装置を有している、請求項８に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
10. 多孔質薄板の欠陥の存在を、取得した画像内の局所的な光の反射率の違いとして検出する画像解析装置を更に有している、請求項８に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
11. 多孔質薄板の欠陥の存在を、取得した画像内の局所的な光の透過率の違いとして検出する画像解析装置を更に有している、請求項８に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
12. 多孔質薄板を変形させる手段は、多孔質薄板を変形可能に保持する治具と、治具に保持された多孔質薄板に圧力を与える手段とを含んでいる、請求項８に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
13. 治具は、圧力室と圧力導入部を有する台座と、観察窓を有する抑え板とを有し、抑え板は、多孔質薄板を台座との間に挟み込んで固定され、多孔質薄板と圧力室の間は流体的に密に保たれており、圧力導入部は、圧力室と流体的に連絡していると共に治具の外部とも流体的に連絡しており、外部から圧力室への圧力の導入を可能にし、抑え板の観察窓は、多孔質薄板が変形する空間を与えると共に、観察光学系による多孔質薄板の観察を可能にする、請求項１２に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
14. 多孔質薄板に圧力を与える手段は、治具の圧力室と圧力導入部を含み、更に、流体を送り出して圧力を発生させる圧力発生装置と、治具の圧力導入部と圧力発生装置とを流体的に連絡するチューブとを含んでいる、請求項１３に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
15. 圧力発生装置は気体を送り出すポンプであり、従って、多孔質薄板は気圧により変形される、請求項１４に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
16. 圧力発生装置は液体を送り出すポンプであり、従って、多孔質薄板は液圧により変形される、請求項１４に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
17. 多孔質薄板を変形させる手段は、多孔質薄板を変形させて保持する治具である、請求項８に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。
18. 治具は、凸面を有する台座と、観察窓を有する抑え板とを有し、抑え板は、多孔質薄板を台座の凸面に押し当てて、台座との間に挟み込んで固定され、抑え板の観察窓は、多孔質薄板が変形する空間を与えると共に、観察光学系による多孔質薄板の観察を可能にする、請求項１７に記載の多孔質薄板の欠陥検査装置。

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