JP2005044967A - Electric circuit element with optical component - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気回路素子に光素子が接続された光素子付き電気回路素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光通信に使用される電子機器には、電気回路素子に光素子が接続された光素子付き電気回路素子が備えられている。図10に示すような光素子付き電気回路素子101は、電気回路素子102上に電極103を形成し、光素子104が搭載された基板105上に電極106を形成し、ワイヤボンディングによって電気回路素子102の電極103と基板105の電極106とをワイヤ107で接続することで、電気回路素子102に光素子104を接続したものである。
【0003】
また、図11に示すような光素子付き電気回路素子111は、電気回路素子112上に電極113を形成し、半田付けによって電極113と光素子104とを接続することで、電気回路素子112に光素子104を直付けしたものである。
【0004】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−114728号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の光素子付き電気回路素子101は、ワイヤ107に高周波信号が流れると、ワイヤ107の周囲に電磁波が漏れてクロストークの原因になるという問題がある。
【0007】
また、従来の光素子付き電気回路素子111は、電気回路素子112の線膨張係数と光素子104の線膨張係数とが互いに異なるので、半田付けの際や環境温度によって半田にクラックが入るおそれがあり、電気回路素子112と光素子104との接続不良が発生するという問題がある。
【0008】
そこで、本発明の目的は、電気回路素子と光素子との接続不良を防止でき、クロストークの原因となる電磁波の漏れを低減できる光素子付き電気回路素子を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、電気回路素子に光素子が接続された光素子付き電気回路素子において、上記電気回路素子の上面に電極を形成すると共に、上記光素子の下面に電極を形成し、上記電気回路素子および上記光素子の上記電極同士を異方性導電部材を介して対向するように押圧接続した光素子付き電気回路素子である。
【0010】
請求項2の発明は、上記電極は、信号用電極と、その信号用電極の周囲に形成されるグランド用電極とからなる請求項1記載の光素子付き電気回路素子である。
【0011】
請求項3の発明は、上記電極は、一つの信号用電極と、その信号用電極を取り囲むように形成される複数個のグランド用電極とからなる請求項2記載の光素子付き電気回路素子である。
【0012】
請求項4の発明は、上記電極は、一つの信号用電極と、その信号用電極を取り囲むように形成される一つのグランド用電極とからなる請求項2記載の光素子付き電気回路素子である。
【0013】
請求項5の発明は、上記電気回路素子と、上記光素子と、上記異方性導電部材とは、筐体内に収納され、その筐体によって上下から押圧される請求項1〜4いずれかに記載の光素子付き電気回路素子である。
【0014】
請求項6の発明は、上記光素子と上記筐体間にスペーサを設けた請求項5記載の光素子付き電気回路素子である。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
【0016】
図1(a)は、本発明の好適実施の形態を示す光素子付き電気回路素子の組み立て分解図である。図1(b)は光素子の下面図である。図1(c)は異方性導電部材の平面図である。図1(d)は電気回路素子の平面図である。
【0017】
図1(a)〜図1(d)に示すように、本発明に係る光素子付き電気回路素子1は、主として、光通信に使用される伝送速度が数Gbps以上の光トランシーバなどの電子機器に備えられて用いられる。
【0018】
光素子付き電気回路素子1は、ICやLSIなどの電気回路素子2の上面2uに電極3を形成し、半導体レーザ(LD)やフォトダイオード(PD)などの光素子4の下面4dに電極5を形成し、電気回路素子2および光素子4の電極3,5同士を異方性導電部材としての異方性導電シート6を介して対向するように上下方向U1,D1から押圧接続することで、電気回路素子2と光素子4とを電気的に接続したものである。
【0019】
電極3は、全体が平面視で略正方形状に形成される。この電極3は、電気回路素子2の上面2uから若干盛り上がって形成される平面視で正方形状の一つの信号用電極(信号パッド)3sと、その信号用電極3sから絶縁された周囲に信号用電極3sを取り囲むように形成され、電気回路素子2の上面2uから信号用電極3sと同じ厚さだけ若干盛り上がった平面視で正方形状の複数個(図1(a)および図1(d)では8個)のグランド用電極(グランドパッド)3gとからなる。
【0020】
一方、電極5は、全体が下面視で略正方形状に形成される。この電極5は、光素子4の下面4dから若干盛り上がって形成される下面視で正方形状の一つの信号用電極5sと、その信号用電極5sから絶縁された周囲に信号用電極5sを取り囲むように形成され、光素子4の下面4dから信号用電極5sと同じ厚さだけ若干盛り上がった下面視で正方形状の複数個(図1(a)および図1(b)では8個)のグランド用電極5gとからなる。
【0021】
電極3,5は、すなわち、信号用電極3s,5sおよびグランド用電極3g,5gは、例えば、Au、Ag、Cu、Alなどの導電性が高い金属で形成される。本例では、Auで形成された電極3,5を使用した。
【0022】
異方性導電シート6の上面6uおよび下面6dには、電気回路素子2と光素子4との位置決めの基準となるマーカーmがそれぞれ形成される。
【0023】
ここで、異方性導電シート6について簡単に説明する。
【0024】
図2(a)および図2(b)に示すように、異方性導電シート6は、絶縁性シリコーンゴムなどの絶縁性を有する絶縁性シート7内に、絶縁性シート7の厚さと同じ長さの複数本の導電性針8が、絶縁性シート7の厚さ方向と平行になるように所定ピッチpで格子状に互いに絶縁されて設けられたものである。導電性針8は、例えば、Au、Ag、Cu、Alなどの導電性が高い金属で形成される。本例では、Auで形成された導電性針8を使用した。
【0025】
この異方性導電シート6は、図3に示すように、上下面6u,6d(両面)から例えばブロック31,32で押圧すると、押圧した部分の絶縁性シート7が凹み、導電性針8が絶縁性シート7外に突き出るようになっている。ただし、図3ではブロック31の方がブロック32よりも押圧する面積が小さいので、ブロック31で押圧された絶縁性シート7の上面6uのみが凹み、導電性針8が絶縁性シート7の上面6uのみから突き出る。
【0026】
次に、光素子付き電気回路素子1の使用例を説明する。
【0027】
図4に示すように、光素子付き電気回路素子1は、下から順に電気回路素子2と、異方性導電シート6と、光素子4とが、例えば、Alなどの放熱性が高い金属で形成された筐体41内に収納され、その筐体41によって電気回路素子2および光素子4が上下から押圧され、電気回路素子2と光素子4とが電気的に接続されて使用される。
【0028】
筐体41は、上部が開口された箱状のパッケージ41dと、そのパッケージ41dの開口を閉じる板状のカバー41uとからなる。パッケージ41dの内底面から上端までの高さh4は、信号用電極3sおよびグランド用電極3gの厚さを含む電気回路素子2の厚さと、異方性導電シート6の厚さと、信号用電極5sおよびグランド用電極5gの厚さを含む光素子4の高さとの合計(光素子付き電気回路素子1の高さ)よりも若干低くなるようにする。
【0029】
より詳細には、まず、予め異方性導電シート6の使用する導電性針8を決めておき、異方性導電シート6の上下面6u,6dに図1(a)および図1(c)で説明したマーカーmをそれぞれ形成する。
【0030】
次に、パッケージ41dの内底面上に信号用電極3sおよびグランド用電極3gが上となるように電気回路素子2を搭載固定し、その電気回路素子2上に信号用電極3sおよびグランド用電極3gがマーカーmからはみ出さないように異方性導電シート6を重ね、その異方性導電シート6上に光素子4を、信号用電極5sおよびグランド用電極5gが下となるように、かつ信号用電極5sおよびグランド用電極5gがマーカーmからはみ出さないように搭載する。ここでは、パッケージ41dに電気回路素子2を直接搭載固定する例で説明したが、パッケージ41dに基板を介して電気回路素子2を搭載固定してもよい。
【0031】
最後に、パッケージ41dにカバー41uを被せると、パッケージ41dの内底面によって電気回路素子2が上方に押圧され、カバー41uの下面によって光素子4が下方に押される。すなわち、異方性導電シート6の下面6dが信号用電極3sおよびグランド用電極3gによって上方向D4に押されて上方に凹み、異方性導電シート6の上面6uが信号用電極5sおよび信号用電極5gによって下方向U4に押されて下方に凹む。
【0032】
これにより、異方性導電シート6の凹んだ部分の上下面6u,6dから導電性針8が突き出るので、信号用電極3s,5s同士、各グランド用電極3g,5g同士が異方性導電シート6を介して対向するように押圧接続され、電気回路素子2と光素子4とが電気的に接続される。
【0033】
また、図5に示すように、光素子4と筐体41のカバー41u間に高さ調整用のスペーサ51を設けてもよい。スペーサ51としては、例えば、光素子4が損傷しないように樹脂などの軟らかい材質からなるものを使用する。スペーサ51を使用すれば、パッケージ41dの内底面から上端までの高さh5と、光素子付き電気回路素子1の高さhとの差を調整できる。つまり、光素子付き電気回路素子1の筐体41による押圧をより確実に行うことができ、電気回路素子2と光素子4とを電気的により確実に接続できる。
【0034】
スペーサ51として、フィンが形成されたものや、二つに分割形成されたものを用いれば、スペーサに放熱の機能を持たせることもできる。
【0035】
このように、本発明に係る光素子付き電気回路素子1は、電気回路素子2の電極3と光素子4の電極5とを異方性導電シート6を介して対向するように押圧接続しており、ワイヤボンディングや半田付けを行わない点に特徴がある。
【0036】
したがって、電気回路素子2の線膨張係数と光素子4の線膨張係数とが互いに異なっていても、電気回路素子2および光素子4の環境温度によるひずみの影響を異方性導電性シート6が吸収して緩和するので、電気回路素子2と光素子4との接続不良を防止できる。
【0037】
特に、本例では、電極3,5および導電性針8をAuで形成しているので、電気回路素子2と光素子4とをAu−Au接続によって、Ag、Cu、Alなどの金属に比べてより確実に電気的に接続できる。
【0038】
また、電極3は一つの信号用電極3sとその周囲に形成される複数個のグランド用電極3gとからなり、電極5は一つの信号用電極5sとその周囲に形成される複数個のグランド用電極5gとからなっている。つまり、光素子付き電気回路素子1は、信号用電極3s,5s間を接続する複数本の導電性針8の周囲を、グランド用電極3g,5g間を接続する複数本の導電性針8で囲んだ構造である。グランド用電極3g,5g間を接続する複数本の導電性針8はグランド電位なので、信号用電極3s,5s間を接続する複数本の導電性針8を電磁的に遮蔽することになる。
【0039】
したがって、電気回路素子2と光素子4間に高周波信号が流れても、電極3、電極5および異方性導電シート6内に電磁波を閉じ込めることができ、クロストークの原因となる電磁波の漏れを低減できる。
【0040】
上記実施の形態では、全体が平面視で略正方形状に形成した電極3,5の例で説明したが、電極3,5の形状は特に限定されるものではなく、例えば、電極3,5を全体が平面視で略同心円状に形成してもよい。
【0041】
信号用電極3s,5sやグランド用電極3g,5gについても同様であり、信号用電極3s,5sやグランド用電極3g,5gを平面視で正方形状ではなく、例えば、長方形状や円状に形成してもよい。
【0042】
例えば、電極3,5としては、図6に一点鎖線で示したように、中心に平面視で円状に形成される一つの信号用電極61sと、その信号用電極61sから絶縁された周囲に信号用電極61sを取り囲むように形成され、平面視で環状の一つのグランド用電極61gとからなる同心円状の電極61を使用してもよい。
【0043】
この場合、信号用電極61sの外径φs、グランド用電極61gの内径φgiおよび外径φgoを適宜決定すると共に、異方性導電シート6の絶縁性シート7の誘電率εr、導電性針8の外径φおよびピッチpを適宜決定すれば、信号用電極61s、グランド用電極61gおよび異方性導電シート6で同軸ケーブルと類似の同軸構造を形成することができる。
【0044】
特性インピーダンスが50Ωの同軸ケーブルと類似の同軸構造を形成する場合、φs:0.06mm、φgi:0.3mm、εr:3.73、φ:0.02mm、p:0.045mmとする。
【0045】
さらに、図1(d)で説明した電極3の代わりに、図7に示すように、一つの信号用電極3sと、その信号用電極3sから絶縁された周囲に信号用電極3sを取り囲むように形成され、平面視で矩形枠状の一つのグランド用電極73gとからなる電極73を使用してもよい。
【0046】
この電極73を使用する場合には、図1(b)で説明した電極5の代わりに、図8に示すように、一つの信号用電極5sと、その信号用電極5sから絶縁された周囲に信号用電極5sを取り囲むように形成され、下面視で矩形枠状の一つのグランド用電極85gとからなる電極85を使用する。
【0047】
上記実施の形態では、予め異方性導電シート6の使用する導電性針8を決めた上で、異方性導電シート6の上下面6u,6dに図1(a)および図1(c)で説明したマーカーmをそれぞれ形成したが、導電性針8の外径φおよびピッチpが小さい異方性導電シート6を用いれば、使用する導電性針8を決めておく必要がなく、異方性導電シート6の上下面6u,6dのどこにでもマーカーmを形成できるので、電気回路素子2および光素子4の位置決めが容易になる。
【0048】
また、図9に示すように、一つの電気回路素子2上に一枚の異方性導電シート6を重ね、その異方性導電シート6上に光素子4を複数個並列に所定間隔で搭載し、電気回路素子2と複数個の光素子4を押圧接続して光素子付き電気回路素子91を構成すれば、一枚の異方性導電シート6で多数の光素子4を用いたパラレル伝送を行うことができ、複数個の光素子4が隣接することによるクロストークの増加を抑圧できる。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【0050】
(1)電気回路素子と光素子との接続不良を防止できる。
【0051】
(2)クロストークの原因となる電磁波の漏れを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明の好適実施の形態を示す組み立て分解図である。図1(b)は光素子の一例を示す下面図である。図1(c)は異方性導電部材の平面図である。図1(d)は電気回路素子の一例を示す平面図である。
【図2】図2(a)は異方性導電部材の平面図である。図2(b)は図2(a)の2B−2B線断面図である。
【図3】異方性導電部材の使用例を示す断面図である。
【図4】光素子付き電気回路素子の一例を示す断面図である。
【図5】光素子付き電気回路素子の一例を示す断面図である。
【図6】図2(a)で示した異方性導電部材の使用例を示す平面図である。
【図7】電気回路素子の一例を示す平面図である。
【図8】光素子の一例を示す下面図である。
【図9】光素子付き電気回路素子の一例を示す斜視図である。
【図10】従来の光素子付き電気回路素子の一例を示す斜視図である。
【図11】従来の光素子付き電気回路素子の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 光素子付き電気回路素子
2 電気回路素子
2u 電気回路素子の上面
3 電極
3s 信号用電極
3g グランド用電極
4 光素子
4d 光素子の下面
5 電極
5s 信号用電極
5g グランド用電極
6 異方性導電シート(異方性導電部材)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electric circuit element with an optical element in which an optical element is connected to the electric circuit element.
[0002]
[Prior art]
An electronic device used for optical communication includes an electric circuit element with an optical element in which the optical element is connected to the electric circuit element. An electric circuit element 101 with an optical element as shown in FIG. 10 has an electrode 103 formed on the
[0003]
Further, the electric circuit element 111 with an optical element as shown in FIG. 11 is formed on the electric circuit element 112 by forming the electrode 113 and connecting the electrode 113 and the
[0004]
The prior art document information related to the invention of this application includes the following.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-8-114728 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional electric circuit element 101 with an optical element has a problem that when a high-frequency signal flows through the
[0007]
Further, in the conventional electric circuit element with optical element 111, since the linear expansion coefficient of the electric circuit element 112 and the linear expansion coefficient of the
[0008]
Accordingly, an object of the present invention is to provide an electric circuit element with an optical element that can prevent a connection failure between the electric circuit element and the optical element and reduce leakage of electromagnetic waves that cause crosstalk.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been devised to achieve the above object, and the invention of
[0010]
A second aspect of the present invention is the electrical circuit element with an optical element according to the first aspect, wherein the electrode comprises a signal electrode and a ground electrode formed around the signal electrode.
[0011]
The invention according to
[0012]
The invention according to
[0013]
According to a fifth aspect of the present invention, the electrical circuit element, the optical element, and the anisotropic conductive member are housed in a housing and pressed from above and below by the housing. It is an electric circuit element with an described optical element.
[0014]
The invention according to
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0016]
FIG. 1A is an exploded view of an electric circuit element with an optical element showing a preferred embodiment of the present invention. FIG. 1B is a bottom view of the optical element. FIG. 1C is a plan view of the anisotropic conductive member. FIG. 1D is a plan view of the electric circuit element.
[0017]
As shown in FIG. 1A to FIG. 1D, an electric circuit element with an
[0018]
In the
[0019]
The
[0020]
On the other hand, the
[0021]
The
[0022]
On the upper surface 6 u and the lower surface 6 d of the anisotropic
[0023]
Here, the anisotropic
[0024]
As shown in FIGS. 2A and 2B, the anisotropic
[0025]
As shown in FIG. 3, when the anisotropic
[0026]
Next, the usage example of the
[0027]
As shown in FIG. 4, in the
[0028]
The housing 41 includes a box-shaped
[0029]
More specifically, first, the
[0030]
Next, the
[0031]
Finally, when the cover 41u is put on the
[0032]
Thereby, since the
[0033]
As shown in FIG. 5, a height adjusting spacer 51 may be provided between the
[0034]
If the spacer 51 is formed with fins or divided into two, the spacer can have a heat dissipation function.
[0035]
Thus, the electric circuit element with an
[0036]
Therefore, even if the linear expansion coefficient of the
[0037]
In particular, in this example, since the
[0038]
The
[0039]
Therefore, even if a high frequency signal flows between the
[0040]
In the embodiment described above, the example of the
[0041]
The same applies to the signal electrodes 3s and 5s and the ground electrodes 3g and 5g. The signal electrodes 3s and 5s and the ground electrodes 3g and 5g are not formed in a square shape in a plan view, for example, in a rectangular shape or a circular shape. May be.
[0042]
For example, as the
[0043]
In this case, the outer diameter φs of the signal electrode 61s, the inner diameter φgi and the outer diameter φgo of the ground electrode 61g are appropriately determined, the dielectric constant εr of the insulating
[0044]
When a coaxial structure similar to a coaxial cable having a characteristic impedance of 50Ω is formed, φs: 0.06 mm, φgi: 0.3 mm, εr: 3.73, φ: 0.02 mm, and p: 0.045 mm.
[0045]
Further, instead of the
[0046]
When this
[0047]
In the above embodiment, the
[0048]
Further, as shown in FIG. 9, one anisotropic
[0049]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
[0050]
(1) Connection failure between the electric circuit element and the optical element can be prevented.
[0051]
(2) Leakage of electromagnetic waves causing crosstalk can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 (a) is an exploded view showing a preferred embodiment of the present invention. FIG. 1B is a bottom view showing an example of the optical element. FIG. 1C is a plan view of the anisotropic conductive member. FIG.1 (d) is a top view which shows an example of an electric circuit element.
FIG. 2 (a) is a plan view of an anisotropic conductive member. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line 2B-2B of FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of use of an anisotropic conductive member.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of an electric circuit element with an optical element.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of an electric circuit element with an optical element.
6 is a plan view showing an example of use of the anisotropic conductive member shown in FIG.
FIG. 7 is a plan view showing an example of an electric circuit element.
FIG. 8 is a bottom view showing an example of an optical element.
FIG. 9 is a perspective view showing an example of an electric circuit element with an optical element.
FIG. 10 is a perspective view showing an example of a conventional electric circuit element with an optical element.
FIG. 11 is a perspective view showing an example of a conventional electric circuit element with an optical element.
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5353796A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-16 | Toray Industries | Anisotropic conductive sheet and method of manufacture thereof |
JPS57130382A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Shinetsu Polymer Co | Conductive member |
JPS6088574U (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-18 | 日本電気株式会社 | Chip carrier type package connection structure |
JPS62234804A (en) * | 1986-04-03 | 1987-10-15 | 富士ゼロックス株式会社 | Anisotropic conductive film |
JPH0226082A (en) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Photodiode |
JPH04167553A (en) * | 1990-10-31 | 1992-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
JPH09293753A (en) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Canon Inc | Electric circuit part, manufacture thereof, conductive ball, conductive connecting member, and manufacture thereof |
JPH11186670A (en) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Canon Inc | Surface type optical device and its manufacture |
JP2000049414A (en) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Canon Inc | Optical function element device and optical transmitter- receiver, optical interconnection device and optical recorder using the same |
JP2001059923A (en) * | 1999-06-16 | 2001-03-06 | Seiko Epson Corp | Optical module, production thereof, semiconductor device and light transmission device |
-
2003
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5353796A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-16 | Toray Industries | Anisotropic conductive sheet and method of manufacture thereof |
JPS57130382A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Shinetsu Polymer Co | Conductive member |
JPS6088574U (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-18 | 日本電気株式会社 | Chip carrier type package connection structure |
JPS62234804A (en) * | 1986-04-03 | 1987-10-15 | 富士ゼロックス株式会社 | Anisotropic conductive film |
JPH0226082A (en) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Photodiode |
JPH04167553A (en) * | 1990-10-31 | 1992-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
JPH09293753A (en) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Canon Inc | Electric circuit part, manufacture thereof, conductive ball, conductive connecting member, and manufacture thereof |
JPH11186670A (en) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Canon Inc | Surface type optical device and its manufacture |
JP2000049414A (en) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Canon Inc | Optical function element device and optical transmitter- receiver, optical interconnection device and optical recorder using the same |
JP2001059923A (en) * | 1999-06-16 | 2001-03-06 | Seiko Epson Corp | Optical module, production thereof, semiconductor device and light transmission device |
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