JP2004521327A - センサーの較正及び補償のための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、一般的にセンシング装置に関し、より詳細には低圧力センサーを較正する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ホイートストンブリッジ構成において、ひずみゲージを使用する圧力変換器が当該技術分野においてよく知られている。そのような圧力変換器は感知される圧力に比例した出力電圧又は出力電流を生成するように構成され得る。さらに変換器は、典型的には変換器を使用可能な特定範囲がある。例えば、変換器は定格低温度及び定格高温度があり、変換器は定格温度範囲内で適切に動作すること確実にするためにテストされる。変換器は特定の圧力範囲内で機能するように定格化されテストされるので、同じ状況は圧力に関して生じる。
【0003】
そのような圧力変換器は、温度変化などのさまざまな外乱に影響を受けやすく、補償がなされない場合には圧力測定のエラーの原因となる。温度により引き起こされたエラーは、ゼロ圧力が適用される場合の温度変化による変換器出力の変化、又は温度変化による、フルスケール時の出力とゼロ圧力時の出力の差の変化として観察され得る。これらのエラーはそれぞれ、「ゼロ熱効果(thermal effect on zero)」(又はオフセット熱効果)及びスパン熱効果と知られている。
【0004】
そのようなエラーを補償するための方法は当該分野において知られており、該方法は典型的には任意のエラーを定義するために変換器の初期の特性評価を必要とする。典型的には、変換器の出力信号からの少なくとも二つの点が、ゼロ圧力が適用された場合及び所定量の圧力が適用された場合の双方において、周囲温度が所定範囲にわたって変化した場合について記録される。適用される圧力は典型的には、しかし必須ではないが、フルスケール圧力であり、出力はゼロ圧力及びフルスケール圧力が適用された場合に同じ温度ポイントで記録される。出力信号に基づいて、未補償の熱効果が計算され、必要とされる量の補償を得るために使用される。
【0005】
圧力変換器におけるエラー補償を提供するために利用可能な様々な方法がある。一つの一般的な方法はブリッジ電源に直列で、個別のブリッジ抵抗に直列又は並列に抵抗を付加することである。抵抗は観測された熱効果を打ち消すのに必要とされる特定の温度特性に基づいて選択され、抵抗値は未補償の温度測定に基づいて計算される。エラー補償はさらに、センサーの圧力変化を強制するレーザトリミング抵抗又はサーミスタにより達成可能である。デジタル補償として知られている別の方法は、ブリッジの未補償出力へ付加又は未補償出力から減ぜられるエラー補正信号を生成するために記録データを使用する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、正確な測定を達成するためのエラー補償は、コスト及び時間を消費するプロセスとなる可能性がある。しばしば、変換器の特性評価し、補償を付加し、変換器の特性の再評価をし、補償を調整するというプロセスは、所望の正確さを確保するために何回も繰り返されなくてはならない。これは、例えばマイクロマシーンの、非常に低い圧力でのシリコンセンサー又は、1インチのH2O(250パスカル)又はそれ未満のフルスケール圧力でのシリコンセンサーなど、特定の変換器設計ではより困難となり得る。
【0007】
図1は、上述したプロセスをフローチャートの形で説明している。まず初めに、変換器は、変換器の特性評価する(ステップ102)ためにテストがされるテスト装置へ持ち込まれる。例えば、変換器はゼロ圧力及び室温(例えば25℃)でテストされ得る。それから出力電圧を温度の関数として決定するために温度が変化される(ステップ104)。さらに、変換器は、変換器出力が圧力変化に対する関数としてテストされ得る。このテストは、更なるテスト・ステーションの使用を必要とすることもあるし、又は必要としないこともある。この特性評価ステップの後に、変換器が適切に動作しているかが決定される(ステップ106)。例えば、変換器はゼロ圧力で正確な出力を生成していないこともあり得る。そのような場合には、変換器は、例えば変換器の応答が変化するようにレーザトリミングや電源への抵抗付加の使用することにより調整され得る(ステップ108)。
【0008】
そのような調整の後に、変換器が所望の方法で動作しているかを決定するために上述したステップが繰り返される。正確な出力を生成するように変換器が適切に較正されていない場合には、調整プロセスが繰り返されなくてはならない。変換器が仕様の範囲内に持ち込まれると、プロセスが終了し(ステップ110)、別の変換器が処理される。
【0009】
上述したプロセスには幾つかの欠点がある。該プロセスはセンサーを較正するために変換器の較正及び再較正を何回も行わなくてはならず、時間が浪費される。さらに、較正プロセスは所望されるほど正確ではないことがある。例えば、センサーを適切に較正するためには、抵抗の抵抗値を、レーザトレミングを使用することにより0.1オーム以内に調整しなくてはならない。しかし、そのような正確度は、抵抗の単なる測定が抵抗変化をもたらしてしまうために、不可能となり得る。
【0010】
そのようなエラーは、補償することが出来、そのような補償を行うための幾つかの既知の方法が存在する。例えば、ハネウエル・インターナショナル社へ譲渡された米国特許6,023,978は、二つのセンサーを使用した圧力変換器を開示しており、該二つのセンサーは、一つのセンサーに関連したエラーが他のセンサーに関連したエラーによって補償又は実質的にキャンセルされるようにお互いが機械的又は電気的に交差に結合されている。
【0011】
しかし、そのような変換器はなお様々なエラーを被り得る。例えば変換器は、変換器が一つの極値圧力で特定の電圧(例えば、最大圧力で4.25ボルト)を生成し、他の極値圧力で別の電圧(例えば、ゼロ圧力で0.25ボルト)を生成し、極値の間では線形応答が可能となるように理想的には較正される。さらに、出力は温度に関して変化可能であり、低温環境におけるセンサーは特定圧力での出力に関し、温暖環境におけるセンサーの同一圧力のおける出力と相違した出力を有し得る。‘978特許において記述されるような変換器は特定の機械的なノイズの問題や重力の問題を適切に補償し得るが、そのような変換器はセンサーの較正に関するすべての問題を適切に取り扱っていない。
【0012】
従って、より正確な較正をもたらし、従来の方法よりさらに迅速に動作可能な、変換器システムを補償するための方法及びシステムに対する必要性がある。
【発明を解決するための手段】
【0013】
本発明は、これらの要求に見合うシステム及び方法を提示するものである。該システムは、センサーに電気的に結合される回路を含んでいる。該回路は特定用途向け集積回路(ASIC)であり得、センサーの値に基づいて所望の結果がASICにより出力されるようにプログラム可能である。
【0014】
変換器を較正するための方法がさらに開示されている。変換器はASICに結合されるセンサーを含んでいる。変換器はコンピュータに結合され、テスト用チャンバー内に配置される。さらにコンピュータは、テスト用チャンバーに結合されている。様々な状態がチャンバーによって設定可能である。センサーの出力は、出力が理想的な出力の許容範囲内にあるかを決定するために評価される。出力が許容範囲内にない場合には、出力はASICのプログラミングにより補正され得るかが決定される。出力が補正可能な場合には、ASICは所望の出力を生成するようにプログラムされ得る。その後、上述したステップが異なる様々な状態について繰り返され得る。
【0015】
本発明は、同じ番号が同じ要素を示している添付した図面において、限定としてではなく、例示として説明がされている。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
本発明は、ここでは様々な機能要素及び様々な処理ステップによって記載され得る。そのような機能要素は、特定の機能を実行するように構成される任意の数のハードウエア又は構成要素により実現され得るということが理解されるべきである。例えば、本発明は様々な意図する目的のために値を適切に設定し得る、様々な電気素子、例えば抵抗、トランジスタ、コンデンサー、ダイオード等を含む様々な集積回路を利用可能である。さらに、本発明は較正が所望される任意の集積回路において実践可能である。本発明の開示に照らし、当業者に理解得る一般的な応用についてはここに詳細に記載されていない。しかし、例示的な目的のみのために、本発明の例示的な実施形態が圧力センサーに関連して記載されている。さらに、例示的な回路の中において様々な要素が他の要素に適切に結合又は接続されているが、そのような接続及び結合は要素間の直接接続又は要素間にある他の要素又は装置を介する接続により実現可能であることに注意すべきである。
【0017】
様々な会社が、変換器の較正を援助するために使用し得る特定用途向け集積回路を製造している。例えば、Melexisは信号調整を実行する専用マイクロプロセッサであるいわゆるMLX90308CABと呼ばれる製品を製造している。そのような製品は、補償値がEEPROM(電気的消去可能PROM)に記録されている。MLX90308CAB又は他の同様なASICをプログラミングすることは専用インターフェース回路と共にコンピュータを使用することを必要とする。EEPROMのプログラムにより、ASICは様々な入力に基づき、絶対電圧、相対電圧又は電流の出力を提供し得る。
【0018】
本発明は、上述したようなASICを変換器システムに組み込んでいる。図6を参照すると、本発明の例示的な実施形態のブロック図の概略が示してある。変換器600は、ケース608に囲まれたセンサー602、ASIC604、及び入力/出力端子606を含んでいる。センサー602は、とりわけ、センサー602の出力がASIC604に入力されるようにASIC604と結合つまり通信している。ASIC604は、センサー602により読み取られた圧力に関連しているが補正された出力電圧(又は所望の場合には出力電流)が端子606に提供されるようにセンサー602から受信した入力を処理する。
【0019】
変換器600は、人が他の任意の変換器を使用するであろうように、使用される。しかし、センサーから読まれている出力の代わりに、ASICの出力が端子606で利用可能である。端子606は、変換器600が特定の圧力に対し補正された出力電圧を生成することを確実にするためにASICをプログラムするために使用され得る。
【0020】
ASIC604はセンサー602と同じパッケージ608内に集積されるように記載されているが、本発明の動作はASIC604がセンサー602のパッケージの外部にある場合にも影響されないことが理解されるべきである。しかし、ASIC604をパッケージ608内に置くことは、変換器600が較正に関する様々な可能性ある問題に対し、独立式解決を形成することを可能とする。さらに、ASIC604は、ASICによって実行されるものと同じ機能を実行する同様な回路によって置き換えることが可能である。
【0021】
ここで図2を参照すると、本発明の例示的な変換器200の実施の形態がより詳細に描写されている。ASICは、MELEXIS MLX90308として描写されている。しかし、MELEXIS及び他の製造業者の双方からの様々なタイプのASICが本発明の動作に影響を与えることなく使用可能であることが理解されるべきである。
【0022】
センサーは、ホイートストン・ブリッジ構成に配置され得る抵抗220、222、224、226、228、230、232、234を含んでいる。従来技術におけるセンサーは典型的には、pin1(250)、pin2(252)、pin3(254)、pin4(256)、pin5(258)、pin6(260)を使用することによって通信する。しかしこの実施の形態においては、ASICを介して通信する。
【0023】
圧力センサーの出力は、ASIC202の負の入力204及び正の入力206と結合され又は通信する。ASIC202は調整される電源電圧のpin212及び抵抗214を介してセンサーに電力を供給する。
【0024】
変換器200の出力pinは、ASIC202に結合されている。出力pin1(270)は、変換器200に結合された装置にアクセスし得る基準電圧を供給する。出力pin2(272)は、未調整の供給電圧として動作する。出力pin2は、コンデンサ271を介してグランド201に結合される。出力3(274)はグランドに結合され、システムの基準グランドとして動作する。ASIC202の出力は出力pin4(208)で得られ、このように出力pin4はセンサーにより感知された圧力に基づく変換器の出力であって、ASICにより処理された出力を表している。出力pin5(210)は、ASIC202のEEPROMからの読み出し及びEEPROMへの書き込みのためにASICと連続通信が出来るようにASIC202に結合されている。出力pin6(276)は、浮動状態を維持しており、従来の変換器システムと接続する装置との互換目的のために存在している。
【0025】
図2に記述された実施の形態において、センサーの出力はASIC202を介して処理される。ASIC202の出力は変換器200の出力pin270、272、274、208、210、276を介してアクセスされ得る。このように、ASIC202は、センサーの値に基づき補正された電圧を出力し得る。従って変換器は例えば、特定の圧力で4.25ボルトを出力し、所定の別の圧力で0.25ボルトを出力することが確実になる。
【0026】
典型的な使用では、ASICは使用される前に、感知されている圧力に基づいて所望の出力応答を生成するようにプログラムされ得る。変換器200をプログラムする方法が図3に示されており、フローチャートは変換器の例示的な較正の概略を描いている。典型的なテスト・シーケンスは、室温(例えば25℃)及びゼロ圧力などのベースライン状態で開始され、該テスト・シーケンスは変換器の出力が測定され、ASICは該状態の補正された出力を生成するようにプログラムされる(ステップ302)。それから、フルスケールの圧力が変換器に適用されて変換器の出力が測定され、ASICは該状態の補正された出力を生成するように再びプログラムされる。上述した二つシーケンスは、変換器の定格低温(ステップ306)及び定格高温(ステップ308)で繰り返され得る。全てのテスト及びプログラミングの後に、変換器が適切に動作しない場合には、変換器200の出力を変化させるよう、上述したステップが繰り返される(ステップ310)。変換器が適切に動作すると、テスト/較正セッションは終了する(ステップ312)。
【0027】
ASIC202のプログラミングは、例えばASIC202上に配置されたEEPROMへの接続を使用することにより行われ得る。EEPROMは、容易に消去し及び再度書き込むことが可能であるので、プログラミングは比較的迅速および容易な方法でなされ得る。何らかの理由により変換器が異なる方法又は予期しない方法で動作を始める場合には、変換器は初期の較正に加えて、再び較正され得る。
【0028】
ASICは変換器に結合されているので、調整はASICになされ、変換器の出力に影響を与え、単一のテストチャンバーのみを使用する。対照的に、従来技術における方法はしばしば、テストチャンバーにおいてテストをし、次に別の機械を使用して調整を行い、テストチャンバーにおいてさらなるテストをするという、テストチャンバーにおけるテストに依存していており、非常に時間の消費するプロセスである。
【0029】
ここで当業者には理解可能であるように、上述したプロセスは上述したテスト、プログラム、再テストが自動的に行われるようにコンピュータ化されうる。プロセスを自動化することにより、所望の特性をもつ変換器はより高い割合で生産され得る。
【0030】
コンピュータ化プロセスは、テストチャンバーおよび変換器の両方にコンピュータ装置を結合することによって動作する。そのような方法で、コンピュータは変換器の出力を同時に測定しつつ、テストチャンバーの温度及び圧力を制御することが可能となる。
【0031】
図4を参照すると、本発明の実施の形態を含む変換器を較正するために使用される例示的なコンピュータプログラムのプロセスを記述している。変換器が該プログラムを実行するコンピュータに取り付けられて、テストチャンバーに配置され、プログラムが開始される(ステップ402)。ASICメモリーが初期化された(ステップ404)後に、補正回路動作が確認される(ステップ404)。テストチャンバーは、それから所定温度に設定され、温度が安定化される(ステップ408)。
【0032】
チャンバーの温度が安定化されると、圧力が所定のレベルに設定される(ステップ410)。それから変換器の出力が、変換器へのコンピュータリンクを介して読み出される(ステップ412)。
【0033】
それから変換器が、所定の許容範囲内で動作しているかが決定される(ステップ416)。例えば、出力電圧が、所定の状態に対して最適出力の3%内にあるような、3%の正確性を持つことが望ましい。いくつかの応用では、より高い正確性、例えば0.25%が所望される。その後に、変換器が補償範囲内にあるか否かが決定される(ステップ418)。ASICが変換器に与え得る補正量には限界がある。限界を超えると、変換器はサービスには不適であるとみなされて、変換器は解体され、所望の出力を生成するよう出力が補正され得ない。該制限の範囲内にあると、変換器はASICへの補正の伝送により補正される。それから変換器の出力が再び決定され(ステップ416)、変換器が許容範囲内で動作するまで上述のステップが繰り返される(ステップ430)。
【0034】
ここで図5を参照すると、変換器が低圧力状態において許容範囲で動作すると、高圧力状態に設定される(ステップ500)。それから、上述したのと同様の方法で、変換器がテストされる。第1に、出力の値が決定される(ステップ502)。それから、変換器が所定の許容範囲内で動作するかを決定するためにその値が分析される(ステップ504)。変換器が許容範囲内にない場合、変換器の出力が補正可能であるかの決定がなされる(ステップ506)。補正出来ない場合には、変換器は欠陥ありとみなされ解体される(ステップ508)。変換器出力が補正可能な場合には、ASICは適切な変換器動作がもたらされるようにプログラムされる(ステップ510)。それから、変換器は再プログラミングが変換器の補正を完了したかを決定するために再度テストされる(502)。
【0035】
変換器が高圧力状態において所定の温度で適切に動作すると、テストシーケンスを実行すべき更なる温度があるのかの決定がなされる(ステップ520)。さらなる温度がない場合には、変換器は完成する(ステップ530)。しかし、テストされるべき温度がさらにある場合には、温度が調整され、テストは低圧力状態で継続される(ステップ408、410)。上述したシーケンスは全ての温度状態がテストされるまで繰り返される。
【0036】
コンピュータ化されたプロセスが完了した場合には、結果はある温度範囲に渡り全範囲の圧力に対し所望の出力を生成する。さらに、結果は人間の介在をほとんど必要とせず、ASIC及びテストチャンバーをマニュアルで制御するよりエラーのより少ないエラーの確率で達成される。
【0037】
センサーの較正プロセスをさらに高速化するために、さらに単一のテストチャンバーで複数のセンサーを較正することが出来る。各変換器はコンピュータシステムに結合され得る。好ましくは、各変換器は同一のコンピュータシステムに接続されるような単一のコンピュータシステムを使用し得る。コンピュータは上述したように、テストチャンバーの圧力及び温度を制御する。テストチャンバーにおいて一つの変換器に対するプロセスが完了すると、コンピュータはテストチャンバーにおける別の変換器のモニター及び再プログラミングを開始することが可能となる。代替的には、圧力及び温度がコンピュータにより制御されつつ、複数の変換器が同時にモニターされ再プログラミングされることが出来る。
【0038】
コンピュータ化されたプロセスにおいて、較正される各変換器に対する情報を記録することが出来る。このように、人はセンサーの性能を追跡することが出来るであろう。さらに人は、とりわけASICによる補償がより不要となるように、センサーの製造を改善できるであろう。
【0039】
上述した記述は本発明を実行する上で熟考された例示的なモードを提示するものである。しかし、上述した技術は上記に示したような実施形態からの修正及び変更が可能である。本発明の他の変更及び修正が当業者には明らかとなるであろうが、添付された特許請求の範囲はそのような変更や修正が包含されることを意図している。例えば、本発明は圧力センサー及び変換器に関して記述されているが、本発明に開示された方法及び装置は温度センサー、電圧センサー、電流センサー、加速度センサー等を含む、様々なタイプのセンサーに適用できるということが注意されるべきである。さらに、本発明は、ホイートストンブリッジ構成を使用するセンサーの応用に限定されるものではなく、他のタイプのセンサも同様に含んでいる。さらに、ASICの使用に関して記述されているが、本発明に関して記述されるのと同じ機能を実行する様々なタイプの回路を代わりに使用可能であるということが注意されるべきである。
【0040】
結論として、本発明を開示された特定の実施の形態に限定することを意図しているのではない。一方、本発明は発明の詳細な説明および図面に照らして理解される場合、特許請求の範囲で表されるような本発明の範囲内にある全ての修正及び代替的な構成を含むことを意図している。この明細書に記載されたいずれの要素も、「本質的に」又は「必要とされる」とここに記載されていない限り本発明を実践するためには必要とされていない。
【図面の簡単な説明】
【0041】
【図1】変換器を較正する従来技術における方法である。
【図2】本発明の実施の形態の例示的な概略図を表している。
【図3】本発明の実施の形態の動作を説明する例示的なフローチャートを表している。
【図4】本発明の、コンピュータプログラムの実施の形態での動作を示す例示的なフローチャートを表している。
【図5】図4のフローチャートの続きである。
【図6】本発明の実施の形態のブロック図を示している。
Claims (10)
- センサー(602)であって、前記センサー(602)によりなされた読み取りに基づいて出力を生成するように構成された、センサーと、
前記センサー(602)の出力に結合された回路(604)と、
を含み、前記回路(604)は、該回路(604)への入力に基づいて所定の出力を生成するようプログラム可能である、変換器(200、600)。 - 前記センサー(602)への入力は、圧力センサーを含んでおり、前記センサー(602)の出力は前記圧力に関連しており、
前記回路(604)は、前記センサー(602)の前記出力に基づいて線形出力を生成するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の変換器(200、600)。 - さらにケース(608)を備え、前記回路(604)及び前記センサー(604)は前記ケース(608)の中に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の変換器(200、600)。
- 前記回路(604)は、特定用途向け集積回路(「ASIC」)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の変換器(200、600)。
- 前記センサー(602)が、圧力センサーを含むことを特徴とする、請求項1に記載の変換器(200、600)。
- 前記圧力センサーが低圧力環境で動作するように最適化されている、請求項1に記載の変換器(200,600)。
- 前記センサー(602)が、ホイートストンブリッジ構成の一対の圧力センサーを含むことを特徴とする、請求項1に記載の変換器(200,600)。
- 前記センサー(602)は、一対のセンサーを含んでおり、前記一対のセンサーは前記一対のセンサーの一方に関連したエラーが、前記一対のセンサーの他方に関連したエラーによって補償されるように、お互いが機械的及び電気的に交差して結合されている、請求項1に記載の変換器(200、600)。
- 前記回路(604)は、前記センサー(602)の前記出力に基づいて線形の出力を生成するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の変換器。
- 前記変換器(200、600)の前記出力が複数の動作状態全体にわたり線形であることを特徴とする、請求項1に記載の変換器。
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Families Citing this family (27)
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US6848292B2 (en) * | 2002-03-25 | 2005-02-01 | Council Of Scientific And Industrial Research | System for calibration of pressure transducers |
US7203574B2 (en) * | 2003-01-10 | 2007-04-10 | Lockheed Martin Corporation | Self-sustaining environmental control unit |
US7223014B2 (en) * | 2003-03-28 | 2007-05-29 | Intempco Controls Ltd. | Remotely programmable integrated sensor transmitter |
US7146285B2 (en) | 2003-05-19 | 2006-12-05 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Integrated circuit with parameter measurement |
US7107362B2 (en) * | 2003-05-19 | 2006-09-12 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Integrated circuit with configuration based on parameter measurement |
US7003417B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-02-21 | Invensys Systems, Inc. | Multiple calibration ranges stored in a process transmitter |
US6935156B2 (en) * | 2003-09-30 | 2005-08-30 | Rosemount Inc. | Characterization of process pressure sensor |
US6909975B2 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-21 | Mks Instruments, Inc. | Integrated absolute and differential pressure transducer |
DE10359866B4 (de) * | 2003-12-18 | 2014-11-20 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation von Drucksensormodulen |
AU2005233983B2 (en) * | 2004-04-06 | 2011-02-17 | Tyco Valves & Control, Inc. | Field replaceable sensor module and methods of use thereof |
DE102004025062B4 (de) * | 2004-05-18 | 2006-09-14 | Hydraulik-Ring Gmbh | Gefriertaugliches Dosierventil |
FR2874689B1 (fr) * | 2004-08-25 | 2007-04-27 | Eads Ccr Groupement D Interet | Boitier de controle non destructif avec port usb integre |
DE102007004687B4 (de) * | 2007-01-25 | 2012-03-01 | Hydraulik-Ring Gmbh | Volumensmengenabgabeeinheit und Verfahren zur Kalibrierung der Druckausgangssignal-Volumensmenge-Charakteristik |
DE102008012780B4 (de) | 2008-03-05 | 2012-10-04 | Hydraulik-Ring Gmbh | Abgasnachbehandlungseinrichtung |
US7950286B2 (en) * | 2008-12-19 | 2011-05-31 | Honeywell International Inc. | Multi-range pressure sensor apparatus and method utilizing a single sense die and multiple signal paths |
US10330513B2 (en) * | 2009-05-27 | 2019-06-25 | Honeywell International Inc. | Multi-dynamic-range sensor |
DE102009035940C5 (de) | 2009-08-03 | 2017-04-20 | Cummins Ltd. | SCR-Abgasnachbehandlungseinrichtung |
US8321170B2 (en) * | 2010-02-19 | 2012-11-27 | Freescale Semiconductor, Inc. | Offset error automatic calibration integrated circuit |
US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
DE102010061222B4 (de) | 2010-12-14 | 2015-05-07 | Cummins Ltd. | SCR-Abgasnachbehandlungseinrichtung |
US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
US8770034B2 (en) | 2011-09-06 | 2014-07-08 | Honeywell International Inc. | Packaged sensor with multiple sensors elements |
US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
US20170097181A1 (en) * | 2015-10-05 | 2017-04-06 | Dunan Microstaq, Inc. | Method and Apparatus For Calibrating And Testing Multiple Superheat Controllers |
CN105352632A (zh) * | 2015-10-08 | 2016-02-24 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种数字压力传感器和获取数字压力信号的方法 |
US11378468B2 (en) | 2016-08-12 | 2022-07-05 | Brightsentinel Limited | Sensor module and process for producing same |
US11169032B2 (en) * | 2017-04-07 | 2021-11-09 | Sercel | Gauge with adaptive calibration and method |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4151738A (en) * | 1977-11-03 | 1979-05-01 | General Electric Company | Toxic gas monitor having automatic calibration |
EP0074498B1 (de) * | 1981-09-04 | 1985-12-04 | F. HOFFMANN-LA ROCHE & CO. Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Eichen von Messfühlern |
US4494183A (en) | 1982-06-17 | 1985-01-15 | Honeywell Inc. | Process variable transmitter having a non-interacting operating range adjustment |
DE3318977A1 (de) | 1983-05-25 | 1984-11-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Messwertaufnehmer mit einem betriebsdaten enthaltenden informationstraeger |
US4708012A (en) * | 1986-08-19 | 1987-11-24 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for high pressure testing of solid state pressure sensors |
GB2197957B (en) | 1986-11-22 | 1990-10-17 | Motorola Ltd | Sensor systems |
JP2001511884A (ja) | 1996-07-10 | 2001-08-14 | ハネウェル データ インスツルメンツ インコーポレイテッド | 誤差補償を有する圧力変換器 |
US6032109A (en) | 1996-10-21 | 2000-02-29 | Telemonitor, Inc. | Smart sensor module |
US6237394B1 (en) * | 1999-02-25 | 2001-05-29 | Redwood Microsystems, Inc. | Apparatus and method for correcting drift in a sensor |
-
2000
- 2000-12-21 US US09/746,098 patent/US6450005B1/en not_active Expired - Lifetime
-
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