JP2005062714A - ビーム走査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ビームの主走査倍率のずれを１つの同期検知センサを用いて制御するビーム走査装置を提供する。
【解決手段】 １つ以上のＬＤを備えたＬＤユニット１、ＬＤユニット１からのビームを偏向し、被走査面４上において主走査方向に等速走査させるポリゴンミラー２、ポリゴンミラー２により偏向されたビームをビームスポットとして被走査面４上に結像させるｆθレンズ３を備えたビーム走査装置において、走査開始側のビーム光路を変更する平面ミラー６ａと、走査終了側のビーム光路を変更する平面ミラー６ｂ、６ｃを配置し、走査開始側及び走査終了側のビームが１つの同期検知センサ５で検知されるようにしている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、デジタル複写機、レーザプリンタ、レーザファクシミリ等の画像形成装置に用いられるビーム走査装置及びそれを備えた画像形成装置に関する。

一般に、ビーム走査装置は、レーザ発光部（以下ＬＤという）を有するビーム光源装置から射出されたビームを、シリンダレンズ、ポリゴンミラー、ｆθレンズ等から構成される走査光学系により、ビームスポットとして被走査面上に結像させ、ポリゴンミラーを回転させることにより、被走査面上を主走査方向に等速走査させるようにしたものである。特に、複数のＬＤを備えたマルチビーム走査装置は、１つのビームを用いて走査する場合に比べ、ポリゴンミラーの回転数を上げることなく被走査面の走査及び静電潜像の形成を迅速に行うことができるため、複写機、レーザプリンタ、レーザファクシミリ等の画像形成装置に広く用いられている。

このようなビーム走査装置においては、近年の低コスト化、軽量化の要求に伴いｆθレンズの材質は従来のガラスに代えてプラスチックが採用される。しかし、プラスチックレンズはガラスレンズに比べ環境及び経時変化を起こしやすく、形成される画像の精度に悪影響を及ぼし易い。そのため、ポリゴンミラーで偏向した各ビームの主走査方向の走査開始タイミングをｆθレンズの特性の変化に応じて補正する必要がある。特許文献１には、図５に示すように、各ビームの走査開始タイミングを設定するための同期検知センサを設けたマルチビーム走査装置が開示されている。

図５において、複数のＬＤを備えたＬＤユニット１はＬＤ駆動部（図示せず）からの指示に基づいて各ＬＤよりビームを射出し、射出されたビームは、コリメートレンズ（図示せず）やシリンダレンズ（図示せず）を通過してポリゴンミラー２に入射する。ポリゴンミラー２は正確な多角形をしており、一定方向に一定速度で回転し、ＬＤユニット１からのビームを偏向し、被走査面４上において主走査方向に等速走査させる。この例においては、ポリゴンミラー２は正六角形であり、時計回りに一定速度で回転するものとする。ポリゴンミラー２により偏向されたビームはｆθレンズ３に入射する。ｆθレンズ３はＬＤユニット１からのビームを複数のビームスポットとして被走査面４上に結像させる。

同期検知センサ５は、ポリゴンミラー２で偏向した各ビームを検出するビーム検出手段であり、各ビームの主走査方向の走査開始タイミングを設定するために走査開始側の被走査面の有効露光領域外に設けられている。同期検知センサ５に時刻をずらして複数のＬＤよりビームを入射させることにより、各ビームの同期検出信号を個別に発生させ、それに基づいて各ビームの走査開始タイミングを高精度に一致させる。

しかしながら、上記のマルチビーム走査装置においては、同期検知センサ５を走査開始側にのみ設けているため、書き込み幅全体の情報が得られず、主走査倍率の変動に伴う書き込み幅のずれを補正することができない。そこで、同期検知センサを複数設けて書き込み幅のずれを補正する方法が提案されており、特許文献２、３には、図６に示すように、同期検知センサを走査開始側と走査終了側の２箇所に配置したマルチビーム走査装置が開示されている。
特開平９−６６６３０号公報 特開２００２−９６５０２号公報 特開２００２−１２２７９９号公報

図６においては、２つの同期検知センサ５を被走査面の有効露光領域外の走査開始側及び走査終了側に配置した以外は図５の構成と同様である。走査開始側の同期検知センサ５に各ビームの入射するタイミングを測定することにより各ビームの走査開始タイミングを設定する。また、走査開始側と走査終了側の同期検知センサ５がビームを検知するタイミングの時間差、即ち各ビームの走査時間を測定し、基準となる時間と比較することにより各ビームの書き込み幅のずれを補正する。

このような構成とすることにより、ＬＤのばらつきによる波長の違いや環境温度等の変動に伴うｆθレンズの特性変化による複数ビームの主走査倍率の変化や走査開始タイミングのずれを制御して複数ビームの走査幅及び走査開始位置を一致させることができ、画像の劣化を防止することが可能となる。しかしながら、特許文献２、３においては同期検知センサを２箇所に配置するため、同期検知センサの配置スペースを確保しなければならず、且つ、高価なセンサを２つ必要とするためコスト面においても不利となる。

本発明は、上記問題点に鑑み、１つの同期検知センサを用いてビームの主走査倍率の変化や走査開始タイミングのずれを制御可能なビーム走査装置及びそれを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、光源部から射出されるビームにより被走査面上を偏向走査する走査光学系と、前記走査光学系により主走査方向に走査されるビームを検出するビーム検出手段と、を備え、前記ビーム検出手段を用いて前記被走査面の有効露光領域外の走査開始側及び走査終了側のそれぞれでビームを検出し、その検出信号を主走査方向の同期に用いるビーム走査装置において、ビーム光路を変更する光路変更手段を、前記走査開始側及び走査終了側のビームが１つのビーム検出手段で検知され、且つ、前記光路変更手段の個数差が走査開始側のビームと走査終了側のビームとで奇数となるように配置したことを特徴としている。

また本発明は、上記構成のビーム走査装置において、前記光路変更手段を、前記光源部から前記ビーム検出手段までのビーム光路距離が、前記光源部から前記被走査面までのビーム光路距離と略同じになる位置に設けたことを特徴としている。

また本発明は、上記構成のビーム走査装置において、前記ビーム検出手段は複数の受光部を有しており、各受光部がビームを検知する順序によって走査開始側のビームであるか走査終了側のビームであるかを判断することを特徴としている。

また本発明は、上記構成のビーム走査装置において、前記ビーム検出手段で検知される走査開始側のビーム検知タイミングと走査終了側のビーム検知タイミングを用いて各ビームの走査時間を測定する走査時間測定手段と、前記走査時間を基準時間と比較して走査倍率を補正する補正手段とを設けたことを特徴としている。

また本発明は、上記構成のビーム走査装置において、前記光路変更手段は、ミラーであることを特徴としている。

本発明の第１の構成によれば、ただ１つの同期検知センサを用いて、走査開始側と走査終了側の２箇所に同期検知センサを設けた場合と同様にビームの主走査倍率の変化を高精度に制御するビーム走査装置を提供することができる。

また、本発明の第２の構成によれば、上記第１の構成のビーム走査装置において、前記光路変更手段を、前記光源部から前記ビーム検出手段までのビーム光路距離が、前記光源部から前記被走査面までのビーム光路距離と略同じになる位置に設けたことにより、ビーム検出手段の検知精度を向上させることができる。

また、本発明の第３の構成によれば、上記第１又は第２の構成のビーム走査装置において、前記ビーム検出手段は複数の受光部を有しており、各受光部がビームを検知する順序によって走査開始側のビームであるか走査終了側のビームであるかを容易に判断することができる。

また、本発明の第４の構成によれば、上記第１乃至第３のいずれかの構成のビーム走査装置において、走査開始側のビーム検知タイミングと走査終了側のビーム検知タイミングを用いて各ビームの走査時間を測定し、走査時間を基準時間と比較して走査倍率を補正することが可能となる。

また、本発明の第５の構成によれば、上記第１乃至第４のいずれかの構成のビーム走査装置において、光路変更手段をミラーとすることにより、簡易且つ低コストでビーム光路を変更することができる。

以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は第１実施形態のマルチビーム走査装置の構成図及びそれを備えた画像形成装置のブロック図である。従来例の図５と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態においては、ビーム光路を変更する光路変更手段として平面ミラーを被走査面の有効露光領域外の走査開始側に２個、走査終了側に１個配置し、走査開始側及び走査終了側のビームが共に１つの同期検知センサで検知されるようにしている。なお、以下の実施形態においては複数の光源を備えたマルチビーム走査装置について説明するが、光源が１つの場合においても全く同様の構成となる。

本実施形態における主走査倍率の変化の補正方法について説明する。なお、以下の補正は、感光体（被走査面）上に画像信号に基づくビーム照射を行わないタイミングでなされる。図１において、ＬＤユニット１の特定のＬＤから射出されたビームはポリゴンミラー２に入射される。ここではポリゴンミラー２は正六角形であり、時計回りに一定速度で回転するものとするが、ポリゴンミラー２は正六角形に限らず、正多角形であれば他の形状のものも使用できる。また、ポリゴンミラー２の回転方向や回転速度もビーム走査装置の仕様に合わせて適宜設定することができる。

ポリゴンミラー２により偏向されたビームはｆθレンズ３に入射した後、ビームスポットとして被走査面４上に結像され、主走査方向（図においては左から右方向）に走査が行われる。このとき、同期検知センサ５を用いて被走査面４の有効露光領域外の走査開始側及び走査終了側のそれぞれでビームを検出するが、走査開始側のビームは平面ミラー６ａにより反射されて同期検知センサ５に入射し、走査終了側のビームは平面ミラー６ｂ及び平面ミラー６ｃにより反射されて同期検知センサ５に入射する。同期検知センサ５はビームを検出したタイミングに応じて時間カウント部７に信号を出力する。このときの走査開始側、即ち画像信号を書き始める側と、走査終了側、即ち画像信号を書き終える側の同期検知センサ５の検知タイミングを時間カウント部７で測定することにより、各ビームの走査時間を測定することができる。

ビーム径は被走査面４上で最も絞れているため、同期検知センサ５の検知精度を向上させるには、ＬＤユニット１から同期検知センサ５までのビーム光路距離ができるだけＬＤユニット１から被走査面４までのビーム光路距離と同じになる位置に同期検知センサ５を設置することが望ましい。そのため、ミラー６ａ、６ｂ及び６ｃにより折り返され同期検知センサ５に入射する各ビーム経路を、ＬＤユニット１から被走査面４までのビーム距離と合わせておくことが好ましい。なお、本実施形態においては同期検知センサ５は走査開始側の被走査面の有効露光領域外に配置されているが、同期検知センサ５を走査終了側、或いは被走査面の走査に影響を及ぼさない他の場所に配置することも可能である。

図１中のビーム光路付近の矢印は、各部におけるビームの走査方向を示す。走査開始側のビームは平面ミラー６ａ及び同期検知センサ５を左から右に走査する。一方、走査終了側のビームは平面ミラー６ｂを左から右に走査するが、平面ミラー６ｂにより反射されたビームは平面ミラー６ｃにおいて走査方向が反転し、平面ミラー６ｃ及び同期検知センサ５を右から左に走査する。即ち、本実施形態においては走査開始側のビームは１個、走査終了側のビームは２個のミラーによりビーム光路を変更されているため、同期検知センサ５を走査する方向が逆になる。

同期検知センサ５の拡大図を図２に示す。本実施形態で使用される同期検知センサ５は、例えば２ｃｈピンフォトダイオードのように２つの受光部を備えている。図２において、同期検知センサ５は２つの受光部５ａ、５ｂを有しており、書き始め（走査開始側）のビームは同期検知センサ５を左から右に走査するため、５ａ、５ｂの順に受光部を通過する。逆に、書き終り（走査終了側）のビームは同期検知センサ５を右から左に走査するため、５ｂ、５ａの順に受光部を通過する。従って、受光部５ａ、５ｂからの出力の順序によって走査開始側の信号であるか走査終了側の信号であるかを判断することができる。なお、同期検知センサ５はビームの走査方向を検知可能なものであれば上記構成に限定されるものではなく、３つ、或いは４つ以上の受光部を備えたセンサを用いることも可能である。また、同期検知センサ５の種類としては、上記ピンフォトダイオ−ドの他にフォトトランジスタ、フォトＩＣ等の各種の光センサを使用することができる。

本実施形態においては、走査開始側のビームを１個のミラーで、走査終了側のビームを２個のミラーで光路変更したが、ビームによる同期検知センサ５の走査方向を逆にするためには走査開始側及び走査終了側のビーム光路を変更するミラーの個数差が奇数であればよく、この条件を満たす任意の枚数のミラーを配置することができる。また、平面ミラーに代えてプリズム等の光路変更手段を使用することも可能である。

図３は、同期検知センサからの出力信号と計測時間の関係を示すタイミングチャートである。同図から明らかなように、書き始め（走査開始側）においては受光部５ａ、受光部５ｂの順に出力され、書き終り（走査終了側）においては受光部５ｂ、受光部５ａの順に出力されるため、走査開始側の信号であるか走査終了側の信号であるかを容易に判別することが可能となる。なお、ここでは走査開始側の受光部５ａ及び受光部５ｂからの２つの出力ピークの中点から走査終了側の２つの出力ピークの中点までの時間を計測して走査時間Ｔ₁としているが、走査時間Ｔ₁の計測方法はこれに限られるものではなく、例えば走査開始側及び走査終了側での受光部５ａの出力ピーク間の時間を計測してもよく、受光部５ｂの出力ピーク間の時間を計測してもよい。その場合はそれぞれの計測方法に応じて基準時間が設定される。

走査時間の計測は、各ＬＤについて連続して計測することもできるが、通常は計測のばらつきを少なくするため、１つのＬＤについて複数回計測し、その平均値により走査時間を求めた後、次のＬＤについても同様にして走査時間を求める。この場合、各ＬＤ毎の計測の間に同期検知センサからの出力を全く遮断する時間を設けると、計測された時間がどのＬＤのものであるかを容易に判別できるためより好ましい。

時間カウント部７において計測された走査時間は比較制御部８へ転送される。比較制御部８は基準の走査時間のデータを備えており、転送された走査時間を基準時間と比較し、基準時間からのずれの比率を計算する。このずれの比率に応じて、書込クロック生成部１０において基準クロック発生部９から発せられたビデオクロックを補正する。例えば、計測された走査時間の方が基準時間よりも長い場合は、標準のポリゴンミラー２の振り角に対してビーム位置が手前になっているため画像信号を遅めに出力して画像を引き延ばす必要がある。そこで走査時間のずれの比率に合わせてビデオクロックを遅く、即ちビデオクロックの周波数を低くする。逆に、計測された走査時間の方が基準時間よりも短い場合は、走査時間のずれの比率に合わせてビデオクロックを早く、即ちビデオクロックの周波数を高くする。

このようにして、各ＬＤについてそれぞれ基準となるビデオクロックの周波数を補正して書込クロックを生成し、ＬＤ駆動部１１へ送信する。ＬＤ駆動部１１では図示しない画像信号発生部よりＬＤ駆動部１１に送信されてくる画像信号の周波数を書込クロックの周波数に変換することにより、各ＬＤの主走査倍率を一致させ、画像の劣化を防止することができる。

なお、ここでは各ＬＤの走査開始位置の設定については詳述しないが、同期検知センサ５で検出される走査開始側のビーム検知タイミングによって開始位置の設定も可能である。同期検知センサ５の応答速度が各ビームの主走査方向の間隔及び走査相当速度よりも充分に大きい場合は各ビームに対し正確な同期検知信号を得ることができ、走査開始タイミングも各ＬＤについて独立に設定することができる。また、応答速度が比較的遅い同期検知センサ５を用いた場合には、特定のＬＤのビームにより同期検知信号を得て、他のＬＤについては特定のＬＤの走査開始タイミングから所定時間ずらすようにするタイミング設定手段を設けることが望ましい。タイミング設定手段としては、温度変化に伴う遅延時間の対応表などが挙げられ、これに基づいて各ＬＤの走査開始位置を一致させることができる。

図４は本実施形態の画像形成装置における主走査倍率の補正手順を示すフローチャートである。図１を参照しながら、図４のステップに従い各ＬＤの主走査倍率を補正する手順について更に詳細に説明する。先ず、感光体等の被走査面４上に画像形成を行わないタイミングでＬＤユニット１のＬＤを１つずつ点灯し、書き始め（走査開始側）の検知タイミングと書き終り（走査終了側）の検知タイミングを同期検知センサ５で検知することにより、時間カウント部７において書き始めから書き終りまでの走査時間（図３におけるＴ₁）を測定する（ステップ１）。測定された走査時間Ｔ₁は比較制御部８へ送信される。

次に、比較制御部８において、走査時間Ｔ₁を基準時間Ｔ₀と比較する（ステップ２）。ここでは先ず、Ｔ₁とＴ₀がほぼ等しいか否かを判定する（ステップ３）。Ｔ₁とＴ₀がほぼ等しい場合には処理を終了し、基準クロック発生部９からの基準クロックはそのままの周波数で書込クロックとなる。

Ｔ₁とＴ₀が異なる場合は、Ｔ₁がＴ₀よりも小さいか否かを判定する（ステップ４）。Ｔ₁がＴ₀よりも小さい場合は主走査方向に画像が拡大していることになるので、書込クロック生成部１０においてＴ₁の基準時間Ｔ₀に対するずれ量の比率分だけ基準クロックの周波数を上げた書込クロックを生成する（ステップ５）。

逆に、Ｔ₁がＴ₀よりも大きい場合は主走査方向に画像が縮小していることになるので、書込クロック生成部１０においてＴ₁の基準時間Ｔ₀に対するずれ量の比率分だけ基準クロックの周波数を下げた書込クロックを生成する（ステップ６）。

ステップ３において、Ｔ₁とＴ₀がほぼ等しいか否かの判断としているのは、許容できる倍率誤差範囲であれば正常と判断するようにして、それ以上の時間差となった場合にクロック周波数を補正することにより、実用上必要な場合にのみ補正を行い処理の迅速化を図るためである。

図１のビーム走査装置を備えた画像形成装置における補正の実施例を表１を用いて具体的に説明する。ここで、ｆθレンズ３はビーム波長が７８０ｎｍのとき焦点距離が２００ｍｍであり、被走査面４の解像度は６００ｄｐｉ、プロセススピードは２００ｍｍ／ｓｅｃであり、ポリゴンミラー２の面数は６面、走査開始側と終了側のビームを検知する像高は±１６０ｍｍとする。また、ＬＤユニット１はＬＤ１、ＬＤ２の２つのＬＤを備えているものとする。

基準の走査速度が０．９８９４７８ｍｍ／μｓｅｃであるとき、走査開始−終了間距離（走査幅）は１６０ｍｍ×２＝３２０ｍｍより、走査開始−終了間の基準時間Ｔ₀は３２０（ｍｍ）／０．９８９４７８（ｍｍ／μｓｅｃ）＝３２３．４０３μｓｅｃである。いま、ＬＤ１の波長が７８５ｎｍ、ｆθレンズ３の焦点距離が２００．００２ｍｍであり、計測された走査時間Ｔ₁が３２３．４００μｓｅｃとなった場合、Ｔ₁は基準時間Ｔ₀に対し９９．９９９０％である。走査時間Ｔ₁が基準時間Ｔ₀より短いということは、走査速度が速いということであり、書込クロックを早くして画像を縮める必要がある。

そこで、基準のビデオクロックをＴ₁の基準時間Ｔ₀に対する比率で補正すれば良い。即ち、２３．３７３５０ＭＨｚ／９９．９９９０（％）＝２３．３７３７３ＭＨｚとする。さらにＬＤ２についても同様の補正を行うことにより、ＬＤ１、ＬＤ２それぞれの走査幅を基準値通りにすることが可能となる。

本発明は、光源部から射出されるビームにより被走査面上を偏向走査する走査光学系と、前記走査光学系により主走査方向に走査されるビームを検出するビーム検出手段と、を備え、前記ビーム検出手段を用いて前記被走査面の有効露光領域外の走査開始側及び走査終了側のそれぞれでビームを検出し、その検出信号を主走査方向の同期に用いるビーム走査装置において、ビーム光路を変更する光路変更手段を、前記走査開始側及び走査終了側のビームが１つのビーム検出手段で検知され、且つ、前記光路変更手段の個数差が走査開始側のビームと走査終了側のビームとで奇数となるように配置したこととする。これにより、ただ１つの同期検知センサを用いて、走査開始側と走査終了側の２箇所に同期検知センサを設けた場合と同様に複数ビームの主走査倍率の変化を高精度に制御するビーム走査装置を提供することができる。また、同期検知センサの配置場所の自由度も広がるため、ビーム走査装置の軽量化、コンパクト化及び低コスト化に貢献する。

また、同期検知センサの検知精度を向上させるためには同期検知センサまでのビーム光路距離ができるだけ被走査面までのビーム光路距離と同じになる位置に同期検知センサを設置することが望ましいが、光路変更手段を、光源部から同期検知センサまでのビーム光路距離が、光源部から被走査面までのビーム光路距離と略同じになる位置に設けることにより、同期検知センサの検知精度を向上させることができる。

また、１つの同期検知センサでビームを検出するため、書き始め（走査開始側）から書き終り（走査終了側）までと、書き終り（走査終了側）から書き始め（走査開始側）までの２種類の時間が計測されることとなるが、複数の受光部を有するビーム検出手段を用い、各受光部がビームを検知する順序によって走査開始側のビームであるか走査終了側のビームであるかを容易に判断することが可能となる。

また、ビーム検出手段で検知される走査開始側のビーム検知タイミングと走査終了側のビーム検知タイミングを用いて各ビームの走査時間を測定する走査時間測定手段と、走査時間を基準時間と比較して走査倍率を補正する補正手段とを設けることにより、走査開始側のビーム検知タイミングと走査終了側のビーム検知タイミングを用いて各ビームの走査時間を測定し、走査時間を基準時間と比較して走査倍率を補正することが可能となる。

また、光路変更手段をミラーとすることにより、光路変更手段が簡易な構成となり、コンパクトで低コストなビーム走査装置を提供することができる。

また、光源部が複数の光源を有することにより、１つの同期検知センサを用いて複数ビームの主走査倍率の変化を制御可能なマルチビーム走査装置を提供することができる。

また、上記構成のビーム走査装置を備えた画像形成装置を提供することにより、ＬＤの波長のばらつきや環境温度による画像の劣化を防止し、良好な画像形成を実現するとともに、画像形成装置の軽量化、コンパクト化及び低コスト化に貢献する。

は、本発明の第１実施形態のビーム走査装置の構成図及びそれを備えた画像形成装置のブロック図である。 は、本実施形態に用いられる同期検知センサの拡大図である。 は、同期検知センサからの出力信号と計測時間との関係を示すタイミングチャートである。 は、本実施形態の画像形成装置における主走査倍率の補正手順を示すフローチャートである。 は、従来のビーム走査装置の構成を示す概略図である。 は、従来の他のビーム走査装置の構成を示す概略図である。

符号の説明

１ ＬＤユニット
２ ポリゴンミラー
３ ｆθレンズ
４ 被走査面
５ 同期検知センサ
５ａ 受光部
５ｂ 受光部
６ａ 平面ミラー
６ｂ 平面ミラー
６ｃ 平面ミラー
７ 時間カウント部
８ 比較制御部
９ 基準クロック発生部
１０ 書込クロック生成部
１１ ＬＤ駆動部

Claims (5)

1. 光源部から射出されるビームにより被走査面上を偏向走査する走査光学系と、前記走査光学系により主走査方向に走査されるビームを検出するビーム検出手段と、を備え、前記ビーム検出手段を用いて前記被走査面の有効露光領域外の走査開始側及び走査終了側のそれぞれでビームを検出し、その検出信号を主走査方向の同期に用いるビーム走査装置において、
   ビーム光路を変更する光路変更手段を、前記走査開始側及び走査終了側のビームが１つのビーム検出手段で検知され、且つ、前記光路変更手段の個数差が走査開始側のビームと走査終了側のビームとで奇数となるように配置したことを特徴とするビーム走査装置。
2. 前記光路変更手段を、前記光源部から前記ビーム検出手段までのビーム光路距離が、前記光源部から前記被走査面までのビーム光路距離と略同じになる位置に設けたことを特徴とする請求項１に記載のビーム走査装置。
3. 前記ビーム検出手段は複数の受光部を有しており、各受光部がビームを検知する順序によって走査開始側のビームであるか走査終了側のビームであるかを判断することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のビーム走査装置。
4. 前記ビーム検出手段で検知される走査開始側のビーム検知タイミングと走査終了側のビーム検知タイミングを用いて各ビームの走査時間を測定する走査時間測定手段と、前記走査時間を基準時間と比較して走査倍率を補正する補正手段とを設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のビーム走査装置。
5. 前記光路変更手段は、ミラーであることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のビーム走査装置。

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