JP2005101961A - 無線応答装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この無線応答装置は、一方のアンテナ4Aが質問器から質問信号を無線で受信すると、質問信号がアンテナ4Aに接続された櫛型電極3Aにより弾性表面波に変換され、その弾性表面波は誘電体薄膜2を介して櫛型電極3Bに伝播する。このとき、誘電体薄膜2を伝播する弾性表面波の周波数は、質問信号が有する周波数から誘電体薄膜2の温度に応じてシフトする。他方の櫛型電極3Bに伝播した弾性表面波は、櫛型電極3Bにより応答信号に変換され、その応答信号は、櫛型電極3Bに接続されたアンテナ4Bから無線により質問器に送信される。
【選択図】 図1
Description
(イ)基板1上に誘電体薄膜2を形成し、櫛型電極3A,3B、アンテナ4A,4B、インピーダンスマッチング部5A,5Bおよびグランド6A,6Bを一体的に形成することにより、材料および実装にかかるコストを低減することができる。
(ロ)誘電体薄膜2上にアンテナ4A,4Bを形成することにより、誘電体薄膜2上におけるアンテナ4A,4Bの波長短縮効果を利用して、送受信部のアンテナ4A,4Bの大きさを小型化することが可能となる。例えば、比誘電率が100以上の材料を用いることにより、比誘電率が1程度の基板上に作成したアンテナに比べて1/10程度まで小さくでき、微小な遠隔場所のセンシングが可能となる。
(ハ)弾性表面波を発生する部分を薄膜化することで、センサとしての性能を向上させることが可能となる。例えば、電位センサ等の場合、膜厚が結晶基板の1/100程度の薄膜を用いることで、検出部に加わる電界を大きくして検出可能な電圧を結晶基板の場合の1/100以下に低減することが可能となり、また温度センサ等の場合、熱容量が向上して応答速度が向上する。
(ニ)誘電体薄膜2を複数の誘電体薄膜による多層構造とすることにより、櫛型電極3A,3Bの圧電係数、電気機械結合係数を向上させ、またアンテナ部の誘電損失を低減させることが可能となり、無線応答装置の特性を向上させることができる。
(ホ)誘電体薄膜2をペロブスカイト構造あるいは擬イルメナイト構造を有する圧電性誘電体、あるいは炭素系化合物としたり、誘電体薄膜2上にIII−V族半導体もしくはII−VI族半導体からなる櫛型電極3A,3Bを形成することにより、櫛型電極3A,3Bの圧電係数、電気機械結合係数を向上させ、無線応答装置の特性を向上させることができる。
図3は、実施例1に対応する比較例1として一般的な無線応答装置を示す。この無線応答装置は、ダイポールアンテナ24A,24Bおよびインピーダンスマッチング部25A,25Bが形成されたガラス基板21上に、LiNbO3結晶基板20a上に一対の櫛型電極23A,23Bを有するチップ20を実装し、一対の櫛型電極23A,23Bの一端とインピーダンスマッチング部25A,25Bとをボンディングワイヤ29A,29Bによって接続したものである。
図5は、実施例2に対応する比較例2の無線応答装置を示す。この無線応答装置は、ガラス基板41上にダイポールアンテナ44A,44Bおよびインピーダンスマッチング部45A,45Bを形成し、PZT結晶板48の上面に一対の櫛型電極43A,43Bと電位測定用上部電極47Aを形成し、PZT結晶板48の下面に電位測定用下部電極47Bを形成したチップ40をガラス基板41上に実装し、一対の櫛型電極43A,43Bとインピーダンスマッチング部45A,45Bとをボンディングワイヤ49A,49Bによって接続したものである。
2 誘電体薄膜
3A,3B 櫛型電極
4A,4B アンテナ
5A,5B インピーダンスマッチング部
6A,6B グランド
7 グランド電極
11 Si基板
12a MgO薄膜
12b LiNbO3薄膜
13A,13B 櫛型電極
14a,14B アンテナ
15A,15B インピーダンスマッチング部
16A,16B グランド
20 チップ
20a LiNbO3結晶基板
21 ガラス基板
23A,23B 櫛型電極
24A,24B ダイポールアンテナ
25A,25B インピーダンスマッチング部
29A,29B ボンディングワイヤ
31 SrTiO3基板
32a SrRuO3薄膜
32b PZT薄膜
33A,33B 櫛型電極
34A,34B アンテナ
35A,35B インピーダンスマッチング部
37 電位測定用電極
40 チップ
41 ガラス基板
43A,43B 櫛型電極
44A,44B ダイポールアンテナ
45A,45B インピーダンスマッチング部
47A 電位測定用上部電極
47B 電位測定用下部電極
48 PZT結晶板
49A,49B ボンディングワイヤ
51 Si基板
52a SiO2薄膜
52b ZnO薄膜
53A,53B 櫛型電極
54A,54B アンテナ
55A,55B インピーダンスマッチング部
Claims (7)
- 基板上に、無線により信号を送受信する送受信部と、前記信号と弾性表面波とのエネルギ変換を行う変換部とを有する無線応答装置において、
前記基板上に形成され、前記弾性表面波が伝播する誘電体薄膜を備え、
前記送受信部および前記変換部は、前記誘電体薄膜上に金属薄膜により一体的に形成されたことを特徴とする無線応答装置。 - 前記誘電体薄膜は、複数の誘電体薄膜による多層構造を有することを特徴とする請求項1記載の無線応答装置。
- 前記複数の誘電体薄膜は、同一の材料により形成されていることを特徴とする請求項2記載の無線応答装置。
- 前記誘電体薄膜は、ペロブスカイト構造あるいは擬イルメナイト構造を有する圧電性誘電体薄膜からなることを特徴とする請求項1記載の無線応答装置。
- 前記誘電体薄膜は、炭素系化合物からなることを特徴とする請求項1記載の無線応答装置。
- 前記誘電体薄膜は、前記送受信部および前記変換部との間に半導体薄膜を有することを特徴とする請求項1記載の無線応答装置。
- 前記半導体薄膜は、III−V族半導体あるいはII−VI族半導体からなることを特徴とする請求項6記載の無線応答装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003333793A JP2005101961A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 無線応答装置 |
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JP2003333793A JP2005101961A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 無線応答装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005101961A true JP2005101961A (ja) | 2005-04-14 |
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Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007232707A (ja) * | 2005-04-20 | 2007-09-13 | Nec Tokin Corp | 力学量センサ及びその製造方法 |
JP2011044579A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜素子及びその製造方法 |
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2003
- 2003-09-25 JP JP2003333793A patent/JP2005101961A/ja active Pending
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