JP2005071746A - 電子顕微鏡用撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シンチレータ9と光信号を電気信号に変換する変換デバイス11から成る電子線検出器8を用いた電子顕微鏡用撮像装置において、前記電子線検出器8は、前記シンチレータ9と前記変換デバイス11の間に、前記シンチレータ9に電子線が照射されることにより発光したシンチレータ9からの光を部分的に遮蔽及び減光を行う光学デバイス14を有し、更に前記光学デバイス14を制御して光の部分的な遮蔽及び減光を行う駆動制御装置15を有する。
【選択図】 図1
Description
2 電子銃
3 照射レンズ
4 偏向コイル
5 対物レンズ
6 試料
7 投影レンズ
8 電子線検出器
9 シンチレータ
10 ライトガイド
11 光信号を電気信号に変換する変換デバイス(光電子増倍管)
12 電子線走査駆動装置
14 光学デバイス(液晶素子)
15 駆動制御用PC
16 光学レンズ
17 ダイアゴナルプリズム
18 オプティカルファイバプレート
19 光学ズームレンズ
20 ダイアゴナルミラー
21 光学レンズ系駆動装置
Claims (8)
- シンチレータと光信号を電気信号に変換する変換デバイスから成る電子線検出器を用いた電子顕微鏡用撮像装置であって、
前記電子線検出器は、前記シンチレータと前記変換デバイスとの間に、前記シンチレータに電子線が照射されることにより発光したシンチレータからの光を部分的に遮蔽及び減光を行う光学デバイスを有し、
更に前記光学デバイスを制御して光の部分的な遮蔽及び減光を行う駆動制御装置を有することを特徴とする電子顕微鏡用撮像装置。 - 前記シンチレータの光を前記変換デバイスに導くための光学レンズ系を更に有することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記駆動制御装置により前記光学レンズ系の駆動も制御することを特徴とする請求項2に記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記光学デバイスは、光の部分的な遮蔽及び減光をパターン状に行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記パターンが同心円状又は格子状であることを特徴とする請求項4に記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記光学デバイスを複数有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記光学デバイスが、液晶素子であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の電子顕微鏡用撮像装置。
- 前記光信号を電気信号に変換する変換デバイスが、光電子増倍管であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の電子顕微鏡用撮像装置。
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