JP2004239676A - 物理量検出装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】感度Aの圧力センサのオフセット電圧調整時には、感度Aに対して設けられた規格範囲内にオフセット電圧Vaを調整し、感度Bの圧力センサのオフセット電圧調整時には、感度Aに対して設けられた規格範囲外に感度Bのオフセット電圧Vbを調整する。したがって、センサ出力信号のオフセット電圧を測定することで、センシング部に所定の圧力を印加することなく、圧力センサの誤組付けを容易に検出することができる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサ等の物理量を検出する物理量検出装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、車両におけるブレーキ装置のブレーキ液圧や燃料噴射装置の燃料圧等の圧力の測定手段として圧力センサが用いられている。この圧力センサの多くは、半導体基板に薄肉のダイヤフラム部が形成され、このダイヤフラム部の中央部および周辺部に圧力検出素子(ゲージ抵抗)が2つずつ形成されてホイートストンブリッジ回路が構成されている。このゲージ抵抗によってブリッジ接続されたセンシング部に圧力が印加されると、ピエゾ抵抗効果によってゲージ抵抗の抵抗値が変化し、この結果として中央部および周辺部のゲージ抵抗における中点電位に電位差が生じる。圧力センサでは、この出力電圧に適当な増幅・調整処理を施して圧力に応じた電気信号を出力するようにしている。
【0003】
また、この種の圧力センサは、様々なシステムに搭載されており、多くの種類の圧力感度が要求されている。
【0004】
従来の圧力センサのセンサ出力特性を図3に示す。図に示すように、感度Aと感度Bは異なる傾きを有している。センシング部に圧力が印加されない状態における感度Aと感度Bのセンサ出力の電圧、すなわち、感度Aと感度Bの各オフセット電圧Va、Vbは同一となっている。ここで、圧力Pが印加された場合の感度Aの圧力センサから出力されるセンサ出力電圧をVa1とすると、感度A=(Va1−Va)/Pで表される。また、圧力Pが印加された場合の感度Bの圧力センサから出力されるセンサ出力電圧をVb1とすると、感度B=(Vb1−Vb)/Pで表される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の圧力センサの多くは、製造の容易さや製造コストを抑えるため、共通のパッケージに組み込まれて標準化が図られている。このため、圧力感度を容易に識別できるように圧力感度毎にパッケージを新たに開発することは困難である。したがって、例えば、製造工程において、誤って異なる感度の圧力センサがシステムに組み付けられても、センサ感度をパッケージで容易に識別できないため、仕様と異なった圧力センサがシステムに組み付けられて納入されてしまうといった問題が生じる。
【0006】
このため、出荷持の検査において、圧力センサの誤組付けの判定を行っているが、図3に示したように、感度が異なっていてもオフセット電圧が同一となっているため、所定の圧力を印加しながらセンサ出力を測定する必要がある。
【0007】
本発明は上記問題に鑑みたもので、物理量検出装置の誤組付けを容易に検出できるようにすることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、物理量に応じたセンサ出力信号を所定の感度で出力する物理量検出装置の製造方法において、
感度毎に前記センサ出力信号のオフセット電圧が異なるように、前記センサ出力信号のオフセット電圧を調整する調整工程を備えたこと特徴としている。
【0009】
このように、感度毎にセンサ出力信号のオフセット電圧が異なるように調整しているので、オフセット電圧を測定することにより物理量検出装置の誤組付けを容易に検出できる。
【0010】
この場合、請求項2に記載の発明のように、前記調整工程では、前記オフセット電圧を調整した後、前記感度を調整するようにすることができる。
【0011】
また、請求項3に記載の発明のように、前記オフセット調整回路を調整する工程では、互いに電圧範囲が重複しない規格範囲のそれぞれに前記感度毎に前記オフセット電圧を調整するのが好ましい。
【0012】
また、請求項4に記載の発明のように、前記センサ出力信号のオフセット電圧を測定し、このオフセット電圧に基づいて前記物理量検出装置の誤組み付けを検査する工程をこのオフセット電圧に基づき前記感度が前記所定の感度に調整されたものであるか否かを検査する工程を備えることにより、この検査工程において物理量検出装置の誤組付けを検出することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
本発明の一実施形態に係る圧力センサの回路構成を図1に示す。図に示すように、圧力センサは、電流供給回路10、ブリッジ回路20および増幅回路30により構成されている。
【0014】
電流供給回路10は、オペアンプ100、抵抗101〜104により構成されている。抵抗101および抵抗102は直列に接続され、電源端子Vの電圧を分圧している。抵抗101、102の接続点はオペアンプ100の非反転入力端子に接続されている。オペアンプ100の反転入力端子は、抵抗103を介して電源端子Vに接続され、オペアンプ100の出力端子と反転入力端子の間には抵抗104が接続されている。
【0015】
ブリッジ回路20は、抵抗201、202および圧力検出素子としてのゲージ抵抗RA、RB、RC、RDにより構成されている。ブリッジ回路20は、抵抗RAと抵抗RCの接続点がオペアンプ100の反転入力端子に接続され、抵抗RBと抵抗RDの接続点がオペアンプ100の非反転入力端子に接続されている。そして、センシング部に圧力が印加されると、ゲージ抵抗RAとゲージ抵抗RBの接続点Bおよびゲージ抵抗RCとゲージ抵抗RDの接続点Cの各中点の電位に電位差が生じるように構成されている。なお、抵抗201および抵抗202は、ゲージ抵抗RA、RB、RC、RDの抵抗値のばらつきをキャンセルするために設けられ、センシング部に圧力が印加されない場合に、B点、C点間に電位差が発生しないように、レーザートリミングにより調整される。
【0016】
増幅回路30は、オペアンプ300〜302、トランジスタ303、304、抵抗305〜312から構成されている。抵抗305はオペアンプ302のオフセット調整用抵抗である。オペアンプ300の出力端子にはダーリントン接続されたトランジスタ303、304が接続され、ボルテージフォロアとなっている。オペアンプ300の非反転入力端子は、ブリッジ回路20のB点に接続され、オペアンプ300の非反転入力端子に入力されるB点の電圧と等しい電圧がトランジスタ304のエミッタから出力されるようになっている。また、オペアンプ301はボルテージフォロアとなっており、非反転入力端子に入力されるC点の電圧と等しい電圧が出力端子から出力されるようになっている。オペアンプ302は、非反転入力端子が抵抗101と抵抗102の接続点に接続され、反転入力端子がトランジスタ303のコレクタに接続されるとともに、オフセット調整用抵抗305を介して電源に接続されている。なお、抵抗307〜309は、ブリッジ回路20の温度補償を行う温度補償回路である。
【0017】
なお、上記した構成における抵抗201、202、305、306、308、309は、所定の条件に応じてレーザートリミングにより抵抗値の調整が行われる抵抗である。
【0018】
上記した構成において、オペアンプ100の反転入力端子と非反転入力端子の電圧は等しくなるように動作するため、抵抗101と抵抗103の電圧降下は等しくなる。したがって、抵抗103には一定の電流が流れ、この電流はブリッジ回路20と抵抗104に流れ込む。抵抗104の抵抗値は、ブリッジ回路20の抵抗RAおよび抵抗RCの接続点と抵抗201および抵抗202の接続点から見た合成抵抗と比較して十分に大きくなっており、抵抗103に流れる電流はブリッジ回路20に流れる。すなわち、抵抗103からブリッジ回路20に定電流が供給される。
【0019】
ここで、センシング部に圧力が印加されない場合、B点、C点間に電位差は発生しない。したがって、抵抗306の両端間の電圧は等しくなり、抵抗306に電流は流れない。オペアンプ302の反転入力端子の電圧は、オペアンプ302の非反転入力端子の電圧、すなわち抵抗101および102の接続点の電圧と等しくなり、抵抗305には定電流が流れる。この抵抗305に流れる電流は、抵抗310およびダーリントン接続されたトランジスタ303、304にそれぞれ流れる。そして、オペアンプ302の反転入力端子の電圧から抵抗310による電圧降下分を差し引いた電圧が出力端子Oから出力される。なお、後述するセンサ出力信号のオフセット電圧の調整は、抵抗305をレーザートリミングすることにより行われる。
【0020】
次に、センシング部に所定の圧力が印加されると、圧力に応じた電位差がB点、C点間に発生する。そして、抵抗306の両端間に電位差が発生し、ダーリントン接続されたトランジスタ303、304を介して抵抗306に電流が流れる。したがって、抵抗305から抵抗310に流れる電流は減少し、出力端子Oの電圧は増加する。このように、センシング部に印加される圧力に応じたセンサ出力信号が出力端子Oから出力される。
【0021】
次に、上記した圧力センサについて、感度Aと感度Bの圧力センサを製造する場合の製造方法について説明する。
【0022】
図2に、感度Aと感度Bの圧力センサのセンサ出力特性を示す。図に示すように、感度Aと感度Bは異なる傾きを有している。そして、この実施形態では、センシング部に圧力が印加されない状態における感度Aと感度Bのセンサ出力の電圧、すなわち、感度Aと感度Bの各オフセット電圧Va、Vbは異なっている。また、感度Aのオフセット電圧Vaには、150mVの電圧幅で規格範囲が設けられている。そして、感度Aのオフセット電圧Vaは、この規格範囲内に調整される。また、感度Bのオフセット電圧Vbは、感度Aに対して設定された規格範囲と範囲が重複しない規格範囲内となるように調整される。
【0023】
なお、圧力Pが印加された場合に感度Aの圧力センサから出力されるセンサ出力電圧をVa1とすると、感度A=(Va1−Va)/Pで表される。また、圧力Pが印加された場合に感度Bの圧力センサから出力されるセンサ出力電圧をVb1とすると、感度B=(Vb1−Vb)/Pで表される。
【0024】
ここで、図1に示す構成の圧力センサでは、感度調整回路をなす抵抗306の抵抗値により感度の調整を行うことができ、オフセット調整回路をなす抵抗305の抵抗値によりオフセット電圧を調整することができる。
【0025】
圧力センサを製造する場合、まず、オペアンプ100、300〜302、ゲージ抵抗RA、RB、RC、RD、抵抗101〜104、201、202、305〜312およびトランジスタ303、304の各素子が図1に示すように結線して形成された半導体基板を用意する。
【0026】
次に、圧力感度およびセンサ出力信号のオフセット電圧を調整する。ここで、感度Aのセンサ出力特性を有する圧力センサの調整をする場合には、出力端子Oの電圧が感度Aに対して設けられた規格範囲内となるように抵抗305の抵抗値をレーザートリミングしてオフセット電圧Vaを調整する。次に、ウェハーの状態ではセンシング部としての抵抗RA、RB、RC、RDに所定の圧力Pを印加できないため、所定の圧力Pがセンシング部に印加された場合と同条件の電位差がB点、C点間から出力されるように、C点とアース間に図示しない抵抗を接続する。このように、所定の圧力Pがセンシング部に印加された場合と同条件で、出力端子Oの電圧をモニタしながら、出力端子Oの電圧がVa1となるように抵抗306の抵抗値をレーザートリミングにより調整する。この後、C点とアース間に接続した抵抗を取り外す。
【0027】
また、感度Bのセンサ出力特性を有する圧力センサの調整をする場合には、出力端子Oの電圧が感度Bに対して設けられた規格範囲内となるように、抵抗305の抵抗値をレーザートリミングしてオフセット電圧Vbを調整する。次に、所定の圧力Pがセンシング部に印加された場合と同条件の電位差がB点、C点間から出力されるように、C点とアース間に図示しない抵抗を接続する。そして、出力端子Oの電圧をモニタしながら、出力端子Oの電圧がVb1となるように抵抗306の抵抗値をレーザートリミングにより調整する。この後、C点とアース間に接続した抵抗を取り外す。
【0028】
上記したように、圧力感度および圧力感度毎にオフセット電圧が調整された圧力センサは、搭載されるシステムに組み付けられた後、出荷前の検査が行われる。
【0029】
作業者は、出荷時の検査において、上記した圧力センサのセンシング部に圧力が印加されない状態で、出力端子Oの電圧、すなわちセンサ出力信号のオフセット電圧を測定し、このオフセット電圧に基づき、感度を識別する。
【0030】
例えば、圧力センサのセンシング部に圧力が印加されない状態で、センサ出力信号のオフセット電圧を測定し、このオフセット電圧がVaとなった場合、この圧力センサは感度Aのセンサ出力特性を有するものであると識別できる。また、センサ出力信号のオフセット電圧を測定し、このオフセット電圧がVbとなった場合、この圧力センサは感度Bのセンサ出力特性を有するものであると識別できる。
【0031】
このように、圧力センサのセンシング部に所定の圧力を印加することなく、圧力センサの感度を識別できるので、異なる感度の圧力センサが誤って組み付けられていても、容易に検出することができる。
【0032】
なお、上記実施形態において、薄膜抵抗をレーザでカットして薄膜抵抗の抵抗値を調整するいわゆるレーザートリムによりセンサ出力信号のオフセット電圧を調整する例について示したが、例えば、オフセット調整回路として不揮発性メモリ(例えば、EPROM)を用い、不揮発性メモリに記憶されたデータに応じてセンサ出力信号のオフセット電圧を調整するようにしてもよい。この場合、圧力感度毎にセンサ出力信号のオフセット電圧が異なるように不揮発性メモリに記憶されるデータが設定される。
【0033】
また、上記実施形態において、感度Aと感度Bの異なる2つの感度特性を有する圧力センサのオフセット電圧を調整する例に説明したが、3つ以上の感度特性を有する圧力センサに適用してもよい。
【0034】
なお、上記実施形態では圧力センサを例に示したが、圧力センサに限ることなく、オフセット電圧と感度を調整するものであれば各種物理量の検出を行う物理量センサに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における圧力センサの回路構成を示す図である。
【図2】本発明の第1実施形態における圧力センサのセンサ出力の特性を示す図である。
【図3】従来の圧力センサのセンサ出力の特性を示す図である。
【符号の説明】
10…電流供給回路、20…ブリッジ回路、30…増幅回路、
RA、RB、RC、RD…ゲージ抵抗、オフセット調整用抵抗…305、
100、300〜302…オペアンプ。
Claims (4)
- 物理量に応じたセンサ出力信号を所定の感度で出力する物理量検出装置の製造方法において、
感度毎に前記センサ出力信号のオフセット電圧が異なるように、前記センサ出力信号のオフセット電圧を調整する調整工程を備えたこと特徴とする物理量検出装置の製造方法。 - 前記調整工程では、前記オフセット電圧を調整した後、前記感度を調整すること特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置の製造方法。
- 前記調整工程では、互いに電圧範囲が重複しない規格範囲のそれぞれに前記感度毎に前記オフセット電圧を調整することを特徴とする請求項1または2に記載の物理量検出装置の製造方法。
- 前記センサ出力信号のオフセット電圧を測定し、このオフセット電圧に基づいて前記物理量検出装置の誤組み付けを検査する工程を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の物理量検出装置の製造方法。
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JP2003027050A JP2004239676A (ja) | 2003-02-04 | 2003-02-04 | 物理量検出装置の製造方法 |
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- 2003-02-04 JP JP2003027050A patent/JP2004239676A/ja active Pending
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