JP2005088015A - Laser beam machine - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はレーザ加工機に係り、特にテープ状に形成された帯状ワークをX方向及びY方向に移動させて連続的に加工するのに好適なレーザ加工機に関する。 The present invention relates to a laser processing machine, and more particularly to a laser processing machine suitable for continuously processing a strip-shaped workpiece formed in a tape shape by moving it in the X and Y directions.
従来のレーザ加工機では、帯状ワークにレーザ光を照射して微細な孔加工を施す場合、巻き出しリールから引き出された帯状ワークの被加工領域を吸着テーブルに対向させ、被加工領域を真空吸着により吸着テーブルに吸着させた状態でレーザ光を帯状ワークに照射する。 In a conventional laser processing machine, when performing fine hole processing by irradiating a laser beam to the belt-like workpiece, the work area of the belt-like workpiece drawn out from the unwinding reel is made to face the suction table, and the workpiece area is vacuum-sucked Then, the belt-shaped workpiece is irradiated with laser light in a state of being sucked by the suction table.
そして、吸着テーブルは、レーザ照射部に対して相対移動するようにXYステージによりX方向及びY方向に駆動される。吸着テーブルの一側には、帯状ワークが巻回された巻き出しリールが固定ベースに設けられ、吸着テーブルの他側には、吸着テーブルを通過した帯状ワークを巻き取る巻き取りリールが固定ベースに設けられている。 The suction table is driven in the X and Y directions by the XY stage so as to move relative to the laser irradiation unit. On one side of the suction table, an unwinding reel around which the belt-like work is wound is provided on the fixed base, and on the other side of the suction table, a take-up reel for winding the belt-like work that has passed through the suction table is provided on the fixed base. Is provided.
さらに、吸着テーブルの一側と巻き出しリールとの間、及び吸着テーブルの他側と巻き取りリールとの間には、帯状ワークに張力を付与するテンションローラや帯状ワークをガイドする段差ローラとが設けられている。このテンションローラや段差ローラは、固定ベースに支持された軸により回転自在に支持されており、且つ帯状ワークのY方向幅よりも長く形成されている。 Further, between one side of the suction table and the take-up reel, and between the other side of the suction table and the take-up reel, there are a tension roller for applying tension to the belt-like workpiece and a step roller for guiding the belt-like workpiece. Is provided. The tension roller and the step roller are rotatably supported by a shaft supported by a fixed base, and are formed longer than the width in the Y direction of the belt-like workpiece.
そして、吸着テーブルをY方向(装置の前後方向)に移動して被加工領域の加工点をレーザ照射位置に移動させる場合、吸着テーブルの両側に装架された帯状ワークがテンションローラや段差ローラの外周に摺接しながら軸方向(Y方向)にずれることになる。これにより、帯状ワークは、テンションローラや段差ローラに擦られて損傷するおそれがあった。特に幅寸法の大きい帯状ワークを加工する場合には、それだけ軸方向(Y方向)への移動距離が大きくなるため、帯状ワークのローラ摺接部分が損傷しやくなる。 When the suction table is moved in the Y direction (front-rear direction of the apparatus) and the processing point of the processing area is moved to the laser irradiation position, the belt-like workpieces mounted on both sides of the suction table are moved between the tension roller and the step roller. It shifts in the axial direction (Y direction) while sliding on the outer periphery. As a result, the belt-like workpiece may be rubbed and damaged by the tension roller or the step roller. In particular, when machining a strip-shaped workpiece having a large width dimension, the moving distance in the axial direction (Y direction) increases accordingly, and the roller sliding contact portion of the strip-shaped workpiece is easily damaged.
このような問題を解消するため、テンションローラや段差ローラ及び巻き出しリール、巻き取りリールを支持するリール支持台を軸方向(Y方向)に移動可能に設ける構成のものがある(例えば、特許文献1参照)。 In order to solve such problems, there is a configuration in which a tension support, a step roller, a take-up reel, and a reel support base that supports a take-up reel are provided so as to be movable in the axial direction (Y direction) (for example, Patent Documents). 1).
このものは、吸着テーブルがY方向に移動する際、上記リール支持台をモータによりY方向に移動させることで帯状ワークがローラに対してY方向に擦られることを防止しており、帯状ワークが損傷しないように構成されている。
しかしながら、従来のレーザ加工機では、上記のように吸着テーブルのY方向への移動に同期して上記支持台をY方向に移動させるため、支持台をY方向にガイドするリニアガイドや支持台をY方向に駆動するボールねじ機構やY方向駆動モータを設ける必要があり、構成が複雑化するばかりか、装置全体が大型化して設置スペースをより大きくしなければならないという問題があった。 However, in the conventional laser processing machine, since the support table is moved in the Y direction in synchronization with the movement of the suction table in the Y direction as described above, a linear guide or a support table for guiding the support table in the Y direction is used. It is necessary to provide a ball screw mechanism and a Y direction drive motor for driving in the Y direction, which not only complicates the configuration, but also increases the overall size of the apparatus and requires a larger installation space.
また、上記従来のレーザ加工機では、吸着テーブルのY方向への移動速度と、上記リール支持台のY方向への移動速度とが一致しない場合には、両者の動作タイミングがずれてしまうため、帯状ワークがローラに擦られて損傷するおそれがある。 Further, in the conventional laser processing machine, when the moving speed of the suction table in the Y direction and the moving speed of the reel support base in the Y direction do not match, the operation timings of both of them shift. There is a risk that the belt-like workpiece will be rubbed and damaged by the roller.
さらに、上記従来のレーザ加工機では、帯状ワークを巻き取り動作する際にテーブルを降下させて帯状ワークが吸着テーブルに接触しないようにしているが、吸着テーブルの重量が大きいので、装置が大型化していた。 Furthermore, in the conventional laser processing machine, when the belt-shaped workpiece is wound, the table is lowered so that the belt-shaped workpiece does not come into contact with the suction table. However, since the weight of the suction table is large, the apparatus becomes larger. It was.
そこで、本発明は上記課題を解決したレーザ加工機を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the laser processing machine which solved the said subject.
請求項1記載の発明は、加工前の帯状ワークを巻き出しするワーク巻き出し部と、ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークを保持するテーブルと、テーブルに保持された帯状ワークにレーザ光を照射するレーザ照射部と、レーザ照射部からのレーザ光を照射された加工済み帯状ワークを巻き取るワーク巻き取り部と、テーブルをX方向及びY方向に移動させるXYステージと、を有するレーザ加工機において、ワーク巻き出し部をテーブルを支持する支持ベースのワーク供給側に一体的に設け、ワーク巻き取り部を支持ベースのワーク排出側に一体的に設けたものであり、構成のコンパクト化が図られている。 According to the first aspect of the present invention, a work unwinding unit for unwinding a strip-shaped workpiece before processing, a table for holding the strip-shaped workpiece pulled out from the workpiece unwinding unit, and a laser beam on the strip-shaped workpiece held on the table. A laser processing machine having a laser irradiation unit for irradiation, a workpiece winding unit for winding a processed band-shaped workpiece irradiated with laser light from the laser irradiation unit, and an XY stage for moving the table in the X direction and the Y direction The work unwinding part is integrally provided on the work supply side of the support base that supports the table, and the work take-up part is integrally provided on the work discharge side of the support base. It has been.
請求項2記載の発明は、帯状ワークを加工するとき、帯状ワークがテーブルに保持されるようにワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を降下させ、帯状ワークを巻き取るとき、帯状ワークがテーブルから離間するようにワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を上昇させる昇降手段を設けたものであり、帯状ワークの損傷を防止する。 In the invention according to claim 2, when processing the strip-shaped workpiece, the workpiece unwinding portion and the workpiece winding portion are lowered so that the strip-shaped workpiece is held on the table, and when the strip-shaped workpiece is wound, the strip-shaped workpiece is removed from the table. Elevating means for raising the work unwinding part and the work take-up part so as to be separated from each other is provided to prevent the belt-like work from being damaged.
請求項3記載の発明は、支持ベースが、テーブルを支持する第1のベースと、ワーク巻き出し部を支持する第2のベースと、ワーク巻き取り部を支持する第3のベースと、を有しており、第1のベースに対して第2、第3のベースを個別に昇降させられる。 According to a third aspect of the present invention, the support base includes a first base that supports the table, a second base that supports the workpiece unwinding portion, and a third base that supports the workpiece winding portion. The second and third bases can be raised and lowered individually with respect to the first base.
請求項4記載の発明は、第1のベースが、XYステージによりX方向及びY方向に駆動され、第1のベースと共に第2、第3のベースを一体的に移動させられる。 According to a fourth aspect of the present invention, the first base is driven in the X direction and the Y direction by the XY stage, and the second and third bases are moved together with the first base.
請求項5記載の発明は、第2のベースにワーク巻き出し部を駆動する第1の駆動部を設け、第3のベースにワーク巻き取り部を駆動する第2の駆動部を設けており、ワーク巻き取り部及びワーク巻き取り部を一体的に移動させられる。 The invention according to claim 5 is provided with a first drive unit that drives the work unwinding unit on the second base, and a second drive unit that drives the work take-up unit on the third base, The workpiece winding unit and the workpiece winding unit can be moved together.
請求項6記載の発明は、ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークに、所定の張力を付与する第1の張力付与手段と、テーブル上に装架された帯状ワークに、所定の張力を付与する第2の張力付与手段と、を有し、帯状ワークの損傷を防止する。 According to the sixth aspect of the present invention, the first tension applying means for applying a predetermined tension to the belt-shaped workpiece drawn out from the workpiece unwinding section and the belt-shaped workpiece mounted on the table are applied with the predetermined tension. And a second tension applying means for preventing the belt-like workpiece from being damaged.
請求項1記載の発明によれば、ワーク巻き出し部、テーブル、ワーク巻き取り部が一体的に移動できるように支持ベースに搭載された状態でXYステージによりX方向及びY方向に駆動されるため、テーブルをY方向に移動させる際に帯状ワークが損傷せず、且つ構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができる。そのため、レーザ加工機の設置スペースも小さくて済み、狭い場所にも設置することが可能になる。 According to the first aspect of the present invention, the work unwinding portion, the table, and the work winding portion are driven in the X direction and the Y direction by the XY stage in a state where the work unwinding portion, the table, and the work winding portion are mounted on the support base. When the table is moved in the Y direction, the belt-like workpiece is not damaged, the configuration is compact, and the entire apparatus can be reduced in size. Therefore, the installation space for the laser beam machine can be small, and it can be installed in a narrow place.
請求項2記載の発明によれば、帯状ワークを巻き取るとき、ワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を上昇させることにより、帯状ワークを移送する際に帯状ワークをテーブルから離間させ、帯状ワークを移送する過程で帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できると共に、テーブルよりも軽量なワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を昇降させることで装置の小型化が図れる。 According to invention of Claim 2, when winding a strip | belt-shaped workpiece, by raising a workpiece | work unwinding part and a workpiece | work winding-up part, when transferring a strip | belt-shaped workpiece, a strip | belt-shaped workpiece is separated from a table, The belt-like workpiece is not rubbed against the table during the transfer process, and the belt-like workpiece can be prevented from being damaged, and the apparatus can be miniaturized by raising and lowering the workpiece unwinding portion and the workpiece winding portion that are lighter than the table.
請求項3記載の発明によれば、テーブルを支持する第1のベースに対して、ワーク巻き出し部を支持する第2のベースと、ワーク巻き取り部を支持する第3のベースとを独立に昇降させて、帯状ワークを移送する過程で帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。 According to invention of Claim 3, the 2nd base which supports a workpiece | work unwinding part and the 3rd base which supports a workpiece | work winding-up part are independently provided with respect to the 1st base which supports a table. It is possible to prevent the belt-like workpiece from being damaged by being moved up and down and not being rubbed against the table in the process of transferring the belt-like workpiece.
請求項4記載の発明によれば、第1のベースをXYステージによりX方向及びY方向に駆動することにより、第1のベースの両側に設けられた第2、第3のベースを第1のベースと一体的にX方向及びY方向に移動させることが可能になり、X方向及びY方向に移動させて移動中でも帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。 According to the fourth aspect of the present invention, the second and third bases provided on both sides of the first base are moved to the first base by driving the first base in the X direction and the Y direction by the XY stage. It is possible to move in the X direction and the Y direction integrally with the base, and the belt-like workpiece is not rubbed against the table even during the movement by moving in the X direction and the Y direction, and the belt-like workpiece can be prevented from being damaged.
請求項5記載の発明によれば、第2のベースに巻き出しリールを回転駆動する第1の駆動部を設け、第3のベースに前記巻き取りリールを回転駆動する第2の駆動部を設けることにより、第1、第2の駆動部をテーブルと共に、X方向及びY方向に移動させることが可能になる。 According to the fifth aspect of the invention, the second base is provided with the first drive unit that rotationally drives the take-up reel, and the third base is provided with the second drive unit that rotationally drives the take-up reel. This makes it possible to move the first and second drive units together with the table in the X direction and the Y direction.
請求項6記載の発明によれば、第1、第2の張力付与手段により帯状ワークに所定の張力を付与することにより、第1、第2の張力付与手段をテーブルと共に、X方向及びY方向に移動させて移動中でも帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。 According to the sixth aspect of the present invention, the first and second tension applying means are applied together with the table in the X direction and the Y direction by applying a predetermined tension to the belt-like workpiece by the first and second tension applying means. The belt-like workpiece is not rubbed against the table even during movement, and the belt-like workpiece can be prevented from being damaged.
以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明になるレーザ加工機の一実施例を示す正面図である。図2はレーザ加工機の側面図である。図3はレーザ加工機の平面図である。尚、図1及び図2において2点鎖線は、動作範囲を示している。 FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a laser beam machine according to the present invention. FIG. 2 is a side view of the laser processing machine. FIG. 3 is a plan view of the laser processing machine. In FIGS. 1 and 2, a two-dot chain line indicates an operating range.
図1乃至図3に示されるように、レーザ加工機10は、箱状に形成された筐体12の内部に、レーザ光照射部14と、ワーク移送機構16と、吸着テーブル18と、XYステージ20とが収納されている。XYステージ20は、吸着テーブル18を支持する支持ベース38をX方向に駆動するX方向リニア駆動部20Aと、X方向リニア駆動部20AをY方向に駆動するY方向リニア駆動部20Bとを有する。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
また、筐体12の両側には、上記レーザ光照射部14、ワーク移送機構16、吸着テーブル18、XYステージ20を制御する制御装置26が配置されている。レーザ光照射部14は、制御装置26からの制御により帯状ワークWの所定領域(以下「被加工領域」という)に対してレーザ光を照射して微細な孔加工を施す。そのときの帯状ワークWの加工点とレーザ光照射部14の光軸との位置合わせは、制御装置26がXYステージ20を駆動して吸着テーブル18及びワーク移送機構16をX方向及びY方向に駆動させて行う。そして、ワーク移送機構16は、帯状ワークWの被加工領域に対するレーザ加工が終了すると、帯状ワークWを巻き取って次の被加工領域を吸着テーブル18のワーク吸着面18aに対向する位置に移送する。
Further, on both sides of the
吸着テーブル18は、ワーク吸着面18aに空気を吸引する複数の空気吸引孔18b(図6参照)がX、Y方向に整列しており、真空発生装置(図示せず)により空気吸引孔18bの空気が吸引されることで帯状ワークWの被加工領域を吸着する。
In the suction table 18, a plurality of
筐体12の上部には、レーザ光を出力するレーザ発振部28と、レーザ発振部28からのレーザ光をレーザ光照射部14に導く光学系30と、レーザ発振部28を駆動する光源装置31と、各制御データ(パラメータ)を入力するパーソナルコンピュータ32とが取り付けられている。
On the upper part of the
ワーク移送機構16は、吸着テーブル18の一側に配置されたワーク巻き出し部34と、吸着テーブル18の他側に配置されたワーク巻き取り部36とを有する。吸着テーブル18は、支持ベース38に支持されており、XYステージ20は支持ベース38をX方向及びX方向と直交するY方向に移動させる。また、支持ベース38には、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36も搭載されており、吸着テーブル18、ワーク巻き出し部34、ワーク巻き取り部36が一つのユニットとしてX方向及びY方向に移動する。
The
従って、レーザ光照射部14に対して吸着テーブル18をX方向及びY方向に移動させる際は、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36も一体的に移動することができるので、ワーク巻き出し部34とワーク巻き取り部36との間に装架された帯状ワークWは、吸着テーブル18がY方向に移動させる際に帯状ワークWが損傷することがない。
Accordingly, when the suction table 18 is moved in the X direction and the Y direction with respect to the laser
さらに、レーザ加工機10では、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36の構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができるため、設置スペースも小さくて済み、狭い場所にも設置することが可能になる。
Further, in the
ここで、ワーク移送機構16及び吸着テーブル18の構成について図4乃至図6を併せ参照して説明する。図4はワーク移送機構16及び吸着テーブル18を拡大して示す正面図である。図5はワーク移送機構16及び吸着テーブル18を拡大して示す側面図である。図6はワーク移送機構16及び吸着テーブル18を拡大して示す平面図である。尚、図4及び図5において2点鎖線は、動作範囲を示している。
Here, the configuration of the
図4乃至図6に示されるように、支持ベース38は、吸着テーブル18が搭載された第1のベース40と、ワーク巻き出し部34が搭載された第2のベース42と、ワーク巻き取り部36が搭載された第3のベース44とを組み合わせた構成である。そして、第1のベース40の両側には、昇降機構(昇降手段)46,48が設けられている。
4 to 6, the
第1のベース40には、吸着テーブル18の空気吸引孔18bに連通される空気吸引経路(図示せず)が設けられており、この空気吸引経路には真空発生装置(図示せず)からのチューブが連通されている。
The
第2のベース42は、昇降機構46により第1のベース40に対して昇降可能に設けられている。また、第3のベース44は、昇降機構48により第1のベース40に対して昇降可能に設けられている。この昇降機構46,48は、帯状ワークWにレーザ光を照射して加工するとき、帯状ワークWが吸着テーブル18に吸着されるようにワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を降下させ、帯状ワークWを巻き取るとき、帯状ワークWが吸着テーブル18から離間するようにワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を上昇させる。
The
このように、帯状ワークWを巻き取るとき、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を上昇させることにより、帯状ワークWを移送する際に帯状ワークWを吸着テーブル18から離間させ、帯状ワークWを移送する過程で帯状ワークWが吸着テーブル18に擦られず、帯状ワークWが損傷することを防止できる。さらに、昇降機構46,48は、吸着テーブル18よりも軽量なワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を昇降させる構成であるので、装置の小型化が図れる。
Thus, when winding the strip-shaped workpiece W, the
ワーク巻き出し部34は、帯状ワークWが巻回された巻き出しリール50と、巻き出しリール50から引き出された帯状ワークWに所定の張力(テンション)を付与する第1の張力付与部52とを有する。また、第1の張力付与部52は、帯状ワークWの移送方向に回転する駆動ローラ54と、駆動ローラ54の外周に帯状ワークWを押圧する押圧ローラ56と、押圧ローラ56と吸着テーブル18との間に介在して帯状ワークWの高さ位置を吸着テーブル18のワーク吸着面18aに位置合わせするためのガイドローラ58とを有する。
The
さらに、第2のベース42の背面には、巻き出しリール50の軸50aを回転駆動する駆動モータ60と、駆動ローラ54の軸54aを回転駆動する駆動モータ62とが取り付けられている。これらの駆動モータ60,62は、帯状ワークWの被加工領域に対するレーザ光照射部14による加工が終了すると駆動されるように制御装置26により回転を制御される。
Furthermore, a
また、駆動ローラ54は、巻き出しリール50の回転が回転・停止して帯状ワークWの所定長さ(被加工領域に対応する長さ)が移送された後、帯状ワークWの移送方向に対して逆方向に回転して帯状ワークWにバックテンションを付与する張力付与手段として機能する。
Further, the
ワーク巻き取り部36は、帯状ワークWを巻き取る巻き取りリール64と、吸着テーブル18を通過した帯状ワークWに所定の張力(テンション)を付与する第2の張力付与部66とを有する。また、第2の張力付与部66は、帯状ワークWの移送方向に回転するテンションローラ68と、テンションローラ68の外周に帯状ワークWを押圧する押圧ローラ70と、押圧ローラ70と吸着テーブル18との間に介在して帯状ワークWの高さ位置を吸着テーブル18のワーク吸着面18aに位置合わせするためのガイドローラ72とを有する。
The workpiece take-up
さらに、第3のベース44の背面には、巻き取りリール64の軸64aを回転駆動する駆動モータ74と、テンションローラ68の軸68aを回転駆動する駆動モータ76とが取り付けられている。これらの駆動モータ74,76は、帯状ワークWの被加工領域に対するレーザ光照射部14による加工が終了すると駆動されるように制御装置26により回転を制御される。
Further, a
また、テンションローラ68は、巻き取りリール64が回転・停止して帯状ワークWの所定長さ(被加工領域に対応する長さ)が移送された後も、帯状ワークWの移送方向に回転して帯状ワークWにテンションを付与する張力付与手段として機能する。
Further, the
ここで、制御装置26が実行する制御処理の手順について図7のフローチャートを参照して説明する。
Here, the procedure of the control process executed by the
図7のS11で制御装置26は、未加工の帯状ワークWが巻回された巻き取りリール64を装着してスタートスイッチ(図示せず)がオンに操作されると、ワーク巻き取り指示が入力されたかどうかを確認する。そして、ワーク巻き取り指示が入力された場合には、S12に進み、昇降機構46,48によりワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を所定高さ上昇させて帯状ワークWを吸着テーブル18のワーク吸着面18aから離間させる。
In S11 of FIG. 7, when the take-
続いて、S13に進み、上記巻き出し側の駆動モータ60,62及び巻取り側の駆動モータ74,76を回転駆動させて巻き出しリール50、駆動ローラ54を巻き出し方向に回転させると共に、巻き取りリール64、テンションローラ68を巻き取り方向に回転させる。
In S13, the unwinding
次のS14では、帯状ワークWの所定長さ(被加工領域に対応する長さ)が移送されたかどうかを確認する。S14において、帯状ワークWが所定長さ移送されて次の被加工領域が吸着テーブル18のワーク吸着面18aに対向すると、S15に進み、巻き出し側の駆動モータ60,62及び巻取り側の駆動モータ74,76への通電を止めて、巻き出しリール50、駆動ローラ54及び巻き取りリール64、テンションローラ68の回転を停止させる。
In next S14, it is confirmed whether or not a predetermined length of the belt-like workpiece W (a length corresponding to the region to be processed) has been transferred. In S14, when the belt-like work W is transferred by a predetermined length and the next work area faces the
この停止制御を行う際は、駆動ローラ54を帯状ワークWの移送方向に対して逆方向に回転させ、帯状ワークWにバックテンションを付与する。これで、帯状ワークWの被加工領域は、皺の無い平面状態で吸着テーブル18のワーク吸着面18aに対向することができる。
When performing this stop control, the
次のS16では、昇降機構46,48によりワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36を降下させて帯状ワークWを吸着テーブル18のワーク吸着面18aに近接させる。続いて、S17では、ワーク吸着面18aに形成された空気吸引孔18bの空気が真空発生装置(図示せず)により吸引されることで帯状ワークWの被加工領域をワーク吸着面18aに吸着させる。
In next S <b> 16, the
このように、帯状ワークWがワーク吸着面18aに吸着されると、S18に進み、加工点のXY座標データに基づいてXYステージ20を駆動して帯状ワークWをX方向及びY方向に移動させる。XYステージ20が駆動する支持ベース38には、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36も搭載されているため、吸着テーブル18、ワーク巻き出し部34、ワーク巻き取り部36が一体的にX方向及びY方向に移動する。そのため、ワーク吸着面18aに吸着された帯状ワークWをX方向及びY方向に移動させる際は、ワーク巻き出し部34及びワーク巻き取り部36も一体的に移動することができるので、帯状ワークWが損傷しないように動作させることができる。
As described above, when the belt-like workpiece W is attracted to the
次のS19では、帯状ワークWがX方向及びY方向に移動して帯状ワークWの加工点がレーザ光照射部14の光軸と一致すると、レーザ発振部28から出力されたレーザ光が光学系30を介してレーザ光照射部14に入射され、レーザ光照射部14から帯状ワークWの加工点に照射させる。続いて、S20に進み、当該被加工領域の加工が終了したかどうかを確認する。S20において、まだ加工していないXY座標データが残っているときは、上記S18に戻り、次の加工点のXY座標データに基づいてXYステージ20を駆動して帯状ワークWをX方向及びY方向に移動させる。
In the next S19, when the belt-like workpiece W moves in the X direction and the Y direction and the processing point of the belt-like workpiece W coincides with the optical axis of the laser
上記S20において、まだ加工していないXY座標データが残っていないときは、S21に進み、レーザ発振部28を停止させると共に、吸着テーブル18によるワーク吸着を停止させる。続いて、S22では、次の被加工領域の加工データが登録されているかどうかを確認する。
In S20, when there is no XY coordinate data that has not been processed yet, the process proceeds to S21, where the
S22において、次の被加工領域の加工データが登録されている場合は、S23に移行して巻き出しリール50に帯状ワークWが巻回されているかどうかを確認する。また、上記S22において、次の被加工領域の加工データが登録されていない場合は、今回の処理を終了する。
In S22, when the processing data of the next region to be processed is registered, the process proceeds to S23 to check whether or not the strip-shaped workpiece W is wound around the unwinding
S23において、巻き出しリール50に帯状ワークWが巻回されている場合は、上記S12に戻り、S12以降の処理を繰り返す。また、S23において、巻き出しリール50に帯状ワークWが巻回されていない場合は、S24に進み、巻き出しリール50の交換を作業者に報知して今回の処理を終了する。
In S23, when the belt-like workpiece W is wound around the unwinding
このように、レーザ光照射部14の光軸に対して帯状ワークWをX方向及びY方向に移動させる際は、巻き出しリール50、吸着テーブル18、巻き取りリール64が一体的に移動するため、吸着テーブル18をY方向に移動させる際に帯状ワークWがローラにこすられて損傷することがなく、且つ構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができる。
As described above, when the belt-like workpiece W is moved in the X direction and the Y direction with respect to the optical axis of the laser
上記実施例では、帯状ワークWにレーザ光を照射して孔加工する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、本発明のレーザ加工機は、孔加工以外も適用することができるのは勿論である。 In the above-described embodiment, the case where hole processing is performed by irradiating the belt-like workpiece W with a laser beam has been described as an example. Of course.
また、上記実施例では、吸着テーブルの上面に空気吸引孔を設けて帯状ワークを吸着する構成について説明したが、これに限らず、真空吸着以外の方法で帯状ワークを保持するように構成されたテーブルを用いることは可能である。 Further, in the above-described embodiment, the configuration in which the air suction hole is provided on the upper surface of the suction table to suck the belt-like workpiece has been described. However, the configuration is not limited thereto, and the belt-like workpiece is held by a method other than vacuum suction. It is possible to use a table.
10 レーザ加工機
14 レーザ光照射部
16 ワーク移送機構
18 吸着テーブル
20 XYステージ
26 制御装置
28 レーザ発振部
34 ワーク巻き出し部
36 ワーク巻き取り部
38 支持ベース
40 第1のベース
42 第2のベース
44 第3のベース
46,48 昇降機構
50 巻き出しリール
52 第1の張力付与部
54 駆動ローラ
60,62,74,76 駆動モータ
64 巻き取りリール
66 第2の張力付与部
68 テンションローラ
DESCRIPTION OF
Claims (6)
該ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークを保持するテーブルと、
該テーブルに保持された前記帯状ワークにレーザ光を照射するレーザ照射部と、
該レーザ照射部からのレーザ光を照射された加工済み帯状ワークを巻き取るワーク巻き取り部と、
前記テーブルをX方向及びY方向に移動させるXYステージと、
を有するレーザ加工機において、
前記ワーク巻き出し部を前記テーブルを支持する支持ベースのワーク供給側に一体的に設け、
前記ワーク巻き取り部を前記支持ベースのワーク排出側に一体的に設けたことを特徴とするレーザ加工機。 A workpiece unwinding section for unwinding the strip-shaped workpiece before processing;
A table for holding the strip-shaped workpiece drawn out from the workpiece unwinding section;
A laser irradiation unit for irradiating the belt-shaped workpiece held on the table with a laser beam;
A workpiece take-up unit that winds the processed belt-like workpiece irradiated with the laser beam from the laser irradiation unit;
An XY stage for moving the table in the X and Y directions;
In a laser processing machine having
The work unwinding unit is integrally provided on a work supply side of a support base that supports the table,
A laser processing machine, wherein the work winding part is integrally provided on the work discharge side of the support base.
前記テーブルを支持する第1のベースと、
前記ワーク巻き出し部を支持する第2のベースと、
前記ワーク巻き取り部を支持する第3のベースと、
を有することを特徴とする請求項2記載のレーザ加工機。 The support base is
A first base supporting the table;
A second base for supporting the workpiece unwinding portion;
A third base for supporting the work winding part;
The laser processing machine according to claim 2, wherein:
前記第3のベースに前記ワーク巻き取り部を駆動する第2の駆動部を設けたことを特徴とする請求項3記載のレーザ加工機。 A first drive unit for driving the work unwinding unit is provided on the second base,
4. The laser beam machine according to claim 3, wherein a second drive unit that drives the workpiece winding unit is provided on the third base.
前記テーブル上に装架された前記帯状ワークに、所定の張力を付与する第2の張力付与手段と、
を有することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機。 First tension applying means for applying a predetermined tension to the belt-like work drawn from the work unwinding section;
Second tension applying means for applying a predetermined tension to the belt-like work mounted on the table;
The laser processing machine according to claim 1, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321263A JP2005088015A (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Laser beam machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003321263A JP2005088015A (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Laser beam machine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005088015A true JP2005088015A (en) | 2005-04-07 |
Family
ID=34453001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003321263A Pending JP2005088015A (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Laser beam machine |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005088015A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103551743A (en) * | 2013-11-04 | 2014-02-05 | 苏州德龙激光股份有限公司 | Glass drilling device for production line |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003321263A patent/JP2005088015A/en active Pending
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CN103551743A (en) * | 2013-11-04 | 2014-02-05 | 苏州德龙激光股份有限公司 | Glass drilling device for production line |
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