JP2005031900A - 搬送監視システム、搬送システムおよび半導体製造システム - Google Patents

Abstract

【課題】自動搬送システムにおいて、搬送車に異常が発生した時に保守員が即座に状況を把握し、異常発生からの復旧時間を短縮することができる搬送監視システム、搬送システムおよび半導体製造システムを提供する。
【解決手段】搬送車１１の走行を自動追尾し搬送車１１の映像を撮影するカメラ１４と、カメラ１４を制御するカメラコントローラ１５と、カメラ１４で撮影した映像を表示する映像表示装置１６と、カメラ１４で撮影した映像を記録する映像記録装置１７などから構成され、カメラ１４により搬送車１１を常時監視し、搬送車１１に異常が発生した場合、その異常が発生した時の映像を映像表示装置１６に自動表示する。また、搬送開始から異常が発生するまでの映像を映像記録装置１７に記録し、映像表示装置１６に再生表示する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送監視システム、搬送システムおよび半導体製造システムに関し、特に工業製品の製造ラインにおける自動搬送車の稼動状況の監視に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者が検討した技術として、例えば、搬送監視システムなどにおいては、以下の技術が考えられる。
【０００３】
半導体製造ラインなどにおけるクリーンルーム内の自動搬送システムの稼動状況の監視は、従来、搬送コントローラが搬送車と制御信号のやりとりをすることで行われていた。故障などの異常が搬送車に発生すると、搬送コントローラが異常を認識してエラーメッセージを表示し、または指定された他のシステムにエラーメッセージを報告する。異常の発生を知った保守員は、エラーメッセージを見てシステムの状態を推測し、近傍の作業者に連絡をとって状況を確認したり、故障などの異常が発生した場所へ行ったりして異常現象の把握を行って、復旧作業を実施していた。
【０００４】
また、自動搬送車の遠隔監視システムとして、生産現場に必要数設置したカメラにより自動搬送車の運行状態を撮影してモニタ室へ送り、トラブル発生時にトラブルが発生した搬送車の映像をモニタしてトラブルを短時間で復旧する技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−４１１４５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような搬送監視システムなどの技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００７】
例えば、製造ラインの自動化が進み、また、製造ラインの規模が大きくなると、搬送システムの異常を示すエラーメッセージを保守員が受け取ってから異常現象を把握するまでの時間が長くなり、搬送システムの復旧時間が長くなってしまう。
【０００８】
また、対応可能なトラブルは、搬送車が異常停止したことのみであり、通常の搬送動作とは異なる異常現象、例えば、動作遅延、動作異常などの異常を認識することができない。また、カメラで走行状態を監視するために、搬送車の走行経路をあらかじめ記憶させておかなければならない。また、カメラで捉えた走行映像を記録する装置が組み込まれていないため、トラブル発生の前後の状況をトラブル発生後に確認することができない。また、過去のトラブル映像を参照し、再発トラブルであるか否かの確認を映像からとることができない。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、自動搬送システムにおいて、搬送車に異常が発生した時に保守員が即座に状況を把握し、異常発生からの復旧時間を短縮することができる搬送監視システム、搬送システムおよび半導体製造システムを提供するものである。
【００１０】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
（１）本発明による搬送監視システムは、搬送車（車輪を備えない搬送装置も含む）の映像を撮影するカメラと、カメラを制御するカメラコントローラと、カメラで撮影した映像を表示する映像表示装置と、カメラで撮影した映像を記録する映像記録装置などから構成され、カメラにより搬送車を常時監視し、搬送車に異常が発生した場合、その異常が発生した時の映像を映像表示装置に自動表示するものである。
【００１３】
（２）前記（１）の搬送監視システムは、さらに、カメラで撮影した映像から画像処理により搬送車を認識し、搬送車の走行をカメラに自動追尾させるものである。
【００１４】
（３）前記（２）の搬送監視システムは、さらに、複数のカメラで連携をとって搬送車の走行を画像認識により連続的に監視するものである。
【００１５】
（４）前記（２）、（３）の搬送監視システムは、さらに、搬送車に異常が発生した場合、搬送開始から異常が発生するまで、あるいは異常が解除されるまで、あるいはシステムが復旧するまでの映像を映像記録装置に記録するものである。
【００１６】
（５）前記（４）の搬送監視システムは、さらに、映像記録装置に記録された映像を映像表示装置に再生表示するものである。
【００１７】
（６）前記（１）〜（５）の搬送監視システムは、さらに、搬送車に異常が発生した場合、エラーメッセージ、エラーメッセージの付帯情報および異常が発生した時の映像を映像表示装置に表示するものである。
【００１８】
（７）本発明による搬送システムは、前記（１）〜（６）の搬送監視システムを備えるものである。
【００１９】
（８）本発明による半導体製造システムは、前記（１）〜（６）の搬送監視システムを備えるものである。
【００２０】
よって、前記（１）〜（６）の搬送監視システム、前記（７）の搬送システムおよび前記（８）の半導体製造システムによれば、搬送車に異常が発生した時に保守員が即座に状況を把握し、異常発生からの復旧時間を短縮することができる。また、異常発生時の映像を記録に残せるため、原因究明が短時間で正確にできる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２２】
図１は本発明の一実施の形態の搬送監視システムの構成を示すブロック図、図２は本実施の形態の搬送監視システムを備えた搬送システムの構成を示す斜視図、図３は本実施の形態の搬送監視システムを備えた半導体製造システムの構成を示す平面図である。
【００２３】
まず、図１により、本実施の形態の搬送監視システムの構成の一例を説明する。本実施の形態の搬送監視システムは、例えば半導体製造ラインにおけるクリーンルーム内の自動搬送システムなどに適用され、複数の搬送車１１を制御する搬送コントローラ１２，１３と、搬送車１１の映像を撮影する複数のカメラ１４と、カメラ１４を制御するカメラコントローラ１５と、カメラ１４で撮影した映像を表示する映像表示装置１６と、カメラ１４で撮影した映像を記録する映像記録装置１７と、搬送監視システム本体１８などから構成される。なお、搬送車１１またはカメラ１４は１つでもよく、搬送コントローラ１２，１３、カメラコントローラ１５、映像表示装置１６または映像記録装置１７は複数でもよい。
【００２４】
搬送コントローラ１２と搬送コントローラ１３と搬送監視システム本体１８とはＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）１９により接続されており、搬送コントローラ１３と搬送車１１とはＬＡＮ２０により接続されており、カメラ１４とカメラコントローラ１５とは例えばアナログのケーブルにより接続されており、カメラコントローラ１５と映像表示装置１６と映像記録装置１７とは搬送監視システム本体１８と接続されている。
【００２５】
搬送コントローラ１２は、軌道上を自動走行するＲＧＶ（Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、無軌道上を自動走行するＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、あるいは天井搬送方式の一つであるＯＨＴ（Ｏｖｅｒ−ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、あるいはＯＨＳ（Ｏｖｅｒ−ｈｅａｄ Ｓｈｕｔｔｌｅ）などのクリーンルーム内にある数種類の搬送車を総合的に制御するものである。
【００２６】
搬送コントローラ１３は、例えばＲＧＶなどの一部の搬送車を部分的に制御するものである。
【００２７】
搬送車１１は、例えばＲＧＶと呼ばれる有軌道搬送車であるが、ＡＧＶやＯＨＴであってもよく、また、床走行型の搬送車のほか、天井走行型の搬送車などであってもよい。
【００２８】
カメラ１４は、クリーンルーム内の天井や壁などに設置された可動式カメラである。
【００２９】
カメラコントローラ１５は、カメラ１４の向き・ズームなどを制御し、また、映像信号を受信する装置である。
【００３０】
映像表示装置１６は、カメラ１４で撮影した映像を映し出すためのモニタディスプレイなどであり、一般に複数箇所に設置される。
【００３１】
映像記録装置１７は、カメラ１４で撮影した映像を記録するためのレコーダなどである。
【００３２】
搬送監視システム本体１８は、カメラ１４で撮影した映像から搬送車１１を認識したり、カメラコントローラ１５や映像記録装置１７などへの制御指示を行ったりするものであり、制御部とデータベースなどから構成されている。当該制御部は、例えば次の機能を有する。
【００３３】
（１）カメラ１４およびカメラコントローラ１５により搬送車１１を常時監視し、搬送車１１の異常を知らせるエラーメッセージを搬送コントローラ１２，１３から受信した場合、異常が発生した時の搬送車１１の映像を映像表示装置１６に自動表示する。
【００３４】
（２）カメラ１４で撮影した映像から画像処理により搬送車１１を認識し、搬送車の走行をカメラ１４に自動追尾させる。
【００３５】
（３）複数のカメラ１４で連携をとって搬送車１１の走行を画像認識により連続的に監視する。
【００３６】
（４）搬送車１１の異常を知らせるエラーメッセージを搬送コントローラ１２，１３から受信した場合、搬送開始から異常が発生するまで、あるいは異常が解除されるまで、あるいはシステムが復旧するまでの搬送車１１の映像を映像記録装置１７に記録する。
【００３７】
（５）映像記録装置１７に記録された映像をプレイバック機能により映像表示装置１６に再生表示する。
【００３８】
（６）搬送車１１の異常を知らせるエラーメッセージを搬送コントローラ１２，１３から受信した場合、エラーメッセージ、エラーメッセージの付帯情報および異常が発生した時の搬送車１１の映像を映像表示装置１６に表示する。
【００３９】
（７）カメラ１４およびカメラコントローラ１５により搬送車１１を常時監視し、カメラ１４により撮影された映像により搬送車１１に異常が発生したことを認識した場合、異常が発生した時の搬送車１１の映像を映像表示装置１６に自動表示する。搬送車１１に異常が発生したことは、通常より搬送時間が長くかかった場合、搬送先へ向かう途中で一定時間以上停止した場合、または、搬送元若しくは搬送先で搬送物の受け渡しに一定時間以上を要した場合などに認識される。
【００４０】
（８）前記（７）によりカメラ１４により撮影された映像により搬送車１１に異常が発生したことを認識した場合、搬送開始から異常が発生するまで、あるいは異常が解除されるまで、あるいはシステムが復旧するまでの搬送車１１の映像を映像記録装置１７に記録する。
【００４１】
次に、図１により、本実施の形態の搬送監視システムの動作を説明する。搬送コントローラ１２，１３から搬送車１１へ搬送の指示が出されると、カメラ１４で搬送車１１を撮影し、撮影した映像を基に搬送監視システム本体１８で画像認識により搬送車１１を固体認識し、搬送車１１の現在位置を確認する。そして、カメラ１４は、搬送車１１の自動追尾を開始して搬送終了まで画像追尾を続ける。
【００４２】
搬送開始の認識は、搬送コントローラ１２，１３から信号を受け取って認識をしてもよく、カメラ１４で撮影した映像から搬送車１１の走行開始を認識してもよい。
【００４３】
あるカメラ１４の撮影領域の外へ搬送車１１が移動した場合は、次の領域をカバーするカメラ１４へ映像を切り替え、継続して自動追尾を続ける。この時、自動追尾は、１台のカメラではなく、複数のカメラ１４がカメラコントローラ１５の指示により連携をとって、連続して追尾してもよい。また、複数のカメラ１４による自動追尾は、不連続であってカメラ切り替え時にいわゆる死角があってもよい。この場合は、次のカメラは搬送車１１がまもなく来るであろうことを予測して待機し、搬送車１１が画像内に入ってきた時点で画像認識によって搬送車１１を固体認識する。
【００４４】
搬送監視システム本体１８は、搬送コントローラ１２，１３から搬送車１１の異常を知らせるエラーメッセージを受信すると、カメラ１４でズームインまたはズームアウトをして異常発生時の搬送車１１の状態を捉え、その時の映像を映像表示装置１６に表示する。この時、映像とともに、エラーメッセージとその付帯情報（搬送指示情報、搬送元、搬送先、装置の状態など）を映像表示装置１６に表示する。
【００４５】
また、搬送開始から異常発生までの映像または復旧までの映像を映像記録装置１７に記録する。そして、搬送監視システム本体１８内のプレイバック（再生）機能を利用して、映像記録装置１７に記録した搬送車１１の映像を必要に応じて映像表示装置１６に再生表示する。
【００４６】
搬送コントローラ１２，１３からエラーメッセージを受信しなくても、撮影した映像から動作遅延などの異常状態を認識した場合、同様にしてカメラ１４でズームインまたはズームアウトをして搬送車１１の状態を捉え、その時の映像を映像表示装置１６に表示する。そして、搬送監視システム本体１８内のプレイバック（再生）機能を利用して、映像記録装置１７に記録した搬送車１１の映像を必要に応じて映像表示装置１６に再生表示する。この場合の異常としては、次のようなものがある。
【００４７】
（１）通常より搬送時間が長くかかった場合。
【００４８】
（２）搬送先へ向かう途中で一定時間以上停止した場合。
【００４９】
（３）搬送元、搬送先で搬送物の受け渡しに一定時間以上を要した場合。
【００５０】
例えば、搬送車１１が動作遅延して自動的に搬送完了した場合なども映像記録装置１７に記録を残す。
【００５１】
また、異常の内容によって情報を分類し、撮影した映像の画像データとともに、搬送監視システム本体１８内のデータベースに情報を記録する。記録された異常情報（異常の内容、異常発生時刻、異常発生場所など）および画像データは、検索機能によって、ＬＡＮ１９を介して他のコンピュータから確認することができるようにする。
【００５２】
次に、図２により、前記実施の形態の搬送監視システムを備えた搬送システムについて説明する。本実施の形態の搬送システムは、例えばＲＧＶと呼ばれる有軌道自動搬送車を使用した搬送システムであり、１つまたは複数（図２では２つ）の搬送車１１と、搬送レール２１と、１つまたは複数（図２では２つ）のストッカＢＳと、前記実施の形態の搬送監視システムなどから構成される。半導体製造ラインにおけるクリーンルーム内の天井２３に前記実施の形態の搬送監視システムのカメラ１４が設置されている。２つのストッカＢＳの間には１本の搬送レール２１が敷設され、この搬送レール２１上には２つの搬送車１１が配置されている。また、２つのストッカＢＳの間には、複数（図２では８つ）の製造装置ＥＱが配置されている。
【００５３】
製造装置ＥＱは、例えば半導体装置を製造するための処理装置または検査装置である。ストッカＢＳは、処理対象・搬送物であるウェハなどを一時的に保管するものである。
【００５４】
搬送車１１は、搬送コントローラ１２，１３の指示を受けて、ストッカＢＳと製造装置ＥＱとの間でウェハが格納されているキャリア２２を搬送する。そして、カメラ１４により搬送車１１の走行を追尾し監視する。搬送車１１に異常が発生した場合、あるいは搬送車１１と製造装置ＥＱとの間でキャリア２２を受け渡す際に異常が発生した場合は、前記実施の形態の搬送監視システムにより、その映像を表示・記録する。
【００５５】
次に、図３により、前記実施の形態の搬送監視システムを備えた半導体製造システムについて説明する。本実施の形態の半導体製造システムは、例えばクリーンルームＣＲ内に設置され、複数の製造装置ＥＱと、複数のストッカＢＳと、複数の搬送車１１と、複数の搬送レール２１と、前記実施の形態の搬送監視システムなどからなる。クリーンルームＣＲ内には、図２に示した搬送システムと製造装置ＥＱとが配列され、全体で半導体製造システムを構成している。
【００５６】
半導体装置の製造に用いられる熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置などの各種の製造装置ＥＱ（検査装置を含む）は、複数のベイ（装置群）に分けられてクリーンルームＣＲ内に配置されている。これら各種の製造装置ＥＱは、それぞれウェハに処理を施すものである。そして、クリーンルームＣＲ内の搬送システムは、この配置に対応し、各搬送システムおよびそれらを中継するストッカＢＳによって構成されている。
【００５７】
各ストッカＢＳの間における、ウェハが格納されているキャリア２２の搬送は、クリーンルームＣＲ内に設置した搬送システムによって行われる。一方、製造装置ＥＱに関係するウェハが格納されたキャリア２２の搬送は、クリーンルームＣＲに敷設した搬送レール２１上を走行する搬送車（ＲＧＶ）１１によって行われる。搬送レール２１は、２つの搬送車１１で共用されている。搬送車１１は、搬送車１１と接続された搬送コントローラ１２，１３によって稼動状態が制御されている。
【００５８】
クリーンルームＣＲ内の天井には、複数のカメラ１４が設置され、前記実施の形態の搬送監視システムにより、搬送車１１の稼動状況が監視される。
【００５９】
したがって、本実施の形態の搬送監視システム、搬送システムおよび半導体製造システムによれば、異常発生時に異常発生場所へ行かなくても、異常の状況を映像で確認することが可能となり、また、搬送車の動きを映像で確実に捉えているため、異常発生の前後の状況を含めて確認が正確かつ容易となり、搬送システムの異常発生からの復旧時間を短縮することができる。
【００６０】
また、異常発生時の映像を記録に残すことができるため、従来は再現実験が困難で原因の特定が困難であった搬送トラブルに関しても、原因究明が短時間でかつ正確にできるようになる。
【００６１】
また、搬送コントローラが異常として認識しなくても、動作遅延や動作異常のような異常現象を映像から認識し、保守員に知らせるとともに記録に残すことができる。
【００６２】
また、製造ラインの生産性向上を図ることができ、スループット向上、さらにはＴＡＴ短縮の効果が得られる。
【００６３】
また、過去のトラブルを正確に分類・来歴管理することができ、それを参照することにより、再発トラブルに対して、搬送システムの改善や運用方法の改善を効果的に実施することが可能になる。
【００６４】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６５】
例えば、前記実施の形態においては、半導体製造ラインに適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、液晶製造ラインなどについても適用可能であり、特に自動化された製造ラインの搬送システムには有効である。例えば、安全のため自動搬送車の走行域に作業者（人）が入れないような構造になっている製造ラインやそこに導入された高速走行自動搬送システムでは、最も効果が大きい。
【００６６】
また、搬送監視システム本体１８は、搬送コントローラ１２，１３と必ずしも接続されていなくてもよく、すべての搬送状態を映像のみで監視するようにしてもよい。
【００６７】
また、カメラによる映像監視と同時に、マイクによる音声監視をすることによって、トラブル発生時の異常音を記録に残すことも可能である。
【００６８】
また、搬送監視システムの映像をもとに、停止した搬送車の復旧信号を搬送コントローラ１２，１３から自動的に送出したり、搬送コントローラ１２，１３の端末から復旧信号を送出することによって、復旧作業を自動操作または遠隔操作で行うことも可能である。
【００６９】
また、人が近くで監視することができない、あるいは搬送システムの規模に対して監視人員が少ないような産業の製造ラインにおいて、本発明による遠隔監視技術を応用することができる。
【００７０】
また、搬送中に異常が発生した時にのみ映像を記録するのではなく、正常に搬送されている場合についても映像や音声を記録に残すことにより、搬送車の動作状態の経時変化や経時劣化などを分析し、予防保全に適用することができる。
【００７１】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００７２】
（１）異常発生時に異常発生場所へ行かなくても、異常の状況を映像で確認することが可能となり、搬送システムの異常発生からの復旧時間を短縮することができる。
【００７３】
（２）異常発生時の映像を記録に残すことができるため、搬送システムの異常の原因究明が短時間でかつ正確にできるようになる。
【００７４】
（３）搬送コントローラが異常として認識しなくても、動作遅延や動作異常のような異常現象を映像から認識し、保守員に知らせるとともに記録に残すことができる。
【００７５】
（４）製造ラインの生産性向上を図ることができ、スループット向上、さらにはＴＡＴ短縮の効果が得られる。
【００７６】
（５）過去のトラブルを正確に分類・来歴管理することができ、搬送システムの改善や運用方法の改善を効果的に実施することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である搬送監視システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態である搬送監視システムを備えた搬送システムの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態である搬送監視システムを備えた半導体製造システムの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１１ 搬送車
１２，１３ 搬送コントローラ
１４ カメラ
１５ カメラコントローラ
１６ 映像表示装置
１７ 映像記録装置
１８ 搬送監視システム本体
１９，２０ ＬＡＮ
２１ 搬送レール
２２ キャリア
２３ 天井
ＢＳ ストッカ
ＣＲ クリーンルーム
ＥＱ 製造装置

Claims (14)

1. 搬送車を制御する搬送コントローラと、
   前記搬送車の映像を撮影するカメラと、
   前記カメラを制御するカメラコントローラと、
   前記カメラで撮影した映像を表示する映像表示装置と、
   前記カメラで撮影した映像を記録する映像記録装置と、
   前記カメラコントローラの制御に基づいて前記カメラにより前記搬送車を常時監視し、前記搬送車の異常を知らせるエラーメッセージを前記搬送コントローラから受信した場合、前記異常が発生した時の前記搬送車の映像を前記映像表示装置に自動表示する手段と、
   を有することを特徴とする搬送監視システム。
2. 請求項１記載の搬送監視システムであって、
   前記カメラで撮影した映像から画像処理により前記搬送車を認識し、前記搬送車の走行を前記カメラに自動追尾させる手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
3. 請求項２記載の搬送監視システムであって、
   前記カメラが複数ある場合に、前記複数のカメラで連携をとって前記搬送車の走行を画像認識により連続的に監視する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
4. 請求項２または３記載の搬送監視システムであって、
   前記搬送車の異常を知らせるエラーメッセージを前記搬送コントローラから受信した場合、搬送開始から前記搬送車に異常が発生するまでの前記搬送車の映像を前記映像記録装置に記録する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
5. 請求項４記載の搬送監視システムであって、
   前記映像記録装置に記録された映像を前記映像表示装置に再生表示する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送監視システムであって、
   前記搬送車の異常を知らせるエラーメッセージを前記搬送コントローラから受信した場合、前記エラーメッセージ、前記エラーメッセージの付帯情報および前記異常が発生した時の前記搬送車の映像を前記映像表示装置に表示する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
7. 搬送車の映像を撮影するカメラと、
   前記カメラを制御するカメラコントローラと、
   前記カメラで撮影した映像を表示する映像表示装置と、
   前記カメラで撮影した映像を記録する映像記録装置と、
   前記カメラコントローラの制御に基づいて前記カメラにより前記搬送車を常時監視し、前記カメラにより撮影された映像により前記搬送車に異常が発生したことを認識した場合、前記異常が発生した時の前記搬送車の映像を前記映像表示装置に自動表示する手段と、
   を有することを特徴とする搬送監視システム。
8. 請求項７記載の搬送監視システムであって、
   前記カメラにより撮影された映像により前記搬送車に異常が発生したことは、通常より搬送時間が長くかかった場合、搬送先へ向かう途中で一定時間以上停止した場合、または搬送元若しくは搬送先で搬送物の受け渡しに一定時間以上を要した場合に認識されることを特徴とする搬送監視システム。
9. 請求項７または８記載の搬送監視システムであって、
   前記カメラで撮影した映像から画像処理により前記搬送車を認識し、前記搬送車の走行を前記カメラに自動追尾させる手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
10. 請求項９記載の搬送監視システムであって、
    前記カメラが複数ある場合に、前記複数のカメラで連携をとって前記搬送車の走行を画像認識により連続的に監視する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
11. 請求項９または１０記載の搬送監視システムであって、
    前記カメラにより撮影された映像により前記搬送車に異常が発生したことを認識した場合、搬送開始から前記搬送車に異常が発生するまでの前記搬送車の映像を前記映像記録装置に記録する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
12. 請求項１１記載の搬送監視システムであって、
    前記映像記録装置に記録された映像を前記映像表示装置に再生表示する手段をさらに有することを特徴とする搬送監視システム。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の搬送監視システムを備えることを特徴とする搬送システム。
14. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の搬送監視システムを備えることを特徴とする半導体製造システム。

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