JP2005078364A - 駆動・制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 変位ユニットを交換しても、指示値に対する圧電素子の変位量を変化させることなく、各ユニット間の互換性が確保された駆動・制御装置を提供すること。
【解決手段】 圧電素子4と該圧電素子4の変位量を検出するセンサ5とを有する、少なくとも一つの変位ユニット2と、該変位ユニット2に取り外し可能に接続され、前記圧電素子4を制御する制御ユニット3とを備え、前記変位ユニット2が、該変位ユニット2に搭載されている圧電素子4の実際の変位量と前記センサ5の出力値との関係を表わす駆動特性を記憶した記憶手段6を有し、前記制御ユニット3が、前記センサ5からの出力値と、前記記憶手段6に記憶されている駆動特性とに基づいて、前記圧電素子4を制御することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 圧電素子4と該圧電素子4の変位量を検出するセンサ5とを有する、少なくとも一つの変位ユニット2と、該変位ユニット2に取り外し可能に接続され、前記圧電素子4を制御する制御ユニット3とを備え、前記変位ユニット2が、該変位ユニット2に搭載されている圧電素子4の実際の変位量と前記センサ5の出力値との関係を表わす駆動特性を記憶した記憶手段6を有し、前記制御ユニット3が、前記センサ5からの出力値と、前記記憶手段6に記憶されている駆動特性とに基づいて、前記圧電素子4を制御することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電素子の変位量を制御するのに用いて好適な駆動・制御装置に関するものである。
近年、カメラなどの光学機器の小型化、高精度化が進み、その組立時等において、微小、かつ高精度な位置制御を行う必要性が高まってきている。この種の制御装置においては、圧電素子を用いたものが知られている。圧電素子は、印加電圧にほぼ比例した変位量が得られるのに加え、変位分解能がナノメートルオーダと非常に微小であることや、数十から数百Nという大きな力量が得られるといった種々の利点を有していることから、今日では各種機器の組立装置、測定装置または調整設備等の様々な装置に使用されている。圧電素子を使用する際には、その変位量を正確に制御するため、センサなどで変位量を検知し、圧電素子の駆動量にフィードバックすることが一般的に行われる。
従来より、これら圧電素子の駆動と制御とを行う装置として以下のものが提案されている。すなわち、図4に示すように、位相補償器103aと積分要素103bとを備えた制御装置103に、印加電圧に応じて伸縮する電圧変位素子101と、その変位量を検出するセンサ102とが接続された構成とされている(例えば、特許文献1参照。)。このような構成のもと、電圧変位素子101に電圧を印加すると、その電圧変位素子101が伸縮させられ、その変位量がセンサ102によって検出される。そして、その検出された変位量が制御装置103にフィードバックされ、位相補償器103aと積分要素103bとによって適切な補償動作がなされる。その補償動作の結果が新たな電圧値とされ、それに応じた電圧が電圧変位素子101に印加される。これら一連のサイクルによって、電圧変位素子101の変位量の制御が行われる。
特開平05−46249号公報
しかしながら、故障時における修理、交換の便宜等の理由から、変位ユニットと制御ユニットとは取り外し可能に接続する要請があるが、上記のような構成では、測定装置などに取り付けられた変位ユニットを交換すると、印加する電圧の指示値が同じであっても、交換の前後で圧電素子の変位量が変化してしまうおそれがある。なぜなら、個々のセンサの感度バラツキや直線性のバラツキ、圧電素子とセンサの取付位置のバラツキ等が発生することがあるからである。
そのため、特に変位量の絶対値精度が必要な測定装置の場合は、交換後にレーザ測長器などで変位の指示値と実際の変位量とを測定し、これら測定値に基づいて指示値を補正する必要があった。
そのため、特に変位量の絶対値精度が必要な測定装置の場合は、交換後にレーザ測長器などで変位の指示値と実際の変位量とを測定し、これら測定値に基づいて指示値を補正する必要があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、変位ユニットを交換しても、指示値に対する圧電素子の変位量を変化させることなく、各ユニット間の互換性が確保された駆動・制御装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
請求項1に係る発明は、圧電素子と該圧電素子の変位量を検出するセンサとを有する、少なくとも一つの変位ユニットと、該変位ユニットに取り外し可能に接続され、前記圧電素子を制御する制御ユニットとを備え、前記変位ユニットが、該変位ユニットに搭載されている圧電素子の実際の変位量と前記センサの出力値との関係を表わす駆動特性を記憶した記憶手段を有し、前記制御ユニットが、前記センサからの出力値と、前記記憶手段に記憶されている駆動特性とに基づいて、前記圧電素子を制御することを特徴とする。
請求項1に係る発明は、圧電素子と該圧電素子の変位量を検出するセンサとを有する、少なくとも一つの変位ユニットと、該変位ユニットに取り外し可能に接続され、前記圧電素子を制御する制御ユニットとを備え、前記変位ユニットが、該変位ユニットに搭載されている圧電素子の実際の変位量と前記センサの出力値との関係を表わす駆動特性を記憶した記憶手段を有し、前記制御ユニットが、前記センサからの出力値と、前記記憶手段に記憶されている駆動特性とに基づいて、前記圧電素子を制御することを特徴とする。
この発明に係る駆動・制御装置によれば、圧電素子に電圧を印加することによりその圧電素子が変位し、その変位量が、センサによって検出され、制御ユニットにフィードバックされる。さらに、前記制御ユニットにより、前記圧電素子の変位量と前記センサの出力値との関係を表わす駆動特性値が前記記憶手段から読み出される。そして、これら個々の駆動特性と、前記フィードバックされたセンサからの出力値とに基づいて、前記制御ユニットによって前記圧電素子の変位量が制御される。
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の駆動・制御装置において、前記制御ユニットが、前記センサからの出力値と前記駆動特性とに基づいて、前記圧電素子の実際の変位量を算出することを特徴とする。
この発明に係る駆動・制御装置によれば、前記制御ユニットにより、前記センサからの出力値と前記駆動特性とに基づいて、前記圧電素子の実際の変位量が算出される。
この発明に係る駆動・制御装置によれば、前記制御ユニットにより、前記センサからの出力値と前記駆動特性とに基づいて、前記圧電素子の実際の変位量が算出される。
本発明によれば、記憶手段に記憶された個々の駆動特性を使って、センサからの出力値を、圧電素子の実際の変位量に補正演算することによって、それぞれの変位ユニットと制御ユニットとの組み合わせに関係なく、指示値と変位量との関係を一定にすることができる。また、これにより、変位ユニットの交換によって指示値に対する変位量を変化させることなく、各ユニット間の互換性を確保することができる。さらに、交換後にレーザ側長器等により、測定、補正する必要がないため、交換に係る作業負担を軽減することができる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る駆動・制御装置について、図面を参照して説明する。
最初に、本発明の原理について説明する。
図1は、本発明の原理を示す説明図である。
図1において、符号1は駆動・制御部(駆動・制御装置)を示すものであり、駆動・制御部1は、変位ユニット部2と制御ユニット部3とを備えてなるものである。
変位ユニット部2は、電圧を印加することによって変位動作をする圧電素子4と、圧電素子4の変位量に比例した電気信号を出力するセンサ5と、圧電素子4の変位量とセンサ5の出力値との関係を表わす駆動特性を記憶する記憶手段6とを備えている。
駆動特性としては、あらかじめ温度・湿度・振動が適切に管理された環境のもとで、レーザ測長器などを使ってデータ取りした結果を元に算出された値などが用いられ、これが駆動特性値として記憶される。例えば、センサ5の感度バラツキや、圧電素子4とセンサ5との取付誤差のように、比較的直線性の高いバラツキ要因を補正するだけでなく、センサ5の直線性誤差をも補正できるようにするため、上記データ取りした結果を多項式に近似計算した場合の係数を抽出し、その係数を駆動特性値とする方法がある。または、変位範囲を微小領域に区切り、直線近似したときの区間範囲値と傾き、切片を駆動特性値としてもよい。
図1は、本発明の原理を示す説明図である。
図1において、符号1は駆動・制御部(駆動・制御装置)を示すものであり、駆動・制御部1は、変位ユニット部2と制御ユニット部3とを備えてなるものである。
変位ユニット部2は、電圧を印加することによって変位動作をする圧電素子4と、圧電素子4の変位量に比例した電気信号を出力するセンサ5と、圧電素子4の変位量とセンサ5の出力値との関係を表わす駆動特性を記憶する記憶手段6とを備えている。
駆動特性としては、あらかじめ温度・湿度・振動が適切に管理された環境のもとで、レーザ測長器などを使ってデータ取りした結果を元に算出された値などが用いられ、これが駆動特性値として記憶される。例えば、センサ5の感度バラツキや、圧電素子4とセンサ5との取付誤差のように、比較的直線性の高いバラツキ要因を補正するだけでなく、センサ5の直線性誤差をも補正できるようにするため、上記データ取りした結果を多項式に近似計算した場合の係数を抽出し、その係数を駆動特性値とする方法がある。または、変位範囲を微小領域に区切り、直線近似したときの区間範囲値と傾き、切片を駆動特性値としてもよい。
また、制御ユニット部3は、変位指示値が入力される変位指示値入力回路7と、記憶手段6に記憶された駆動特性に基づいてセンサ5からの出力値を補正演算する演算回路8と、変位指示値入力回路7からの出力信号と演算回路8からの出力信号との差分演算を行う差動アンプ回路9とを備えている。さらに、制御ユニット部3は、差動アンプ回路9の出力信号を増幅させる増幅回路10と、センサ5から制御ユニット3へのフィードバック制御が安定条件を満たすように位相補償を行う位相補償回路11と、圧電素子4に所定の電圧、電流を印加するドライブ回路12とを備えている。
このような構成のもと、圧電素子4の実際の変位量は、記憶手段6から読み出した前記駆動特性値を利用しセンサ5から出力された値を演算回路8で補正演算することによって算出され、これにより、圧電素子4の変位量が制御される。
このような構成のもと、圧電素子4の実際の変位量は、記憶手段6から読み出した前記駆動特性値を利用しセンサ5から出力された値を演算回路8で補正演算することによって算出され、これにより、圧電素子4の変位量が制御される。
すなわち、まず制御ユニット部3により、電源投入時などのタイミングで現在接続されている変位ユニット部2の記憶手段6から、圧電素子4の変位量とセンサ5の出力値との関係を表わす駆動特性値が読み出され、その駆動特性値が演算回路8の演算パラメータにセットされる。さらに、センサ5により、圧電素子4の状態に応じた信号が演算回路8に向けて出力され、演算回路8は、これら駆動特性値とセンサ5からの出力値とによって圧電素子4の実際の変位量を算出する。そして、この変位量についての信号を差動アンプ回路9に出力する。
また、上位コントローラからの指示が電圧、電流などの電気信号、または、通信によるデータ入力の形で、変位指示値入力回路7に与えられる。変位指示値入力回路7は、その指示値についての信号を差動アンプ回路9に向けて出力する。
また、上位コントローラからの指示が電圧、電流などの電気信号、または、通信によるデータ入力の形で、変位指示値入力回路7に与えられる。変位指示値入力回路7は、その指示値についての信号を差動アンプ回路9に向けて出力する。
差動アンプ回路9は、この変位指示値入力回路7からの出力値と、実際の変位量を示す演算回路8からの出力値の差を演算し、増幅回路10に向けて演算結果についての信号を出力する。その信号は、増幅回路10により増幅された後、位相補償回路11によって、フィードバックによる制御ループが安定条件を満たすように位相補償される。そして、位相補償回路11からの出力値に基づき、ドライブ回路12は所定の電圧を圧電素子4に印加する。これにより圧電素子4は現在の状態から変位し、その変位量はセンサ5によって検出される。
センサ5からの出力値は、上記と同様に、演算回路8により実際の変位量に補正演算された後、再び差動アンプ回路9に入力される。これら一連の動作が、差動アンプ回路9の出力が0、または、制御ループの設計値で決まる定常誤差分以下になるまで継続されることによって、圧電素子4の変位量が変位指示値になるよう制御される。
センサ5からの出力値は、上記と同様に、演算回路8により実際の変位量に補正演算された後、再び差動アンプ回路9に入力される。これら一連の動作が、差動アンプ回路9の出力が0、または、制御ループの設計値で決まる定常誤差分以下になるまで継続されることによって、圧電素子4の変位量が変位指示値になるよう制御される。
以上のように、変位ユニット部2に、圧電素子4の変位量とセンサ5の出力値との関係を表わす駆動特性値を格納する記憶手段6を設け、駆動・制御時に記憶手段6から読み出した駆動特性値を使って圧電素子4の実際の変位量に補正演算することによって、変位ユニット部2と制御ユニット部3との組み合わせによらず、指示値と変位量との関係を一定にすることができるため、変位ユニット部2の交換によって、指示値に対する変位量が変化することなく、互換性が確保される。
次に、本発明の第1の実施形態に係る駆動・制御装置について説明する。
本実施形態では、駆動・制御装置として、干渉計に適用した場合を例に挙げて説明する。
図2は、本実施形態に係る干渉計の概略構成図であり、ここではまず、この干渉計について概説する。
図2において、符号20は、被検面26の面形状を測定する干渉計を示している。干渉計20は、He−Neレーザ光を出射するレーザ光源21と、レーザ光源21からのレーザ光を集光し、数μm程度のピンホール(不図示)を備えるスペーシャルフィルタユニット22と、入射光をその入射方向によって透過または反射させるビームスプリッタ23と、発散光を平行光にするコリメータレンズ24とを備えている。
本実施形態では、駆動・制御装置として、干渉計に適用した場合を例に挙げて説明する。
図2は、本実施形態に係る干渉計の概略構成図であり、ここではまず、この干渉計について概説する。
図2において、符号20は、被検面26の面形状を測定する干渉計を示している。干渉計20は、He−Neレーザ光を出射するレーザ光源21と、レーザ光源21からのレーザ光を集光し、数μm程度のピンホール(不図示)を備えるスペーシャルフィルタユニット22と、入射光をその入射方向によって透過または反射させるビームスプリッタ23と、発散光を平行光にするコリメータレンズ24とを備えている。
さらに、干渉計20は、被検面26に対して十分に高い面精度を有し、干渉計測定の基準となる参照面25と、参照面25と被検面26とのそれぞれの反射光によって生じる干渉縞画像を結像させる結像レンズ27および撮像ユニット28と、干渉縞画像を取り込み、形状などの解析計算の実施と表示とを行うパソコン29とを備えている。これらの装置に、変位ユニット40と制御ユニット41とを備える本発明に係る駆動・制御装置35が組み込まれている。変位ユニット40には、前記参照面25が連結され、変位ユニット40の変位量に応じて、参照面25が移動されるようになっている。
そして、パソコン29からの指示に従って、制御ユニット41により、変位ユニット40の駆動、制御を行い、参照面25の移動を制御するようになっている。
そして、パソコン29からの指示に従って、制御ユニット41により、変位ユニット40の駆動、制御を行い、参照面25の移動を制御するようになっている。
このような構成のもと、レーザ光源21からレーザ光を出射させると、そのレーザ光は、スペーシャルフィルタユニット22に形成されたピンホールを通過させられ、発散光として、ビームスプリッタ23に入射させられる。そのレーザ光は、ビームスプリッタ23を透過し、コリメータレンズ24により平行光にさせられ、そのまま参照面25に到達し、その一部は参照面25によって反射させられる。一方、残りのレーザ光は参照面25を透過し、被検面26に到達する。被検面26に到達したレーザ光は、被検面26により反射させられ、参照面25に入射させられる。したがって、パソコン29から移動量を入力し、参照面25を適切な位置に移動させると、参照面25により反射させられたレーザ光と、被検面26により反射させられたレーザ光とが重ねられることによって、光の干渉が発生し、参照面25と被検面26の面形状の相違に相当する分が干渉縞として観察される。この干渉縞は、コリメータレンズ24、ビームスプリッタ23、結像レンズ27を介して、撮像ユニット28に結像させられる。そして、その干渉縞は、撮像ユニット28により電気信号に変換された後、パソコン29に干渉縞画像として取り込まれる。
これにより、例えば、フリンジスキャン法により、被検面26の形状が定量的に算出される。
これにより、例えば、フリンジスキャン法により、被検面26の形状が定量的に算出される。
続いて、本発明に係る駆動・制御装置35の構成について説明する。
図3は、本発明に係る駆動・制御装置35の第1の実施形態を示す概略構成図である。
図3において、駆動・制御装置35は、上述のように変位ユニット40と制御ユニット41とを備えてなるものである。
変位ユニット40は、印加電圧によって変位する圧電素子4と、圧電素子4の側面に接着固定され、圧電素子の変位に応じて抵抗値が変化するひずみゲージ(センサ)42と、制御ユニット41に接続するためのコネクタ44とを備えている。さらにこの変位ユニット40は、圧電素子4の変位量とひずみゲージ42の値の変化量との関係を格納した、電気的に読み書き可能な素子であるEEPROM(記憶手段)43を備えている。なお、圧電素子4には、図2に示す参照面25が連結されており、圧電素子4の変位に連動して参照面25が移動させられるようになっている。
図3は、本発明に係る駆動・制御装置35の第1の実施形態を示す概略構成図である。
図3において、駆動・制御装置35は、上述のように変位ユニット40と制御ユニット41とを備えてなるものである。
変位ユニット40は、印加電圧によって変位する圧電素子4と、圧電素子4の側面に接着固定され、圧電素子の変位に応じて抵抗値が変化するひずみゲージ(センサ)42と、制御ユニット41に接続するためのコネクタ44とを備えている。さらにこの変位ユニット40は、圧電素子4の変位量とひずみゲージ42の値の変化量との関係を格納した、電気的に読み書き可能な素子であるEEPROM(記憶手段)43を備えている。なお、圧電素子4には、図2に示す参照面25が連結されており、圧電素子4の変位に連動して参照面25が移動させられるようになっている。
また、前記制御ユニット41は、CPUユニット45を備えており、CPUユニット45は、ひずみゲージ42の出力値の補正演算機能、ひずみゲージ42の出力値と変位指示値との差動演算機能、および差動演算結果の増幅演算機能、位相補償演算機能を内包する。さらに、制御ユニット41は、ひずみゲージ42から出力される抵抗値変化を電圧信号に変換するブリッジ回路46と、ブリッジ回路46から出力される電圧信号を、CPUユニット45に入力するためにデジタル信号に変換するA/Dコンバータ47と、CPUユニット45の処理結果をアナログ信号に変換するD/Aコンバータ48と、圧電素子4の駆動に必要な電圧、電流を供給するドライブ回路49と、変位ユニット40に接続するためのコネクタ50とを備えている。
なお、符号51は、変位量の指示値を出力する上位コントローラを示すものである。
これら変位ユニット40と制御ユニット41とは、コネクタ44,50を介して、それぞれ取り外し可能に接続されている。
なお、符号51は、変位量の指示値を出力する上位コントローラを示すものである。
これら変位ユニット40と制御ユニット41とは、コネクタ44,50を介して、それぞれ取り外し可能に接続されている。
ここで、圧電素子4の実際の変位量は、ひずみゲージ42の抵抗値変化をブリッジ回路46により電圧変換することにより得られるため、ブリッジ回路46のゲイン、オフセットは標準抵抗器を使用してあらかじめ調整しておくことにより、ブリッジ回路46の持つゲイン、オフセットのバラツキは、圧電素子4の変位量検出値に影響しないようになっている。圧電素子4の変位量に対するひずみゲージ42の抵抗値変化のバラツキ要因には、ひずみゲージ42自体のゲージ率(変位量に対する検出感度)のバラツキ、圧電素子4にひずみゲージ42を接着固定する際の傾き成分によるバラツキ、ひずみゲージ42の変位量に対する抵抗値変化が直線性誤差を持つことによるバラツキなどが挙げられる。特に直線性誤差に関わる部分を精度よく補正するため、EEPROM43には、圧電素子4の変位量に対するひずみゲージ42の出力値との関係を多項式に近似計算した場合の各係数、または、変位範囲を微小領域に区切って直線近似したときの区間範囲値と傾き、切片等の駆動特性値が格納されている。
次に、このように構成された本実施形態に係る駆動・制御装置35の作用について説明する。
上述のように、干渉計20において、被検面26の形状を測定するためには、被検面26および参照面25によって反射させられる各反射光が重ねられることによって生じる干渉縞を、撮像ユニット28に結像させ、それを干渉縞画像として取り込む必要がある。そして、光の干渉を起こさせるために、参照面25の移動制御が必要となり、そのためには圧電素子4の変位量の高精度な制御が必要となる。また、変位ユニット40を交換した際に、パソコン29からの変位指示値と、圧電素子4の変位量とが誤差により一致しない場合があるが、本実施形態に係る駆動・制御部1においては、以下のようにしてその変位量が制御される。
上述のように、干渉計20において、被検面26の形状を測定するためには、被検面26および参照面25によって反射させられる各反射光が重ねられることによって生じる干渉縞を、撮像ユニット28に結像させ、それを干渉縞画像として取り込む必要がある。そして、光の干渉を起こさせるために、参照面25の移動制御が必要となり、そのためには圧電素子4の変位量の高精度な制御が必要となる。また、変位ユニット40を交換した際に、パソコン29からの変位指示値と、圧電素子4の変位量とが誤差により一致しない場合があるが、本実施形態に係る駆動・制御部1においては、以下のようにしてその変位量が制御される。
すなわち、操作者が、電源をONにするか、またはパソコン29に参照面25の移動量および移動指示を入力すると、電源投入時等のリセットタイミング、または上位コントローラ51からの指示により、CPUユニット45が、EEPROM43から圧電素子4の変位量に対するひずみゲージ42の信号出力値の関係を示す駆動特性値を読み出す。そして、CPUユニット45は、圧電素子4の実際の変位量を得るため、ひずみゲージ42からの抵抗値変化の出力値を変換させたブリッジ回路46からの電圧出力値をA/Dコンバータ47を介してデジタル変換し、その変換後のデジタル信号を取り込む。取り込み後、EEPROM43から読み込んだ駆動特性値を用いて補正演算をすることにより、圧電素子4の実際の変位量が算出される。
また、上位コントローラ51から、RS232C等の通信手段を経由して、変位量の指示値がCPUユニット45に与えられると、CPUユニット45は、実際の変位量と上位コントローラ51から受信した変位量との差分を算出し、所定の増幅を行う。なお、CPUユニット45が、上位コントローラ51からの指示値があらかじめ設定された変位範囲の場合のみ、差分演算および増幅演算を行うようにすることで、変位制御のリミット動作(非線形制御)が可能になる。
そして、所定の増幅演算を行った後、CPUユニット45は、フィードバックによる制御ループが安定条件を満たすように、位相補償演算を行う。なお、位相補償演算のパラメータによって、変位動作の過渡特性、周波数応答性や定常誤差量を変化させることができるため、CPUユニット45が、使用目的や変位ユニット40に取り付けられた負荷状況に対応して、または上位コントローラ51からの指示によって、パラメータを切り換えることにより、位相補償の適応範囲をより広げることが可能になる。
そして、所定の増幅演算を行った後、CPUユニット45は、フィードバックによる制御ループが安定条件を満たすように、位相補償演算を行う。なお、位相補償演算のパラメータによって、変位動作の過渡特性、周波数応答性や定常誤差量を変化させることができるため、CPUユニット45が、使用目的や変位ユニット40に取り付けられた負荷状況に対応して、または上位コントローラ51からの指示によって、パラメータを切り換えることにより、位相補償の適応範囲をより広げることが可能になる。
上述のCPUユニット45による位相補償の演算結果は、D/Aコンバータ48により電圧信号に変換された後、ドライブ回路49によって、所定の電圧が圧電素子4に印加される。これによって、圧電素子4は現在の状態から変位し、その変位量はひずみゲージ42の抵抗値変化として検出される。ひずみゲージ42の抵抗値変化は、前記と同様に、ブリッジ回路46によって電圧信号に変換された後、A/Dコンバータ47を経由して、CPUユニット45に再び入力され、補正演算によって実際の変位量に変換される。
これら一連の動作が、CPUユニット45の差分演算結果が0、または所定の範囲以下になるまで継続されることにより、上位コントローラ51からの指示値が、圧電素子4の実際の変位量と一致するように制御される。
これら一連の動作が、CPUユニット45の差分演算結果が0、または所定の範囲以下になるまで継続されることにより、上位コントローラ51からの指示値が、圧電素子4の実際の変位量と一致するように制御される。
これにより、制御ユニット41から変位ユニット40を取り外し、別の変位ユニット40を接続した場合でも、その別の変位ユニット40に設けられたEEPROM43に格納された駆動特性値を読み出して、上記のように補正演算をすることにより、変位ユニット40と制御ユニット41との組み合わせに関係なく、圧電素子4の実際の変位量が算出される。
また、そのため、図2に示す参照面25の移動が高精度に制御され、撮像ユニット28に結像させた干渉縞の適正な画像がパソコン29に取り込まれるとともに、被検面26の面形状が正確に測定される。
また、そのため、図2に示す参照面25の移動が高精度に制御され、撮像ユニット28に結像させた干渉縞の適正な画像がパソコン29に取り込まれるとともに、被検面26の面形状が正確に測定される。
以上より、本実施形態に係る駆動・制御装置35によれば、変位ユニット40の駆動に必要な特性値の記憶手段を設けることにより、変位ユニット40の交換によって、指示値に対する圧電素子4の変位量を変化させることなく、各ユニット間の互換性を確保することができる。
また、CPUユニット45を搭載することにより、変位範囲の制限といった非線形制御や、使用目的、使用状況に合わせた位相補償パラメータの変更が可能になり、各種条件に応じて、より広い範囲で適応させることができる。
さらに、変位ユニット40を交換することによって生じる誤差を、交換後にレーザ側長器等により測定、補正する必要がないため、交換に係る作業負担を軽減することができる。
また、CPUユニット45を搭載することにより、変位範囲の制限といった非線形制御や、使用目的、使用状況に合わせた位相補償パラメータの変更が可能になり、各種条件に応じて、より広い範囲で適応させることができる。
さらに、変位ユニット40を交換することによって生じる誤差を、交換後にレーザ側長器等により測定、補正する必要がないため、交換に係る作業負担を軽減することができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
本実施形態においては、上記実施形態と基本的構成が同一であるため、図3を参照して説明する。
本実施形態は、特にEEPROM43に、前記駆動特性値のみならず、例えば、駆動最大電圧や共振周波数等の圧電素子4の電気的、機械的な特性値、および動作回数や動作時間等の変位ユニット40の動作寿命に関する値をも記憶させ、これらの値を、装置使用時に使用するようにした点で上述した第1の実施形態と相違した構成とするものである。
すなわち、CPUユニット45による差分演算、増幅演算、位相補償演算によって算出された圧電素子4への印加電圧が、EEPROM43から読み出した駆動最大電圧を超えた場合は、異常とみなして、圧電素子4の電圧印加を中止し、上位コントローラ51へ異常発生状態を送信する。
本実施形態においては、上記実施形態と基本的構成が同一であるため、図3を参照して説明する。
本実施形態は、特にEEPROM43に、前記駆動特性値のみならず、例えば、駆動最大電圧や共振周波数等の圧電素子4の電気的、機械的な特性値、および動作回数や動作時間等の変位ユニット40の動作寿命に関する値をも記憶させ、これらの値を、装置使用時に使用するようにした点で上述した第1の実施形態と相違した構成とするものである。
すなわち、CPUユニット45による差分演算、増幅演算、位相補償演算によって算出された圧電素子4への印加電圧が、EEPROM43から読み出した駆動最大電圧を超えた場合は、異常とみなして、圧電素子4の電圧印加を中止し、上位コントローラ51へ異常発生状態を送信する。
また、周波数特性をより高くするような位相補償パラメータが指定された結果、変位制御のフィードバックループの周波数応答性が圧電素子4の共振周波数の影響を受けてしまう場合があり、最悪の場合、圧電素子4が機械的に破壊してしまう。そこで、位相補償パラメータ変更の結果、フィードバックループの周波数応答性があらかじめ設定された範囲、または比率を超えた場合、異常とみなして、位相補償パラメータの変更を中止し、上位コントローラへ異常発生状態を送信する。
さらに、ひずみゲージ42には、伸縮による機械寿命があるため、動作回数の累計をEEPROM43に記憶させておくことにより、制御ユニット41が、読み出した累計値に、動作のたびに所定の値を加算し、所定の回数を超えた場合、変位ユニット40の寿命である旨を上位コントローラ51に送信する。
さらに、ひずみゲージ42には、伸縮による機械寿命があるため、動作回数の累計をEEPROM43に記憶させておくことにより、制御ユニット41が、読み出した累計値に、動作のたびに所定の値を加算し、所定の回数を超えた場合、変位ユニット40の寿命である旨を上位コントローラ51に送信する。
以上より、本実施形態によれば、EEPROM43に、駆動特性値のみならず、圧電素子4の電気的、機械的な特性値および変位ユニット40の動作寿命に関する値を記憶し、装置使用時にこれらの値を使用することにより、変位ユニット40と制御ユニット41との組み合わせを変更した際のパラメータ設定間違いによる破損防止や、変位ユニット40の交換時期を確実に管理できるなど、安全性と使い勝手を向上させることができる。
なお、上記実施形態では、記憶手段6としてEEPROM43としたが、これに限ることはなく、電気的に読み書き可能な素子、例えば、フラッシュROM等であってもよい。
また、干渉計20としたが、これに限ることはなく、様々な装置に適用できることは言うまでもない。
なお、上記実施形態では、記憶手段6としてEEPROM43としたが、これに限ることはなく、電気的に読み書き可能な素子、例えば、フラッシュROM等であってもよい。
また、干渉計20としたが、これに限ることはなく、様々な装置に適用できることは言うまでもない。
1 駆動・制御部(駆動・制御装置)
2 変位ユニット部(変位ユニット)
3 制御ユニット部(制御ユニット)
4 圧電素子
5 センサ
6 記憶手段
35 駆動・制御装置
40 変位ユニット
41 制御ユニット
42 ひずみゲージ(センサ)
43 EEPROM(記憶手段)
2 変位ユニット部(変位ユニット)
3 制御ユニット部(制御ユニット)
4 圧電素子
5 センサ
6 記憶手段
35 駆動・制御装置
40 変位ユニット
41 制御ユニット
42 ひずみゲージ(センサ)
43 EEPROM(記憶手段)
Claims (2)
- 圧電素子と該圧電素子の変位量を検出するセンサとを有する、少なくとも一つの変位ユニットと、該変位ユニットに取り外し可能に接続され、前記圧電素子を制御する制御ユニットとを備え、
前記変位ユニットが、該変位ユニットに搭載されている圧電素子の実際の変位量と前記センサの出力値との関係を表わす駆動特性を記憶した記憶手段を有し、前記制御ユニットが、前記センサからの出力値と、前記記憶手段に記憶されている駆動特性とに基づいて、前記圧電素子を制御することを特徴とする駆動・制御装置。 - 前記制御ユニットが、前記センサからの出力値と前記駆動特性とに基づいて、前記圧電素子の実際の変位量を算出することを特徴とする請求項1に記載の駆動・制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003307762A JP2005078364A (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 駆動・制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003307762A JP2005078364A (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 駆動・制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005078364A true JP2005078364A (ja) | 2005-03-24 |
Family
ID=34410455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003307762A Withdrawn JP2005078364A (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 駆動・制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005078364A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107688292A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-02-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
-
2003
- 2003-08-29 JP JP2003307762A patent/JP2005078364A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107688292A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-02-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
CN107688292B (zh) * | 2017-08-28 | 2020-11-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
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