JP2005066692A - 急冷凝固金属薄体の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】溶解炉を収納するような大きな真空室を格別に必要とせず、小ロットから大量生産まで対応可能で、かつ精度の高い金属薄体を得ることができる急冷凝固薄体の製造方法を提供する。
【解決手段】 合金原料を、シリンダ（１）の一方の端部に供給し、そしてシリンダ内に設けられているスクリュ（２）を回転駆動して他方の端部へ移送しながら、シリンダの外部から加えられる熱と、スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程と、前記溶融工程で得られた溶融合金原料をノズル装置（１０）の蓄積室（１４）蓄積する蓄積工程と、前記蓄積室（１４）に蓄積された溶融合金原料を不活性ガスの圧力またはプランジャにより、ノズル装置（１０）の絞り部（１５）を介して高速回転している冷却ロール（２０）の表面上に押し出す押出工程とから金属薄体を製造する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、合金原料を溶融する溶融工程と、溶融された溶融合金原料を蓄積する蓄積工程と、蓄積された溶融合金原料を冷却ロールに向けて押し出す押出工程とからなる急冷凝固金属薄体の製造方法およびこの製造方法の実施に使用される製造装置に関するものである。

合金の急冷凝固薄体は、ストリップキャスト方式あるいはメルトスパン方式により製造されている。前者のストリップキャスト方式の実施に使用される製造装置が図３に示されている。この製造装置は、外周部に温度コントロールされる加熱手段５１を備えた溶解炉５０、溶解炉５０で溶解された溶解合金原料の流れを整流するタンデイッシュ５２、水冷により冷却され高速で回転駆動される冷却ロール５３等からなっている。そして、これらは真空容器５４内に配置されている。この真空容器５４は、空気ポンプのよう排気装置５５により減圧され、冷却ロール５３により製造される急冷凝固薄帯Ｓ’は、回収室５６に回収されるようになっている。この回収室５６は、効率よく急冷凝固薄帯Ｓ’を回収するために、大気に開放される。

ストリップキャスト方式の製造装置は、上記のように構成されているので、次のようにして薄帯Ｓ’を製造することができる。すなわち、目的のインゴットを溶解炉５０に入れておく。真空容器５４を密閉し、排気装置５５により所定の圧力になるまで減圧する。そして、温度コントローラにより外部加熱手段５１とタンデイッシュ５２の加熱温度を設定し、溶解炉５０とタンデイッシュ５２の加熱を開始する。インゴットが溶解したら、冷却ロール５３を始動する。そして、溶解炉５０を傾け、タンデイッシュ５２に注湯する。タンデイッシュ５２に注湯された溶解合金原料は、波立ちが抑えられ、整流されて一定の速度で冷却ロール５３の表面に供給される。溶解合金原料は、冷却ロール５３により瞬時に冷却され、所定の厚さの急冷凝固薄帯Ｓ’となり、回収室５６に蓄積されていく。溶解炉５０中の溶解合金原料が全て放出された後に、加熱手段５１は停止されるが、高温状体の溶解炉５０とタンデイッシュ５２の冷却は遅れる。そこで、回収室５６を大気に開放して冷却し、急冷凝固薄帯Ｓ７を回収する。そして、溶解炉５０とタンデイッシュ５２の冷却が確認されたら、真空容器５４内を大気に開放し、次の製造に備える。

特許文献１には、溶融金属を射出する射出ノズル、雰囲気ガス噴出ノズル、噴出ガスの濃度を測定するセンサ、制御装置、冷却ロール等からなる急冷凝固合金薄帯の製造装置が示されている。
特開平５−２３８００号公報

従来のストリップキャスト方式によると、上記のように、インゴットの溶解炉への挿入、真空室の減圧、インゴットの溶解、溶解された溶湯の放出、溶解炉とタンデイッシュ内に付着している溶解合金が酸化しない温度に下がるまでの待機時間、再セットという手順を踏む必要があるので、バッチ式になることが避けられない。そのために、多量の急冷凝固合金薄帯を製造しようとすると、溶解炉の容量、溶解炉の加熱手段、真空容器等が大型化してしまう。装置が大型化すると、装置と共に製品のコストアップになる。このようにコストアップになる装置の大型化を避け、小さな装置で製造しようとすると、バッチ数が多くなり製造サイクルタイムは長くなり、生産性が落ちるという別の問題が生じる。

特許文献１に記載されている製造装置によると、射出ノズル近傍が所定組成のガス雰囲気に保持されるので、表面性状に優れた急冷凝固合金薄帯が得られるとしても、溶融合金を得る方法が説明されていないので不明であるが、インゴットの溶解に問題があると考えられる。また、合金原料がシリンダとスクリュとからなる射出機により溶解され、そしてシリンダの先端部に設けられている射出ノズルから射出されるようになっているとすると、高速回転している冷却ロールにはシリンダの射出ノズルから直接射出されるので、溶融合金の均一な射出が期待できない恐れもある。

本発明は、上記したような従来の問題点あるいは欠点を解決した急冷凝固金属薄体の製造方法および製造装置を提供しようとするもので、具体的には比較的小さな設備で、すなわつ従来の溶解炉を収納するような大きな真空容器を格別に必要とせず、小ロットから大量生産まで対応可能で、精度の高い金属薄体を得ることができる、急冷凝固金属薄体の製造方法およびこの方法の実施に使用される急冷凝固金属薄体の製造装置を提供することを目的としている。

本発明は、上記目的を達成するために、合金原料にはインゴットに代えてチップ状の合金原料が適用される。このようなチップ状の合金原料は、インゴットをチッピングマシンでチップ化して得ることができる。あるいは切削マシンで得られる切削片を利用することもできる。これらの方法により得られる合金原料は、比較的薄くて長いので、シリンダ内で先端部から容易に溶融する。本発明は、上記のような合金原料は、シリンダと、このシリンダ内に軸方向と回転方向と駆動可能に設けられているスクリュとからなる射出機、あるいはシリンダと、このシリンダ内に回転方向に駆動可能に設けられているスクリュとからなる押出機のような、シリンダとスクリュとからなる合金原料溶融装置に供給される。シリンダに供給されるチップ状の合金原料は、シリンダの外周部に設けられている加熱手段から加えられる熱と、スクリュの回転による摩擦力、剪断力等により生じる熱とにより溶融される。このようにシリンダ内で溶融されるので、合金原料の酸化の問題が大幅に解決され、合金原料の溶融に関しては真空容器は不要となる。また、本発明は前記目的を達成するために、ノズル装置も適用される。このノズル装置に、合金原料溶融装置で溶融された溶融合金原料が蓄積され、そして窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス４あるいは機械的なプランジャで冷却ロールに向けて押し出される。これにより、均一な押出が可能となり、高精度の急冷凝固金属薄体が得られる。このようにして、請求項１に記載の発明は、上記目的を達成するために、合金原料を、シリンダの一方の端部に供給し、そして前記シリンダ内に設けられているスクリュを回転駆動して他方の端部へ移送しながら、前記シリンダの外部から加えられる熱と、前記スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程と、前記溶融工程で得られた溶融合金原料を、ガス室と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のガス室に不活性ガスを供給して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とから構成される。請求項２に記載の発明は、合金原料を、シリンダの一方の端部に供給し、そして前記シリンダ内に設けられているスクリュを回転駆動して他方の端部へ移送しながら、前記シリンダの外部から加えられる熱と、前記スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程と、前記溶融工程で得られた溶融合金原料を、プランジャが設けられるシリンダ部と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のプランジャを駆動して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とから構成される。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の製造方法において、溶融工程の実施中に原料供給側からシリンダ内に不活性ガスを供給するように構成され、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかの項に記載の製造方法において、蓄積工程後にノズル装置のシリンダに連通した開口部を、加熱可能なシャットオフピンにより一旦閉鎖するように構成される。
請求項５に記載の発明は、その外周部に加熱手段が設けられているシリンダと、該シリンダ内に回転駆動可能に設けられているスクリュとからなり、前記シリンダの一方の端部が合金原料供給口に、そして他方の端部が溶融合金原料の排出ノズルとなっている合金原料溶融装置と、前記合金原料溶融装置で溶融される溶融合金原料が冷却ロールに向けて押し出されるノズル装置とからなり、前記ノズル装置は、溶融合金原料が蓄積される蓄積部と、蓄積される溶融合金原料が押し出される絞り部と、蓄積される溶融合金原料にガス圧が印加されるガス室からなり、前記ガス室と、蓄積部と、絞り部は実質的に垂直状に一線状に配置されるように構成される。請求項６に記載の発明は、その外周部に加熱手段が設けられているシリンダと、該シリンダ内に回転駆動可能に設けられているスクリュとからなり、前記シリンダの一方の端部が合金原料供給口に、そして他方の端部が溶融合金原料の排出ノズルとなっている合金原料溶融装置と、前記合金原料溶融部で溶融される溶融合金原料が冷却ロールに向けて押し出されるノズル装置とからなり、前記ノズル装置は、溶融合金原料が蓄積される蓄積部と、蓄積される溶融合金原料が押し出される絞り部と、蓄積される溶融合金原料を前記ノズル部から押し出すためのプランジャが設けられるシリンダ部からなり、前記シリンダ部と、蓄積部と、絞り部は実質的に垂直状に一線状に配置されるように構成され、請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の製造装置において、ノズル装置のシリンダに連通した開口部には、該開口部を開閉する加熱可能なシャットオフピンが設けられ、そして請求項８に記載の発明は、請求項５〜７のいずれかの項に記載の製造装置において、合金原料供給口の近傍には、不活性ガス導入口が設けられるように構成される。

以上のように、本発明によると、合金原料をシリンダの一方の端部に供給し、そして前記シリンダ内に設けられているスクリュを回転駆動して他方の端部へ移送しながら、前記シリンダの外部から加えられる熱と、前記スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程を備えているので、換言すると、溶融工程がシリンダと該シリンダ内に設けられているスクリュとにより実施するので、真空容器のような大きな装置を使用することなく、合金原料を溶融することができる。したがって、小さな装置で安価に金属薄体を得ることができる。また、溶融工程で得られた溶融合金原料を、ガス室と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のガス室に不活性ガスを供給して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とを備えているので、すなわちガス室と、蓄積部と、絞り部は実質的に垂直状に一線状に配置されているので、重力は蓄積部の溶融合金原料に均一に作用し、また不活性ガスの圧力も均一に作用し、そして絞り部から均一に冷却ロールに押し出される。したがって、精度の高い急冷凝固薄体が得られる。また、他の発明によると、溶融工程で得られた溶融合金原料は、プランジャが設けられるシリンダ部と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のプランジャを駆動して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とを備えているので、すなわちプランジャが設けられるシリンダ部と蓄積部と絞り部は、実質的に垂直状に一線状に配置され、そしてプランジャは垂直方向に駆動されるので、重力と共にプランジャも溶融合金原料に均一に作用し、高精度の急冷凝固薄体が得られる。さらに他の発明によると、ノズル装置のシリンダに連通した開口部に、該開口部を開閉する加熱可能なシャットオフピンが設けられているので、溶融工程、押出工程等を実施するときは、シャットオフピンによりノズル装置のシリンダに連通した開口部を閉鎖することができる。これにより、コールドプラグに比較して製造サイクルは短く、しかも確実に溶融合金原料の酸化を防止することができる効果が得られる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。本実施の形態に係わる急冷凝固金属薄体の製造装置は、図１に示されているように、概略的には原料供給・溶融部Ａと、急速冷却部Ｂとからなっている。原料供給・溶融部Ａは、シリンダ１とこのシリンダ１内に回転方向と軸方向に駆動可能に設けられているスクリュ２とからなっている。シリンダ１は、軸方向に所定長さに選定され、図１において左方の端部は計量室３となり、その先端部に射出ノズル４が取り付けられ、後端部にスクリュ２を駆動するモータ、変速機等からなる駆動装置５が設けられている。また、後端部寄りに合金原料供給孔６が開けられている。このように構成されているシリンダ１と射出ノズル４の外周部には、個々に発熱温度が制御される複数個の加熱ヒータ７、７、…が設けられている。

シリンダ１の合金原料供給孔６に対応して、ホッパ８が設けられている。ホッパ８は密閉式で、その根元側に少量のアルゴンガス等の不活性ガスを合金原料供給口６に向けて供給するガス導入管９が取り付けられている。また、図１には示されていないが、ホッパ８の下端部にはスクリュ式、ロータリ式等の機械的な供給装置が設けられ、合金原料は一定宛てシリンダ１内に供給されるようになっている。

急速冷却部Ｂは、第１の実施の形態によると、ノズル装置１０と、冷却ロール２０と、薄体回収室２５とからなっている。ノズル装置１０は、比較的強固に構成されている保護枠体１１と、この保護枠体１１内に所定の間隔をおいて気密的に設けられているノズル本体１２とからなっている。ノズル本体１２は、前述したシリンダ１の射出ノズル３に連通する溶融合金原料供給路１３を備えている。そして、この溶融合金原料供給路１３に略直角に連通するようにして溶融合金原料が蓄積される蓄積室１４と、蓄積される溶融合金原料が押し出される絞り部１５と、蓄積室１４に蓄積される溶融合金原料に不活性ガス圧を加えるためのガス室１６とが設けられている。ガス室１６と蓄積室１４は、本実施の形態では連続した室として構成され、次の製造例の説明からも理解されるように、格別な境界はない。そして、これらのガス室１６と蓄積室１４と絞り部１５は、実質的に垂直状で一線状に配置されている。したがって、蓄積室１４に蓄積される溶融合金原料には、均一な重力とガス圧が加わり、そして絞り部１５から冷却ロールに向けて均一に押し出されることになる。

ノズル本体１２の外周部には、複数個の加熱ヒータ１７、１７、…と、図示されない測温体が設けられ、ノズル本体１２と保護枠体１１の間にはエアギャップによる断熱効果を得るために空間が設けられている。このように構成されているノズル本体１２の下端部は、テーパ状に絞られ、そして上記保護枠体１１のテーパ部により位置決めされている。また、ノズル本体１２の上方部も適宜位置決めされ、そしてガス室１６にはガス供給管１８が接続されている。上記のように構成されているノズル本体１２は、保護枠体１１を介して固定枠１９に取り付けられている。なお、固定枠１９には、該固定枠１９を横切るようにしてテーパ状のノズル挿入孔１９’が開けられている。

冷却ロール２０は、従来周知のように、真空ポンプ２１で減圧される真空容器２２内に収納され、そして例えば循環する冷却水により冷却され、高速で回転駆動されるようになっている。このように構成されている冷却ロール２０の表面と、ノズル本体１２の絞り部１５の下端部との間隔は、調節されるようになっているが、図１には調節手段は示されていない。真空容器２２の下方には、冷却ロール２０により製造される金属薄体が収納される薄体回収室２５が設けられている。この薄体回収室２５には、ガス調整装置２６が接続され、その内部は真空、ガス雰囲気、大気開放のような、真空容器２２とは異なる条件に適宜選択可能となっている。

次に、上記急冷凝固金属薄体の製造装置により金属薄体の製造例について説明する。図１には示されていないが、本実施の形態によると、コントローラも備えているので、コントローラに、金属薄体の製造条件を設定する。例えば、スクリュ２の回転速度、複数個の加熱ヒータ７、７、…の加熱温度、ノズル本体１２の複数個のヒータ１７、１７、…の加熱温度、ノズル本体１２の絞り部１５の下端部と冷却ロール２０の表面との間隔、冷却ロール２０の温度および回転速度、真空容器２２内の真空度、薄体回収室２５のガス条件等を設定する。

上記のようにして製造条件を設定し、温度等が設定値に達したら、ホッパ８からチップ状の合金原料をシリンダ１内に供給する。駆動装置５によりスクリュ２が所定速度で回転駆動され、合金原料は前方の計量室３へと送られる。送られる過程で加熱ヒータ７、７、…から加えられる熱と、スクリュ２の回転による摩擦熱、剪断熱等により溶融される。計量室３に貯えられる溶融合金原料の圧力により、あるいはサックバックによりスクリュ２は後退する。所定量後退して溶融を終わる。このように溶融するとき、合金原料は次第に圧縮され、合金原料間に含まれていたガス、空気等は合金原料供給口６の方へ逆流する。このとき、ガス導入管９から少量の不活性ガスを合金原料供給口６に向けて供給する。これにより、酸素を含む空気がシリンダ１内へ入ることが防止され、合金原料のシリンダ１内での酸化が防止される。

スクリュ２を駆動装置５により軸方向に駆動して、計量室３中の溶融合金原料をノズル本体１２の蓄積室１４中へ送る。所定量蓄積されたら、ガス室１６に所定圧力に調整された不活性ガスを供給する。蓄積された溶融合金原料は、供給されるガス圧力により、絞り部１５から冷却ロール２０に向けて押し出される。このとき、溶融合金原料供給路１３が射出ノズル４に連なっているので、射出ノズル４の方へ逆流するすることが防止される。絞り部１５から押し出された溶融合金原料は、冷却ロール２０の表面に接触すると、急激に熱が奪われ凝固し、金属薄体Ｓとなる。そうして、薄体回収室２５に回収される。

上記のようにして、溶融合金原料を押し出すと、溶融合金原料の液位は下がり、溶融合金原料供給路１３の出口開口部は供給される不活性ガスに曝され、また溶融合金原料供給路１３の加熱ヒータ１７による加熱を停止すること等により温度が低下し、コールドプラグすなわち「筒状の栓」が形成される。これにより、シリンダ１の計量室３内の溶融合金原料の漏れ、あるいは酸化が防止される。ガス供給管１８からの不活性ガスの供給を停止し、ガスを抜く。シリンダ１の計量室３に溶融合金原料が残っているときは、前述したようにしてスクリュ２を軸方向に駆動して蓄積室１４に蓄積する。そして、前述したようにして冷却ロール２０に向けて押し出す。残っていないときは、前記したようにしてスクリュ２を回転駆動して計量室３に計量する。以下同様にして、金属薄体を製造する。

本実施の形態によると、ガス室１６と蓄積室１４と絞り部１５は、垂直状で一直線状に配置されているので、重力は溶融合金原料に均一に作用し、また不活性ガスも均一に作用するので、より均一で安定した溶融合金原料の流れが得られ、精度の高い急冷凝固薄体Ｓが得られる。

本発明は、色々変形可能である。例えば上記第１の実施の形態によると、蓄積室１４内の溶融合金原料は、不活性ガスにより押し出されるようになっているが、ガス室１６に油圧により駆動されるプランジャを設け、このプランジャにより溶融合金原料を冷却ロール２０に向けて押し出すように実施することもできる。プランジャで押し出しても、ガス室１６すなわちプランジャ用のシリンダと蓄積室１４と絞り部１５は、垂直状で一直線状に配置されているので、重力は溶融合金原料に均一に作用し、プランジャも垂直方向に駆動されるので、精度の高い急冷凝固薄体が得られる。

図２に本発明の第２の実施の形態が示されている。前述した第１の実施の形態の構成要素と同じ要素には同じ参照数字を付けて、また同じような構成要素のは同じ参照数字にダッシュ「’」を付けて重複説明はしないが、第２の実施の形態によると、溶融合金原料供給路１３の末端の開口部には、その内部に加熱ヒータ等が設けられ、別途加熱が可能なシャットオフピン３０が設けられている。このシャットオフピン３０は、保護枠体１１’に取り付けられている油圧ピストンシリンダユニット３１から保護枠体１１’およびノズル本体１２’の壁を水平方向に貫通し、その先端部が溶融合金原料供給路１３の開口部に達している。

したがって、油圧ピストンシリンダユニット３１によりシャットオフピン３０を、図示の位置から左方へ退避させ、前述したようにして射出ノズル４から溶融合金原料供給路１３を介して蓄積室１４に蓄積することができる。また、絞り部１５から冷却ロール２０に向けてから押し出すときは、右方向に駆動して溶融合金原料供給路１３の開口部を塞ぐ。そうして、ガス供給管１８から不活性ガスを供給する。そうすると、前述したようにして絞り部１５から冷却ロール状へ押し出され、そして金属薄体が得られる。このとき、溶融合金原料供給路１３の開口部は塞がれているので、溶融合金原料が溶融合金原料供給路１３から射出ノズルの方へ逆流することも、また溶融合金原料が酸化するようなこともない。シャットオフピン３０は、加熱が可能であるので、シャットオフピン３０により溶融合金原料が冷却され固化するようなことはない。

上記第１、２の実施の形態では、原料供給・溶融部Ａは、スクリュ２が軸方向にも駆動されるようになっているが、回転方向にのみ駆動されるスクリュによっても、チップ状の合金原料を溶融し、そしてノズル装置の蓄積室に蓄積することもできる。このように実施しても、ガス室あるいはシリンダ部と蓄積室と絞り部は、垂直状で一直線状に配置されているので、同様な効果が得られることは明らかである。

本発明の第１の実施の形態を示す側面図である。 本発明の第２の実施の形態の要部のみを示す正面断面図である。 従来例を示す側面図である。

符号の説明

Ａ 原料供給・溶融部
Ｂ 急速冷却部
１ シリンダ
２ スクリュ
１０ ノズル装置
１４ 蓄積室
１５ 絞り部
１６ ガス室
２０ 冷却ロール
２２ 真空容器
２５ 薄体回収室
３０ シャットオフピン

Claims (8)

1. 合金原料を、シリンダの一方の端部に供給し、そして前記シリンダ内に設けられているスクリュを回転駆動して他方の端部へ移送しながら、前記シリンダの外部から加えられる熱と、前記スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程と、
   前記溶融工程で得られた溶融合金原料を、ガス室と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、
   前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のガス室に不活性ガスを供給して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とからなる、急冷凝固金属薄体の製造方法。
2. 合金原料を、シリンダの一方の端部に供給し、そして前記シリンダ内に設けられているスクリュを回転駆動して他方の端部へ移送しながら、前記シリンダの外部から加えられる熱と、前記スクリュの回転駆動により生じる熱とにより、溶融する溶融工程と、
   前記溶融工程で得られた溶融合金原料を、プランジャが設けられるシリンダ部と、蓄積部と、絞り部とを備え、これらが実質的に垂直状に一線状に配置されているノズル装置の、前記蓄積部に蓄積する蓄積工程と、
   前記蓄積工程により蓄積された溶融合金原料を、前記ノズル装置のプランジャを駆動して、前記ノズル装置の絞り部から高速回転している冷却ロールの表面上に押し出す押出工程とからなる、急冷凝固金属薄体の製造方法。
3. 請求項１または２に記載の製造方法において、溶融工程の実施中に原料供給側からシリンダ内に不活性ガスを供給する急冷凝固金属薄体の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれかの項に記載の製造方法において、蓄積工程後にノズル装置のシリンダに連通した開口部を、加熱可能なシャットオフピンにより一旦閉鎖する、急冷凝固金属薄体の製造方法。
5. その外周部に加熱手段が設けられているシリンダと、該シリンダ内に回転駆動可能に設けられているスクリュとからなり、前記シリンダの一方の端部が合金原料供給口に、そして他方の端部が溶融合金原料の排出ノズルとなっている合金原料溶融装置と、
   前記合金原料溶融装置で溶融される溶融合金原料が冷却ロールに向けて押し出されるノズル装置とからなり、
   前記ノズル装置は、溶融合金原料が蓄積される蓄積部と、蓄積される溶融合金原料が押し出される絞り部と、蓄積される溶融合金原料にガス圧が印加されるガス室からなり、前記ガス室と、蓄積部と、絞り部は実質的に垂直状に一線状に配置されている、急冷凝固金属薄体の製造装置。
6. その外周部に加熱手段が設けられているシリンダと、該シリンダ内に回転駆動可能に設けられているスクリュとからなり、前記シリンダの一方の端部が合金原料供給口に、そして他方の端部が溶融合金原料の排出ノズルとなっている合金原料溶融装置と、
   前記合金原料溶融部で溶融される溶融合金原料が冷却ロールに向けて押し出されるノズル装置とからなり、
   前記ノズル装置は、溶融合金原料が蓄積される蓄積部と、蓄積される溶融合金原料が押し出される絞り部と、蓄積される溶融合金原料を前記ノズル部から押し出すためのプランジャが設けられるシリンダ部からなり、前記シリンダ部と、蓄積部と、絞り部は実質的に垂直状に一線状に配置されている、急冷凝固金属薄体の製造装置。
7. 請求項５に記載の製造装置において、ノズル装置のシリンダに連通した開口部には、該開口部を開閉する加熱可能なシャットオフピンが設けられている急冷凝固金属薄体の製造装置。
8. 請求項５〜７のいずれかの項に記載の製造装置において、合金原料供給口の近傍には、不活性ガス導入口が設けられている急冷凝固金属薄体の製造装置。

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