JP2004514941A - 薄膜光ウエーブガイド - Google Patents
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- G02B2006/12035—Materials
- G02B2006/12069—Organic material
Abstract
第1のポリマー層および第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を含む光ウエーブガイド、および光ウエーブガイドを製造する方法が開示される。第1のポリマー層は、n1 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S1 を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S2 を有する。光ウエーブガイドでは、n1 ≠n2 であり、且つS1 /S2 は少なくとも5である。
Description
【0001】
発明の分野
本出願は、2000年11月28日に出願された米国仮出願第60/253,078号の利益を主張し、本明細書にその全体が参照により組み込まれる。
【0002】
本発明は、一般的に、薄膜光ウエーブガイド(thin film optical waveguide)および薄膜光ウエーブガイドを形成するための方法に関する。
【0003】
発明の背景
薄膜光ウエーブガイドは、例えば、スプリッティング、波長マルチプレクシングおよびデマルチプレクシング、光アド/ドロップ(optical add/drop)マルチプレクシング、可変減衰、変調、切り替えおよび増幅のような光通信ネットワークで先端機能を提供するためにますます用いられている。薄膜光ウエーブガイドは、従来のファイバーに基づく解決策よりも小さなサイズと大きな再現性を提供する。
【0004】
高い光学的品質のポリマーが、低温リソグラフィプロセスを用いて薄膜ウエーブガイドを形成するために用いられ得る。ポリマー薄膜ウエーブガイドは、熱光学的な作動と組合せされるとき、スプリッタ、波長マルチプレクサおよびデマルチプレクサ、光アド/ドロップマルチプレクサ、可変アテニュエータ、およびスイッチを作るために用いられ得る。様々なポリマーもまた、変調および増幅機能に対処するために開発されてきた。
【0005】
典型的には、薄膜ポリマーウエーブガイドは、例えば、スピンコーティングにより形成される多重の隣接する薄膜を含む。薄膜光ウエーブガイドの製造において、特定の光ウエーブガイドの光学特性をそろえるために、屈折率のようなわずかに異なる光学的特性を有する材料の連続層を構築することが望ましい。例えば、当業者は、薄膜光ウエーブガイドまたは互いの頂部上に異なる組成を有するポリマー群を形成することによりある種のポリマーから光を閉じ込め、伝送する他の構造を作ることができる。光学モードが内部反射によりコア層中を伝送されるように、案内またはコア層の屈折率は、バッファおよびクラッド層の屈折率より高くなければならない。
【0006】
薄膜ポリマーウエーブガイドを形成するための従来の方法は、隣接する薄膜層のための特定のポリマー/コポリマーシステムにおいて異なるコポリマーを選択することである。すなわち、それぞれの層について、当業者は、異なる屈折率を有するポリマー/コポリマーを選択する。しかしながら、従来の薄膜ポリマーウエーブガイドでは、さまざまのポリマー/コポリマーは、同様の組成を有し、したがって、それらはまた、同様の溶解性も有する。製造のためには、最終的に薄膜層を形成するポリマーは、スピンコーティングの前に適切な溶媒に溶解する。ポリマー/溶媒溶液は、基板上にスピンコートされ、それから続いて、例えば、溶媒を除去するためにホットプレート上でまたはオーブンの中で乾燥され、後に薄膜層を残す。しかしながら、乾燥プロセスは、典型的には、得られるポリマー薄膜層に応力場を引き起こす。加えて、ポリマーの次の層が付与されるとき、下にある乾燥されたポリマー薄膜は、溶媒による膨潤由来の有意な付加的な応力を被り得る。
【0007】
もし2つの隣接するポリマー薄膜層のポリマーが同じ溶媒に実質的に可溶性であるならば、溶媒による膨潤は容易に起こる。溶媒に実質的に同じ溶解性を有する付加層が付け加えられるとき、この効果は増大する。それらの応力は、光の散乱を引き起こし、性能の低下をもたらす。溶媒による膨潤はまた、ポリマーウエーブガイド構造全体のひびの発生、亀裂形成、および剥離も引き起こし、信頼性の大幅な減少をもたらし、ある種の場合には、部品の破損をもたらす。
【0008】
溶媒による膨潤により引き起こされる応力に加えて、隣接する薄膜層のための特定のポリマー/コポリマーシステムの中の異なるコポリマーの選択は、上方層および下方層由来のポリマーが存在する溶解帯域を作り出しうる。この場合には、別になった境界の消失が、隣接するポリマー層の間に起こる。従来のスピン流延プロセスにおいては、この溶解層の製造と均一性について、ほとんどあるいはまったく制御が存在しない。隣接層のポリマーの制御されない溶解は、上方層ポリマーで高濃度かつ下方層ポリマーで低濃度を有する局所化されたポケットを形成し得る。もし溶解の量が多量であり、制御されない方式で起こるならば、そのことは、ウエーブガイドからの光の散乱を促進し得る。
【0009】
応力を最小化するために溶媒による膨潤の効果を減少させる1つの方法は、下方と上方のポリマー層の間に極めて薄いバリア層を置くことである。しかしながら、この方法は、下方のポリマー層への上方層の溶媒の進入を防止するためのバリア層を形成するための付加的な加工処理工程を必要とする。応力を減少させるもう1つの方法は、次のポリマー層を形成するために用いられる溶媒に暴露されるとき、収縮しない完全に弛緩したポリマー層を作る試みにおいて乾燥状況を適用することである。しかしながら、それらの乾燥状況は、例えば、長い乾燥サイクルを含み、ポリマー層を完全に弛緩させるために2、3日間それぞれの連続フィルム堆積後に基板を高温でベークする必要があるであろう。
【0010】
したがって、先行技術のそれらのおよび他の問題を克服し、よりすぐれた性能および信頼性を有する薄膜光ウエーブガイドを提供する必要が存在する。以下の記載に例示されるように、本発明は、上記1以上の問題を解決することに関する。
【0011】
発明の概要
1つの典型的な態様で、本明細書で具体化され、広く記載されているように、本発明の目的を達成するために、そして本発明の目的によれば、本発明は、第1のポリマー層および第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を含む光学要素に関し、また光ウエーブガイドを作るための方法が開示されている。第1のポリマー層は、n1 の屈折率と第1の溶媒において溶解度S1 を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S2 を有する。光ウエーブガイドにおいて、n1 ≠n2 であり、S1 /S2 は、少なくとも5である。
【0012】
本発明のもう1つの典型的な態様は、第1のポリマー層、第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層、および第2のポリマー層に隣接する第3のポリマー層を有する光ウエーブガイドに関する。第1のポリマー層は、n1 の屈折率、第1の溶媒においてS1 の溶解度、および第2の溶媒においてS1’の溶解度を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率、第1の溶媒においてS2 の溶解度、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有する。さらに、n1 ≠n2 でS1 /S2 は少なくとも5である。第3のポリマー層は屈折率n3 、第2の溶媒においてS3’の溶解度を有する。加えて、n2 ≠n3 であり、かつ、S2’/S3’は少なくとも5である。
【0013】
本発明のさらにもう1つの典型的な態様は、第1のポリマーバッファ層、第1のポリマーバッファ層に隣接する第1のポリマー副層(sublayer)、第1のポリマー副層に隣接するポリマーコア層、前記コア層に隣接する第2の副層、および第2の副層に隣接する第2のバッファ層を有する光ウエーブガイドである。第1のポリマーバッファ層は、n1 の屈折率、第1の溶媒においてS1 の溶解度および第2の溶媒においてS1’の溶解度を有する。第1のポリマー副層は、n2 の屈折率、第1の溶媒においてS2 の溶解度、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有し、S1 /S2 の比は少なくとも5である。ポリマーコア層は、n3 の屈折率および第2の溶媒においてS3’の溶解度を有し、この場合、n3 >n2 、n3 >n1 であり、且つS2’/S3’は少なくとも5である。
【0014】
本発明の1つの典型的な態様は、第1のポリマー層を提供することにより形成される光ウエーブガイドであって、前記第1のポリマー層がn1 の屈折率を有するウエーブガイドである。また、第1のポリマー層に隣接するn2 の屈折率を有する第2のポリマー層は、第1のポリマー層上に溶液を提供することにより形成される。溶液は、第1のポリマー層の約1パーセント以下を溶解する第1の溶媒を含む。この態様では、n1 の値は、n2 の値に等しくない。
【0015】
本発明のもう1つの態様は、第1のポリマー層を堆積させ、第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を堆積させる工程を含む光ウエーブガイドを製造する方法に関する。この態様において、第1のポリマー層は、n1 の屈折率と第1の溶媒においてS1 の溶解度を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率と第1の溶媒においてS2 の溶解度を有する。加えて、n1 はn2 と異なり、S1 /S2 は少なくとも5である。
【0016】
本発明のさらにもう1つの典型的な態様は、第1のポリマー層を提供する工程および第1のポリマー層上に溶液を提供することにより第1のポリマー層に隣接してn2 の屈折率を有する第2のポリマー層を形成する工程を含む光ウエーブガイドを製造する方法である。第1のポリマー層は、n1 の屈折率を有する。溶液は、第1のポリマー層の1パーセント未満を溶解する第1の溶媒を含み、n1 ≠n2 である。
【0017】
本発明の加えての目的および利点は、以下に続く記載において部分的に記述されているし、その記載から部分的に明らかであろうし、または、本発明の実践により理解されうる。本発明の目的および利点は、特に特許請求の範囲で指摘されている要素および組み合わせにより実現し、達成されるであろう。
【0018】
前述の一般的記載および以下の詳細な記載の両方は、単に典型で説明であり、特許請求の範囲のようには本発明を限定しない。
【0019】
この明細書に組み込まれ、明細書の一部を構成する添付の図面は、記述とともに本発明のいくつかの態様を例示し、本発明の原理を説明する役割をする。
【0020】
態様の説明
さて、本発明の典型的な態様を詳細に説明するが、その例は、添付の図面に例示されている。可能な限り、同じ参照番号が、同一または同様の部分に言及するために図面全体に用いられるであろう。
【0021】
本明細書で用いられる、「薄膜光ウエーブガイド」(thin film optical waveguide)という用語は、「光ウエーブガイド」(optical waveguide)、「ポリマーウエーブガイド」(polymer waveguide)、「ポリマー光ウエーブガイド」(polymer optical waveguide)および「ウエーブガイド」(waveguide)と互換性がある。別段の区別のない限り、「溶媒」という用語は、単一溶媒および/または2以上の溶媒の混合物を意味する。また、「溶解度」という用語は、20℃の温度で1リットルの溶媒に溶解する材料の量を意味するものと理解される。
【0022】
図1を参照すると、本発明の典型的態様による薄膜ポリマー要素が開示されている。薄膜ポリマー要素は、基板100上の第1のポリマー層110と、第1のポリマー層110に隣接した第2のポリマー層120を含む。第1のポリマー層110は、第1の溶媒においてS1 の溶解度、および屈折率n1 を有する。第2のポリマー層120は、第1の溶媒においてS2 の溶解度、および屈折率n2 を有する。1つの典型的な態様において、n1 ≠n2 であり、第1のポリマー層110は、S1 /S2 が少なくとも5であるように、第2のポリマー層120よりも第1の溶媒においてより可溶性である。もう1つの態様において、S1 /S2 は、少なくとも10である。さらにもう1つの態様において、S1 /S2 は、少なくとも100である。
【0023】
再び図1を参照すると、本発明による光学要素の例が開示されている。その光学要素において、第1のポリマー層110は、例えば、基板100上のクラッド層であり得、第2のポリマー層120は、例えば、クラッド層110上のコア層であり得る。本発明の態様において、クラッド層110は、例えば、CYTOP(登録商標)を用いて形成され得、コア層120は、例えば、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン/ビニリジエンのターポリマー(THV)を用いて形成されうる。旭硝子(株)により製造されるCYTOP(登録商標)は、ペルフルオロ(アルケニルビニルエーテル)の重合により得られる環化された透明光学ポリマーである。それらのポリマーの両方は、高い光学的品質を有し、それらの屈折率は、nTHV =nCYTOP +0.02であるように異なり、このことは、単一モードのウエーブガイドが作られることを可能とする。THVはジメチルアセトアミド(DMAC)に容易に可溶であり、一方、CYTOP(登録商標)は、FC−40のような過フッ素化溶媒に可溶性である。THVはFC−40または一般にペルフルオロ化溶媒に可溶でなく、CYTOP(登録商標)は、DMACに可溶でない。この態様においては、nCYTOP は、1550nmで約1.34であり、nTHV は、1550nmで約1.36である。基板100は、例えばシリコン基板またはポリマー基板のような光学要素の製造において通常用いられるいずれの基板でも良い。
【0024】
クラッド層としてCYTOP(登録商標)およびコア層としてTHVを含む光学要素を以下のように形成した。約2.8μmのCYTOP(登録商標)フィルムをFC−40のCYTOP(登録商標)の10%溶液から2回スピンコートすることによりシリコン基板上に堆積させた。スピンコート速度は、10秒間1000RPMであった。スピンコーティング後、フィルムを110℃で数時間真空オーブン中で乾燥させた。コアTHV層を、1000RPMで5秒間スピンコートすることにより堆積させた。スピンコーティング溶液は、DMAC中15%THV−Gであった。次いでフィルムを110℃で数時間真空オーブン中で乾燥させた。THV層の近似層厚さは4μmであった。
【0025】
本発明のもう1つの典型的な態様において、第1のポリマー層は、基板100上に形成された、屈折率n1 を有するコア層であり得る。基板100は、クラッドとして機能する材料から作られ得、ns の屈折率を有する。この態様において、第2のポリマー層120は、n2 の屈折率を有するクラッド層であり得る。この配列によれば、n1 >n2 であり、n1 >ns である。
【0026】
もう1つの典型的な態様において、第1のポリマー層110がコア層であり、第2のポリマー層120がクラッド層である場合、層110と120は、反復単位を形成しうる。この場合には、その反復単位は、基板100、層110、層120、層110、層120のような配列で層を含む基板100上の複数の単位を形成するように積み重ねることができる。層110と120とは、所望の構造で、必要とされるように反復し得る。加えて、反復するコア層は、反復するクラッド層120と同様に、異なる屈折率を有し得る。あるいは、それぞれの反復するコア層は、同一の屈折率を有し得るし、および/またはそれぞれの反復するクラッド層は、同一の屈折率を有しうる。このことは、反復構造について、同一か異なるウエーブガイドが形成されることを可能とする。
【0027】
本発明による薄膜ポリマーウエーブガイドのもう1つの典型的な態様は、図2に描写されている。その薄膜ポリマーウエーブガイドは、基板200上の第1のポリマー層210、第1のポリマー層210に隣接する第2のポリマー層220、および第2のポリマー層220に隣接する第3のポリマー層230を含む。第1のポリマー層210は、例えば、第1のクラッド層であり得、第2のポリマー層220は、例えば、コア層であり得、第3のポリマー層230は、例えば、第2のクラッド層であり得る。第1のクラッド層210は、第1の溶媒においてS1 の溶解度を有し、コア層220は、第1の溶媒においてS2 の溶解度を有する。第1のクラッド層210は、第2の溶媒においてS1’の溶解度を有し、コア層220は、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有する。S1 /S2 が少なくとも5であるように、第1のクラッド層210は、コア層220より第1の溶媒により可溶性である。本発明のある種の態様において、S1 /S2 は、少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S1 /S2 は少なくとも100であり得る。S2’/S1’が少なくとも5であるように、コア層220は、第1のクラッド層210より第2の溶媒により可溶性である。本発明のある種の態様において、S2’/S1’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S1’は少なくとも100であり得る。
【0028】
第2のクラッド層230は、第3の溶媒において溶解度S3”を有し得るし、コア層230は、第3の溶媒において溶解度S2”を有しうる。S3”/S2”が少なくとも5であるように、第2のクラッド層230は、コア層220より第3の溶媒により可溶性であり得る。本発明のある種の態様において、S3”/S2”は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S3”/S2”は少なくとも100であり得る。
【0029】
S2’/S3’が少なくとも5であるように、第2のクラッド層230は第2の溶媒において溶解度S3’を有し得る。本発明のある種の態様において、S2’/S3’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S3’は少なくとも100であり得る。第2のクラッド層230はまた、S1 =S3 であるように、第1のクラッド層210と同一のポリマーで構成され得、その場合、S3 は、第1の溶媒での第2のクラッド層230の溶解度であり、n1 =n3 である。代わりに、S1 ≠S2 および/またはn2 ≠n3 であるように、第2のクラッド層230は、第1のクラッド層210のポリマーとは異なるポリマーで構成され得る。
【0030】
本発明の別の典型的態様において、ウエーブガイドは、例えば、第2のクラッド層に隣接する第2のコア層、および第2のコア層に隣接する第3のクラッド層のような付加的な層を含み得る。さらに別の典型的態様において、ウエーブガイドは、例えば、第2のクラッド層に隣接する第3のクラッド層、第3のクラッド層に隣接する第2のコア層、および第2のコア層に隣接する第4のクラッド層のような付加的な層もまた含み得る。
【0031】
本発明の別の典型的態様において、光ウエーブガイドは、チャンネル化またはパターン化され得る。コアおよびクラッド層は、単に特定の膜層の中にというよりもむしろ横方向に光を閉じ込めるために、チャンネル化またはパターン化され得る。光ウエーブガイドそれ自体が、特定の適用基準に合致するように製作され得る。この方式では、光ウエーブガイドでの光学モードの2次元的閉じ込め機構が形成され得る。本発明による光ウエーブガイドが少なくとも2つのコア層を含むとき、垂直に一体化されたデバイスが形成され得る。
【0032】
本発明の典型的態様による別の光ウエーブガイドは、図3に示される。その光ウエーブガイドは、n1 の屈折率、第1の溶媒において溶解度S1 、第2の溶媒において溶解度S1’を有する第1のポリマーバッファ層310を含む。第1のポリマーバッファ層310は、基板300上に形成され得る。その光ウエーブガイドはさらに、第1のポリマーバッファ層310に隣接する第1のポリマー副層320も含む。第1のポリマー副層320は、n2 の屈折率、第1の溶媒における溶解度S2 、および第2の溶媒おける溶解度S2’を有する。S1 /S2 が少なくとも5であるように第1のポリマーバッファ層310は、第1の溶媒に対し、第1のポリマー副層320よりもより可溶性である。本発明のある種の態様において、S1 /S2 は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S1 /S2 は少なくとも100であり得る。
【0033】
光ウエーブガイドはさらに、第1のポリマー副層320に隣接するポリマーコア層330を含む。ポリマーコア層330は、第2の溶媒において溶解度S3’、およびn3 >n2 のような屈折率n3 を有する。S2’/S3’が少なくとも5であるように、第1のポリマー副層320は、第2の溶媒においてコア層330より可溶性である。本発明のある種の態様において、S2’/S3’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S3’は少なくとも100であり得る。光ウエーブガイドはさらに、屈折率n4 を有する第2の副層340、隣接層330、および屈折率n5 を有する第2のバッファ層350、隣接する第2の副層340を含む。さらに、n3 >n4 である。
【0034】
本発明のもう1つの態様において、コア層330は、第3の溶媒においてS3”の溶解度を有し、第1のポリマー副層320は、第3の溶媒においてS2”の溶解度を有し、S3”/S2”は少なくとも5である。本発明のある種の態様において、S3”/S2”は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S
3”/S2”は少なくとも100であり得る。
【0035】
再び図3を参照すると、本発明の典型的態様によるもう1つの光ウエーブガイドは、第1のバッファ層310および第1の副層320を有する5層ウエーブガイドであり、その場合第1の副層320は、クラッド層である。加えて、第2のバッファ層350および第2の副層340は、ともにクラッド層であり得る。コア層330は、第1の副層320と第2の副層340との間に位置する。5層ウエーブガイドは、3層ウエーブガイドが提供し得るよりもより高い空気または基板300からの隔離が所望されるとき用いられ得る。これは、例えば、基板300または頂部層350が極めて吸収性の金属電極を有するときの事例であろう。
【0036】
この5層ウエーブガイドにおいて、d1 は、バッファ層310の厚さであり、d2 は、第1の副層320の厚さであり、d3 は、コア層330の厚さであり、d4 は、第2の副層340の厚さであり、d5 は、第2のバッファ層350の厚さである。加えて、d2 は、伝播される光学モードの消失性尾部(evanescent tail)が空気に達することを防止するのに十分に大きいように選択され得る。また、d4 も伝播される光学モードの消失性尾部が膜表面に達することを防止するのに十分に大きいように選択され得る。コア層の屈折率は、中間に隣接するクラッド層の屈折率より大きくなり得る(n3 >n4 およびn2 )。
【0037】
加えて、第1の副層320のn2 は、バッファ層310のn1 より大きくなり得る、すなわち、n2 >n1 である。本発明の態様において、第2のバッファ層350の屈折率n5 は、任意に、n1 と同じ値を有しうるし、第2の副層340の屈折率n4 は、任意に、n2 と同じ値を有しうる。
【0038】
本発明のもう1つの典型的な態様には、光ウエーブガイドを作るための方法がある。図4に示されるように、屈折率n1 を有する第1のポリマー層410が基板400上に提供される。n2 の屈折率を有する第2のポリマー層420が第1のポリマー層410に隣接して形成される。第2のポリマー層420は、例えば、スピンコーティングにより、第1のポリマー層上に第1の溶媒および第2のポリマー層の材料を含む溶液を提供することにより形成される。乾燥に続いて、第2のポリマー層420は、屈折率n2 を有し、第1の溶媒が第1のポリマー層の約1パーセント以下を溶解するように第1のポリマー層410上にある。
【0039】
本発明のもう1つの典型的態様において、光ウエーブガイドを作るための方法は、さらに、第2のポリマー層に隣接する屈折率n3 を有する第3のポリマー層430(n2 ≠n3 )を形成する工程を含み得る。任意にn1 =n3 である。屈折率n4 を有する第4のポリマー層(図示せず)はまた、第3のポリマー層(n3 ≠n4 )に隣接しても形成され得る。屈折率n5 を有する第4のポリマー層(図示せず)は、さらに、第4のポリマー層(n4 ≠n5 )に隣接して形成され得る。
【0040】
本発明により用いられうる様々の溶媒は、所定の(コア、クラッド、バッファ)層を形成するために選択される特定のポリマーと相容性であることが当業者に知られている溶媒である。1つの層の特定の溶媒/ポリマー系はまた、本発明の要請によるいずれの隣接層のポリマー/溶媒系にも応じるものであることに留意すべきである。要請には、例えば、第1の溶媒中の第1のポリマー層の溶解度は、少なくとも5、10、または100だけ第1の溶媒中の第2のポリマー層の溶解度より大きいことが含まれ得る。代わりに、上記溶解性の要請を除外するものではないが、第1のポリマー層上に第2のポリマー層を形成することは、第1の層の約1パーセント以下を溶解する。
【0041】
光ウエーブガイドのそれぞれの層(クラッド、コア、バッファ)は、少なくとも1種のポリマーを含む。また、個々の層は、さらに、ポリマーウエーブガイドの製造において有用であると当業者に知られている少なくとも1種の剤をも含むことが可能である。剤の非限定的な典型例は、例えば、ドープ剤、架橋剤、色素系ドープ剤(chromophoric doping agent)、連鎖移動剤、抗酸化剤および光開始剤から選ばれる。
【0042】
コア層およびクラッド層として利用され得る適切なポリマーは、通常のウエーブガイドの基準に合致する屈折率を有することが当業者に知られているものである、すなわち、クラッド層の屈折率は、コア層の屈折率未満である。薄膜寸法と組み合わされた屈折率の差は、ウエーブガイドにより案内されるモードの総数の決定について主要な役割を演ずる。適切な光学的な関係に加えて、隣接層のために選ばれたポリマーと溶媒もまた上記のような溶解度の関係に合致すべきである。
【0043】
多くの光通信用途のために、単一モードのウエーブガイドが要求される。コアポリマーおよびクラッドポリマーおよび適切な溶媒並びにそれぞれの対応するポリマーの堆積厚さを適切に選択することにより、多層ポリマーのスタックは、優れたデバイス性能、出力および信頼性をもたらし、応力とクラック形成を大きく減少させて製造され得る。
【0044】
適切なコア層の非限定的な典型例は、チャープ(chirped)層、多モード層、およびグレーデッドインデックス(graded index)層から選ばれる。コア層は、希土類ドープポリマー、他の電子−光活性ポリマーおよびそれらの混合物のような多数の材料から作られ得る。コア層は、例えば、CYTOP(登録商標)、TEFLON(登録商標)AF(登録商標)、ペルフルオロシクロブタン、ポリノルボルネン、フッ化ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリメチルメタクリレート、多官能架橋アクリレートのような光損失の少ないポリマーから構成され得る。TEFLON(登録商標)AF(登録商標)は、E.I.デュポン・ド・ヌムール・アンド・カンパニーにより製造されるアモルファスフルオロポリマー樹脂の族である。
【0045】
加えて、上記のものを含むコア層を形成するポリマーは、増幅および電子−光学(electro−optic)変調能を達成するために、それぞれ、適切な希土類種および電子−光学色素をドープされ得る。コア層ポリマーの他の非限定的な典型例には、CYTOP(登録商標)のような出発骨格材料であって、主鎖または側鎖のいずれかにおいて該ポリマーに化学的に組み込まれた希土類または電子−光学種を有するものからなるポリマーが含まれ得る。
【0046】
本発明による光学要素を形成するために用いられ得るポリマー/溶媒対の非限定的な典型例には、CYTOP(登録商標)(FC−40)/THV(DMAC)、ポリビニルアルコール(水)/CYTOP(登録商標)(FC−40)、ポリビニルアルコール(水)/THV(DMAC)、ポリメチルメタクリレート(シクロヘキサノン)/ポリビニルアルコール(水)、ポリメチルメタクリレート(シクロヘキサノン)/Cytop(登録商標)(FC−40)が含まれる。
【0047】
本発明は、溶媒溶解度および屈折率に基づいて構造のそれぞれの層で用いられるポリマーの注意深い選択を通して、薄膜光ウエーブガイドの応力を減少させ、溶解帯域を制御する問題に対処する。先に言及したように、薄膜光ウエーブガイドの製造においては、光モードが内部反射により案内層中を伝送されるように、案内層(コア層)の屈折率は、バッファ層およびクラッド層の屈折率より大きい。
【0048】
本発明は、ポリマー光ウエーブガイドがスプレーコーティング、ディップコーティング、メニスカスコーティングおよび流延のような通常の溶液塗布技術により製造されるとき、溶媒膨潤により引き起こされる応力を減少させる手段を提供する。
【0049】
本発明の他の態様は、本明細書に開示される本発明の詳細および実践の考慮から当業者に明らかになるであろう。明細書および例は、単に典型として考えられ、本発明の真の範囲および精神は、特許請求範囲により示されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の典型的な態様による光学要素を示す図である。
【図2】図2は、本発明のもう1つの典型的な態様による3層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【図3】図3は、本発明の典型的な態様による5層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【図4】図4は、本発明の典型的な態様による多層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【符号の説明】
100,200,300…基板、110,120,210,220,230,310,320,330,340…ポリマー層、310,350…バッファ層
発明の分野
本出願は、2000年11月28日に出願された米国仮出願第60/253,078号の利益を主張し、本明細書にその全体が参照により組み込まれる。
【0002】
本発明は、一般的に、薄膜光ウエーブガイド(thin film optical waveguide)および薄膜光ウエーブガイドを形成するための方法に関する。
【0003】
発明の背景
薄膜光ウエーブガイドは、例えば、スプリッティング、波長マルチプレクシングおよびデマルチプレクシング、光アド/ドロップ(optical add/drop)マルチプレクシング、可変減衰、変調、切り替えおよび増幅のような光通信ネットワークで先端機能を提供するためにますます用いられている。薄膜光ウエーブガイドは、従来のファイバーに基づく解決策よりも小さなサイズと大きな再現性を提供する。
【0004】
高い光学的品質のポリマーが、低温リソグラフィプロセスを用いて薄膜ウエーブガイドを形成するために用いられ得る。ポリマー薄膜ウエーブガイドは、熱光学的な作動と組合せされるとき、スプリッタ、波長マルチプレクサおよびデマルチプレクサ、光アド/ドロップマルチプレクサ、可変アテニュエータ、およびスイッチを作るために用いられ得る。様々なポリマーもまた、変調および増幅機能に対処するために開発されてきた。
【0005】
典型的には、薄膜ポリマーウエーブガイドは、例えば、スピンコーティングにより形成される多重の隣接する薄膜を含む。薄膜光ウエーブガイドの製造において、特定の光ウエーブガイドの光学特性をそろえるために、屈折率のようなわずかに異なる光学的特性を有する材料の連続層を構築することが望ましい。例えば、当業者は、薄膜光ウエーブガイドまたは互いの頂部上に異なる組成を有するポリマー群を形成することによりある種のポリマーから光を閉じ込め、伝送する他の構造を作ることができる。光学モードが内部反射によりコア層中を伝送されるように、案内またはコア層の屈折率は、バッファおよびクラッド層の屈折率より高くなければならない。
【0006】
薄膜ポリマーウエーブガイドを形成するための従来の方法は、隣接する薄膜層のための特定のポリマー/コポリマーシステムにおいて異なるコポリマーを選択することである。すなわち、それぞれの層について、当業者は、異なる屈折率を有するポリマー/コポリマーを選択する。しかしながら、従来の薄膜ポリマーウエーブガイドでは、さまざまのポリマー/コポリマーは、同様の組成を有し、したがって、それらはまた、同様の溶解性も有する。製造のためには、最終的に薄膜層を形成するポリマーは、スピンコーティングの前に適切な溶媒に溶解する。ポリマー/溶媒溶液は、基板上にスピンコートされ、それから続いて、例えば、溶媒を除去するためにホットプレート上でまたはオーブンの中で乾燥され、後に薄膜層を残す。しかしながら、乾燥プロセスは、典型的には、得られるポリマー薄膜層に応力場を引き起こす。加えて、ポリマーの次の層が付与されるとき、下にある乾燥されたポリマー薄膜は、溶媒による膨潤由来の有意な付加的な応力を被り得る。
【0007】
もし2つの隣接するポリマー薄膜層のポリマーが同じ溶媒に実質的に可溶性であるならば、溶媒による膨潤は容易に起こる。溶媒に実質的に同じ溶解性を有する付加層が付け加えられるとき、この効果は増大する。それらの応力は、光の散乱を引き起こし、性能の低下をもたらす。溶媒による膨潤はまた、ポリマーウエーブガイド構造全体のひびの発生、亀裂形成、および剥離も引き起こし、信頼性の大幅な減少をもたらし、ある種の場合には、部品の破損をもたらす。
【0008】
溶媒による膨潤により引き起こされる応力に加えて、隣接する薄膜層のための特定のポリマー/コポリマーシステムの中の異なるコポリマーの選択は、上方層および下方層由来のポリマーが存在する溶解帯域を作り出しうる。この場合には、別になった境界の消失が、隣接するポリマー層の間に起こる。従来のスピン流延プロセスにおいては、この溶解層の製造と均一性について、ほとんどあるいはまったく制御が存在しない。隣接層のポリマーの制御されない溶解は、上方層ポリマーで高濃度かつ下方層ポリマーで低濃度を有する局所化されたポケットを形成し得る。もし溶解の量が多量であり、制御されない方式で起こるならば、そのことは、ウエーブガイドからの光の散乱を促進し得る。
【0009】
応力を最小化するために溶媒による膨潤の効果を減少させる1つの方法は、下方と上方のポリマー層の間に極めて薄いバリア層を置くことである。しかしながら、この方法は、下方のポリマー層への上方層の溶媒の進入を防止するためのバリア層を形成するための付加的な加工処理工程を必要とする。応力を減少させるもう1つの方法は、次のポリマー層を形成するために用いられる溶媒に暴露されるとき、収縮しない完全に弛緩したポリマー層を作る試みにおいて乾燥状況を適用することである。しかしながら、それらの乾燥状況は、例えば、長い乾燥サイクルを含み、ポリマー層を完全に弛緩させるために2、3日間それぞれの連続フィルム堆積後に基板を高温でベークする必要があるであろう。
【0010】
したがって、先行技術のそれらのおよび他の問題を克服し、よりすぐれた性能および信頼性を有する薄膜光ウエーブガイドを提供する必要が存在する。以下の記載に例示されるように、本発明は、上記1以上の問題を解決することに関する。
【0011】
発明の概要
1つの典型的な態様で、本明細書で具体化され、広く記載されているように、本発明の目的を達成するために、そして本発明の目的によれば、本発明は、第1のポリマー層および第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を含む光学要素に関し、また光ウエーブガイドを作るための方法が開示されている。第1のポリマー層は、n1 の屈折率と第1の溶媒において溶解度S1 を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S2 を有する。光ウエーブガイドにおいて、n1 ≠n2 であり、S1 /S2 は、少なくとも5である。
【0012】
本発明のもう1つの典型的な態様は、第1のポリマー層、第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層、および第2のポリマー層に隣接する第3のポリマー層を有する光ウエーブガイドに関する。第1のポリマー層は、n1 の屈折率、第1の溶媒においてS1 の溶解度、および第2の溶媒においてS1’の溶解度を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率、第1の溶媒においてS2 の溶解度、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有する。さらに、n1 ≠n2 でS1 /S2 は少なくとも5である。第3のポリマー層は屈折率n3 、第2の溶媒においてS3’の溶解度を有する。加えて、n2 ≠n3 であり、かつ、S2’/S3’は少なくとも5である。
【0013】
本発明のさらにもう1つの典型的な態様は、第1のポリマーバッファ層、第1のポリマーバッファ層に隣接する第1のポリマー副層(sublayer)、第1のポリマー副層に隣接するポリマーコア層、前記コア層に隣接する第2の副層、および第2の副層に隣接する第2のバッファ層を有する光ウエーブガイドである。第1のポリマーバッファ層は、n1 の屈折率、第1の溶媒においてS1 の溶解度および第2の溶媒においてS1’の溶解度を有する。第1のポリマー副層は、n2 の屈折率、第1の溶媒においてS2 の溶解度、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有し、S1 /S2 の比は少なくとも5である。ポリマーコア層は、n3 の屈折率および第2の溶媒においてS3’の溶解度を有し、この場合、n3 >n2 、n3 >n1 であり、且つS2’/S3’は少なくとも5である。
【0014】
本発明の1つの典型的な態様は、第1のポリマー層を提供することにより形成される光ウエーブガイドであって、前記第1のポリマー層がn1 の屈折率を有するウエーブガイドである。また、第1のポリマー層に隣接するn2 の屈折率を有する第2のポリマー層は、第1のポリマー層上に溶液を提供することにより形成される。溶液は、第1のポリマー層の約1パーセント以下を溶解する第1の溶媒を含む。この態様では、n1 の値は、n2 の値に等しくない。
【0015】
本発明のもう1つの態様は、第1のポリマー層を堆積させ、第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を堆積させる工程を含む光ウエーブガイドを製造する方法に関する。この態様において、第1のポリマー層は、n1 の屈折率と第1の溶媒においてS1 の溶解度を有する。第2のポリマー層は、n2 の屈折率と第1の溶媒においてS2 の溶解度を有する。加えて、n1 はn2 と異なり、S1 /S2 は少なくとも5である。
【0016】
本発明のさらにもう1つの典型的な態様は、第1のポリマー層を提供する工程および第1のポリマー層上に溶液を提供することにより第1のポリマー層に隣接してn2 の屈折率を有する第2のポリマー層を形成する工程を含む光ウエーブガイドを製造する方法である。第1のポリマー層は、n1 の屈折率を有する。溶液は、第1のポリマー層の1パーセント未満を溶解する第1の溶媒を含み、n1 ≠n2 である。
【0017】
本発明の加えての目的および利点は、以下に続く記載において部分的に記述されているし、その記載から部分的に明らかであろうし、または、本発明の実践により理解されうる。本発明の目的および利点は、特に特許請求の範囲で指摘されている要素および組み合わせにより実現し、達成されるであろう。
【0018】
前述の一般的記載および以下の詳細な記載の両方は、単に典型で説明であり、特許請求の範囲のようには本発明を限定しない。
【0019】
この明細書に組み込まれ、明細書の一部を構成する添付の図面は、記述とともに本発明のいくつかの態様を例示し、本発明の原理を説明する役割をする。
【0020】
態様の説明
さて、本発明の典型的な態様を詳細に説明するが、その例は、添付の図面に例示されている。可能な限り、同じ参照番号が、同一または同様の部分に言及するために図面全体に用いられるであろう。
【0021】
本明細書で用いられる、「薄膜光ウエーブガイド」(thin film optical waveguide)という用語は、「光ウエーブガイド」(optical waveguide)、「ポリマーウエーブガイド」(polymer waveguide)、「ポリマー光ウエーブガイド」(polymer optical waveguide)および「ウエーブガイド」(waveguide)と互換性がある。別段の区別のない限り、「溶媒」という用語は、単一溶媒および/または2以上の溶媒の混合物を意味する。また、「溶解度」という用語は、20℃の温度で1リットルの溶媒に溶解する材料の量を意味するものと理解される。
【0022】
図1を参照すると、本発明の典型的態様による薄膜ポリマー要素が開示されている。薄膜ポリマー要素は、基板100上の第1のポリマー層110と、第1のポリマー層110に隣接した第2のポリマー層120を含む。第1のポリマー層110は、第1の溶媒においてS1 の溶解度、および屈折率n1 を有する。第2のポリマー層120は、第1の溶媒においてS2 の溶解度、および屈折率n2 を有する。1つの典型的な態様において、n1 ≠n2 であり、第1のポリマー層110は、S1 /S2 が少なくとも5であるように、第2のポリマー層120よりも第1の溶媒においてより可溶性である。もう1つの態様において、S1 /S2 は、少なくとも10である。さらにもう1つの態様において、S1 /S2 は、少なくとも100である。
【0023】
再び図1を参照すると、本発明による光学要素の例が開示されている。その光学要素において、第1のポリマー層110は、例えば、基板100上のクラッド層であり得、第2のポリマー層120は、例えば、クラッド層110上のコア層であり得る。本発明の態様において、クラッド層110は、例えば、CYTOP(登録商標)を用いて形成され得、コア層120は、例えば、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン/ビニリジエンのターポリマー(THV)を用いて形成されうる。旭硝子(株)により製造されるCYTOP(登録商標)は、ペルフルオロ(アルケニルビニルエーテル)の重合により得られる環化された透明光学ポリマーである。それらのポリマーの両方は、高い光学的品質を有し、それらの屈折率は、nTHV =nCYTOP +0.02であるように異なり、このことは、単一モードのウエーブガイドが作られることを可能とする。THVはジメチルアセトアミド(DMAC)に容易に可溶であり、一方、CYTOP(登録商標)は、FC−40のような過フッ素化溶媒に可溶性である。THVはFC−40または一般にペルフルオロ化溶媒に可溶でなく、CYTOP(登録商標)は、DMACに可溶でない。この態様においては、nCYTOP は、1550nmで約1.34であり、nTHV は、1550nmで約1.36である。基板100は、例えばシリコン基板またはポリマー基板のような光学要素の製造において通常用いられるいずれの基板でも良い。
【0024】
クラッド層としてCYTOP(登録商標)およびコア層としてTHVを含む光学要素を以下のように形成した。約2.8μmのCYTOP(登録商標)フィルムをFC−40のCYTOP(登録商標)の10%溶液から2回スピンコートすることによりシリコン基板上に堆積させた。スピンコート速度は、10秒間1000RPMであった。スピンコーティング後、フィルムを110℃で数時間真空オーブン中で乾燥させた。コアTHV層を、1000RPMで5秒間スピンコートすることにより堆積させた。スピンコーティング溶液は、DMAC中15%THV−Gであった。次いでフィルムを110℃で数時間真空オーブン中で乾燥させた。THV層の近似層厚さは4μmであった。
【0025】
本発明のもう1つの典型的な態様において、第1のポリマー層は、基板100上に形成された、屈折率n1 を有するコア層であり得る。基板100は、クラッドとして機能する材料から作られ得、ns の屈折率を有する。この態様において、第2のポリマー層120は、n2 の屈折率を有するクラッド層であり得る。この配列によれば、n1 >n2 であり、n1 >ns である。
【0026】
もう1つの典型的な態様において、第1のポリマー層110がコア層であり、第2のポリマー層120がクラッド層である場合、層110と120は、反復単位を形成しうる。この場合には、その反復単位は、基板100、層110、層120、層110、層120のような配列で層を含む基板100上の複数の単位を形成するように積み重ねることができる。層110と120とは、所望の構造で、必要とされるように反復し得る。加えて、反復するコア層は、反復するクラッド層120と同様に、異なる屈折率を有し得る。あるいは、それぞれの反復するコア層は、同一の屈折率を有し得るし、および/またはそれぞれの反復するクラッド層は、同一の屈折率を有しうる。このことは、反復構造について、同一か異なるウエーブガイドが形成されることを可能とする。
【0027】
本発明による薄膜ポリマーウエーブガイドのもう1つの典型的な態様は、図2に描写されている。その薄膜ポリマーウエーブガイドは、基板200上の第1のポリマー層210、第1のポリマー層210に隣接する第2のポリマー層220、および第2のポリマー層220に隣接する第3のポリマー層230を含む。第1のポリマー層210は、例えば、第1のクラッド層であり得、第2のポリマー層220は、例えば、コア層であり得、第3のポリマー層230は、例えば、第2のクラッド層であり得る。第1のクラッド層210は、第1の溶媒においてS1 の溶解度を有し、コア層220は、第1の溶媒においてS2 の溶解度を有する。第1のクラッド層210は、第2の溶媒においてS1’の溶解度を有し、コア層220は、第2の溶媒においてS2’の溶解度を有する。S1 /S2 が少なくとも5であるように、第1のクラッド層210は、コア層220より第1の溶媒により可溶性である。本発明のある種の態様において、S1 /S2 は、少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S1 /S2 は少なくとも100であり得る。S2’/S1’が少なくとも5であるように、コア層220は、第1のクラッド層210より第2の溶媒により可溶性である。本発明のある種の態様において、S2’/S1’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S1’は少なくとも100であり得る。
【0028】
第2のクラッド層230は、第3の溶媒において溶解度S3”を有し得るし、コア層230は、第3の溶媒において溶解度S2”を有しうる。S3”/S2”が少なくとも5であるように、第2のクラッド層230は、コア層220より第3の溶媒により可溶性であり得る。本発明のある種の態様において、S3”/S2”は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S3”/S2”は少なくとも100であり得る。
【0029】
S2’/S3’が少なくとも5であるように、第2のクラッド層230は第2の溶媒において溶解度S3’を有し得る。本発明のある種の態様において、S2’/S3’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S3’は少なくとも100であり得る。第2のクラッド層230はまた、S1 =S3 であるように、第1のクラッド層210と同一のポリマーで構成され得、その場合、S3 は、第1の溶媒での第2のクラッド層230の溶解度であり、n1 =n3 である。代わりに、S1 ≠S2 および/またはn2 ≠n3 であるように、第2のクラッド層230は、第1のクラッド層210のポリマーとは異なるポリマーで構成され得る。
【0030】
本発明の別の典型的態様において、ウエーブガイドは、例えば、第2のクラッド層に隣接する第2のコア層、および第2のコア層に隣接する第3のクラッド層のような付加的な層を含み得る。さらに別の典型的態様において、ウエーブガイドは、例えば、第2のクラッド層に隣接する第3のクラッド層、第3のクラッド層に隣接する第2のコア層、および第2のコア層に隣接する第4のクラッド層のような付加的な層もまた含み得る。
【0031】
本発明の別の典型的態様において、光ウエーブガイドは、チャンネル化またはパターン化され得る。コアおよびクラッド層は、単に特定の膜層の中にというよりもむしろ横方向に光を閉じ込めるために、チャンネル化またはパターン化され得る。光ウエーブガイドそれ自体が、特定の適用基準に合致するように製作され得る。この方式では、光ウエーブガイドでの光学モードの2次元的閉じ込め機構が形成され得る。本発明による光ウエーブガイドが少なくとも2つのコア層を含むとき、垂直に一体化されたデバイスが形成され得る。
【0032】
本発明の典型的態様による別の光ウエーブガイドは、図3に示される。その光ウエーブガイドは、n1 の屈折率、第1の溶媒において溶解度S1 、第2の溶媒において溶解度S1’を有する第1のポリマーバッファ層310を含む。第1のポリマーバッファ層310は、基板300上に形成され得る。その光ウエーブガイドはさらに、第1のポリマーバッファ層310に隣接する第1のポリマー副層320も含む。第1のポリマー副層320は、n2 の屈折率、第1の溶媒における溶解度S2 、および第2の溶媒おける溶解度S2’を有する。S1 /S2 が少なくとも5であるように第1のポリマーバッファ層310は、第1の溶媒に対し、第1のポリマー副層320よりもより可溶性である。本発明のある種の態様において、S1 /S2 は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S1 /S2 は少なくとも100であり得る。
【0033】
光ウエーブガイドはさらに、第1のポリマー副層320に隣接するポリマーコア層330を含む。ポリマーコア層330は、第2の溶媒において溶解度S3’、およびn3 >n2 のような屈折率n3 を有する。S2’/S3’が少なくとも5であるように、第1のポリマー副層320は、第2の溶媒においてコア層330より可溶性である。本発明のある種の態様において、S2’/S3’は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S2’/S3’は少なくとも100であり得る。光ウエーブガイドはさらに、屈折率n4 を有する第2の副層340、隣接層330、および屈折率n5 を有する第2のバッファ層350、隣接する第2の副層340を含む。さらに、n3 >n4 である。
【0034】
本発明のもう1つの態様において、コア層330は、第3の溶媒においてS3”の溶解度を有し、第1のポリマー副層320は、第3の溶媒においてS2”の溶解度を有し、S3”/S2”は少なくとも5である。本発明のある種の態様において、S3”/S2”は少なくとも10であり得、本発明の他の態様において、S
3”/S2”は少なくとも100であり得る。
【0035】
再び図3を参照すると、本発明の典型的態様によるもう1つの光ウエーブガイドは、第1のバッファ層310および第1の副層320を有する5層ウエーブガイドであり、その場合第1の副層320は、クラッド層である。加えて、第2のバッファ層350および第2の副層340は、ともにクラッド層であり得る。コア層330は、第1の副層320と第2の副層340との間に位置する。5層ウエーブガイドは、3層ウエーブガイドが提供し得るよりもより高い空気または基板300からの隔離が所望されるとき用いられ得る。これは、例えば、基板300または頂部層350が極めて吸収性の金属電極を有するときの事例であろう。
【0036】
この5層ウエーブガイドにおいて、d1 は、バッファ層310の厚さであり、d2 は、第1の副層320の厚さであり、d3 は、コア層330の厚さであり、d4 は、第2の副層340の厚さであり、d5 は、第2のバッファ層350の厚さである。加えて、d2 は、伝播される光学モードの消失性尾部(evanescent tail)が空気に達することを防止するのに十分に大きいように選択され得る。また、d4 も伝播される光学モードの消失性尾部が膜表面に達することを防止するのに十分に大きいように選択され得る。コア層の屈折率は、中間に隣接するクラッド層の屈折率より大きくなり得る(n3 >n4 およびn2 )。
【0037】
加えて、第1の副層320のn2 は、バッファ層310のn1 より大きくなり得る、すなわち、n2 >n1 である。本発明の態様において、第2のバッファ層350の屈折率n5 は、任意に、n1 と同じ値を有しうるし、第2の副層340の屈折率n4 は、任意に、n2 と同じ値を有しうる。
【0038】
本発明のもう1つの典型的な態様には、光ウエーブガイドを作るための方法がある。図4に示されるように、屈折率n1 を有する第1のポリマー層410が基板400上に提供される。n2 の屈折率を有する第2のポリマー層420が第1のポリマー層410に隣接して形成される。第2のポリマー層420は、例えば、スピンコーティングにより、第1のポリマー層上に第1の溶媒および第2のポリマー層の材料を含む溶液を提供することにより形成される。乾燥に続いて、第2のポリマー層420は、屈折率n2 を有し、第1の溶媒が第1のポリマー層の約1パーセント以下を溶解するように第1のポリマー層410上にある。
【0039】
本発明のもう1つの典型的態様において、光ウエーブガイドを作るための方法は、さらに、第2のポリマー層に隣接する屈折率n3 を有する第3のポリマー層430(n2 ≠n3 )を形成する工程を含み得る。任意にn1 =n3 である。屈折率n4 を有する第4のポリマー層(図示せず)はまた、第3のポリマー層(n3 ≠n4 )に隣接しても形成され得る。屈折率n5 を有する第4のポリマー層(図示せず)は、さらに、第4のポリマー層(n4 ≠n5 )に隣接して形成され得る。
【0040】
本発明により用いられうる様々の溶媒は、所定の(コア、クラッド、バッファ)層を形成するために選択される特定のポリマーと相容性であることが当業者に知られている溶媒である。1つの層の特定の溶媒/ポリマー系はまた、本発明の要請によるいずれの隣接層のポリマー/溶媒系にも応じるものであることに留意すべきである。要請には、例えば、第1の溶媒中の第1のポリマー層の溶解度は、少なくとも5、10、または100だけ第1の溶媒中の第2のポリマー層の溶解度より大きいことが含まれ得る。代わりに、上記溶解性の要請を除外するものではないが、第1のポリマー層上に第2のポリマー層を形成することは、第1の層の約1パーセント以下を溶解する。
【0041】
光ウエーブガイドのそれぞれの層(クラッド、コア、バッファ)は、少なくとも1種のポリマーを含む。また、個々の層は、さらに、ポリマーウエーブガイドの製造において有用であると当業者に知られている少なくとも1種の剤をも含むことが可能である。剤の非限定的な典型例は、例えば、ドープ剤、架橋剤、色素系ドープ剤(chromophoric doping agent)、連鎖移動剤、抗酸化剤および光開始剤から選ばれる。
【0042】
コア層およびクラッド層として利用され得る適切なポリマーは、通常のウエーブガイドの基準に合致する屈折率を有することが当業者に知られているものである、すなわち、クラッド層の屈折率は、コア層の屈折率未満である。薄膜寸法と組み合わされた屈折率の差は、ウエーブガイドにより案内されるモードの総数の決定について主要な役割を演ずる。適切な光学的な関係に加えて、隣接層のために選ばれたポリマーと溶媒もまた上記のような溶解度の関係に合致すべきである。
【0043】
多くの光通信用途のために、単一モードのウエーブガイドが要求される。コアポリマーおよびクラッドポリマーおよび適切な溶媒並びにそれぞれの対応するポリマーの堆積厚さを適切に選択することにより、多層ポリマーのスタックは、優れたデバイス性能、出力および信頼性をもたらし、応力とクラック形成を大きく減少させて製造され得る。
【0044】
適切なコア層の非限定的な典型例は、チャープ(chirped)層、多モード層、およびグレーデッドインデックス(graded index)層から選ばれる。コア層は、希土類ドープポリマー、他の電子−光活性ポリマーおよびそれらの混合物のような多数の材料から作られ得る。コア層は、例えば、CYTOP(登録商標)、TEFLON(登録商標)AF(登録商標)、ペルフルオロシクロブタン、ポリノルボルネン、フッ化ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリメチルメタクリレート、多官能架橋アクリレートのような光損失の少ないポリマーから構成され得る。TEFLON(登録商標)AF(登録商標)は、E.I.デュポン・ド・ヌムール・アンド・カンパニーにより製造されるアモルファスフルオロポリマー樹脂の族である。
【0045】
加えて、上記のものを含むコア層を形成するポリマーは、増幅および電子−光学(electro−optic)変調能を達成するために、それぞれ、適切な希土類種および電子−光学色素をドープされ得る。コア層ポリマーの他の非限定的な典型例には、CYTOP(登録商標)のような出発骨格材料であって、主鎖または側鎖のいずれかにおいて該ポリマーに化学的に組み込まれた希土類または電子−光学種を有するものからなるポリマーが含まれ得る。
【0046】
本発明による光学要素を形成するために用いられ得るポリマー/溶媒対の非限定的な典型例には、CYTOP(登録商標)(FC−40)/THV(DMAC)、ポリビニルアルコール(水)/CYTOP(登録商標)(FC−40)、ポリビニルアルコール(水)/THV(DMAC)、ポリメチルメタクリレート(シクロヘキサノン)/ポリビニルアルコール(水)、ポリメチルメタクリレート(シクロヘキサノン)/Cytop(登録商標)(FC−40)が含まれる。
【0047】
本発明は、溶媒溶解度および屈折率に基づいて構造のそれぞれの層で用いられるポリマーの注意深い選択を通して、薄膜光ウエーブガイドの応力を減少させ、溶解帯域を制御する問題に対処する。先に言及したように、薄膜光ウエーブガイドの製造においては、光モードが内部反射により案内層中を伝送されるように、案内層(コア層)の屈折率は、バッファ層およびクラッド層の屈折率より大きい。
【0048】
本発明は、ポリマー光ウエーブガイドがスプレーコーティング、ディップコーティング、メニスカスコーティングおよび流延のような通常の溶液塗布技術により製造されるとき、溶媒膨潤により引き起こされる応力を減少させる手段を提供する。
【0049】
本発明の他の態様は、本明細書に開示される本発明の詳細および実践の考慮から当業者に明らかになるであろう。明細書および例は、単に典型として考えられ、本発明の真の範囲および精神は、特許請求範囲により示されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の典型的な態様による光学要素を示す図である。
【図2】図2は、本発明のもう1つの典型的な態様による3層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【図3】図3は、本発明の典型的な態様による5層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【図4】図4は、本発明の典型的な態様による多層薄膜ポリマーウエーブガイドを示す図である。
【符号の説明】
100,200,300…基板、110,120,210,220,230,310,320,330,340…ポリマー層、310,350…バッファ層
Claims (33)
- n1 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S1 を有する第1のポリマー層、
前記第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層であって、第2のポリマー層がn2 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S2 を有し、n1 ≠n2 であり、S1 /S2 は少なくとも5である第2のポリマー層
を備える光学要素。 - 前記第1のポリマー層が第2の溶媒において溶解度S1’を有し、前記第2のポリマー層が前記第2の溶媒において溶解度S2’を有し、S2’/S1’が少なくとも5である請求項1記載の光学要素。
- S1 /S2 が少なくとも10である請求項1記載の光学要素。
- S1 /S2 が少なくとも100である請求項1記載の光学要素。
- 前記第1のポリマー層および第2のポリマー層から選ばれる少なくとも1つのポリマー層がチャンネル化されている請求項1記載の光学要素。
- n1 の屈折率、第1の溶媒において溶解度S1 、および第2の溶媒において溶解度S1’を有する第1のポリマー層、
前記第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層であって、n2 の屈折率、前記第1の溶媒において溶解度S2 、前記第2の溶媒において溶解度S2’を有し、n1 ≠n2 かつS1 /S2 は少なくとも5である第2のポリマー層、および
前記第2のポリマー層に隣接する第3のポリマー層であって、屈折率n3 、前記第2の溶媒において溶解度S3’を有し、n2 ≠n3 かつS2’/S3’が少なくとも5である第3のポリマー層
を備える光ウエーブガイド。 - S1 /S2 が少なくとも10である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- S1 /S2 が少なくとも100である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- S2’/S3’が少なくとも10である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- S2’/S3’が少なくとも100である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- 前記第3のポリマー層が前記第1の溶媒において溶解度S3 を有し、さらに、S1 =S3 であり、n1 =n3 である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- 前記第3のポリマー層が第3の溶媒においてS3”の溶解度を有し、前記第2のポリマー層が前記第3の溶媒においてS2”の溶解度を有し、S3”/S2”が少なくとも5である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- 前記第1のポリマー層が第1のクラッド層であり、前記第2のポリマー層がコア層であり、前記第3のポリマー層が第2のクラッド層であり、前記光ウエーブガイドが、
第2のクラッド層に隣接する第2のコア層、および
前記第2のコア層に隣接する第3のクラッド層
をさらに含む請求項6記載の光ウエーブガイド。 - 前記第1のポリマー層が第1のクラッド層であり、前記第2のポリマー層が第1のコア層であり、前記第3のポリマー層が第2のクラッド層であり、前記光ウエーブガイドが、
前記第2のクラッド層に隣接する第3のクラッド層、
前記第3のクラッド層に隣接する第2のコア層、および
前記第2のコア層に隣接する第4のクラッド層
をさらに含む請求項6記載の光ウエーブガイド。 - 前記第1のコア層、前記第2のコア層、前記第1のクラッド層、前記第2のクラッド層、前記第3のクラッド層および前記第4のクラッド層から選ばれる少なくとも1層がチャンネル化されている請求項14記載の光ウエーブガイド。
- 前記第1のポリマー層がコア層であり、前記第2のポリマー層がクラッド層であり、n1 >n2 である請求項6記載の光ウエーブガイド。
- n1 の屈折率、第1の溶媒において溶解度S1 および第2の溶媒において溶解度S1’を有する第1のポリマーバッファ層、
前記第1のポリマーバッファ層に隣接する第1のポリマー副層であって、n2 の屈折率、前記第1の溶媒において溶解度S2 、前記第2の溶媒において溶解度S2’を有し、およびS1 /S2 が少なくとも5である第1のポリマー副層、
前記第1のポリマー副層に隣接するポリマーコア層であって、屈折率n3 、前記第2の溶媒において溶解度S3’を有し、n3 >n2 であり、n3 >n1 であり、S2’/S3’が少なくとも5であるポリマーコア層、
前記コア層に隣接する第2の副層、および
前記第2の副層に隣接する第2のバッファ層
を備える光ウエーブガイド。 - S1 /S2 が少なくとも10である請求項17記載の光ウエーブガイド。
- S2’/S3’が少なくとも10である請求項17記載の光ウエーブガイド。
- 前記ポリマーコア層が第3の溶媒においてS3”の溶解度を有し、前記第1のポリマー副層が前記第3の溶媒においてS2”の溶解度を有し、S3”/S2”が少なくとも5である請求項17記載の光ウエーブガイド。
- n1 の屈折率を有する第1のポリマー層を提供し、
前記第1のポリマー層上に溶液を提供することにより前記第1のポリマー層に隣接してn2 の屈折率を有する第2のポリマー層を形成する工程であって、前記溶液が前記第1のポリマー層の約1パーセント以下を溶解させる第1の溶媒を含み、n1 ≠n2 である工程
により形成される光ウエーブガイド。 - 前記第2のポリマー層上に溶液を提供することにより前記第2のポリマー層に隣接する屈折率n3 を有する第3のポリマー層を形成する工程であって、前記溶液が前記第2のポリマー層の約1パーセント以下を溶解させる第2の溶媒を含み、n2 ≠n3 である工程をさらに含む請求項21記載の光ウエーブガイド。
- 前記第1のポリマー層が第1のクラッド層であり、前記第2のポリマー層が第1のコア層であり、前記第3のポリマー層が第2のクラッド層であり、
前記第2のクラッド層に隣接する第3のクラッド層、
前記第3のクラッド層に隣接する第2のコア層、および
前記第2のコア層に隣接する第4のクラッド層
をさらに含む請求項21記載の光ウエーブガイド。 - 前記第1のポリマー層が第1のクラッド層であり、前記第2のポリマー層が第2のクラッド層であり、前記第3のポリマー層が第1のコア層であり、
前記第1のコア層に隣接する第3のクラッド層、
前記第3のクラッド層に隣接する第2のコア層、および
前記第2のコア層に隣接する第4のクラッド層
をさらに含む請求項21記載の光ウエーブガイド。 - n1 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S1 を有する第1のポリマー層を堆積させる工程、および
n2 の屈折率および前記第1の溶媒において溶解度S2 を有し、n1 ≠n2 であり、S1 /S2 が少なくとも5である前記第1のポリマー層に隣接する第2のポリマー層を堆積させる工程
を含む光ウエーブガイドを製造する方法。 - 前記第1のポリマー層が第2の溶媒において溶解度S1’を有し、前記第2のポリマー層が第2の溶媒において溶解度S2’を有し、S2’/S1’が少なくとも5である請求項25記載の方法。
- S1 /S2 が少なくとも10である請求項25記載の方法。
- S1 /S2 が少なくとも100である請求項25記載の方法。
- n1 の屈折率を有する第1のポリマー層を提供する工程、
前記第1のポリマー層上に溶液を提供することにより前記第1のポリマー層に隣接してn2 の屈折率を有する第2のポリマー層を形成する工程であって、前記溶液は、1パーセント未満の前記第1のポリマー層を溶解する第1の溶媒を含み、n1 ≠n2 である工程
を含む光ウエーブガイドを製造する方法。 - 前記第2のポリマー層に隣接して屈折率n3 を有し、n2 ≠n3 である第3のポリマー層を形成する工程をさらに含む請求項29記載の方法。
- 前記第3のポリマー層に隣接して屈折率n4 を有し、n3 ≠n4 である第4のポリマー層を形成する工程、および
前記第4のポリマー層に隣接して屈折率n5 を有し、n4 ≠n5 である第5のポリマー層を形成する工程
をさらに含む請求項30記載の方法。 - 基板上のコア層であって、n1 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S1 を有するコア層、および
前記コア層に隣接するクラッド層であって、n2 の屈折率および第1の溶媒において溶解度S2 を有し、n1 ≠n2 であり、S1 /S2 が少なくとも5であるクラッド層
を含む光学要素。 - 前記コア層及び前記クラッド層が第1のユニットを形成し、前記光学要素が前記第1のユニットに隣接して形成される少なくとも第2のユニットをさらに含む請求項32記載の光学要素。
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