JP2005088060A - レーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、レーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムに関し、熱変形した管板に形成された複数の管穴と、複数の管穴に挿入された伝熱管とを精度良く溶着することを課題とする。
【解決手段】 熱変形前後の管板３２Ａの画像を撮像するＣＣＤカメラ４１と、取得された画像データに基づき演算処理を行い、管板３２Ａの中心位置及び外形位置のずれ量である第１及び第２のずれ量を求める画像処理装置４２と、第１及び第２のずれ量に基づき、溶着位置の位置補正を行うＮＣ制御装置４４と、表示装置４３とにより構成された溶着位置補正機構を設けて、溶着位置の補正を行う。
【選択図】 図４

Description

本発明は、レーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムに係り、特に、熱交換器等における管板の管穴の溶着を行う際に使用されるレーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムに関する。

管式熱交換器、特に多管式熱交換器は、排出流体中の熱エネルギーを有効に利用するために、化学工場、石油精製工場或いは石油化学工場を始めとして様々な工場で多用されている。このような熱交換器を製造する場合、管板に設けられた複数の管穴に伝熱管を挿入し、レーザ加工装置等による溶着が行われる。

図１は、管穴を加工ヘッドが溶着している状態を示した斜視図であり、図２は溶着の順番を示した管板の平面図である。なお、図２に示した矢印Ａは、加工ヘッド１４の移動する軌跡（移動方向）を示している。図１に示すように、３軸方向（Ｘ，Ｘ方向、Ｙ，Ｙ方向及びＺ，Ｚ方向）に移動可能なステージ１０上には、加工対象物１５が配置されている。加工対象物１５は、管板１１Ａと、伝熱管１２Ａ〜１２Ｆと、管板１１Ｂとにより構成されている。

管板１１Ａには、複数の管穴１２ａ〜１２ｆが形成されており、この複数の管穴１２ａ〜１２ｆには伝熱管１２Ａ〜１２Ｆの端部が挿入されている。管穴１２ａ〜１２ｆと伝熱管１２Ａ〜１２Ｆとの溶着は、レーザ光を照射する加工ヘッド１４により行われる。なお、図１に示した加工ヘッド１４は、管穴１２ａ〜１２ｆの外側上方から管穴１２ａ〜１２ｆに対してＢ方向に回転しながらレーザ光を照射する構成とされている。

図１乃至２に示すように、管穴１２ａ〜１２ｆと伝熱管１２Ａ〜１２Ｆとの溶着は、加工ヘッド１４が最初に溶着した管穴１２ａに近い位置の管穴（この場合、管穴１２ｂ）から順に行われる。この溶着処理の順番は、ＮＣ制御装置内に格納された処理順番プログラムにより実行される。具体的には、ＮＣ制御装置が処理順番プログラムの内容に応じてステージ１０を３軸方向に駆動制御することで行われる。なお、この処理順番プログラムには予め熱変形前の管穴１２ａ〜１２ｆの位置が、加工ヘッド１４が溶着する溶着位置として入力されている。

図２に示した加工対象物１５の場合には、管穴１２ａと伝熱管１２Ａとが最初に溶着され、次に管穴１２ｂと伝熱管１２Ｂ、その次に管穴１２ｃと伝熱管１２Ｃ、管穴１２ｄと伝熱管１２Ｄ、管穴１２ｅと伝熱管１２Ｅ、最後に管穴１２ｆと伝熱管１２Ｆという順に溶着が行われる。なお、図２には、６本の伝熱管１２Ａ〜１２Ｆしか図示していないが、実際には数十本もしくはそれ以上の伝熱管が管穴に溶着される（例えば、特許文献１参照。）。
特開平８−３５７８９号公報

図３は、熱変形前後の管板の外形位置及び管穴位置を示した図である。なお、図３において、熱変形前の管板１１Ａの外形位置１１Ａ−１及び管穴位置１２ａ−１〜１２ｆ−１（溶着する予定の溶着位置）は点線で示し、熱変形後の管板３２Ａの外形位置１１Ａ−２及び管穴位置１２ａ−２〜１２ｆ−２は実線で示す。

しかしながら、管板１１Ａに形成された複数の管穴１２ａ〜１２ｆと、伝熱管１２Ａ〜１２Ｆとの溶着はレーザ光を用いて行われるため、溶着時に使用するレーザ光から発生する熱の影響により管板１１Ａは熱収縮して変形する。そのため、図３に示すように、処理順番プログラムに入力された溶着位置（溶着する予定の溶着位置）である管穴位置１２ａ−１〜１２ｆ−１と、実際に溶着すべき管穴位置１２ａ−２〜１２ｆ−２との間にずれが生じて、溶着位置がずれるために、伝熱管１２Ａ〜１２Ｆと管穴１２ａ〜１２ｆとを精度良く溶着することができないという問題があった。

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、熱変形後の管板に形成された複数の管穴と、複数の管穴に挿入された伝熱管とを精度良く溶着することのできるレーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。

請求項１記載の発明では、管板に形成された複数の管穴と、前記複数の管穴に挿入された複数の伝熱管とを溶着するレーザ加工装置において、溶着時に発生する熱により変形する前記管板の熱変形前後の前記管板を撮像し、前記熱変形前後の管板の画像データを取得する撮像手段と、熱変形前の前記管板の第１の中心位置と、熱変形後の前記管板の第２の中心位置との間の第１のずれ量を前記熱変形前後の管板の画像に基づいて求める演算手段と、前記第１のずれ量に基づいて、前記溶着を行う位置である複数の溶着位置の補正を行う溶着位置補正手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置により、解決できる。

上記発明によれば、演算手段により求められた熱変形前の管板の第１の中心位置と、熱変形後の管板の第２の中心位置との間の第１のずれ量に基づいて、溶着位置補正手段が複数の溶着位置の補正を行うため、熱変形前後の複数の管穴位置のずれ量をそれぞれ求めて補正を行う場合と比較して、短時間に容易に複数の溶着位置の補正を行うことができる。

請求項２記載の発明では、前記演算手段は、前記熱変形前後の管板の画像データに基づいて、前記熱変形前の管板の第１の外形位置と、前記熱変形後の前記管板の第２の外形位置との間の第２のずれ量を求め、前記溶着位置補正手段は、前記第２のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行うことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置により、解決できる。

上記発明によれば、演算手段により求められた熱変形前の管板の第１の外形位置と、熱変形後の管板の第２の外形位置との間の第２のずれ量に基づいて、溶着位置補正手段が複数の管穴の溶着位置の補正を行うため、第１のずれ量のみ用いて、複数の管穴の溶着位置の補正を行う場合と比較して、精度良く複数の管穴の溶着位置の補正を行うことができる。

請求項３記載の発明では、前記演算手段は、前記熱変形前の複数の管穴の中心位置及び外形位置と、前記熱変形後の複数の管穴の中心位置及び外形位置とに基づいて、前記複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量を求め、前記溶着位置補正手段は、前記第３のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置により、解決できる。

上記発明によれば、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量に基づいて、複数の溶着位置の補正を行うため、複数の管穴の溶着位置の補正をさらに高精度に行うことができる。

請求項４記載の発明では、溶着による熱変形前後の管板の画像データを取得する工程と、前記画像データに基づき、前記熱変形前の管板の第１の中心位置と、前記熱変形後の管板の第２の中心位置との間に生じる第１のずれ量を演算により求める工程と、前記画像データに基づき、前記熱変形前の管板の第１の外形位置と、前記熱変形後の管板の第２の外形位置との間の第２のずれ量を演算により求める工程と、前記第１及び第２のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行う工程とを備えたことを特徴とするレーザ加工方法により、解決できる。

上記発明によれば、熱変形前後の管板の第１及び第２の中心位置から求められる第１のずれ量と、熱変形前後の管板の第１及び第２の外形位置から求められる第２のずれ量とに基づいて、複数の溶着位置の補正を行うため、熱変形前後の複数の管穴の位置のずれ量をそれぞれ求めて溶着位置の補正を行う場合と比較して、短時間に容易に複数の溶着位置の補正を行うことができる。

請求項５記載の発明では、前記熱変形前の複数の管穴の中心位置及び外形位置と、前記熱変形後の複数の管穴の中心位置及び外形位置とに基づいて、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量を演算により求める工程と、
前記第３のずれ量に基づいて、前記複数溶着位置の補正を行う工程とを含んだことを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工方法により、解決できる。

上記発明によれば、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量に基づいて、複数の管穴の溶着位置の補正を行うため、複数の管穴の溶着位置の補正を高精度に行うことができる。

請求項６記載の発明では、コンピュータに、熱変形前後の管板の画像データを取得するステップと、前記画像データに基づき、前記管板の中心位置の第１のずれ量と、前記管板の外形位置の第２のずれ量と、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量とを演算により取得するステップと、前記第１乃至３のずれ量に基づいて、前記複数の管穴の溶着位置の補正を行うステップとを実行させるための溶着位置補正プログラムにより、解決できる。

上記発明によれば、コンピュータに、管板の画像データを取得するステップと、管板の中心位置の第１のずれ量と、管板の外形位置の第２のずれ量と、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量とを演算により取得するステップと、第１乃至３のずれ量に基づいて、複数の管穴の溶着位置の補正を行うステップとを実行させるための溶着位置補正プログラムを設けることにより、高精度に複数の管穴の溶着位置の補正を行うことができる。

本発明によれば、熱変形した管板に形成された複数の管穴と、複数の管穴に挿入された伝熱管とを精度良く溶着することのできるレーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムを提供することを目的とする。

まず、本発明における発明の概要について説明する。始めに、図４を参照して、本実施例のレーザ加工装置２０について説明する。図４は、本発明の本実施例のレーザ加工装置の概略図であり、図５は図４に示した加工対象物の平面図である。なお、図４中のＸＹ，ＸＹ方向はステージ２９の面方向、Ｚ，Ｚ方向はステージ２９の面に対して垂直方向、Ｃは加工ヘッド２７の回転方向（以下、方向Ｃ）をそれぞれ示している。

レーザ加工装置２０は、大略するとレーザ発振器２１と、ハウジング２２と、レーザ照射部２３と、反射板２４と、加工ヘッド用駆動装置２６と、加工ヘッド２７と、ステージ２９と、ステージ用駆動装置３１と、溶着位置補正機構４０とにより構成されている。

ステージ２９は、加工対象物３５を固定するためのものである。加工対象物３５は、管板３２Ａ，３２Ｂと複数の伝熱管３３とにより構成されている。また、図５に示すように、管板３２Ａには、複数の管穴３４ａ〜３４ｆが形成されており、この管穴３４ａ〜３４ｆにはそれぞれ伝熱管３３が挿入されている。ステージ２９には、ステージ用駆動装置３１が設けられており、このステージ用駆動装置３１によりステージ２９は、ＸＹ，ＸＹ方向又はＺ，Ｚ方向に移動される。このようにステージ２９が移動することで、所望の位置に加工対象物３５を移動させることができる。

ハウジング２２の下端には、加工ヘッド用駆動装置２６を介して、加工ヘッド２７が設けられている。この加工ヘッド２７は、管板３２Ａに形成された複数の管穴３４ａ〜３４ｆに挿入された伝熱管３３と、管穴３４ａ〜３４ｆとを溶着するためのものである。なお、図４中において、加工ヘッド２７は加工対象物３５に対して斜めに接触しているが、加工ヘッド２７を加工対象物３５に対して垂直に接触させて加工を行っても良い。加工ヘッド用駆動装置２６は、伝熱管３３の延在方向を回転軸として加工ヘッド２７をＣ方向に回転駆動させるためのものである。

ハウジング２２内の上端には、レーザ発振器２１と接続されたレーザ照射部２３が設けられている。レーザ発振器２１は、レーザ光を生成するためのものであり、生成されたレーザ光は、レーザ照射部２３に供給される。レーザ照射部２３は、レーザ光の強度やビーム径等の調節を行ない、加工ヘッド２７を介してレーザ光を照射するためのものである。

また、ハウジング２２内には、反射板２４が設けられている。この反射板２４は、管板３２Ａの像を面２４Ａに映し出すためのものである。なお、反射板２４の面２４Ｂは、レーザ照射部２３から照射されたレーザ光を通過させる構成とされている。

次に、溶着位置補正機構４０について説明する。溶着位置補正機構４０は、撮像手段であるＣＣＤカメラ４１と、演算手段である画像処理装置４２と、溶着位置補正手段であるＮＣ制御装置４４と、表示装置４３とにより構成される。ＣＣＤカメラ４１は、ハウジング２２内に収納されており、管板３２Ａ（管板３２Ａに形成された複数の管穴３４ａ〜３４ｆも含む）の画像を撮影するためのものである。ＣＣＤカメラ４１は、反射板２４の面２４Ａに映し出された管板３２Ａの像を撮像するためのものである。また、撮像された管板３２Ａの画像は、画像データとして画像処理装置４２に送信される。なお、管板３２Ａの画像データには、管板３２Ａに形成された管穴３４ａ〜３４ｆの画像データも含まれる。

画像処理装置４２は、取得された画像データに基づいて、熱変形前後での管板３２Ａ及び複数の管穴３４ａ〜３４ｆのずれ量を求める。

次に、後述する図８のフローチャート中に示したＳＴＥＰ７５〜７６の処理により画像処理装置４２が求める熱変形前の管板３２Ａの中心位置３２ａ−１と、熱変形後の管板３２Ａの中心位置３２ａ−２との間のずれ量である第１のずれ量の求め方について説明する。

図６は、熱変形前後の管板の中心位置及び外形位置を示した図である。図６に示すように、熱変形前の管板３２Ａの中心位置３２ａ−１と、熱変形後の管板３２Ａの中心位置３２ａ−２とのＸＹ座標の差から第１のずれ量を求める。この第１のずれ量は、中心位置３２ａ−１を基準として、Ｘ，Ｘ方向又はＹ，Ｙ方向にそれぞれどれだけの距離、管板３２Ａの中心位置が変位させられたという情報が含まれている。なお、第１のずれ量を用いた場合の溶着位置の補正は、管板３２Ａに形成された複数の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置を第１のずれ量に応じて変位させた管穴位置を溶着位置として設定することで行われる。

このように熱変形前の管板３２Ａの中心位置３２ａ−１と、熱変形後の管板３２Ａの中心位置３２ａ−２とから求められる第１のずれ量に基づき、溶着位置（実際の管穴３４ａ〜３４ｆの位置）の補正を行うことで、全ての管穴３４ａ〜３４ｆのずれ量を求め、溶着位置の補正を行う場合と比較して、短時間に容易に溶着位置の補正を行うことができる。

次に、後述する図８のフローチャート中に示したＳＴＥＰ７７〜７８の処理により画像処理装置４２が求める熱変形前の管板３２Ａの外形位置３２Ａ−１と、熱変形後の管板３２Ａの外形位置３２Ａ−２との間のずれ量である第２のずれ量の求め方について説明する。図７は、熱変形後の管板３２Ａの中心位置、外形位置、及び半径を示した図である。

第２のずれ量を求める場合には、熱変形前の管板３２Ａの中心位置３２ａ−１を基準として、この中心位置３２ａ−１から放射状に管板３２Ａの半径（本実施例の場合には、１６箇所）を測定したデータを予め取得し、次に図７に示すように、熱変形後の管板３２Ａの中心位置３２ａ−２を基準として、この中心位置３２ａ−２から放射状に管板３２Ａの半径Ｒ１〜Ｒ１６（１６箇所）のデータを測定し、予め取得した熱変形前の半径のデータと、熱変形後の半径Ｒ１〜Ｒ１６のデータとをそれぞれ比較して、半径を測定した１６箇所についての第２のずれ量を算出する。

このようにして得られた第２のずれ量に基づいて、溶着位置の補正することで、熱変形による半径方向の変位を盛り込むことができ、第１のずれ量のみを用いて補正した場合と比較して、精度良く溶着位置の補正を行うことができる。なお、本実施例では、１６箇所の半径のデータを取得したが、取得する半径のデータ数はこれに限定されない。また、取得する半径のデータ数を増加させることで、溶着位置の補正の精度を向上させることができる。

次に、後述する図９のフローチャート中に示したＳＴＥＰ７９〜８０の処理により画像処理装置４２が求める熱変形前の複数の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置及び外形位置と、熱変形後の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置及び外形位置との間のずれ量である第３のずれ量の求め方について説明する。熱変形前後の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置のずれ量は、先の図６で説明した方法と同様な方法で行うことができ、中心位置のずれ量の算出はそれぞれの管穴３４ａ〜３４ｆに対して行われる。また、熱変形前後の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置のずれ量は、先の図７で説明した方法と同様な方法で行うことができ、外形位置のずれ量の算出もそれぞれの管穴３４ａ〜３４ｆに対して行われる。このようにして得られた第３のずれ量と第１及び第２のずれ量とに基づいて、複数の管穴３４ａ〜３４ｆの溶着位置の補正を行うことで、複数の管穴３４ａ〜３４ｆの溶着位置の補正を高精度に行うことができる。

次に、ＮＣ制御装置４４について説明する。ＮＣ制御装置４４に備えられたコンピュータ（図示せず）には、溶着位置の補正を行うための溶着位置補正プログラムが格納されている。このコンピュータには、熱変形前の管板３２Ａの溶着位置Ｈ（熱変形前の管穴３４ａ〜３４ｆの位置）が入力されている。ＮＣ制御装置４４は、第１乃至第３のずれ量に基づいて、溶着位置を予め入力された溶着位置Ｈから実際の溶着位置Ｉ（熱変形後の管穴３４ａ〜３４ｆの位置）に補正し、加工ヘッド用駆動装置２６とステージ用駆動装置３１との駆動方向及び移動量を制御するためのものである。

このようにＮＣ制御装置４４により、実際の溶着位置Ｉを求め、溶着位置の補正を行なって溶着することにより、管穴３４ａ〜３４ｆと伝熱管３３とを精度良く溶着することができる。表示装置４３は、ＣＣＤカメラに取得された画像をディスプレイ４３Ａに表示するためのものである。ディスプレイ４３Ａは、図６や図７に示した画像を表示することができる。

次に、図８乃至９に示したフローチャートを参照して、本実施例のレーザ加工装置２０を用いて、管板３２Ａが熱変形した際の溶着位置補正処理について説明する。図８乃至９は、本実施例のレーザ加工装置を用いた溶着位置補正処理のフローチャートを示した図である。

図９に示す処理が起動すると、先ずＳＴＥＰ７１の処理により、溶着位置の補正処理を行う際に必要な熱変形前の管板３２Ａ及び複数の管穴３４ａ〜３４ｆの画像データが取得される。

続くＳＴＥＰ７２では、熱変形前の管板３２Ａ及び複数の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置及３２ａ―１及び外形位置３２Ａ−１が演算により求められる。次のＳＴＥＰ７３では、複数ある管穴３４ａ〜３４ｆのうちの１つの管穴と伝熱管３３との溶着が行われ、溶着が完了すると、処理はＳＴＥＰ７４へと進む。

続くＳＴＥＰ７４では、熱変形後の管板３２Ａ及び複数の管穴３４ａ〜３４ｆの画像データが取得される。次のＳＴＥＰ７５では、演算により熱変形後の管板３２Ａの中心位置３２ａ―２の算出が行われる。続くＳＴＥＰ７６では、演算により熱変形前後の管板３２Ａの中心位置のずれ量である第１のずれ量の算出が行われ、処理はＳＴＥＰ７７へと進む。

続くＳＴＥＰ７７では、演算により熱変形後の管板３２Ａの外形位置３２Ａ−２が算出される。次のＳＴＥＰ７８では、演算により熱変形前後の管板３２Ａの外形位置のずれ量である第２のずれ量の算出が行われ、処理は図９に示したＳＴＥＰ７９へと進む。続くＳＴＥＰ７９では、熱変形後の複数の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置及び外形位置が演算処理により求められる。

次のＳＴＥＰ８０では、複数の管穴３４ａ〜３４ｆの中心位置及び外形位置のずれ量である第３のずれ量が演算により求められる。続くＳＴＥＰ８１では第１乃至第３のずれ量に基づき、溶着位置の補正処理が行われる。次のＳＴＥＰ８２では、管板３２Ａに形成された複数の管穴３４ａ〜３４ｆの全ての溶着処理が終了したかの判定がされる。この判定が否定判断（ＳＴＥＰ８２においてＮｏ）の場合には、処理は図８に示したＳＴＥＰ７３へと進む。判定が肯定判断（ＳＴＥＰ８２においてＹｅｓ）の場合には、処理は終了する。

上記説明した溶着位置補正処理を実施することにより、複数の管穴の溶着位置の補正を高精度に行うことができる。

以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

なお、本実施例では熱変形した管板３２Ａを例に挙げて説明を行ったが、熱以外の管板３２Ａの変形に対しても本発明を適用することができ、本実施例と同様な効果を得ることができる。

熱変形後の管板に形成された複数の管穴と、複数の管穴に挿入された伝熱管とを精度良く溶着するレーザ加工装置、レーザ加工方法及び溶着位置補正プログラムに適用できる。

管穴を加工ヘッドが溶着している状態を示した斜視図である。 溶着の順番を示した管板の平面図である。 熱変形前後の管板の外形位置及び管穴位置を示した図である。 本発明の本実施例のレーザ加工装置の概略図である。 図４に示した加工対象物の平面図である。 熱変形前後の管板の中心位置及び外形位置を示した図である。 熱変形後の管板３２Ａの中心位置、外形位置、及び半径を示した図である。 本実施例のレーザ加工装置を用いた溶着位置補正処理のフローチャートを示した図（その１）である。 本実施例のレーザ加工装置を用いた溶着位置補正処理のフローチャートを示した図（その２）である。

符号の説明

１０ ステージ
１１Ａ、１１Ｂ、３２Ａ、３２Ｂ 管板
１１Ａ−１、１１Ａ−２、３２Ａ−１、３２Ａ−２ 管板の外形
１２ａ〜１２ｆ、３２ａ〜３２ｆ 管穴
１２ａ−１〜１２ｆ−１、１２ａ−２〜１２ｆ−２ 管穴位置
１２Ａ〜１２Ｅ、３３ 伝熱管
１４、２７ 加工ヘッド
１５、３５ 加工対象物
２０ レーザ加工装置
２１ レーザ発振器
２２ ハウジング
２３ レーザ照射部
２４ 反射板
２６ 加工ヘッド用駆動装置
２９ ステージ
３１ ステージ用駆動装置
４０ 溶着位置補正機構
４１ ＣＣＤカメラ
４２ 画像処理装置
４３ ＣＲＴ
４３Ａ ディスプレイ
４４ ＮＣ制御装置
Ａ 溶着する順番
Ｂ、Ｃ 方向

Claims (6)

1. 管板に形成された複数の管穴と、前記複数の管穴に挿入された複数の伝熱管とを溶着するレーザ加工装置において、
   溶着時に発生する熱により変形する前記管板の熱変形前後の前記管板を撮像し、前記熱変形前後の管板の画像データを取得する撮像手段と、
   熱変形前の前記管板の第１の中心位置と、熱変形後の前記管板の第２の中心位置との間の第１のずれ量を前記熱変形前後の管板の画像に基づいて求める演算手段と、
   前記第１のずれ量に基づいて、前記溶着を行う位置である複数の溶着位置の補正を行う溶着位置補正手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
2. 前記演算手段は、前記熱変形前後の管板の画像データに基づいて、前記熱変形前の管板の第１の外形位置と、前記熱変形後の前記管板の第２の外形位置との間の第２のずれ量を求め、
   前記溶着位置補正手段は、前記第２のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行うことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記演算手段は、前記熱変形前の複数の管穴の中心位置及び外形位置と、前記熱変形後の複数の管穴の中心位置及び外形位置とに基づいて、前記複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量を求め、
   前記溶着位置補正手段は、前記第３のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
4. 溶着による熱変形前後の管板の画像データを取得する工程と、
   前記画像データに基づき、前記熱変形前の管板の第１の中心位置と、前記熱変形後の管板の第２の中心位置との間に生じる第１のずれ量を演算により求める工程と、
   前記画像データに基づき、前記熱変形前の管板の第１の外形位置と、前記熱変形後の管板の第２の外形位置との間の第２のずれ量を演算により求める工程と、
   前記第１及び第２のずれ量に基づいて、前記複数の溶着位置の補正を行う工程とを備えたことを特徴とするレーザ加工方法。
5. 前記熱変形前の複数の管穴の中心位置及び外形位置と、前記熱変形後の複数の管穴の中心位置及び外形位置とに基づいて、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量を演算により求める工程と、
   前記第３のずれ量に基づいて、前記複数溶着位置の補正を行う工程とを含んだことを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工方法。
6. コンピュータに、
   熱変形前後の管板の画像データを取得するステップと、
   前記画像データに基づき、前記管板の中心位置の第１のずれ量と、前記管板の外形位置の第２のずれ量と、複数の管穴の中心位置及び外形位置の第３のずれ量とを演算により取得するステップと、
   前記第１乃至３のずれ量に基づいて、前記複数の管穴の溶着位置の補正を行うステップとを実行させるための溶着位置補正プログラム。
   

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