JP2005108299A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005108299A JP2005108299A JP2003338171A JP2003338171A JP2005108299A JP 2005108299 A JP2005108299 A JP 2005108299A JP 2003338171 A JP2003338171 A JP 2003338171A JP 2003338171 A JP2003338171 A JP 2003338171A JP 2005108299 A JP2005108299 A JP 2005108299A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- head
- spin valve
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
【解決手段】 マルチチャンネル型の積層巨大磁気抵抗効果型ヘッドの製造工程において、ヘッド中のスピンバルブ膜27の固定層36の磁化の向きを規則化させるための磁場中熱処理を、スピンバルブ膜27の両端の外側の領域に硬質磁性層44と電極層28〔28A,28B〕が配置された状態で行う。
【選択図】 図2
Description
固定層6は、強磁性膜12とこれに接する反強磁性膜11とを有し、反強磁性膜11と強磁性膜12とが接する界面に交換結合を発生させ外部磁界に対して動きにくい反強磁性膜11のスピンを利用して強磁性膜12の磁化の向きを固定するように構成される。自由層4は強磁性膜により形成される。スピンバルブ膜7の表面には非磁性保護膜9が形成される。スピンバルブ膜7の両端には、自由層4を固定層6の磁化と直交するように弱く磁化させる為の永久磁石14が配置され、さらに永久磁石14上に位置してスピンバルブ膜7の両端に接続するように電極層15が配置され、電極層15に配線16が接続される。
Cuの熱拡散により非磁性導電層5の実効的な膜圧が薄くなるほど固定層6と自由層4とのカップリングが強くなり、自由層4の磁化は固定層6の磁化の方向に向き易くなる。即ち、Hfの変化により動作点が変動する。
マルチチャンネル型のGMRヘッドを製造する場合、各層のヘッド素子の動作点を合わせるためには、この内部磁界Hf、Hi,Hdが同じ値であることが望まれる。
各層のヘッド素子の特性バラツキが抑制されるので、ヘッド素子の製造歩留りを向上することができる。各層ごとに磁場中熱処理を行う必要がないので、製造工程数を削減することができる。
先ず、図1(分解斜視図)及び図2(断面図)に示すように、基板22上に絶縁膜23を介して複数、本例では2つのヘッド素子に対応してパターニングされた2つの下層磁気シールド層24〔24A,24B〕を形成する。この下層磁気シールド層24の夫々上に共通の下層ギャップ膜25を形成し、その上に第1の絶縁膜26を形成する。
ここで、図5,6の縦軸は表1のRに対応する。表1のRは、波形において最小抵抗値を示す。ΔRは抵抗の変化量を示す。従って、最小抵抗値にΔRを加算すると、波形の最大抵抗値になる。例えば、図5の波形の場合、R(19.09ohm)+ΔR(0.8504ohm)=19.9404ohm(グラフ縦軸左上)となる。
以上の結果より、埋め込まれた状態のスピンバルブ膜を一括して磁場中熱処理することで、固定層の交換結合を得ることができ、従って、層ごとの熱履歴差のないスピンバルブ膜が形成できる。
Claims (2)
- マルチチャンネル型の積層巨大磁気抵抗効果型ヘッドの製造工程において、
前記ヘッド中のスピンバルブ膜の固定層の磁化の向きを規則化させるための磁場中熱処理を、前記スピンバルブ膜の両端の外側の領域に硬質磁性層と電極層が配置された状態で行う
ことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 - 巨大磁気抵抗効果型ヘッド素子のユニットを絶縁膜を挟んで複数積層した状態で磁場中熱処理を行う
ことを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003338171A JP2005108299A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003338171A JP2005108299A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005108299A true JP2005108299A (ja) | 2005-04-21 |
Family
ID=34533765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003338171A Pending JP2005108299A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005108299A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021044429A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | キオクシア株式会社 | 磁気記憶装置 |
-
2003
- 2003-09-29 JP JP2003338171A patent/JP2005108299A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021044429A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | キオクシア株式会社 | 磁気記憶装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7046490B1 (en) | Spin valve magnetoresistance sensor and thin film magnetic head | |
KR100373473B1 (ko) | 자기 저항 효과 소자, 자기 저항 효과 헤드, 자기 재생장치 및 자성 적층체 | |
KR100841280B1 (ko) | 자기 저항 효과 소자, 자기 헤드, 자기 기록 장치, 자기랜덤 액세스 메모리 | |
KR100334838B1 (ko) | 스핀밸브형 박막소자 및 그를 이용한 박막자기헤드 | |
JP4658659B2 (ja) | Cpp構造の磁気抵抗効果素子およびその形成方法 | |
KR100300366B1 (ko) | 스핀밸브형박막소자 | |
KR100894521B1 (ko) | 터널 자기 저항 소자, 자기 헤드 및 자기 메모리 | |
JPH10112562A (ja) | 磁気抵抗効果型センサおよびその製造方法とそのセンサを備えた磁気ヘッド | |
KR100304770B1 (ko) | 자기저항효과박막과그제조방법 | |
US7141314B2 (en) | CPP GMR and magnetostriction improvement by laminating Co90Fe10 free layer with thin Fe50Co50 layers | |
WO2018029883A1 (ja) | 交換結合膜ならびにこれを用いた磁気抵抗効果素子および磁気検出装置 | |
US6765769B2 (en) | Magnetoresistive-effect thin film, magnetoresistive-effect element, and magnetoresistive-effect magnetic head | |
JPH0954916A (ja) | スピンバルブ磁気抵抗効果型トランスジューサ及び磁気記録装置 | |
KR20080055636A (ko) | 자기 저항 효과 소자, 자기 헤드 및 자기 기억 장치 | |
KR100635316B1 (ko) | 자기 저항 효과막과 이것을 이용한 자기 저항 효과 헤드 | |
JP2001007420A (ja) | 磁気抵抗効果膜とこれを用いた磁気読取りセンサ | |
JP2015197388A (ja) | フラックスゲート型磁気センサ | |
KR20000062470A (ko) | 스핀 밸브 자기 저항 효과형 소자와 그 제조법, 및 이소자를 이용한 자기 헤드 | |
KR20020092150A (ko) | 자기 저항 헤드 및 그 제조 방법 | |
JP2009064528A (ja) | 磁気抵抗効果ヘッド及びその製造方法 | |
JP2005108299A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 | |
US20080080097A1 (en) | Magnetoresistive element, method of manufacturing the same, and magnetic storage unit | |
JP2000150235A (ja) | スピンバルブ磁気抵抗センサ及び薄膜磁気ヘッド | |
JP2001076323A (ja) | スピンバルブ磁気抵抗効果素子の製造方法及び該素子を備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JP2001006932A (ja) | 磁気抵抗効果膜とこれを用いた磁気読取りセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20081217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |