JP2004506904A - 電力センサ - Google Patents

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Abstract

本発明は、広いダイナミック・レンジにわたって、変調済み若しくは無変調の高周波信号又はマイクロ波信号の平均電力を測定するための電力センサに関する。本発明によれば、それ自体は周知の、以下の方法が用いられる。即ち、(a)被測定信号電力が、より低い電力測定レンジ(−70〜−16dBm)における前記信号電力を測定するための第1のセンサ・ブランチに引き渡され、(b)前記センサ・ブランチが、入力と下流に接続される電力スプリッタの間を接続するライン上の、いくつかの空間的に離隔された測定ポイントを有し(c)同時に被測定信号電力が、少なくとも2つの別の異なる電力測定レンジ(−22〜+4dBm又は−2〜+20dBm)における信号電力を測定するために、ほとんど負荷非依存の同期出力を伴う電力スプリッタを用いて、アッテネータを介し、少なくとも2つの別のセンサ・ブランチに引き渡される。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大きなダイナミック・レンジにわたって、変調済み若しくは無変調の無線周波数信号又はマイクロ波信号の平均電力を測定するための電力センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
非常に広範多様な電力センサが既に知られている。最も一般的なバージョンは、吸収された電力に比例する電気的な測定量を生成する単一の温度センサを含んでいるか、或いは、終端抵抗の端子間電圧に等しい電気的な出力量を生成する一方向若しくは2方向回路内に単一のダイオード整流器を含んでおり、これらから測定予定の電力を決定することができる。ダイオードを伴う電力センサは、−70dBmから+20dBmにわたる範囲のCW信号(無変調正弦波信号)の電力を正確に測定することができるが、包絡線変調された信号に関するその使用は、ダイオードが有する−70dBmから約−20dBmの、いわゆる2次特性応答領域に限定される。これにおいて達成可能な約50dBmのダイナミック・レンジは、CW信号の場合に比べると著しく小さく、概略で言えば温度センサの場合と同サイズである。
【0003】
特に、第2世代及び第3世代のディジタル・モバイル電話における通信標準の要件は、変調された信号に関する実質的により大きなダイナミック・レンジを伴う新しい電力センサのグループの開発を導いた。これらの周知の電力センサの1つにおいては、2つのセンサ・ブランチが備えられ、より詳細に述べれば、低電力測定レンジ内における測定のための第1のセンサ・ブランチが入力に直接備えられ、高電力測定レンジ内における測定のための第2のセンサ・ブランチが特別な抵抗回路を介して入力に接続されており、この抵抗回路が、第1のセンサ・ブランチ用の特性インピーダンス整合された終端として作用するとともに、第2のセンサ・ブランチのための電力フィードを提供する(米国特許第4,943,764号)。この周知の電力センサの実用的な実施態様においては、感知入力側のセンサ・ブランチを、高電力用の他方のセンサ・ブランチの使用時に切る必要がある(Hogan,R.:Wide−Range Sensor Gauges Power Of Complex Signals.Microwaves & RF,1999年9月,128〜137頁)。製造される電力センサは、−60dBm〜+20dBmとして測定レンジが指定されており、これは、CW信号に関する周知の電力センサを用いて達成可能なレンジより10dB小さい(データシート「EPM Series Power Meters,E−Series and 8480 Series Power Sensors」,Agilent Technologies,文献番号5965−6382E)。このセンサには、6GHzバージョン及び18GHzバージョンがある。
【0004】
2つのセンサ・ブランチを有する電力センサは既に周知であり、低電力レンジ及び高電力レンジにおける信号電力を測定するために、それぞれ異なるサイズのアッテネータを伴う電力スプリッタを介して測定予定の信号電力を2つのセンサ・ブランチに給電する(米国特許第4,873,484号)。この場合に使用される電力スプリッタは、いわゆる3抵抗電力スプリッタとして設計される(Russel A.Johnson:Understanding Microwave Power Splitters,Microwave Juornal Vol.18,1975年12月,49〜56頁)。電力スプリッタとともに動作するこの種のセンサにおいては、この種の3抵抗電力スプリッタ(抵抗電力分割器と呼ばれることもある)を2つカスケードに配置して、それにより異なる電力測定レンジのための合計して3つのセンサ・ブランチを提供することも既に知られている(Anritsu Co.:A Universal Power Sensor.Microwave Juornal,2000年3月,130〜134頁)。この電力センサに関する製造者によって指定された測定レンジも同様に、−60dBmから+20dBmまでしかない。また、このセンサには、6GHzバージョンだけが用意されている。
【0005】
最後にダイオードを伴う電力センサの場合についてであるが、CW信号に対して排他的に使用されるセンサの場合には、センサの線形特性に及ぼされるドライブ・レベルに依存した接合容量の効果を抑える(米国特許第5,204,613号)、或いは、変調された信号用のセンサの場合には、センサ・ブランチの測定レンジを増加するために、同一方向に直列に接続された複数のダイオードを整流エレメントとして使用することも既に知られている(Hogan,R.:Wide−Range Sensor Gauges Power Of Complex Signals.Microwaves & RF,1999年9月,128〜137頁)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、18GHz若しくはそれ以上に達する周波数レンジの変調された信号の電力平均値を測定するための電力センサ、即ち、その感度並びにダイナミック・レンジが、周知のソリューションにおけるものより大きく、且つ、CW信号用の電力センサの特性に匹敵する電力センサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この目的は、特許請求の範囲の主請求項のプリアンブルに従った電力センサ、即ち、大きなダイナミック・レンジにわたって、変調済み若しくは無変調の無線周波数信号又はマイクロ波信号の平均電力を測定するための電力センサを基礎とし、それを特徴づけるそれ自体は周知の特徴によって達成される。好適な改良については、従属請求項に示されている。
【0008】
本発明によれば、少なくとも3つの相互に独立した、それぞれが対応する異なる電力測定レンジを伴うセンサ・ブランチが提供され、90dBの必要ダイナミック・レンジが細かく分割するために、rms値整流の間において個別のセンサ・ブランチの測定レンジ境界に生じる、ノイズ又はエラーに起因する摂動効果を充分に小さく維持することが可能になる。個別のセンサ・ブランチは、好ましくは、単一の整流器ダイオード(一方向整流器)又は異なる極性の2つの整流器ダイオード(2方向整流器)及び関連する充電キャパシタを使用して、それ自体は周知の方法で構成されるダイオード・ディテクタを含む。高感度を達成するために、CW信号用の電力センサの場合と同様に、第1のセンサ・ブランチが入力に直接備えられ、残りのセンサ・ブランチには、対応する分割後の電力が電力スプリッタ及びアッテネータを介して供給される。この場合、周波数応答の差がわずかな場合に限り、1つのブランチの測定結果から別のブランチの測定結果への問題のない切り替えが可能になることから、周波数の関数としてのセンサ・ブランチの同期が特に重要となる。周知のソリューションの場合には、これについての保証がない。
【0009】
本発明によれば、同期問題が、測定量、即ち、センサに作用する波が、第1のセンサ・ブランチを介して最小可能摂動を伴って送られ、それに続いて電力スプリッタを用いて、実質的な負荷非依存同期応答(トラッキング)を伴って残り2つのセンサ・ブランチの間に分割され、且つ、第1のセンサ・ブランチ内の測定デバイスが、電力スプリッタの整合とは無関係に、その測定値が入射波の電力のレベルを表すように構成される。そのため、第1のセンサ・ブランチにおいては、それぞれにディテクタが割り当てられた複数の電圧タップが、適切な間隔で電力スプリッタに至る給電ライン上に備えられ、これらのディテクタの出力電圧の合計、即ち、それらから決定可能な見かけの電力の合計が、適切な方法に従って生成される。この加算は、給電ライン上の定在波に起因する測定結果のポジション依存性を縮小し、その結果、入射波の電力が実質的に電力スプリッタの整合と独立に測定され、したがって周波数非依存となることから、それが非常に高い精度で測定される(Sucher,M.:Final Report on High Power Measuring Techniques;Microwave Reserch Institute,Report R−718−59,PIB−646,1959年3月)。分散された測定ポイントを伴うこの種の構成における別の利点は、個別のディテクタによって生成される摂動が互いに相殺され、したがって電力センサの入力側の整合が向上することである。説明している測定構成は、1〜2オクターブ台の周波数帯に限定されているが、周波数帯が数オクターブにわたって広がる広帯域電力センサにおける使用についても、通常は指定周波数レンジの上側3分の2まで個別のモジュールの不整合に起因する摂動が関係しないことから得策となる。
【0010】
電力スプリッタの出力における不整合とは無関係に行われる測定信号の対称分割に関しては、2つの実行可能な電力スプリッタの実施態様がある。第1のグループが包含する電力スプリッタにおいては、1つの出力の不整合に起因する反射波が、それが伝達される場合に等しい大きさで別の出力に反射され、sパラメータ間の関係式s22=s32及びs33=s23によって表される(ゲート1:電力スプリッタの入力)。このタイプの電力スプリッタのグループは、低周波等価回路を、入力と2つの出力の間のそれぞれにおける1つの抵抗インピーダンスによって表すことができる構成をカバーし、抵抗は使用される特性インピーダンスに等しい(抵抗電力スプリッタ)。この構成は、図1及び図2に示されている。
【0011】
しかしながら、本発明によれば、出力側において整合しており、出力間に高度の絶縁を有する電力スプリッタ(s22≒0、s33≒0、|s23|<<|s21/s31|及び|s32|<<|s31/s21|)にも適用することが可能であり、その理由として、この場合においては、1つの出力の接続に起因する反射波が同じ出力に反射されることがなく、また、別の出力に伝達されることもないことから、結果として抽出される電力の比が一定にとどまることが挙げられる。このタイプの電力スプリッタのグループは、中でも、いわゆるウィルキンソン・ディバイダ(Webb,R.C.:Power Divider/Combiners:Small Size,Big Specs;Microwaves,1981年11月67〜74頁)をカバーする。
【0012】
本発明に従って適用できないものは、その低周波等価回路が、スター・ポイントから放射状に広がる3つの等しく大きな抵抗を示す抵抗性電力スプリッタであり、その抵抗が特性インピーダンスの3分の1に等しいものである。このタイプの場合には、1つの出力の接続に起因する反射波は、同じ出力に反射されないが、別の出力に伝達され(s22≒0、s33≒0、|s23|≒0.25及び|s32|≒0.25)、そのことが直接、電力分割における非対称性をもたらす。一方、不整合が周波数に依存することから、2つの出力電力の同期が可能となり得ない。
【0013】
第1の電力スプリッタの2つの出力から、適切に寸法設定されたアッテネータを介して、電力レンジが相応じてスタガされた2つのセンサ・ブランチに給電することが可能である。しかしながら、本発明に従ったバージョンにおける2つの出力の間に追加の電力スプリッタを備えることも可能であり、それにより合計4つのセンサ・ブランチのための3つの出力が用意され、より細かい電力レンジの分割が可能になる(図2)。
【0014】
本発明に従った電力センサにおいては、ディテクタ内に個別のダイオードを使用せず、直列に接続された複数のダイオードを使用する方がむしろ有利であり、それによって変調された信号を測定するための個別のセンサ・ブランチのダイナミック・レンジを増加することができる。これに関連するものが、電力センサの上側測定限界におけるスペアのドライビング・キャパシティ内の利得であり、下側測定限界における感度の比較的軽微な低下の代償としてそれが得られる。単一ダイオードを伴うCWセンサに関する−70dBmから+20dBmまでの電力レンジに基づくと、それぞれの場合における2つのダイオードの直列接続は、センサの下側測定限界を3dB(2分された感度)しか上昇させないが、スペアのドライビング・キャパシティは、6dB(ダイオードごとに2分される入力電圧)の増加をもたらす。3ダイオードの直列接続を用いると、5dBの下側測定限界のシフト及び10dBの上側測定限界のシフトが期待され、10個のダイオードの直列接続に至っては、複数のセンサ・ブランチを伴う周知のソリューションの、−60dBmの測定限界に到達する。
【0015】
個別のセンサ・ブランチのダイナミック・レンジを増加するために、直列接続のダイオードに代えて、出願人の会社の特許出願第199 13 338号(内部ファイル参照番号P22131)に従った回路を使用することも可能である。
【0016】
また、同時にすべてのセンサ・ブランチの出力信号を評価すること及び2つの隣接するセンサ・ブランチ両方の出力信号から、それらのブランチのオーバーラップしているレンジ内における測定結果を獲得することも別の利点として挙げられる。これらのセンサ・ブランチの整流器から獲得される出力電圧の同時取り込み並びにその後の並行処理は、好ましくは出願人の会社の特許出願第199 55 342.4号(内部ファイル参照番号P23064)に従った構成を用いて行われ、ダイオード整流器の出力電圧がディジタル値に変換され、これらのディジタル値のそれぞれが、即ち、ダイオード整流器の少なくとも1つのドライブ・レベルから導かれた比を有する重み付け係数を用いて重み付けされる。共通の量子化単位にスケーリングされた後、この方法に従って重み付けが行われたディジタル値が合計されて、実際のディジタル測定値となり、その後評価が行われる。2つのセンサ・ブランチの間のオーバーラップしているレンジにおいては、両方の整流器の出力信号から測定結果が獲得され、その結果、測定レンジ境界のrms値整流作用の間に、ノイズ又はエラーに起因する効果が平均化される。したがって、全体として測定の不正確度は非常に小さく、切り替え時に必要となるヒステリシスが使用されないことから、オーバーラップ・レンジ内においてさえも高い再現性が保証される。また、レンジの変更が不要になることから、高い測定レートも達成される。
【0017】
以下、概略図を補助とする例示の実施態様を参照して本発明を詳細に説明する。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は、3つのセンサ・ブランチA、B及びCからなる電力センサのブロック図を示している。入力Eに供給される入力信号は、グラウンドとの関係から表され、その電力が測定対象となるが、まず、空間的にオフセットされているディテクタ4及び5からなる第1のセンサ・ブランチAの入力に直接供給され、この第1のセンサ・ブランチAでは、例えば、−70dBmから−16dBmまでの低電力測定レンジにおける信号電力の測定が行われる。2つのディテクタ4及び5の間には、ライン1が配置されており、その寸法は、電力センサの最も高い測定周波数において、実質的にλ/4(λ=波長)の長さを有するように設定されている。このラインに関連づけされる伝播時間の差のために、入射波及び反射波に関しては、2つのディテクタの出力信号の合計として測定電圧タップ24、25においてタップされる差電圧が、その後に続く電力スプリッタ11の整合と実質的に無関係となり、したがって周波数レンジ全域にわたって入力電力との比例関係が維持される。λ/4ラインによってもたらされる伝播時間における差に起因して、更にディテクタ4及び5によって生成される反射が補償され、その結果、少なくとも上側動作周波数レンジでは、入力Eにおける整合に意味のある向上が達成される。
【0019】
2つの測定電圧タップに代えて、3若しくはそれを超える数のタップを使用することも可能であり、それらの間に接続されるライン・セクションの適切な寸法設定を行うことにより、最も影響を受けやすいセンサ・ブランチにおける電力測定に関して、電力スプリッタ11の整合に対する更に大きな非依存性が得られる。
【0020】
第1のセンサ・ブランチを通過した後、測定予定の信号電力が抵抗電力スプリッタ11に直接供給されるが、これは、s22=s32及びs33=s23とするsパラメータによって特徴づけされ、したがって出力側に不整合がある場合であっても入力電力の対称な分割が可能になる。電力スプリッタ11によって生成される大きさが等しい信号電力成分が2つの並列センサ・ブランチB及びCに供給される。これら2つのセンサ・ブランチB及びCには、2とおりの異なる寸法設定がなされた減衰段12及び13、16が備わり、それらは2つのディテクタ6、7及び8、9がそれぞれ入力電力の異なる測定レンジに関してドライブされるように寸法設定される。これらの測定レンジにおいては、それぞれ測定タップ26、27及び28、29からタップが可能な差の出力電圧が、入力Eに供給された信号電力に比例する。センサ・ブランチBのアッテネータ12は、例えば、−22から+4dBmまでの入力電力レンジがディテクタ6、7によってカバーされるように寸法設定され、ディテクタ8、9を含むセンサ・ブランチCのアッテネータ13、16は、このブランチによって−2から+20dBmまでの電力レンジがカバーされるように寸法設定される。したがって、入力側のセンサ・ブランチAとともに、これら3つの同時に作用するセンサ・ブランチによって、全体としてより大きなダイナミック・レンジが獲得される。一方、このようにして構成される2つの追加のセンサ・ブランチB及びCの、個別のディテクタ6、7及び8、9の間においては、ライン38及び39を挿入することが可能であり、それがアッテネータの出力における不整合を抑え、したがって周波数の関数となる望ましくない減衰の変化を抑える。ライン1、14、38及び39は、それぞれの特性インピーダンスによって終端されており、ライン1は、電力スプリッタ11の入力インピーダンスによって終端され、ライン14はアッテネータ16の入力インピーダンスによって終端され、ライン38及び39は、追加の終端抵抗30、31によって終端される。
【0021】
センサ・ブランチCのための減衰は、2つの減衰段13、16において行われ、好ましくはアッテネータ13をアッテネータ12と同一に選択する。これは、これらのアッテネータの出力に至るまでの配置の対称性を保持し、更に必要なことが、アッテネータ16が、減衰に関して低周波応答を有することの保証だけとなる。センサ・ブランチCに関して2つの減衰段を伴う構成は、更に、測定入力Eからこのセンサ・ブランチがより良好に分離されるという利点を有している。センサ・ブランチCに関するすべての減衰がアッテネータ13だけにおいて行われるとすれば、このアッテネータの出力が、測定入力に対して40dBの減衰を受けたレベルを運ぶことになり、電力スプリッタとの空間的近接から、ライン14を延ばすことによっても抑えることができない周波数依存のクロストークを伴うことになる。つまりライン14は、測定入力からのクロストークが無視できる充分な大きさのレベルを運び、その結果、測定入力Eからセンサ・ブランチCを充分に離して配置できるような態様でライン14の長さを設定することができる。最後に付け加えれば、それぞれが20dB台の2つの減衰値は、40dB台の単一の減衰値より容易に生成することが可能である。
【0022】
ディテクタを伴う3つのセンサ・ブランチは、容量性、誘導性、若しくは容量性/誘導性が組み合わされた結合エレメントを用いることなく、入力E及びアッテネータ12、16と直接的に接続される。
【0023】
電力スプリッタ、アッテネータ及び関連する接続ラインといった電力センサのすべての回路コンポーネントは、無線周波数の技術的見地から構成される。各電力スプリッタ11が2つの50Ωの抵抗からそれぞれ構成される(50Ωライン・システム用)だけでなく、それに伴う分散キャパシタンス並びにインダクタンスが、動作周波数レンジ全域にわたって、この種の電力スプリッタに関する特性値をsパラメータが有するように、互いに比例して選択される。このことは、最小発生波長相当の回路寸法を用いるとき、構成のジオメトリという意味において非常に明細な要件に適合する必要があることを意味しており、また、同様の考え方がアッテネータ及び終端抵抗30、31をはじめ、給電ライン及びλ/4接続ライン1、38及び39に対しても当てはまる。共面回路テクノロジに従って全体の回路を構成することは、信号導体と同一平面内に回路のアースが置かれるという利点を有し、特にシンプル、且つ、経済的な全体構成を可能にする。
【0024】
また、共面回路テクノロジに従った回路の構成は、ダイオード整流器の充電キャパシタンス32〜37に薄膜キャパシタを使用することを可能にする。薄膜キャパシタは、高さに関して極めて小さい寸法を有するキャパシタであり、その下側電極が共面ラインのアース表面の一部によって構成され、その上に薄い誘電体(約1μmの厚さの窒化ケイ素、一酸化ケイ素)が重ねられ、更にその上にカバー電極が備えられる。この種の薄膜キャパシタの大きな利点は、カバー電極が実質的にアース表面及び信号ラインと同一の平面に置かれることであり、したがって、いわゆるバンプ接触表面に実装されるコンポーネントを、1つの平面内にマウントすることが可能になる。この種のバンプは、非常に低い接続インダクタンスを可能にし、したがって整流器の、より良好な無線周波数応答を可能にする。更に、実質的にアース電位となり、アース表面を伴う1つの平面内に置かれるカバー電極は、隣接するライン構造の電界に関してわずかな摂動しか示さない。
【0025】
使用される整流器の出力電圧と入力電力の間における比例の範囲を、2次特性応答領域を超えて拡大するためには、それ自体は周知の方法において直列に同一方向に接続された複数のダイオードを、単一のダイオード4、5、6、7、8及び9に代えて備えると好都合であり、その場合には、その種の直列接続されたダイオードが、既に、例えば、測定ダイナミクスにおいて5dBの利得を可能にしており、また、それに代えて出願人の会社の特許出願第199 13 338号(内部ファイル参照番号P22131)に従って整流器を設計し、且つ、寸法設定することも好都合であり、これは利得が約10dBになることを意味する。
【0026】
図2に従って、複数の電力スプリッタを後方に配置してカスケード構成にすれば、電力測定レンジを更に細かく細分することが可能になる。カスケード接続された2つの電力スプリッタ11及び電力スプリッタ41によって、合計で4つのセンサ・ブランチA、B、C及びDが提供され、そのうちブランチA、B及びCは、図1に従ったものに対応する。アッテネータ40を介して第1の電力スプリッタ11の1つのブランチから電力の一部が供給される第2の電力スプリッタ41によって、その電力がセンサ・ブランチCと、第4のセンサ・ブランチDの間において分割されるが、この第4のセンサ・ブランチDは、アッテネータ42、ディテクタ44、47、それらの間に配置される遅延ライン46及び関連づけされた終端抵抗50を有し、その測定出力43、48が共通ディジタル評価装置に接続される。このようにして備えられる4つのセンサ・ブランチは、それらの使用可能な電力レンジという意味において、より細かくスタガされ、それがオーバーラップ・レンジにおけるより良好な信号対ノイズ比をもたらし、したがって同様により低い測定の不正確度、或いは、より高い測定レートを導く。合計して3つになる追加のアッテネータ13、40及び42は、必ずしも3つすべてが必須というわけではなく、構成上適切であれば、実際にこれらのアッテネータのうちの1つを省略してもよい。
【0027】
センサ・ブランチの数を増加する方法の別の可能性としては、図2において、合計して5つのセンサ・ブランチが提供されるように、別の電力スプリッタによってセンサ・ブランチBを更に2つに分割すること、或いは、電力スプリッタ41とカスケード構成される別の電力スプリッタによって、既に細分されている一方のセンサ・ブランチC又はDを、更に複数の個別のセンサ・ブランチに分割することが挙げられる。このようにして任意の多数のセンサ・ブランチを作ることが可能であるが、それによって達成される利得と、より高くなる回路コスト及び可能性として考えられる同期の問題を比較考量する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従った電力センサの一実施態様を示したブロック図
【図2】本発明に従った電力センサの別の実施態様を示したブロック図
【符号の説明】
1、14、38、39 ライン
4、 5、 6、 7、 8、 9、44、47 ディテクタ(ダイオード)
11 電力スプリッタ
12、13、16、40、42 アッテネータ
24、25 測定電圧タップ
26、27、28、29 測定タップ
30、31 終端抵抗
32〜37 充電キャパシタンス
41 電力スプリッタ
43、48 測定出力
46 遅延ライン
50 終端抵抗
A、 B、 C、 D センサ・ブランチ
E 入力

Claims (15)

  1. 大きなダイナミック・レンジにわたって、変調済み若しくは無変調の無線周波数信号又はマイクロ波信号の平均電力を測定するための電力センサにおいて、
    被測定信号電力が、
    a)低い電力測定レンジ(−70〜−16dBm)における信号電力を測定するための第1のセンサ・ブランチ(A)に送られ、
    前記ブランチは、
    b)入力(E)とその後に続く電力スプリッタ(11)の間の接続ライン(1)上の相互に空間的に離隔された複数の測定ポイントを有し、且つ、
    c)同時に被測定信号電力が、少なくとも2つの更なる異なる電力測定レンジ(−22〜+4dBm及び−2〜+20dBm)における信号電力を測定するために、この電力スプリッタ(11)を介して、実質的に出力電力の負荷非依存同期応答を伴って、少なくとも2つの更なるセンサ・ブランチ(B,C及び/又はD)に、アッテネータ(12,13,16,42)を介して供給されるという特徴の組み合わせによって特徴づけされる電力センサ。
  2. 前記被測定信号電力が、前記特徴(c)によって、中間の電力測定レンジ及び高い測定レンジにおいて前記信号電力を測定するために、電力スプリッタ(11)を介して2つの別のセンサ・ブランチ(B,C)に供給され、且つ、測定されることを特徴とする請求項1記載の電力センサ(図1)。
  3. 前記被測定信号電力が、前記特徴(c)によって、更なる3つの異なる電力測定レンジにおいて前記信号電力を測定するために、カスケードに接続された2つの電力スプリッタ(11,41)を介して、実質的に出力電力の負荷非依存同期応答を伴って、3つの更なるセンサ・ブランチ(B,C及びD)に、アッテネータ(12,13,16)を介して供給され、且つ、測定されることを特徴とする請求項1記載の電力センサ(図2)。
  4. 前記電力スプリッタ(11,41)として、s22=s32及びs33=s23を伴う抵抗電力スプリッタが使用されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電力センサ。
  5. 少なくとも第1のセンサ・ブランチ(A)が、最高発生周波数の波長の約4分の1の離隔で2つの測定ポイントを包含することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の電力センサ。
  6. 前記センサ・ブランチが、それぞれダイオード整流器を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の電力センサ。
  7. 前記ダイオード整流器の少なくとも1つが、2方向整流器(4,5;6,7;8,9;44,47)として設計されていることを特徴とする請求項6記載の電力センサ。
  8. それぞれの特性インピーダンスによってそれぞれが終端された遅延ライン(38,39,46)が、前記更なるセンサ・ブランチ(B,C,D)内の前記両方向整流器の2つの整流器ブランチの間に備えられることを特徴とする請求項7記載の電力センサ。
  9. 前記ダイオード整流器の少なくとも1つが、特許出願第199 13 338.7号(内部ファイル参照番号P22131)に従って設計されることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の電力センサ。
  10. 前記ダイオード整流器の少なくとも1つが、複数の、好ましくは3つの同一方向に配置されるダイオードの直列接続からなることを特徴とする、先行する請求項6乃至9のいずれかに記載の電力センサ。
  11. 前記信号入力及び前記測定ブランチの少なくとも1つが、共面ライン・テクノロジに従って設計されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の電力センサ。
  12. 共面ライン・テクノロジに従って具体化される前記測定ブランチの充電キャパシタンスが、薄膜キャパシタとして設計されることを特徴とする請求項11記載の電力センサ。
  13. 前記測定ブランチの前記ダイオード整流器の出力信号が、更に特許出願第199 55 342.4号(内部ファイル参照番号P23064)に従ったディジタル評価回路内において処理されることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の電力センサ。
  14. 測定結果がディジタル形式で出力されることを特徴とする請求項13記載の電力センサ。
  15. すべてのコンポーネントが測定ヘッド内に組み込まれることを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の電力センサ。
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