JP2005016912A - 焼成治具および電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックチップ部品を収容し加熱処理を施すための焼成治具である。上部に開口部を有しこの開口部よりセラミックチップ部品を取り込み可能とする箱体と、この開口部を塞ぐ蓋体とから構成される。そして蓋体において、少なくとも箱体の開口部に対応する領域に蓋体を介して通気が可能なハニカム構造体を形成し、このハニカム構造体にて箱体内に導入される気流の整流をなすようにした。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサなどに代表される電子部品の製造に用いられる焼成治具および電子部品の製造方法に係り、特に電子部品中の有機物を除去させる脱バインダ処理および本焼成処理を行うのに好適な焼成治具および電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に積層セラミックコンデンサなどの製造工程においては、200〜500℃の低温で被処理物中に含有している有機物(バインダ)を放散させるための脱バインダ工程と、当該脱バインダ工程の後に900℃以上の高温で被処理物を焼成するための焼成工程とがある。そしてこれら2つの工程は、製品仕様や数量、その他の条件に応じて、連続炉にて一貫ラインで行う方式と、バッチ炉を使用して別々に行う方式に適宜分けられる。
【0003】
ところで上述したこれらの工程では、被処理物(例えば積層セラミックコンデンサ)をトレー状の治具に載せ、その後、還元雰囲気中に投入し加熱処理を行うようにしている。しかし加熱処理によって被処理物から発生したアウトガスが被処理物の近傍に滞留し還元雰囲気が保てなくなると、脱バインダ処理(いわゆる加熱により被処理物からアウトガスを発生させ有機物を除去する処理)が不十分になり、有機物残留によって被処理物にクラックが発生したり、内部電極が酸化するおそれがあった。このため上記工程では、一定流量の雰囲気ガスを被処理物に向けて送気し、当該被処理物近傍が常に還元雰囲気になるようにしている。
【0004】
ところで上述した工程に使用される(被処理物を載せるための)トレー状の治具には、孔やメッシュを設けることで通気性の向上を図るようにしたものや(例えば、特許文献1、2、3、4を参照)、トレー状の治具に蓋をかぶせるようにしたものが知られている(例えば、特許文献5、6、7を参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平5−270926号公報(第1図)
【0006】
【特許文献2】
特開平8−213291号公報(第1図)
【0007】
【特許文献3】
特許第3099045号公報(第1図)
【0008】
【特許文献4】
特開2000−169243号公報(第1図)
【0009】
【特許文献5】
実用新案登録第2550848号公報(第1図)
【0010】
【特許文献6】
特開2001−146463号公報(第1図)
【0011】
【特許文献7】
特開2001−141373号公報(第1図)
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上述した工程に用いられる治具では、以下に示すような問題点があった。
【0013】
すなわち特許文献1、2、3、4などに示される孔やメッシュを設けることで通気性の向上を図るようにしたトレー状の治具では、その上面に開口部が形成されているので、熱処理を行う被処理物が小型になると、雰囲気ガスの送気によって、治具の外方へと前記被処理物が飛散してしまうという問題があった。特に被処理物である積層セラミックコンデンサでは、そのチップサイズの小型化が進んでおり、熱処理中の飛散を防止する方法が望まれていた。
【0014】
なおチップサイズに応じて雰囲気ガスの送気量を調整し飛散防止を行うことも考えられるが、同方法ではサイズの異なる多品種のチップを同時に処理することが困難になり製造効率が悪化する。
【0015】
また被処理物の飛散防止を図るため、側壁が極めて高いトレー内に前記被処理物を入れて加熱処理を行うことも考えられるが、治具本体の高さが高くなると、連続炉においては炉内開口もこれに応じて大きくする必要があり炉内の雰囲気を一定に保つことが困難になるという問題が生じる。
【0016】
一方、バッチ炉においては、治具本体の高さが高くなると炉内の積載数が減少するために1バッチあたりの処理能力が低下するという問題が生じる。
【0017】
ところで特許文献5、6、7などに示される孔部を有する蓋体を設けるようにした治具では、ワイヤーメッシュや蓋体に多数の孔を形成しているが、開口率が低く圧力損失の増大によって、治具内の雰囲気ガスの置換効率が低下するおそれがあった。また開口率が低いことは蓋体の重量増大の要因となり、これにより作業性が悪化したり、熱容量の増大によって温度応答性が悪化し、脱バインダ処理を確実に行うことができなくなるといったおそれもある。そしてこれら諸問題は、処理対象となるチップサイズの縮小に対応して、孔部の小径化することでより顕著になる。
【0018】
さらに蓋体の孔を介して雰囲気ガスが通過する場合、単に蓋部材に通気用の孔を形成しただけでは、治具内(すなわち箱体と蓋体とで区画され被処理物を収容する空間)に導入される雰囲気ガスに乱流が生じ、前記治具内の新規の雰囲気ガスと、アウトガスを含んだ雰囲気ガスとの置換効率が低下するおそれがあった。
また治具内に発生する乱流によって被処理物が舞い上がり、蓋体の孔を介して治具外に飛散することも考えられる。
【0019】
本発明は上記従来の問題点に着目し、被処理物のサイズが縮小しても、雰囲気ガスの送気によって被処理物が周囲に飛散することなく、雰囲気ガスの置換を高効率で行うことができる焼成治具および電子部品の製造方法を提供することを目的をする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は、焼成治具を箱体と、この箱体の開口部を覆う蓋体の2ピース構造にし、前記蓋体の通気用にハニカム構造体を形成すれば、雰囲気ガスの気流により、被処理物の飛散を防止することができるとともに、雰囲気ガスの置換を高効率で行うことができるという知見に基づいてなされたものである。
【0021】
すなわち本発明に係る焼成治具は、セラミックチップ部品を収容し加熱処理を施すための焼成治具であって、上部に開口部を有し当該開口部より前記セラミックチップ部品を取り込み可能とする箱体と、この開口部を塞ぐ蓋体とからなり、少なくとも前記蓋体における前記開口部に対応する領域に前記蓋体を介して通気が可能なハニカム構造体を形成し、このハニカム構造体にて前記箱体内に導入される気流を整流調整するよう構成した。
【0022】
そして前記ハニカム構造体を構成する個々のセルの開口面積を少なくとも前記セラミックチップ部品の最小投影面積より小さく設定することが好ましい。
【0023】
また本発明に係る電子部品の製造方法は、開口部を有する箱体にセラミックチップ部品を投入し、この開口部をハニカム構造体が形成された蓋体で塞いだ後、前記セラミックチップ部品への熱処理を行うとともに、前記蓋体の外部より送気される雰囲気ガスを前記ハニカム構造体を介して前記箱体内に導入させ、前記ハニカム構造体の通過により前記雰囲気ガスの整流を行い前記箱体の内外への循環経路を形成し、前記セラミックチップ部品から生じたアウトガスを前記循環経路にのせて前記箱体の外部へと取り除く手順とした。
【0024】
上記構成によれば、蓋体において少なくとも箱体の開口部を塞ぐ領域にハニカム構造体を形成すれば、これが障害物となるので気流によってセラミックチップ部品が舞い上がり治具外方に飛散するのを防止することができる。
【0025】
またハニカム構造体を用いたことで、開口率が上がり圧力損失を抑えることが可能になる。このため治具内部への気流の導入が容易になり、セラミックチップ部品周囲を確実に雰囲気中にすることができる。また開口率が上がるので、蓋部材の軽量化が図られ、重量増大により作業効率の悪化を防止することができる。また軽量化により熱容量が小さくなるので温度応答性が向上し脱バインダ処理が確実に行え、さらにハニカム構造体は高い強度を確保できるので、加熱によって蓋体自体が変形するのを防止することができる。このため箱体と蓋体との間には変形による隙間が生じず、セラミックチップ部品が前記隙間より治具外部に飛散するのを防止することが可能になる。
【0026】
またハニカム構造体では複数のセルが平行になるよう連続配置されているので、治具内に導入される気流を整流させることが可能である。このため治具内での乱流の発生が抑えられ、治具内の新規の雰囲気ガスと、アウトガスを含んだ雰囲気ガスとの置換を効率よく行うことができる。なお整流作用を向上させるには、箔寸法を薄くしたり、ハニカム構造体自体の厚みを増やしたり、セル面積を小さくすればよく、これらの設定は圧力損失との関係で適宜設定すればよい。さらにハニカム構造体自体の厚みを増加すれば通気経路が延長されるので、整流作用が向上するだけでなくセラミックチップ部品が飛散するのを防止することができる。
【0027】
またハニカム構造体は、一般的に押し出し成形で容易に作成できることから、蓋体に対する穴開け加工が不要となり、従来の箱体に対して製作コストの点においても有利である。また従来用いられていた蓋体に対し厚みが増大しないことから連続炉やバッチ炉に何ら変更をせずとも適用することが可能である。
【0028】
さらにハニカム構造体におけるセルの開口面積を、セラミックチップ部品の最小投影面積より小さく設定すれば、整流作用をより向上させることができるとともにセラミックチップ部品がハニカム構造体を通過して、治具外方に飛散するのを確実に防止することができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る焼成治具および電子部品の製造方法に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0030】
図1は、本実施の形態にかかる焼成治具の構造を示す斜視図であり、図2は、図1に示す焼成治具の断面図であり、図3は、図1に示す焼成治具を構成する蓋体の要部拡大図である。
【0031】
これらの図に示すように本実施の形態に係る焼成治具10は、治具本体となる箱体12と、この箱体12に重ね合わせ可能な蓋体14とで構成されている。
【0032】
前記箱体12は、その中央部分に窪み16が形成されたトレー状の形態からなり、この窪み16に被処理物となるセラミックチップ部品を投入可能としている。なお箱体12は、脱バインダ処理あるいは焼成処理などの加熱処理に対し耐熱性を確保する見地から、セラミック等(例えばジルコニアをコーティングしたアルミナなど)の部材で形成することが望ましい。
【0033】
一方、前記蓋部材14は、前記箱体12とその外形が等しくなるように設定され、この蓋部材14を前記箱体14に重ね合わせた際に、図2に示すように開口部となる窪み16が蓋部材14によって塞がれるようにしている。なお蓋部材14も耐熱性を確保する見地から、前記箱体12と同様にセラミック等(例えばジルコニアをコーティングしたアルミナなど)の部材で形成することが望ましい。
【0034】
また蓋部材14には、その全面にハニカム構造体18が形成され、蓋体14の表裏間にて通気を可能にしている。なお本実施の形態では、図3に示すように正方形状のセル20を規則的に配置するようにしたが、この形態に限定されることもなく、例えばセル20の形状を正六角形あるいは正三角形としてもよい。
【0035】
そして各セル20の各辺の寸法(図3のA寸法、B寸法を参照)や箔寸法(図3のC寸法を参照)については、処理対象となるセラミックチップ部品のサイズや、箱体内に導入される気流の流量等によって適宜設定すればよい。
【0036】
このように構成された加熱治具10を用いて、セラミックチップ部品の脱バインダ処理を行う手順を以下に説明する。
【0037】
図4は、セラミックチップ部品の焼成処理時における加熱治具の要部断面図である。
【0038】
同図に示すように、焼成治具10が炉内に投入された状態では、箱体12の窪み16の部分に処理対象となるセラミックチップ部品22が、焼成処理を確実に行わせるため各々重ならないように並べられている。
【0039】
また炉内は、図示しないヒータによって処理対象温度まで加熱されており、この輻射熱により、加熱治具10および当該加熱治具10内のセラミックチップ部品22も前記処理対象温度まで加熱される。
【0040】
さらに炉内においては、加熱治具10の上方に図示しない送気手段が設置されており、雰囲気ガスを加熱治具10に対し送気可能にしている。前記雰囲気ガスのエアフローを図中24に示す。
【0041】
加熱治具10の上方より送気される雰囲気ガスは、通常、図中エアフロー24に示すように乱流が発生しているが、このエアフロー24が蓋体14に形成されたハニカム構造体18を通過すると、当該ハニカム構造体18によって整流され、セラミックチップ部品22に対し層流26となって吹き付けられる。このように治具内においては、雰囲気ガスの層流状態が形成されるので、新旧の雰囲気ガスの置換が効率よく行われるのである。ゆえにセラミックチップ部品22より発生したアウトガスもこの循環経路に沿って確実に治具外方に排出され、セラミックチップ部品22の周囲にアウトガスが淀むことを防止することが可能になる。
また雰囲気ガスの送気によって治具内でセラミックチップ部品22が舞い上がったとしても蓋体14のハニカム構造体18が障害物となるので、前記セラミックチップ部品22は再び箱体12の窪み16上に落下し、セラミックチップ部品22が治具外方に飛散するのを確実に防止することができる(図中、矢印28、矢印30を参照)。
【0042】
なお発明者は、本発明に係る加熱治具10を用いたことでセラミックチップ部品の飛散防止と、脱バインダ処理が確実に行えるかの検証を行った。
【0043】
【実施例1】
ジルコニアをコーティングしたアルミナ部材からなる箱体12の中に、1005サイズ(長手方向1mm、幅方向0.5mm)の積層チップコンデンサの成型体を投入した後、セル20のサイズが1mm角のジルコニアをコーティングしたアルミナ部材からなる蓋体14を重ね、その後、連続炉に投入した。
【0044】
連続炉では、270℃、8時間の条件で脱バインダ処理を行い、その後1240℃、2時間、窒素+水素の混合ガス送気の条件で焼成を行い、さらにその後、1050℃、3時間、窒素系のガス送気の条件でアニール処理を行った。
【0045】
そしてこれら一連の処理工程を通過させた後、積層チップコンデンサの焼成物の回収率を調べたところ、回収率は100%であり、前記焼成体の治具外部への飛散を防止することができた。また焼成後のチップ部品の外観を顕微鏡で観察したところ、脱バインダ処理の不具合によるクラックは確認されなかった。
【0046】
【実施例2】
実施例2では、積層チップコンデンサのサイズを0603(長手方向0.6mm、幅方向0.3mm)とし、上述した実施例1と同様の条件を用い、本発明に係る焼成治具の効果を確認した。
【0047】
積層チップコンデンサのサイズを0603としても、焼成後の回収率は100%であり、治具外に焼成物が飛散するのを防止することができた。
【0048】
なお焼成後のチップ部品の外観を顕微鏡で観察したところ、脱バインダ処理の不具合によるクラックは確認されなかった。
【0049】
また発明者は、以下の実験を行い、本発明に係る加熱治具10の効果を一層明確にした。
【0050】
【比較例1】
積層チップコンデンサのサイズを1005を用い、蓋体12を外して、上記実施例1と同様の実験を行った。
【0051】
この比較例1においては、焼成後の回収率は70%であった。なお焼成後のチップ部品の外観を顕微鏡で観察したところ、脱バインダ処理の不具合によるクラックは確認されなかった。
【0052】
【比較例2】
積層チップコンデンサのサイズを0603を用い、蓋体12を外して、上記実施例2と同様の実験を行った。
【0053】
この比較例2においては、焼成後の回収率は30%であった。なお焼成後のチップ部品の外観を顕微鏡で観察したところ、脱バインダ処理の不具合によるクラックは確認されなかった。
【0054】
以上の実験結果にも示されるように、本発明に係る焼成治具を用いれば、焼成行程に投入しても高い回収率を得ることが可能で、脱バインダ処理を確実に行うことが可能になる。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、セラミックチップ部品を収容し加熱処理を施すための焼成治具であって、上部に開口部を有し当該開口部より前記セラミックチップ部品を取り込み可能とする箱体と、この開口部を塞ぐ蓋体とからなり、少なくとも前記蓋体における前記開口部に対応する領域に前記蓋体を介して通気が可能なハニカム構造体を形成し、このハニカム構造体にて前記箱体内に導入される気流の整流をなすようにした。このため被処理物のサイズが縮小しても、雰囲気ガスの送気によって周囲に飛散することなく、雰囲気ガスの置換を高効率で行うことが可能になり、被処理物に対し均一に脱バインダ処理や焼成処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態にかかる焼成治具の構造を示す斜視図である。
【図2】図1に示す焼成治具の側面図である。
【図3】図1に示す焼成治具を構成する蓋体の要部拡大図である。
【図4】セラミックチップ部品の焼成処理時における加熱治具の要部断面図である。
【符号の説明】
10………焼成治具
12………箱体
14………蓋体
16………窪み
18………ハニカム構造体
20………セル
22………セラミックチップ部品
24………エアフロー
26………層流
28………矢印
30………矢印
Claims (3)
- セラミックチップ部品を収容し加熱処理を施すための焼成治具であって、上部に開口部を有し当該開口部より前記セラミックチップ部品を取り込み可能とする箱体と、この開口部を塞ぐ蓋体とからなり、少なくとも前記蓋体における前記開口部に対応する領域に前記蓋体を介して通気が可能なハニカム構造体を形成し、このハニカム構造体にて前記箱体内に導入される気流を整流調整することを特徴とする焼成治具。
- 前記ハニカム構造体を構成する個々のセルの開口面積を少なとも前記セラミックチップ部品の最小投影面積より小さく設定したことを特徴とする請求項1に記載の焼成治具。
- 開口部を有する箱体にセラミックチップ部品を投入し、この開口部をハニカム構造体が形成された蓋体で塞いだ後、前記セラミックチップ部品への熱処理を行うとともに、前記蓋体の外部より送気される雰囲気ガスを前記ハニカム構造体を介して前記箱体内に導入させ、前記ハニカム構造体の通過により前記雰囲気ガスの整流を行い前記箱体の内外への循環経路を形成し、前記セラミックチップ部品から生じたアウトガスを前記循環経路にのせて前記箱体の外部へと取り除くことを特徴とする電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003186212A JP2005016912A (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 焼成治具および電子部品の製造方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=34185405
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JP (1) | JP2005016912A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005331185A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Mino Ceramic Co Ltd | セッターに用いるセラミックス製のカバー |
WO2007129390A1 (ja) * | 2006-05-01 | 2007-11-15 | Ibiden Co., Ltd. | 脱脂用治具組立装置、脱脂用治具分解装置、脱脂用治具循環装置、セラミック成形体の脱脂方法、及び、ハニカム構造体の製造方法 |
-
2003
- 2003-06-30 JP JP2003186212A patent/JP2005016912A/ja active Pending
Cited By (3)
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JP4625654B2 (ja) * | 2004-05-20 | 2011-02-02 | 美濃窯業株式会社 | セッターに用いるセラミックス製のカバー |
WO2007129390A1 (ja) * | 2006-05-01 | 2007-11-15 | Ibiden Co., Ltd. | 脱脂用治具組立装置、脱脂用治具分解装置、脱脂用治具循環装置、セラミック成形体の脱脂方法、及び、ハニカム構造体の製造方法 |
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