JP2004523122A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 繰返しレートが４ｋＨｚ以上の第１のレーザビームおよびレーザの光学構成部品をアニールするのに適した第２のレーザビームを有する、繰返しレートが４ｋＨｚ以上のエキシマーレーザの製造方法において、
   繰返しレートが４ｋＨｚ以上の第１のレーザビームおよび前記レーザの光学構成部品をアニールするのに適した第２のレーザビームを生成するための、繰返しレートが４ｋＨｚ以上のエキシマーレーザを提供する工程であって、前記レーザがレーザチャンバおよび第１と第２の放電電極を備え、前記レーザチャンバが、第１の光学フッ化物結晶の窓および第２の光学フッ化物結晶の窓を、該第１と第２の光学フッ化物結晶の窓の間の該チャンバ内に密閉された、前記第１と第２のレーザビームを生成するためのレーザガスと共に有するものである工程、
   前記第１のレーザビームを発振させることによって該第１のレーザビームが前記チャンバの前記第１の光学フッ化物結晶の窓から出射し、該第１のレーザビームに前記チャンバの第２の光学フッ化物結晶の窓を通過させて、前記繰返しレートが４ｋＨｚ以上の第１のエキシマーレーザビームを提供する工程、および
   前記第２のレーザビームを発振させることによって該第２のレーザビームが前記チャンバの前記第１の光学フッ化物結晶の窓から出射し、該第２のレーザビームに前記チャンバの第２の光学フッ化物結晶の窓を通過させて、アニールするのに適した前記第２のレーザビームを提供する工程、
   を有してなり、
   前記第１の電極からの放電により、前記レーザガスにエネルギーが供給されて、前記繰返しレートが４ｋＨｚ以上の第１のレーザビームが生成され、前記第２の電極からの放電により、前記レーザガスにエネルギーが供給されて、前記光学構成部品をアニールするのに適した前記第２のレーザビームが生成され、
   前記エキシマーレーザが４ｋＨｚ以上の繰返しレートおよび１０ｍＪ／パルス以上のパネルエネルギーを有することを特徴とする方法。
2. フッ化アルゴンエキシマーレーザガスを使用する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
3. フッ化クリプトンエキシマーレーザガスを使用する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
4. レーザビーム源ガスおよび前記第２の放電電極を使用して、前記窓をアニールするための第２のレーザビームを生成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の方法。
5. 前記光学フッ化物としてフッ化カルシウムまたはフッ化バリウムを使用する工程を含むことを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の方法。
6. 前記光学フッ化物としてフッ化マグネシウムを使用する工程を含むことを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の方法。
7. 前記第２のレーザビームを、前記第１のレーザビームの動作の前、最中または後に前記光学構成部品をアニールするために生成し、使用することを特徴とする請求項１記載の方法。
8. エキシマーレーザにおいて、
   光学フッ化物から構成された一つ以上の窓を有するチャンバ、
   前記チャンバ内にある、第１のエキシマーレーザビームのための第１のレーザビーム源、および
   前記チャンバ内にある、前記光学フッ化物から構成された一つ以上の窓をアニールするための第２のレーザビームのための第２のレーザビーム源、
   を有してなり、
   前記第１と第２のレーザビームが、それぞれ、第１と第２の放電電極により前記チャンバ内で生成され、
   前記第２のレーザビームが、前記第１のレーザビームの動作の前、最中または後に、前記窓をアニールするために動作できることを特徴とするエキシマーレーザ。
9. 前記第１のレーザビームが１０ｍＪ／パルス以上のパルスエネルギーを有することを特徴とする請求項８に記載のエキシマーレーザ。
10. 前記第１のレーザビームが４ｋＨｚ以上の繰返しレートを有することを特徴とする請求項８または９に記載のエキシマーレーザ。
11. 前記第１と第２のレーザビーム源がフッ化アルゴンであることを特徴とする請求項８から１０いずれか１項に記載のエキシマーレーザ。
12. 前記第１と第２のレーザビーム源がフッ化クリプトンであることを特徴とする請求項８から１０いずれか１項に記載のエキシマーレーザ。
13. 前記光学フッ化物がフッ化バリウムであることを特徴とする請求項８から１２いずれか１項に記載のエキシマーレーザ。
14. 前記光学フッ化物がフッ化カルシウムであることを特徴とする請求項８から１２いずれか１項に記載のエキシマーレーザ。
15. 前記光学フッ化物がフッ化マグネシウムであることを特徴とする請求項８から１２いずれか１項に記載のエキシマーレーザ。