JP2005067047A - インクジェットプリンターヘッドとその製造方法及びノズル一体圧力室成形用金型 - Google Patents
インクジェットプリンターヘッドとその製造方法及びノズル一体圧力室成形用金型 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のインクジェットプリンターヘッドは、インクを収納するための圧力室(52)と、圧力室(52)からインクを吐出するノズル部(53)を含む基板(51)と、圧力室(52)に振動を与える圧力印加板(54)とを含むインクジェットプリンターヘッドであって、基板(51)はガラスで圧力室(52)とノズル部(53)が一体成形されており、ノズル部(53)は研磨によって貫通孔が形成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施例1のインクジェットプリンターヘッドノズル一体圧力室基板の製造方法を図1(a)〜(d)、図2(a)〜(b)及び図3(a)〜図6(b)を用いて説明する。図1(a)〜(d)は本発明の概略工程図を示し、図2(a)〜(b)は本発明の1実施例に用いた成形装置の概略図を示し、図3(a)〜図6(b)は本発明の1実施例の各成形工程での状態図を示したものである。
そして、金型全体をガイド24に沿って、予熱ステージ25に搬送し、予備加熱を行い500℃まで加熱した。(図3(b))
続いて、550℃以上の温度に保持したプレスステージ26へそのまま搬送し(図4(a))、全体が550℃以上の温度になるまで加熱し、プレスシリンダー28を下方に降ろし、ノズル一体圧力室成形用金型21が成形用素材23に接するところで、さらに、成形用素材23の表面が550℃以上の温度になるまで加熱した。この時、ノズル一体圧力室成形用金型21には、図1で示したノズル一体圧力室に相当する突起形状の高さよりも周辺部分が高い突起あるいは段差部分17を形成しているので、成形時にガラスからなる成形用素材23に直接ノズル一体圧力室に相当する突起形状の先端が衝突することがないので、金型の破損が防止できた(図4(b))。
本発明の実施例2のインクジェットプリンターヘッドノズル一体圧力室基板の製造方法を図1〜図6を用いて説明する。
そして、金型全体をガイド24に沿って、予熱ステージ25に搬送し、予備加熱を行い400℃まで加熱した。(図3(b))
続いて、460℃以上の温度に保持したプレスステージ26へそのまま搬送し(図4(a))、全体が460℃以上の温度になるまで加熱し、プレスシリンダー28を下方に降ろし、ノズル一体圧力室成形用金型21が成形用素材23に接するところで、さらに、成形用素材23の表面が460℃以上の温度になるまで加熱した。この時、ノズル一体圧力室成形用金型21には、図1で示したノズル一体圧力室に相当する突起形状の高さよりも周辺部分が高い突起あるいは段差部分17を形成しているので、成形時にガラスからなる成形用素材23に直接ノズル一体圧力室に相当する突起形状の先端が衝突することがないので、金型の破損が防止できた(図4(b))。
12,23 成形用素材
13,22 ガラスからなる成形用素材をはめ込める窪みを設けた金型
14 離型剤
15 圧力室に相当する突起
16 ノズルに相当する突起
17 ノズル一体圧力室に相当する突起より高さの高い突起
18 研磨する面
19 形成されたノズル一体圧力室のノズル部
24 ガイド
25 予熱ステージ
26 プレスステージ
27 冷却ステージ
28 プレスシリンダー
29 入り口シャッター
210 出口シャッター
211 チャンバー
212 ガス導入口
41 製造したノズル一体圧力室基板
42 圧力室
43,53,65 ノズル
51 ノズル一体圧力室基板
52,64 圧力室
54,63 圧力印加板
61 圧力室基板
62 ノズル板
Claims (4)
- インクを収納するための圧力室と、前記圧力室からインクを吐出するノズル部を含む基板と、前記圧力室に振動を与える圧力印加板とを含むインクジェットプリンターヘッドであって、
前記基板はガラスで圧力室とノズルが一体成形されており、前記ノズル部は研磨によって貫通孔が形成されていることを特徴とするインクジェットプリンターヘッド。 - インクを収納するための圧力室と、前記圧力室からインクを吐出するノズル部を含む基板と、前記圧力室に振動を与える圧力印加板とを含むインクジェットプリンターヘッドの製造方法であって、
ガラスからなる成形用素材をはめ込める窪みを設けた金型上に、表面に離型剤を形成したガラスからなる成形用素材を載せ、
全体を加熱し、ノズル一体圧力室に相当する突起形状を有するノズル一体圧力室成形用金型により、完全に貫通させず、裏面が残るようになるまでプレス成形し、成形用素材にノズル一体圧力室成形用金型の突起形状を転写した後、
前記成形されたガラスが冷却する前にノズル一体圧力室成形用金型を離型し、
冷却後、前記離型剤を除去し、
次に、成形されたガラスの裏面を研磨してノズル部分のみを貫通させ、ノズル一体型圧力室基板を作製し、
前記圧力室上に圧力印加板を形成することを特徴とするインクジェットプリンターヘッドの製造方法。 - インクを収納するための圧力室と、前記圧力室からインクを吐出するノズル部を含む基板と、前記圧力室に振動を与える圧力印加板とを含むインクジェットプリンターヘッドの製造方法であって、
ガラスからなる成形用素材をはめ込める窪みを設けた金型上に、ガラスからなる成形用素材を載せ、
全体を加熱し、
ガラスとの濡れ性が悪く、高温時に離型できる離型膜を形成したノズル一体圧力室に相当する突起形状を有するノズル一体圧力室成形用金型により、完全に貫通させず、裏面が残るようになるまでプレス成形し、成形用素材にノズル一体圧力室成形用金型の突起形状を転写した後、
前記成形されたガラスが冷却する前にノズル一体圧力室成形用金型を離型し、
冷却後、成形されたガラスの裏面を研磨してノズル部分のみを貫通させ、ノズル一体圧力室基板を作製し、
前記圧力室上に圧力印加板を形成することを特徴とするインクジェットプリンターヘッドの製造方法。 - 請求項2または3に記載の製造方法に使用する金型であって、
ノズル一体圧力室に相当する突起形状の高さよりも周辺部分が高い突起あるいは段差部分を有することを特徴とするインクジェットプリンターヘッドノズル一体圧力室成形用金型。
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