JP2005091865A - 被写界深度拡大システム - Google Patents
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Abstract
【課題】ゴーストを除去し被写界深度を拡大した画像を得ること。
【解決手段】瞳変調素子3を各回転角度0°と180°とに回転させたときにそれぞれ取得される各中間像I1、I2の各画像データD1、D2を取得し、これら画像データD1、D2間で和、差の演算処理を行って、リアルタイムにゴーストを除去した被写界深度を拡大した画像を得る。
【選択図】 図1
【解決手段】瞳変調素子3を各回転角度0°と180°とに回転させたときにそれぞれ取得される各中間像I1、I2の各画像データD1、D2を取得し、これら画像データD1、D2間で和、差の演算処理を行って、リアルタイムにゴーストを除去した被写界深度を拡大した画像を得る。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被写体からの光を波面変換素子により位相変調して得られる画像データを、画像処理して被写界深度を拡大した画像を得る被写界深度拡大システムに関する。
図11は例えば特許文献1に記載されている、光学系の被写界深度を拡大することのできる被写界深度拡大システムの概略構成図である。被写体(サンプル)1の上方には、対物レンズ2と、波面変換素子としての瞳変調素子3と、結像レンズ4と、CCD撮像装置5とからなる光学系6が光軸Pを中心として設けられている。
瞳変調素子3は、光学系6の瞳位置に配置され、被写体1からの光に対し位相分布の変調を行う。これは例えば、光学系6の光学的伝達関数(OTF:Optical Transfer Function)が被写体1の合焦位置からの距離に関わらずほぼ一定になるように、瞳位置の位相分布を変形させる、キュービック位相変調マスクとして機能する。
このような光学系6の構成において、被写体1からの光は対物レンズ2を通って瞳変調素子3に入射し位相変調された後、結像レンズ4を通ってCCD撮像装置5上に中間像として結像される。
こうして得られる前記中間像のOTF強度分布は、通常の光学系の場合と被写界深度拡大システムで大きく異なる。通常の光学系では、被写体1が光学系6の合焦位置からずれるに従ってOTF強度分布も変化していくが、被写界深度拡大システムではその変化が小さい。すなわち、像の見え方で表現すれば、通常の光学系では合焦位置からずれた量に応じたボケが生じるが、被写界深度拡大システムでは、合焦位置からのずれ量によらず画像(前記中間像)にボケが生じそのボケ方が変化しない。
従ってCCD撮像装置5は、合焦位置からのずれ量によらずボケを生じさせた被写体1の中間像を撮像し、その画像信号を出力することになる。
画像処理装置7は、CCD撮像装置5から画像信号を入力し画像データとして記憶し、この画像データに対して、合焦時の画像のOTF強度分布に復元するような空間フィルタを施す。
このように被写界深度拡大システムは、画像のOTF強度分布に着目し、合焦位置からずれた場合でも合焦時の強度分布と等しくなるように機能することで、被写界深度を拡大した画像を得るものである。
特開2000−275582号公報
しかしながら、被写界深度を拡大した画像には、瞳変調素子3を除いた光学系では発生しない被写体1のゴースト像が現れてしまう。これは顕微鏡の一般的な被写体1であればそれほど影響ないが、半導体パターン等の規則性の高いパターンで欠陥検査等を行なう場合には半導体パターンとゴーストとが重なり合って観察しづらくなり、問題となる場合が発生する。
本発明は、被写体からの光を波面変換素子により位相変調し、この位相変調された光を結像し撮像する光学系を有し、この光学系で取得された画像データに対して空間フィルタによる画像処理を行い被写界深度を拡大した画像を得る被写界深度拡大システムにおいて、被写体と波面変換素子との相対的な角度を、光学系の光軸に対し直交する面で設定可能な回転手段と、回転手段により設定された少なくとも2つの角度にて取得された複数の画像データ間で、画像処理演算を行なって被写界深度を拡大した画像を得る画像処理手段とを具備した被写界深度拡大システムである。
本発明は、ゴーストを除去し被写界深度を拡大した画像を得ることができる被写界深度拡大システムを提供できる。
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図11と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
始めに、上記復元画像に生じるゴーストは、瞳変調素子3を光軸Pに対し直交方向に回転させた場合、これに応じてゴースト像も被写体像の周囲に移動して現れる。本発明はこのゴースト像が移動する現象に着目し、復元画像からゴースト像のみを除去しようとするものである。
従来例と同様に、光学系6により瞳変調素子3で位相変調された中間像がCCD撮像装置5上に結像される。ここで図1の瞳変調素子3には新たに回転駆動部10が設けられている。この回転駆動部10は、瞳変調素子3を光軸Pに対し垂直な平面内で矢印A方向に初期角度0°からさらに少なくとも180°回転させることができる。
よって、回転駆動部10の設定角度を0°としておき、瞳変調素子3の回転角度0°における中間像I1を取得し、次に回転駆動部10の設定角度を180°として、瞳変調素子3の回転角度が180°における中間像I2を取得する。これが画像処理装置11に入力される。
画像処理装置11内では図2に示すような処理が行なわれる。まず、画像取得部14は、CCD撮像装置5からの画像信号が入力され、瞳変調素子3の回転角度0°と180°とで取得された各中間像I1、I2の各画像データに対し回復フィルタ(空間フィルタ)12,13を施して、復元画像データI1’、I2’を求める。回復フィルタの作用は従来と同様に働き、復元画像I1’、I2’は焦点位置によらずOTF強度分布が合焦時のものに復元され、被写界深度が拡大された画像となる。
さらに和演算部15は、復元画像データI1’と復元画像データI2’が加算され、加算画像データ(I1’+I2’)が求められる。
一方、復元画像データI1’は微分演算部17に入力され、各ライン毎に微分つまり、隣の画素との差分が行なわれる。各画素毎の微分結果は予め定められたしきい値と比較され、しきい値以上の微分値を示す画素を残し、他の画素はゼロに置換されたデータΔI1’が得られる。
差演算部16は、復元画像データI1’と復元画像データI2’との差を演算しさらに絶対値が求められる。次に、微分演算部17の出力つまり復元画像データI1’の微分値ΔI1’が示す、絶対値データの反転を必要とする画素に対してのみ、極性を反転させた画像データF(I1’−I2’)が求められる。
画像成形部18は、前記和演算部15の出力(I1’+I2’)と前記差演算部16の出力F(I1’−I2’)とを加算し、これを不図示の画像表示装置に被写体画像として出力する。
これらの画像処理装置11内での動作を図3の画像例を用いて模式的に説明する。
復元画像データD1が瞳変調素子3の回転角度0°における画像であり、復元画像データD2が瞳変調素子3の回転角度180°における画像であるとする。復元画像データD1及びD2には、被写体1の像1iと共にそのゴースト像1g、1hが現れている。ただし、ゴースト像1g、1hは被写体1の像1iに対し中心対象の位置、つまり画像中心から相対的に180°回転した方向に生じている。
和演算部15で上記2画像が加算されると画像データD3のようになり、加算画像データ(I1’+I2’)では被写体1の像1iの周囲に中心対象な位置に、ゴースト像1g及び1hが含まれることになる。微分演算部17で復元画像データD1を基に被写体1の像1iの立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジが検出され、その結果、画像データD5が得られる。なお、この微分からエッジ検出までの処理を、図3ではΔで表している。
差演算部16ではまず、復元画像データD1と復元画像データD2の差を演算しさらに絶対値を求めて、ゴースト1g及び1hのみを抽出する。次に微分演算部17の結果、画像データD5を基に、ゴースト1g及び1hの各画素における影響の方向を判断し、ゴーストを除去するように必要な各画素に対して差分値の極性を反転させる。これにより、ゴースト1g及び1hを補正する補正データD4が得られる。なお、この絶対値演算からゴースト補正データ算出までの処理を、図3ではFで表している。
加算画像データD3は補正データD4と加算することにより、ゴースト1g及び1hの影響が取り除かれ、被写体1の像1iのみが残ることになる。これが画像データD6に相当する。
以下に、図3に示す画像データからいずれかの1ラインを抜き出した例を図4に示し、画像処理の動作をさらに詳しく説明する。
復元画像データD1のラインデータd1(図4(b)参照)に対し、これと同じラインを復元画像データD2から取り出したものがラインデータd2(図5(b)参照)である。なお、図4(a)及び図5(a)は、図4(b)及び図5(b)に示すラインデータd1、d2が被写体1の像1iにゴースト像1g、1hがそれぞれ含まれて形成されていることをイメージ的に表現したものである。ラインデータd1とd2を和演算部15にて加算すると図6に示すようになりゴースト像1g及び1hの両方の影響が含まれていることが分かる。
図8に示すラインデータd12は、ラインデータd1を微分した結果である。ここでマイナス側に微分値が現れる位置は、ラインデータd1において立ち下がりエッジの存在を示し、プラス側に微分値が現れる位置は立ち上がりエッジの存在を示している。ゴースト像は被写体像よりも小さい成分であるから、ラインデータd12に現れている大きな変化は被写体像自身のエッジであり、小さな変化はゴーストのものと判断される。従って、しきい値thを設定しておけば、しきい値th以下のデータをゼロに置換してラインデータd12から被写体のエッジのみを検出したラインデータd5が得られる。これが微分演算部17からの出力となる。
一方でラインデータd1からラインデータd2を引くと、図7に示すラインデータd10が得られ、ゴースト成分のみの抽出が行なわれる。さらにラインデータd10の絶対値を取りラインデータd11が得られるが、これをゴースト成分を補正する補正値として用いるためにはそのままでは不十分であり、微分演算部17の出力d5に従ってラインデータd11のデータの極性を一部反転させる必要がある。つまり被写体1の像1iにおいて、周囲より小さい数値を示す暗部ではラインデータd11の極性を反転させる。ラインデータd5においてマイナス値を示すのが立ち下がりエッジであるから、ラインデータd5でマイナス値を示す位置からプラス値を示す部分までを暗部と判断しラインデータd11の極性を反転させると、ラインデータd4のようになる。これが差演算部16の出力となる。図6及び図7に示すように差演算部16の出力(ラインデータ)d4は、和演算部15の出力(ラインデータ)d3に含まれるゴーストの成分を完全に補正するデータであることが分かる。
よって、これら差演算部16の出力d4と和演算部15の出力d3が、画像成形部18にて加算され、図9に示すゴーストの除去された被写界深度拡大画像が得られるのである。
このように上記第1の実施の形態によれば、瞳変調素子3を各回転角度0°と180°とに回転させて取得される各中間像I1,I2を基に画像演算を行なうだけで、被写界深度を拡大した復元画像に生じるゴーストを除去することができる。
これにより、半導体パターン等のような規則性の高いパターンが形成された被写体1を観察する場合でも、ゴーストの無い鮮明な画像の観察が可能となる。また、空間フィルタを用いるときに強調されてしまう高周波成分に含まれるノイズ成分も、ある程度は除去でき、若干のS/N比の改善により画質の向上が図れる。
なお、第1実施例において、微分演算部17は復元画像データI1’を用いて被写体1の像1iのエッジ検出を行なったが、復元画像データI2’を用いてもよい。また、上記において微分演算部17の微分方向は図3の画像例の水平方向であってもよいが、これを規制する必要は無く、例えば図3の画像例の垂直方向でもよい。
また、瞳変調素子3を回転させる上記の方法に限らず、被写体1自体を回転させて瞳変調素子3との相対的な回転角度を0°と180°とにしてもよい。これは例えば、被写体1を回転ステージ上に載置し、この回転ステージを各回転角度0°と180°とに駆動制御すればよい。この場合には、復元画像データI2’の被写体像が、復元画像データI1’の被写体像に対し180°回転する為、上記のような画像間演算を行なう前に、復元画像データI1’若しくはI2’を180°回転させておく必要がある。
また、瞳変調素子3を回転させると共に回転ステージを互いに逆方向に回転駆動して瞳変調素子3と被写体1とを相対的に回転させ、互いに角度180°異なる回転角度0°と回転角度180°の状態を作ってもよい。
次に、本発明の第2の実施の形態について図10の構成図を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
光学系6における対物レンズ2と瞳変調素子3との間に、ハーフミラー20が設けられ、このハーフミラー20の反射光路上にミラー21を介してイメージローテータ22が設けられている。一方、ハーフミラー20の透過光路上には、瞳変調素子3とハーフミラー20との間にシャッタ26、ハーフミラー25が順に設けられている。
このイメージローテータ22は、対物レンズ2からハーフミラー20、ミラー21を介して入射する被写体1からの光を180°回転して出射するものである。
このイメージローテータ22の出射光路上にはミラー23が設けられ、このミラー23の反射光路上、ミラー23とハーフミラー25との間にシャッタ24が設けられている。
上記の如く構成された被写界深度拡大システムの動作について、以下に説明する。
先ず、シャッタ26が開放されると共に、シャッタ24が閉じている。
この状態で、被写体1からの光は、対物レンズ2、ハーフミラー20、開放状態のシャッタ26、ハーフミラー25を順に通って瞳変調素子3に入射し位相分布を変調され、結像レンズ4により中間像がCCD撮像装置5上に結像される。なお、ハーフミラー20で反射した被写体1からの光は、シャッタ24により遮光される。CCD撮像装置5からは、位相変調された中間像が画像処理装置11に出力される。この中間像は、上記第1の実施形態において瞳変調素子の回転角度が0°のときの中間像I1に等しい。
次に、シャッタ26が閉じると共に、シャッタ24が開放される。
この状態で被写体1からの光は、対物レンズ2を通ってハーフミラー20で反射しイメージローテータ22に入射する。このイメージローテータ22は入射した被写体1からの光を180°回転して出射する。
このイメージローテータ22から出射された光は、ミラー23で反射し、開放状態のシャッタ24を通ってハーフミラー25で反射し、瞳変調素子3に入射する。ここで上記と同様に瞳変調素子3により位相分布が変調され、中間像がCCD撮像装置5上に結像される。CCD撮像装置5からは、位相変調された中間像が画像処理装置11に出力される。この中間像は、イメージローテータ22の作用により、上記第1の実施の形態において瞳変調素子の回転角度が180°のときの中間像I2に相当するのであるが、イメージローテータ22による画像の回転では被写体1の像が、中間像I1に対し180°回転して得られてしまう。そこで、画像処理装置11内において2つの復元画像データのうち1つを回転させて、2つの復元画像データに含まれる被写体1の像が、同じ位置にくるようにしておく必要がある。
その後、このようにして得られた復元画像データに対して、上記第1の実施の形態と同様の画像処理を行なえば、ゴーストを除去した被写界深度拡大画像を得ることができる。
このように、上記第2の実施の形態によれば、瞳変調素子3に入射する前に、被写体1からの光をイメージローテータ22により180°回転させる光学系を設けたので、上記第1の実施の形態と同様な効果を奏することができる。
また、各中間像I1,I2を取得する時には、各シャッタ24、26を開閉させればよいので、短時間で画像データが取得でき、瞳変調素子を用いて被写界深度拡大を行なう時の利点であるリアルタイム性を損なうことは無い。
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に掲示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより様々な発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。
例えば、上記各実施の形態では、瞳変調素子3と被写体1との相対的な角度を回転角度0°と180°とで説明したが、この角度に限らず、ゴーストが2つの復元画像データ間で異なる位置に生じるようであれば、任意の角度でもよい。例えば、図1の構成において瞳変調素子3を0°と45°とに回転させた場合の復元画像データは、図3ではD1とD2のゴーストが点対称つまり互いに180°回転した方向に生じているのに対し、45°回転した方向にゴーストが生じる。しかしその場合でも、上記と同様の画像処理演算を行なえばよい。
また、瞳変調素子3を2つ用いて、瞳変調素子3を回転角度0°に設定した第1の光学系と、もう1つの瞳変調素子を回転角度180°に設定した第2の光学系とをあらかじめ用意し、これら光学系に被写体1からの光を通してCCD撮像装置に入射するようにしてもよい。
また、上記のように、被写体1自体を回転させたり、イメージローテータ22を用いて各回転角度0°、180°などに対応する各中間像I1,I2を取得する方法を用いれば、被写界深度拡大システムに限らず、通常の顕微鏡やその他の光学系に現れる画像上のゴーストを除去することができる。
1:被写体(サンプル)、2:対物レンズ、3:瞳変調素子、4:結像レンズ、5:CCD撮像装置、6:光学系、10:回転駆動部、11:画像処理装置、14:画像取得部、12,13:回復フィルタ(空間フィルタ)、15:和演算部、17:微分演算部、16:差演算部、18:画像成形部、20,25:ハーフミラー、21,23:ミラー、22:イメージローテータ、24,26:シャッタ。
Claims (4)
- 被写体からの光を波面変換素子により位相変調し、この位相変調された光を結像し撮像する光学系を有し、この光学系で取得された画像データに対して空間フィルタによる画像処理を行い被写界深度を拡大した画像を得る被写界深度拡大システムにおいて、
前記被写体と前記波面変換素子との相対的な角度を、前記光学系の光軸に対し直交する面で設定可能な回転手段と、
前記回転手段により設定された少なくとも2つの角度にて取得された複数の画像データ間で、画像処理演算を行なって被写界深度を拡大した画像を得る画像処理手段と、
を具備したことを特徴とする被写界深度拡大システム。 - 前記回転手段は、所定の回転角度だけ前記被写体と前記波面変換素子とのうちの少なくとも一方を回転駆動することを特徴とする請求項1記載の被写界深度拡大システム。
- 前記回転手段は、前記波面変換素子と前記被写体との間に配置されるイメージローテータを有し、前記イメージローテータは被写体からの光を所定の角度だけ回転させることを特徴とする請求項1記載の被写界深度拡大システム。
- 前記回転手段は、初期角度0°と初期角度に対し相対的に180°とに少なくとも設定可能なものであり、
前記画像処理手段は、前記角度0°のときに取得された第1の画像データと、前記角度180°のときに取得された第2の画像データとを取込み、各々に空間フィルタを施す画像取得部と、
前記第1の画像データ又は前記第2の画像データから各画素における微分値を求め、微分値が所定のしきい値を超えている画素を判別する微分演算部と、
前記第1の画像データと前記第2の画像データの和画像データを求める和演算部と、
前記第1の画像データと前記第2の画像データの差の絶対値を求め、さらに前記微分演算部の出力に応じ必要な画素にのみデータの極性を反転する差演算部と、
前記和演算部の出力と差演算部の出力を加算する画像成形部と、
を有することを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項記載の被写界深度拡大システム。
Priority Applications (1)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061205 |