JP2005032553A - Ic socket and inspection method of semiconductor device - Google Patents

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contact pin
socket
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lead
semiconductor device
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Hidekazu Iwasaki
秀和 岩崎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an IC socket capable of preventing short-circuiting between the leads by installing a recessed part in a plate into which a contact pin is inserted, and to provide an inspection method of a semiconductor device. <P>SOLUTION: The IC socket is equipped with a pin alignment plate 6 fit on a socket body which is a part of a base part, through which the contact pin 1 connecting an electrode on a board and an IC lead 13 of an IC frame acting as a semiconductor element is inserted, and the recessed part 16 acting as a recovery part of conductive foreign matters 17 installed in the pin alignment plate 6 positioned in the surroundings of the contact pin 1. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はIC(Integrated Circuit)ソケットおよび半導体装置の検査方法に関し、特に、複数のリードを有する半導体素子を回路基板に接続するICソケットおよび半導体装置の検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のICソケットおよび半導体装置の検査手段としては、実開平6−75689号公報(従来例1)および特開平7−114960号公報(従来例2)に記載されたものなどが挙げられる。
【0003】
従来例1においては、ICのリードの相互間に入り込んでリード相互間を電気的および機械的に隔離するための凸状によって構成した絶縁セパレータを設け、この絶縁セパレータによってICソケットの各コンタクトを対応するICのリードに向かって案内する構造としたIC試験用リードプレスが開示されている。
【0004】
従来例2においては、ICパッケージのリードに加圧接触するコンタクトを備えたICソケット本体にリードまたはICパッケージ本体から生ずるダストの落下を目的とするダスト排出ダクトを備え、該ダスト排出ダクトの上端を、リード存在部の下部において開口するように配置したダスト排出手段を備えたICソケットが開示されている。
【0005】
【特許文献1】
実開平6−75689号公報
【0006】
【特許文献2】
特開平7−114960号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなICソケットにおいては、以下のような問題があった。
【0008】
半導体装置をICソケットに取り付ける際は、ベース部上に取り付けられた平面形状を有するプレート上に該半導体装置を取り付ける。この際、ICリードに付着した導電性異物などが、上記のプレートに付着する。
【0009】
ここで、上記のICリードをコンタクトピンに接触させるために、平面形状のベース部またはプレートに押圧すると、リードとプレートとの間に挟まれた異物が広がって、複数のリード間にまたがって延在することとなる。この結果、複数のリードがショートした状態となるので、たとえば検査用のICソケットにおいては、不良判定が増加して検査の歩留まりが低下する。また、実装用のICソケットにおいては、このショートが、デバイスの不良の直接の原因となる。
【0010】
これに対し、従来例1における絶縁セパレータは、ICソケットの各コンタクトを、対応するICのリードに向かって案内するためのものであって、異物を回収する手段については開示されていない。
【0011】
また、従来例2については、該コンタクトピンの周囲のプレートに凹部を設けて、異物を回収する思想は開示されておらず、本発明とは異なるものである。
【0012】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、コンタクトピンが挿通されるプレートに凹部を設けて、リード間のショートを防止することができるICソケットおよび半導体装置の検査方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るICソケットは、基板上の電極と半導体素子のリードとを接続するコンタクトピンを受け入れる貫通孔を有するベース部と、ベース部に取り付けられ、コンタクトピンが挿通されるプレートと、コンタクトピンの周囲に位置するプレートに設けられた凹状のダスト回収部とを備える。
【0014】
本発明に係る半導体装置の検査方法は、基板上の電極に達するコンタクトピンが挿通されたICソケットのベース部上に、コンタクトピンが挿通され、該コンタクトピンの挿通部の周囲に凹部を有するプレートを設置し、該プレート上に半導体装置を取り付けるステップと、半導体装置のリードをコンタクトピンに向けて押圧し、凹部にダストを導きながら、電極とリードとを接続するステップとを備える。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に基づくICソケットおよび半導体装置の検査方法の実施の形態について、図1から図10を用いて説明する。
【0016】
図1は、ICフレームの平面図である。また、図2は、図1におけるI−I断面図である。該ICフレーム11は、図1および図2に示すように、ICパッケージ12とICリード13とを備える。ここで、位置決め孔14(丸孔および長孔)を、後述するICソケットの位置決めピンに嵌め込むことで、該フレーム11をICソケットに取り付けることができる。
【0017】
図3は、本実施の形態に係るICソケットを回路基板上に配置した状態を示す断面図である。また、図4は、図3に示すICソケットにICフレームを押圧した状態を示す断面図である。
【0018】
一般に、ICソケットは、半導体装置の最終検査工程において用いられるほか、実装用としても用いられる。
【0019】
本実施の形態に係るICソケットは、図3および図4に示すように、ボード基板9上の電極9Aと半導体素子としてのICフレーム11のICリード13とを接続するコンタクトピン1を受け入れる貫通孔を有するベース部としてのソケット本体2と、ソケット本体2に取り付けられ、コンタクトピン1が挿通されるプレートとしてのピン整列板6とを備える。
【0020】
ソケット本体2上には、ピン押え3が設置され、コンタクトピン1を固定している。また、上述したとおり、ICフレーム11に設けられた位置決め孔14に、フレーム位置決めピン5を貫通させることで、該フレームの位置決めを行なっている。なお、ソケット本体2とボード基板9との位置合わせは、ボード位置決めピン4を用いて行ない、取り付けネジ10を用いて固定する。この結果、コンタクトピン1と電極9Aとが接続される。
【0021】
ここで、ピン整列板6は、コンタクトピン1を挿通させることで、該ピン先端の位置をアライメントして位置ずれを防ぐ、テンプレートとしての役割を果たしている。
【0022】
実際に、ICリード13をコンタクトピン1に押圧する際は、図4に示すように、IC押えフタ7を閉め、ラッチ8によって、フタ7を閉めた状態を保持する。この結果、コンタクトピン1とICリード13とが接触し、該ピンを介してICリード13と電極9Aとが接続されることとなる。
【0023】
従来のICソケットにおいては、ピン整列板6が平面形状であり、ICリード13をコンタクトピン1に押圧する際に、該リード13と整列板6との間に存在する導電性の異物(ダスト)が、両者に挟み込まれた状態(サンドイッチされた状態)となる。この結果、ダストが隣接するコンタクトピンを含む領域にまで広がり、ショートの原因となる。
【0024】
コンタクトピンがショートをおこした場合、たとえば、そのICソケットがICフレーム11の検査用ICソケットであった場合、実際にはICフレーム11内にショート不良が発生していない場合にも、誤ったショート不良判定がなされ、結果としてテスト歩留が低下する。また、たとえば、実装用のICソケットである場合は、上記のショートが、デバイス不良の直接の原因となる。
【0025】
これに対し、本実施の形態に係るICソケットは、コンタクトピン1の周囲に位置するピン整列板6に、ダスト回収部としての凹部16を備える。
【0026】
図5は、図3および図4における、リード13の押圧部を示す拡大断面図である。
【0027】
また、図6,図7,図8は、それぞれ、図5におけるII−II断面と、III−III断面と、 IV−IV断面とを示した図である。
【0028】
凹部16は、図5から図8に示すように、コンタクトピン1の貫通孔の外周部に第1の突起と、その位置から一定距離はなれた位置に第2の突起とを設けることによって形成される溝である。また、第2の突起は、第1の突起よりもより大きく突出する突出部としての突起プレート15を含んでいる。なお、図8中の破線は、プレートの平坦部と第1および第2の突起との境界部を示している。
【0029】
図9は、図5に示す押圧部において、コンタクトピン1にICリード13を押圧している状態を示す図である。
【0030】
本実施の形態に係るICソケットにおいては、上記の構造を採用することにより、図9に示すように、導電性異物17(ダスト)を凹部16に回収しながら、コンタクトピン1にICリード13を押圧することができる。この結果、導電性異物17は、凹部16に溜め込まれ、隣接するコンタクトピン1に達することがない。したがって、コンタクトピン1のショートを防ぐことができ、上述したように、検査歩留の低下やデバイスの不良を抑制することができる。
【0031】
また、従来の検査用ICソケットにおいては、導電性異物による上記のショートの問題に対し、頻繁にソケットの清掃を行なうことで対処していたが、本実施の形態に係るICソケットにおいては、その清掃の回数および1回あたりの作業量を低減させることができる。この結果として、製品コストの低減を図ることができる。
【0032】
ここで、突起プレート15の高さは、コンタクトピン1のピン整列板6からの突出量と比べて大きいことが好ましい。
【0033】
これにより、ICリード13は、まず最初に突起プレート15に接触する。したがって、突起プレート15付近のICリード13が、より強く押圧されるので、コンタクトピン1などに付着していた導電性異物17を、より確実に該ピン1とプレート15との間の凹部16へと導くことができる。
【0034】
図10は、コンタクトピン1および突起プレート15の配置を示す平面図である。
【0035】
突起プレート15は、図10に示すように、コンタクトピン1の片側に交互に配置(千鳥配置)することが好ましい。
【0036】
これにより、突起プレート15によって異物17を凹部16に導きながら、凹部16の両側(図10中であれば、突起プレート15の左右両側)に広がる空間を拡大することができるので、該凹部16に導かれた異物が、隣接するコンタクトピン1に達する確率を低減させることができる。
【0037】
また、IC押えフタ7の押圧部材7A(押圧手段)は、突起プレート15を有しない側の領域に切り欠き部7Bを有することが好ましい。
【0038】
これにより、突起プレート15を有する側のICリード13を強く押圧することができるので、異物17を、より確実にコンタクトピン1とプレート15との間の凹部16へと導くことができる。
【0039】
本実施の形態において、上述したICフレーム(半導体装置)の検査方法(または該フレームへのICソケットの実装方法)について要約すると、以下のようになる。すなわち、該検査方法(または実装方法)は、ボード基板9上の電極9Aに達するコンタクトピン1が挿通されたICソケットのソケット本体2上に、コンタクトピン1が挿通され、該コンタクトピン1の挿通部の周囲に凹部16を有するピン整列板6を設置し、該整列板6上にICフレーム11を取り付けるステップ(図3)と、ICフレーム11のICリード13をコンタクトピン1に向けて押圧し、凹部16にダストを導きながら、電極9AとICリード13とを接続するステップ(図4、図9)とを備える。
【0040】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体素子の電極への異物の付着を防止することができるので、ICソケットのショート不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ICフレームの平面図である。
【図2】図1におけるI−I断面図である。
【図3】本発明の1つの実施の形態に係るICソケットを回路基板上に配置した状態を示す断面図である。
【図4】図3に示すICソケットにICフレームを押圧した状態を示す断面図である。
【図5】図3および図4におけるリードの押圧部を示す拡大断面図である。
【図6】図5におけるII−II断面図である。
【図7】図5におけるIII−III断面図である。
【図8】図5におけるIV−IV断面図である。
【図9】図5に示す押圧部において、ICソケットにICフレームを押圧しながら、異物を凹部に回収している状態を示す断面図である。
【図10】本発明の1つの実施の形態に係るICソケットのコンタクトピンおよび突出部の配置を示す平面図である。
【符号の説明】
1 コンタクトピン、2 ソケット本体、3 ピン押え、4 ボード位置決めピン、5 フレーム位置決めピン、6 ピン整列板、7 IC押えフタ、7A 押圧部材、7B 切り欠き部、8 ラッチ、9 ボード基板、9A 電極、10取り付けネジ、11 ICフレーム、12 ICパッケージ、13 ICリード、14 位置決め孔、15 突起プレート、16 凹部(溝)、17 導電性異物。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC (Integrated Circuit) socket and a semiconductor device inspection method, and more particularly, to an IC socket and a semiconductor device inspection method for connecting a semiconductor element having a plurality of leads to a circuit board.
[0002]
[Prior art]
Examples of conventional IC socket and semiconductor device inspection means include those described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 6-75689 (conventional example 1) and Japanese Patent Laid-Open No. 7-114960 (conventional example 2).
[0003]
In Conventional Example 1, an insulating separator configured by a convex shape for entering between the leads of the IC and electrically and mechanically separating the leads is provided, and each contact of the IC socket is accommodated by this insulating separator. An IC test lead press having a structure that guides toward the lead of the IC is disclosed.
[0004]
In the conventional example 2, a dust discharge duct for dropping dust generated from the lead or the IC package main body is provided in an IC socket main body having a contact that makes pressure contact with the lead of the IC package, and the upper end of the dust discharge duct is An IC socket having dust discharging means arranged so as to open at the lower portion of the lead existing portion is disclosed.
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Utility Model Publication No. 6-75689 [0006]
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-114960
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described IC socket has the following problems.
[0008]
When the semiconductor device is attached to the IC socket, the semiconductor device is attached onto a plate having a planar shape attached to the base portion. At this time, conductive foreign matter or the like adhering to the IC lead adheres to the plate.
[0009]
Here, in order to bring the IC lead into contact with the contact pin, if it is pressed against a flat base or plate, foreign matter sandwiched between the lead and the plate spreads and extends across a plurality of leads. Will exist. As a result, a plurality of leads are short-circuited. For example, in an IC socket for inspection, the defect determination increases and the inspection yield decreases. In addition, in the IC socket for mounting, this short circuit directly causes a failure of the device.
[0010]
On the other hand, the insulating separator in Conventional Example 1 is for guiding each contact of the IC socket toward the corresponding IC lead, and no means for collecting foreign matter is disclosed.
[0011]
Further, regarding the prior art 2, the idea of providing a recess in the plate around the contact pin to collect foreign matter is not disclosed, which is different from the present invention.
[0012]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an IC socket capable of preventing a short circuit between leads by providing a recess in a plate through which a contact pin is inserted. An object of the present invention is to provide a semiconductor device inspection method.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
An IC socket according to the present invention includes a base portion having a through hole for receiving a contact pin for connecting an electrode on a substrate and a lead of a semiconductor element, a plate attached to the base portion and through which the contact pin is inserted, and a contact pin And a concave dust collecting portion provided on a plate located around the periphery of the plate.
[0014]
A method for inspecting a semiconductor device according to the present invention includes a plate in which a contact pin is inserted on a base portion of an IC socket in which a contact pin reaching an electrode on a substrate is inserted, and a recess is formed around the insertion portion of the contact pin. And mounting the semiconductor device on the plate, and pressing the lead of the semiconductor device toward the contact pin to connect the electrode and the lead while introducing dust into the recess.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of an IC socket and semiconductor device inspection method according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
[0016]
FIG. 1 is a plan view of an IC frame. 2 is a cross-sectional view taken along the line II in FIG. The IC frame 11 includes an IC package 12 and an IC lead 13 as shown in FIGS. Here, the frame 11 can be attached to the IC socket by fitting the positioning hole 14 (round hole and long hole) into a positioning pin of the IC socket described later.
[0017]
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the IC socket according to the present embodiment is arranged on a circuit board. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the IC frame is pressed against the IC socket shown in FIG.
[0018]
In general, an IC socket is used not only for a final inspection process of a semiconductor device but also for mounting.
[0019]
As shown in FIGS. 3 and 4, the IC socket according to the present embodiment has a through hole that receives the contact pin 1 that connects the electrode 9 </ b> A on the board substrate 9 and the IC lead 13 of the IC frame 11 as a semiconductor element. And a pin alignment plate 6 as a plate that is attached to the socket body 2 and through which the contact pins 1 are inserted.
[0020]
A pin presser 3 is installed on the socket body 2 to fix the contact pin 1. Further, as described above, the frame is positioned by passing the frame positioning pins 5 through the positioning holes 14 provided in the IC frame 11. The socket body 2 and the board substrate 9 are aligned using the board positioning pins 4 and fixed using the mounting screws 10. As a result, the contact pin 1 and the electrode 9A are connected.
[0021]
Here, the pin alignment plate 6 plays a role as a template by inserting the contact pins 1 to align the positions of the tips of the pins to prevent displacement.
[0022]
Actually, when the IC lead 13 is pressed against the contact pin 1, as shown in FIG. 4, the IC pressing cover 7 is closed, and the state where the cover 7 is closed is held by the latch 8. As a result, the contact pin 1 and the IC lead 13 come into contact with each other, and the IC lead 13 and the electrode 9A are connected via the pin.
[0023]
In the conventional IC socket, the pin alignment plate 6 has a planar shape, and when the IC lead 13 is pressed against the contact pin 1, conductive foreign matter (dust) existing between the lead 13 and the alignment plate 6. However, it will be in the state of being sandwiched between both (sandwiched state). As a result, dust spreads to the area including the adjacent contact pins, causing a short circuit.
[0024]
When the contact pin is short-circuited, for example, when the IC socket is an IC socket for inspection of the IC frame 11, even if no short-circuit defect has actually occurred in the IC frame 11, an erroneous short-circuit Defect determination is made, and as a result, the test yield decreases. Further, for example, in the case of an IC socket for mounting, the short circuit directly causes a device failure.
[0025]
On the other hand, the IC socket according to the present embodiment is provided with a recess 16 as a dust collecting portion in the pin alignment plate 6 positioned around the contact pin 1.
[0026]
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the pressing portion of the lead 13 in FIGS. 3 and 4.
[0027]
6, FIG. 7, and FIG. 8 are views showing the II-II section, the III-III section, and the IV-IV section in FIG. 5, respectively.
[0028]
As shown in FIGS. 5 to 8, the recess 16 is formed by providing a first protrusion on the outer peripheral portion of the through hole of the contact pin 1 and a second protrusion at a position away from the position by a certain distance. It is a groove. The second protrusion includes a protrusion plate 15 as a protrusion that protrudes larger than the first protrusion. In addition, the broken line in FIG. 8 has shown the boundary part of the flat part of a plate, and the 1st and 2nd protrusion.
[0029]
FIG. 9 is a diagram showing a state where the IC lead 13 is pressed against the contact pin 1 in the pressing portion shown in FIG.
[0030]
In the IC socket according to the present embodiment, by adopting the above-described structure, the IC lead 13 is attached to the contact pin 1 while collecting the conductive foreign matter 17 (dust) in the recess 16 as shown in FIG. Can be pressed. As a result, the conductive foreign material 17 is collected in the recess 16 and does not reach the adjacent contact pin 1. Therefore, short-circuiting of the contact pin 1 can be prevented, and as described above, it is possible to suppress a decrease in inspection yield and a device defect.
[0031]
Further, in the conventional IC socket for inspection, the above short circuit problem due to the conductive foreign matter has been dealt with by frequently cleaning the socket. However, in the IC socket according to the present embodiment, the The number of cleanings and the amount of work per operation can be reduced. As a result, the product cost can be reduced.
[0032]
Here, the height of the protrusion plate 15 is preferably larger than the protruding amount of the contact pin 1 from the pin alignment plate 6.
[0033]
As a result, the IC lead 13 first comes into contact with the protruding plate 15. Accordingly, since the IC lead 13 near the protrusion plate 15 is pressed more strongly, the conductive foreign matter 17 adhering to the contact pin 1 or the like is more reliably transferred to the recess 16 between the pin 1 and the plate 15. Can lead to.
[0034]
FIG. 10 is a plan view showing the arrangement of the contact pins 1 and the protruding plates 15.
[0035]
As shown in FIG. 10, the protruding plates 15 are preferably arranged alternately (staggered arrangement) on one side of the contact pins 1.
[0036]
As a result, the space extending on both sides of the recess 16 (in FIG. 10, the left and right sides of the projection plate 15) can be expanded while the foreign material 17 is guided to the recess 16 by the projection plate 15. The probability that the introduced foreign matter reaches the adjacent contact pin 1 can be reduced.
[0037]
Moreover, it is preferable that the pressing member 7A (pressing means) of the IC presser lid 7 has a cutout portion 7B in a region on the side not having the protruding plate 15.
[0038]
Thereby, the IC lead 13 on the side having the protruding plate 15 can be strongly pressed, so that the foreign matter 17 can be more reliably guided to the concave portion 16 between the contact pin 1 and the plate 15.
[0039]
In the present embodiment, the above-described method for inspecting an IC frame (semiconductor device) (or a method for mounting an IC socket on the frame) is summarized as follows. That is, in the inspection method (or mounting method), the contact pin 1 is inserted on the socket body 2 of the IC socket through which the contact pin 1 reaching the electrode 9A on the board substrate 9 is inserted, and the contact pin 1 is inserted. A pin aligning plate 6 having a recess 16 around the periphery of the portion, a step of attaching the IC frame 11 on the aligning plate 6 (FIG. 3), and pressing the IC lead 13 of the IC frame 11 toward the contact pin 1 And a step (FIGS. 4 and 9) for connecting the electrode 9A and the IC lead 13 while introducing dust into the recess 16.
[0040]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
[0041]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to prevent foreign matters from adhering to the electrodes of the semiconductor element, and thus it is possible to prevent short-circuit defects in the IC socket.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an IC frame.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which an IC socket according to one embodiment of the present invention is arranged on a circuit board.
4 is a cross-sectional view showing a state in which an IC frame is pressed against the IC socket shown in FIG. 3;
5 is an enlarged cross-sectional view showing a pressing portion of the lead in FIGS. 3 and 4. FIG.
6 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
7 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
8 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
9 is a cross-sectional view showing a state in which the foreign matter is collected in the recess while pressing the IC frame against the IC socket in the pressing portion shown in FIG.
FIG. 10 is a plan view showing the arrangement of contact pins and protrusions of an IC socket according to one embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Contact pin, 2 Socket body, 3 Pin presser, 4 Board positioning pin, 5 Frame positioning pin, 6 Pin alignment plate, 7 IC presser cover, 7A Press member, 7B Notch, 8 Latch, 9 Board substrate, 9A Electrode 10 mounting screws, 11 IC frame, 12 IC package, 13 IC lead, 14 positioning hole, 15 protrusion plate, 16 recess (groove), 17 conductive foreign matter.

Claims (5)

基板上の電極と半導体素子のリードとを接続するコンタクトピンを受け入れる貫通孔を有するベース部と、
前記ベース部に取り付けられ、前記コンタクトピンが挿通されるプレートと、
前記コンタクトピンの周囲に位置する前記プレートに設けられた凹状のダスト回収部とを備えたICソケット。
A base portion having a through hole for receiving a contact pin connecting an electrode on a substrate and a lead of a semiconductor element;
A plate attached to the base portion and through which the contact pin is inserted;
An IC socket including a concave dust collecting portion provided on the plate located around the contact pin.
前記プレートに突出部を設けることで前記ダスト回収部を形成し、
前記突出部の高さは、前記コンタクトピンの前記プレートからの突出量と比べて大きい、請求項1に記載のICソケット。
Forming the dust collecting part by providing a protrusion on the plate;
The IC socket according to claim 1, wherein a height of the protruding portion is larger than a protruding amount of the contact pin from the plate.
複数の前記コンタクトピンを備え、
前記ダスト回収部を前記コンタクトピンの片側に交互に配置した、請求項1または請求項2に記載のICソケット。
A plurality of the contact pins;
The IC socket according to claim 1 or 2, wherein the dust collecting portions are alternately arranged on one side of the contact pin.
前記ICソケットは、前記複数のコンタクトピン上に延在し、前記コンタクトピンに向けて前記リード電極を押圧する押圧手段をさらに備え、
前記押圧手段は、前記突出部を有しない側の領域に切り欠き部を有する、請求項3に記載のICソケット。
The IC socket further includes a pressing unit that extends on the plurality of contact pins and presses the lead electrode toward the contact pins.
The IC socket according to claim 3, wherein the pressing means has a notch in a region on the side not having the protrusion.
基板上の電極に達するコンタクトピンが挿通されたICソケットのベース部上に、前記コンタクトピンが挿通され、該コンタクトピンの挿通部の周囲に凹部を有するプレートを設置し、該プレート上に半導体装置を取り付けるステップと、
前記半導体装置のリードを前記コンタクトピンに向けて押圧し、前記凹部にダストを導きながら、前記電極と前記リードとを接続するステップとを備えた半導体装置の検査方法。
The contact pin is inserted on the base portion of the IC socket through which the contact pin reaching the electrode on the substrate is inserted, and a plate having a recess is provided around the insertion portion of the contact pin, and the semiconductor device is provided on the plate Attaching the step,
A method of inspecting a semiconductor device, comprising: pressing the lead of the semiconductor device toward the contact pin, and connecting the electrode and the lead while introducing dust into the recess.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20120214290A1 (en) * 2009-07-21 2012-08-23 Isao Sugaya Substrate holder, pair of substrate holders, substrate bonding apparatus and method for manufacturing devices

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