JP2004504729A - 半導体材料のレーザー切断 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 27
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 title description 40
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 101
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 76
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 76
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 29
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 59
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 38
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 23
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000005231 Edge Defined Film Fed Growth Methods 0.000 description 17
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N difluoromethane Chemical compound FCF RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 229920001821 foam rubber Polymers 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000695776 Thorichthys aureus Species 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000005555 metalworking Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
- 150000003736 xenon Chemical class 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/1224—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in vacuum
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/123—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/123—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
- B23K26/125—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases of mixed gases
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02035—Shaping
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、米国主契約第DE−AC36−83CH10093号に基づく二次契約である二次契約第ZAX−8−17647−10号に基づいて為されたものである。
【0002】
【発明の分野】
本発明は、半導体材料を切断するためレーザーを使用すること、特に、EFG成長材料のレーザー切断に関する。
【0003】
【発明の背景】
ある溶融体から所要形状の結晶性材料を成長させるEFG法は、米国特許第4,937,053号、米国特許第5,102,494号及び米国特許第5,558,712号により例示されるように周知である。光電池セルを製造するときにEFG材料を使用することも、米国特許第4,751,191号、米国特許第5,698,451号、米国特許第5,106,763及び米国特許第5,151,377号により例示されるように、周知である。例えば、リン酸ドープケイ素の八面体のような、ドープ処理された半導体材料の中空の多角形体を成長させるためEFG法を使用すること、また、光電池セルの製造に使用される矩形のウェハ又はブランクとなるようにこれらの多角形体を分割するためにレーザーを使用することは通常の手法である。より最近の開発努力は、例えば、直径約50cm及び肉厚100乃至700μm(ミクロン)の円筒体のような、大径で薄い肉厚のケイ素の円筒体を成長させることに注力されている。
【0004】
ある材料のレーザー切断は、レーザーエネルギーの材料内への吸収、その結果としての局部的な温度上昇、材料を溶融させ且つ蒸発させること、その溶融し且つ蒸発した材料を切断される物から運び去ることを含む。中空のEFG成長ケイ素体からウェハを切断するための既存技術の発展は、利用可能な平均パワーが最高のレーザーを開発することに至る、切断速度を最大にすることの必要性がその動機となっている。従来、中空のケイ素体をウェハに切断することは、平均パワーレベルが約100乃至500ワット(「W」)の従来のNd:YAG及びCO2レーザーのような、従来の産業用レーザーを使用して空気中で行われていた。これらのレーザーは、それぞれ約300乃至500マイクロ秒という比較的長いパルス長さにて作動し、切断は主として溶融をする機構を使用して行われる点について、その切断作用が同様である。これらの従来のケイ素体のレーザー切断方法は、厚さ300μmのケイ素に対し25乃至50mm/秒程度の切断速度を有する。更に、弱体なEFG成長ケイ素体をレーザー切断する同一の従来の方法の結果、シリコンウェハのエッジにレーザーに起因する損傷が生じる。
【0005】
シリコンウェハに対するレーザーに起因するエッジの損傷は、加熱されたとき材料の物理的性質が変化することの結果である。これらの変化が検出可能である材料の深さは、熱影響領域(「HAZ」)と称されている。HAZにおける欠点は、マイクロクラック及び塵(「スラグ」)の沈着という2つの型式のものがある。通常、多数であるマイクロクラックは、切断エッジにて開始し且つそのエッジに対して全体として直角に拡がり、次に、切断エッジに対して平行に伸び得るように約90°方向変更する。一例として、パルス時間が0.5ミリ秒(m秒)、パルスエネルギーが約500ミリジュール(mJ)及びビーム直径が約150乃至200μmのガウススポットを有するNd:YAGレーザーを使用して厚さ300μmのシリコンを空気中で切断するとき、マイクロクラックが切断エッジから50μmまで伸びる可能性がある。こうしたマイクロクラックは、レーザー切断したウェハを物理的に弱体とするから、極めて望ましくない。スラグは主として、溶融し且つ蒸発した状態から再凝固したシリコン及びSiO2(切断領域内に空気が存在するとき)から成っている。沈着したスラグは切断したウェハのエッジの弱体化の原因となる。
【0006】
損傷されたエッジ材料は、光電池セルを製造するために切断したウェハを加工することができる前に化学的エッチングにより除去する必要がある。HAZが深ければ深い程、ウェハのエッジからより多くの材料を除去しなければならない。不都合なことに、エッジの損傷が生じると、太陽電池の製造目的のため、許容可能なウェハの収率が低下し、また、ウェハを太陽電池又はその他の装置に変換するために必要とされる幾つかの工程を開始する前に、損傷したエッジ材料をウェハから除去する必要性のため、コストが増大する。
【0007】
結晶状シリコンとレーザービームの相互作用及びHAZの程度に影響する重要なレーザーの性質は、レーザーパワー、及び波長、温度、最高レーザーパワー及びガス組成に対する吸収率の変化である。これらの因子は、切断速度の限界値及び熱伝導機構並びにその後のHAZの形成並びにエッジの損傷に大きい影響を与える。しかし、レーザー切断箇所を取り巻く材料への熱入力はHAZの程度及びマイクロクラックの発生並びにその長さを決定することになるから、エッジの損傷を減少させようとして、切断速度を増し得るようにレーザーパワーを最高にするという基本的必要条件は、シリコン材料に対する熱入力を制限することと組み合わせなければならない。レーザービーム波長に依存して、パルス長さは十分に長く、シリコン結晶材料を約600℃以上に加熱してシリコンを溶融させるべく十分なエネルギーが最初にシリコン結晶材料中に保持されるようにしなければならない。HAZを最小にするため、レーザーパルスエネルギーは溶融閾値付近に保たなければならない。
【0008】
レーザーエネルギーを使用するときの損傷無しで且つ迅速なシリコンの切断は、シリコンウェハを光電池セル又はその他の半導体デバイスに変換する過程の色々な段階にて高収率を実現し且つ材料コストを削減するための開発努力における依然として明確ではないものの必要な目標である。
【0009】
【発明の目的及び概要】
本発明の主要な目的は、レーザーにより結晶材料を切断する新規且つ改良された方法を提供することである。
【0010】
本発明の別の目的は、太陽電池又はその他の固体半導体デバイスの製造時に使用されるウェハを製造し得るようにレーザーにて半導体本体を切断する新規且つ改良された方法を提供することである。
【0011】
更なる目的は、エッジの損傷を減少させ得るように、レーザーにて結晶材料を切断する改良された方法を提供することである。
更に別の目的は、シリコンのような結晶材料をレーザー切断するときの速度を向上させることである。
【0012】
より具体的な目的は、切断材料のエッジにてマイクロクラック又はその他の損傷の発生を最小にしつつ、迅速な速度にてレーザーにより薄いシリコン本体を切断する改良された方法を提供することである。
【0013】
別の具体的な目的は、EFG成長した中空のシリコン本体を矩形ウェハ又はブランクにレーザー切断し、その切断が最適な速度にて行なわれ且つウェハのエッジにおけるマイクロクラックの数が減少するようにする改良されたレーザー切断方法を提供することである。
【0014】
以下の詳細な説明から明らかとなる上記の目的及びその他の目的は、選ばれた真空又は非酸素雰囲気内でレーザーにより半導体材料を切断することにより実現される。より具体的には、レーザー切断は、負圧中で又は製造ガス及び希ガス(He、Ne、AR及びKr)から成る群から選ばれた1つ又は2つ以上のガスの存在下にて行なわれる。本発明のその他の特徴及び有利な点は、以下の詳細な具体的な説明及び添付図面に開示され又はこれらから明らかになる。
【0015】
【本発明の詳細な説明】
シリコン又はその他の任意の材料を空気中で切断するためにレーザーを使用するとき、空気を分解させるであろう値以下の最高パワー密度をビーム焦点にて提供し、また、約5×109ワット平方センチメートル(W/cm2)のパワー密度にて生じるプラズマを形成し得るようにレーザーを作動させなければならない。プラズマの形成は、レーザーエネルギーの実質的全て又は殆んどを消費してしまい、このため、切断すべき材料に達するエネルギーが殆んど無いから、レーザーの切断を阻止することになる。空気中でのレーザー切断から、全体として、HAZは空気がプラズマに分解するときの値よりも僅かに低い最高パワー密度にて任意の所定の材料に対してより小さくなることが判明している。しかし、上述したように、レーザーパルスエネルギーはHAZを最小にし得るように溶融閾値付近に保たなければならない。この点に関して、シリコンを溶融させるのに必要な最小エネルギーは約200J/cm2であり、また、シリコンを蒸発させるのに必要な最小エネルギーは約1000J/cm2であることが分かっている(実際に一般的であるように、レーザービームの直径が50乃至200μm程度である場合、溶融及び蒸発エネルギーの閾値は、それぞれパルス当たり約4mJ及び約64mJである)。
【0016】
パルス長さが短いレーザー(すなわち、パルス幅が10ナノ秒以下の範囲のレーザー)は、エッジの損傷を最小にし得るように使用されるシリコンウェハの高速度の切断に対して実際的なものにする範囲までその平均パワーレベルが向上する点にて魅力あるものである。かかるレーザーは、実際的な空気分解の実際の限界値に近い最高パワー密度を提供し得るようにすることができる。シリコンを空気中で切断するためにパルス長さが短いレーザーを利用しようとする開発努力は、パルス長さが短いレーザーエネルギーはシリコンに運ぶ熱が少なく、このため、主として溶融機構にて切断が迅速に進行するのに十分なエネルギー吸収率を許容しつつ、HAZを少なくし且つ損傷深さを浅くするとの予測により、促進されている。
【0017】
しかし、10mm/秒以上の有効速度にてウェハを空気中で切断するために、短いパルスのレーザーを使用しようとするときに問題点が観察されている。最高パワーが高いQスイッチしたNd:YAGレーザー及び短パルスエキシマレーザーを採用する開発努力の結果、最初に、厚さ300乃至600μmのEFG成長シリコン管を空気中でレーザー切断することは最初の25乃至50ミクロンに亙って極めて迅速に進行するが、その後、実質的に零まで速度が低下することが判明している。また、空気中で銅蒸気レーザーを使用することは、ビームが5000乃至10000Hzというその高パルス反復率のため、極めて迅速に侵入し、レーザー切断動作により形成された切口キャビティは、SiO2スラグにて迅速に充填され、このため、切断エッジが接着状態に塞がれて、ウェハの除去を阻害する点にて、満足し得ないことが判明している。従って、本発明以前、かかるレーザーは溶融閾値を感知し得る程度に上廻り且つ溶融したシリコンを蒸発させるのに十分な高い最高パワー密度レベルを提供することができるのにも拘らず、EFG工程により成長させた薄い結晶シリコン管からウェハを切断するために短パルスレーザーを使用することは実現不可能であった。
【0018】
本発明を実現する過程にて行われた研究の結果、また、レーザー最高パワー密度が空気プラズマの分解レベル(約5×109W/cm2)よりも僅かに低いとき、短いパルス長さにて切断を行ったときでさえ、空気中で切断されるシリコン材料の表面付近に何らかの形態のプラズマが見られ、このプラズマは蒸発したシリコンが存在することに起因するものであり、また、プラズマの形成は、マイクロクラックの損傷の原因となり又はそれに寄与する可能性があることも確認された。
【0019】
本発明は、通常のマイクロクラック損傷は、負圧中で又は実質的に希ガス(He、Ne、Ar及びKr)又は製造ガス(90%N2:10%H2)から成る選択されたガス状環境内でシリコン材料を切断することにより、短パルス長のQスイッチしたNd:YAGレーザーでシリコンを切断するときに通常直面する切断上の問題が解決され且つ通常のマイクロクラック損傷が実質的に解消されるとの知見に基づき且つこの知見を含むものである。
【0020】
試験片に対するレーザービームの侵入、切断速度及びHAZ−関連の切断損傷上に与える色々な雰囲気の効果を評価するため、一連の切断実験を行った。この試験の目的のため、その平坦な研磨した表面のため、測定が容易であることから、研磨した単結晶クロチャルスキィ(Czochralski)成長シリコンの厚さ700ミクロンのウェハの形態をした試料を使用した。50Hzパルス反復率及び10ns(ナノ秒)パルス持続時間を有する、スペクトラ・フィジックス(Spectra Physics)のモデルPRO−290 QスイッチしたNd:YAGレーザーを使用してシリコン試料の切断を行った。試験用のレーザーの平均パワー出力は、65Wとした。パルス当たりのエネルギーは500mJとし、空気プラズマの分解が生ずる、5×109W/cm2よりも僅かに低い0.9×109W/cm2レベルの最高パワー密度を提供し得るようにレーザービームを合焦させた。レーザービームを試料に向けるときに通る窓部を有するチャンバ内に切断すべき試料を取り付けた。このチャンバは、ターボ分子ポンプ及びガスマニホルドに接続した。チャンバを評価し且つ負圧を保ち、また、チャンバを色々な選択されたガスにて充填するため、これらポンプ及びマニホルドを使用した。次の雰囲気を試験した。すなわち、空気、負圧、N2、CH2F2、製造ガス(90%N2:10%H2)、希ガスHe、N2、Ar及びKrである。チャンバは、上記のガスの存在下にて切断中、1大気圧の圧力に保った。
【0021】
光学顕微鏡を使用し且つレーザー切断した溝の上面及び底面にて臨界的に合焦することにより深さを測定することで深さの測定を行った。次のような、すなわち1、2、4、8、16、32、64、128パルスのようなインクリメントにて材料を合焦したレーザービームパルスにさらすことにより、また、各インクリメント後、溝の深さを測定することにより研磨したウェハに溝を切った。金属加工による断面形成及び光学顕微鏡により材料の損傷を検査した。
【0022】
図1A乃至図1Gには、負圧中及び2つを除く上記の色々な全てのガス内における材料の除去結果がグラフで示されている。この点に関して、図1A乃至図1Gには、ヘリウム(He)及びアルゴン(AR)に対するグラフデータのみが示されていることを理解すべきである。しかし、ネオン(Ne)及びクリプトン(KR)も試験し、基本的に同一の振る舞いを示した。希ガスは良好に作用することが分かったため、空気雰囲気中での切断速度が不良であることに酸素が原因となるかどうかを確認するため窒素も試験した。水素が切断速度を向上させるかどうかを確認するため製造ガスを使用し、その製造ガスは、希ガスと実質的に同一の振る舞いを示すことが分かった。レーザーエネルギーにより発生された自由フッ素基が切断工程を速めることができるかどうかを確認するため、1つの雰囲気としてジフルオロメタンを試験した。
【0023】
図1A乃至図1Gに示したデータから、負圧を除いて、製造ガス及び希ガス雰囲気は全て、深さが増すに伴ってビームの侵入速度が遅くなることが容易に分かる。図1A及び図1Cを比較すると、窒素及び空気は切断速度に対し同様の有害な効果を与えることが分かったが、窒素の場合、有害な効果は極めて顕著なほどではない。図1Fには、ジフルオロメタンを使用する結果も不良であることが示されている。負圧、希ガス及び製造ガスは、パルス数の関数と実質的に同一の材料の高除去率及び実質的に線形の除去率を示す。材料の除去率は、実験の範囲内での深さに関係なく基本的に一定のままである。負圧環境及び希ガス環境内の侵入率は、希ガスの原子量に関係なく略同一である。
【0024】
切断速度が向上する理由は、容易に説明することはできない。1つの可能な理由は、その他の雰囲気と比較したとき、負圧及び不活性ガス中でのプラズマの発生が遅くなるためであろう。蒸発したシリコンは、材料の表面付近にて明るい青の閃光として見ることができるように、プラズマを形成するに至ると考えられるから、実験状態下にて常に、負圧中においてさえ、プラズマが形成されることが分かった。
【0025】
へき開及び金属加工による断面形成と組み合わせて光学顕微鏡を使用して、レーザー切断の形状、溶融物すなわちスラグの存在及びマイクロクラックの存在を決定した。この試験の結果、ヘリウム環境中での切断は、マイクロクラックを生ぜずに進行し、約200ミクロン(μm)の深さに達し、切断動作の極く開始時を除いて略垂直側壁となることが分かった。切断箇所の底部も「V字形」の形状であり、エッジにてスラグ及びシリコンの多少の蓄積が観察された。また、切断侵入が約200ミクロン以上の深さになると、切口(すなわち、切断箇所)の壁にてスラグの蓄積が観察され、これにより、切断箇所の底部へのビームのアクセスを制限し、最終的に、切断可能である厚さを制限することも分かった。約200ミクロンの深さを越えると、マイクロクラック損傷が生じることが観察された。負圧中で作動するときの切断速度及び切口すなわち切断形状は、ヘリウム雰囲気中で形成された切断と実質的に区分不可能である。これに反して、空気中の切断は、スラグが顕著に蓄積し且つ熱影響領域を有する丸形の「ボウル」形状として形成される切口を生じさせた。空気中の切断は、実質的に、上述したスペクトラ・フィジックスNd:YAGレーザーを使用して約50ミクロンの深さにて終了した。追加的な実験は、多少の空気を排除することができない雰囲気に対して開放したヘリウム環境中で切断することを含むものとした。これらの追加的な実験は定量的ではないが、125μmの厚いウェハの場合、切断速度は3.0cm/秒から僅かに約1cm/秒まで急速に低下し、また、切口を取り巻くスラグの沈着及び酸化物の形成の点にて切口の質が劣化することも示した。
【0026】
厚さ125μmのEFG成長させたシリコンの試料を使用して、同一のレーザー及び作動状態にて追加的な実験を行った。この場合、3.0cm/秒の切断速度にて何ら顕著なマイクロクラック損傷を生ぜずに、ヘリウム及び製造ガス中で切断を行うことができることが分かった。
【0027】
経済的及び実際的な理由のため、ヘリウムのような希ガス環境中の切断の方が負圧内での切断よりも好ましい。現在の製造方法において、EFG管は長さが182.88cm(6フィート)(又は更に長い)であり、円筒体の場合、直径が91.44cm(3フィート)以上である。通常、円筒体の全体をヘリウムで充填したチャンバ内に浸漬させ、レーザービームがチャンバの窓を通じて入射するようにする必要があろう。かかる構成の場合、ロックの負圧ポンピングを含む荷重ロックが使用されない限り、切断すべき各管ごとにチャンバをヘリウムにて充填しなければならない。かかる装置の費用及び複雑さは、太陽電池を製造するためEFG管からウェハを切断するうえで経済的に実施不可能であるため、本発明を実施するためにその他の装置が考えられた。
【0028】
図2乃至図4には、選択したガス雰囲気の存在下でシリコンのEFG成長の中空管からウェハを切断する1つの好ましい装置の形態が図示されている。説明の便宜上、シリコン管の肉厚は図3に誇張して示してある。図2には、軸14に取り付けられた支持ディスク12に取り付けられたEFG成長円筒管すなわち円筒体10の短い断面が図示されている。この後者の軸は適当な駆動機構(図示せず)により垂直方向に上下動し且つ回転動作可能に取り付けられている。管部分10は、L字形断面のカラー16により取り巻かれており、また、図3に図示するように底部にて雰囲気に開放している。該カラーの内部空間には、本発明に従って選ばれたガス、好ましくはヘリウムが管18を介して充填されており、この管18は、カラーの上側部20の開口部19内に取り付けられ且つ適当な流れ制御弁(図示せず)を介してガス供給源21に接続されている。該カラーは適当な支持体(図示せず)に取り付けられ、該支持体は該カラーを選ばれた高さに支持する。該カラーは、シリコン円筒体10の相対的な垂直方向及び回転動作を許容する寸法とされている。
【0029】
所定の温度及び圧力のヘリウムは空気よりも軽いため、ヘリウムはEFG円筒体とカラーとの間のカラーの頂部の空隙から逃げ勝ちとなる(また、空気及びヘリウムの乱流及び混合の可能性のため、カラーの開放した底部からヘリウムが僅かに損失し勝ちでもある)。図3に図示するように、カラーの頂部と円筒体との間の空隙は、極めて柔軟で且つ小孔の発泡ゴムOリング22をカラーの内端縁に取り付けることにより密封されている。EFG管に無視可能な程度の圧力にて接触し、円筒体に亀裂を生じさせ又はその他の損傷を与えるであろう円筒体における全ての力を回避し得るようなリングの寸法とされている。ヘリウムが発泡シールを通って進むのを防止するため、図4に図示するように、Oリング内には薄い多孔質又は有孔のプラスチック管24が埋め込まれている。管24は適当な導管(図示せず)及び制御弁(同様に図示せず)を介して給水源(図示せず)に接続されている。管24を介してOリング内に少量の水が定期的に噴射される。Oリング22の発泡ゴムは多孔質であり且つ管24を介して噴射された水を吸収する。発泡ゴムを充填する水は、ヘリウムが逃げるのを防止するシールとして機能するメニスカスを円筒体の表面とOリングとの間に形成する。
【0030】
カラー内へのEFG管10の挿入を容易にする目的のため、プラスチック又はゴムで出来た第二のエラステックで且つ弾性的な管26をOリング内に埋め込む。(a)シールの内周が拡張し得るようにシールを部分的に排気し又は(b)Oリングの内周を収縮させ得るようにシールを空気にて加圧する手段(図示せず)にこのプラスチック管26が接続されている。シリコン円筒体のカラー内への挿入を可能にし得るように、Oリングをその内周におけるその長直径を拡張させつつ、断面にて収縮させ得るように管26に負圧を作用させる。その後、シリコン円筒体をOリングにて取り囲んだ状態で、Oリングが断面にて拡張し且つその内周の長直径にて収縮し、シリコン円筒体に係合するようにするため、プラスチック管26を空気又はその他の何らかのガスにて加圧する。このようにして収縮し且つ拡張したときの発泡ゴムOリングの寸法の変化は比較的僅かであり、拡張時、シリコン管10の容易な挿入を許容し且つ収縮時、Oリングにより行われる十分な密封効果を保証するのにちょうど十分である。また、該カラーは、ガラス又は何らかのその他の透明な材料で出来た側窓部28も有しており、円筒体10からウェハを切断するためにこの窓部を通じてレーザービームを通すことができる。
【0031】
図5には、上記の装置の1つの改変例が図示されている。この場合、ヘリウム又はその他の希ガス又は製造ガスを窓部28の真上のその頂側部の開口部30を介して管18によりカラー内に噴射し、シール22に対するものと同様の柔軟な発泡ゴムで出来た2つの垂直ワイパー32を好ましくは、図5に図示するように窓部の両側端縁に直ぐ隣接してビーム衝撃領域の両側部にてカラー内部に配置する。該ワイパー32は、ヘリウムがカラーの環状体の全体を充填するのを防止し、これによりレーザービームにより切断されるシリコン管の部分の前方の空間を充填するのに必要なヘリウムの量を減少させる働きをする。更なる選択的な措置として、該ワイパーには、管24と同様の埋め込んだ多孔質のプラスチック管(図示せず)を設け、このプラスチック管は、適当な制御弁(図示せず)を介して給水源(図示せず)に接続され且つワイパーに給水しワイパーを湿潤状態に保ち、これによりヘリウムがワイパーを通って逃げるのを防止する作用を果たすメニスカスをワイパーとシリコン管との間に確立することができる。
【0032】
図2を再度参照すると、図示した装置はまた、レーザー34と、中継レンズ36、38と、45゜ミラー40と、合焦筒形レンズ42とを更に備えている。この後者の筒形レンズは、互いに90゜の角度だけ分離された2つの異なる位置の一方から他方までその光軸上にて回転可能に取り付けられている。レンズ42はレンズ回転機構(図示せず)の命令により回転可能である。ミラー40はレーザービームを筒形レンズに向け、この筒形レンズはそのビームを例えば約300μm×25μmのスポットのような細長い狭小なスポットパターンに変換し且つそのビームをガラス窓部28を通じてシリコン管10の外面に合焦させる。ビームを細長い狭小なスポットとして合焦させると、切断速度を速めまた、レーザーエネルギーの密度をより良く制御することが可能となる。上記の構成により、シリコン円筒体10に矩形又は四角形のパターンにて垂直方向及び水平方向に切断することにより切断が行われ、これにより矩形又は四角形のウェハを製造することができる。
【0033】
図2の装置を使用して、好ましい切断工程は、最初に、筒形レンズ42をその2つの異なる位置の第一の位置に配置することを含み、この第一の位置において、該筒型レンズによりレーザー34からのビームはその長寸法がシリコン管10の長手方向軸に対して平行に伸びるように方向決めされた狭小な細長いビームスポットを形成する。次に、シリコン管の底端縁にて開始する複数の水平方向に隔たった垂直切断箇所を円筒体10に切り込み得るようにレーザーを作動させる。この第一の切断動作はシリコン円筒体を360゜の角度に亙って断続的に回転させ、垂直切断箇所が円筒体の全周の周りを伸びるようにすることを含む。ビームスポットの長さに依存して、レーザー切断装置の全体を垂直方向に動かして適正な長さの垂直切断を実現することが必要となることがある。これと代替的に、シリコン円筒体を垂直方向に動かすことにより垂直方向切断の長さを長くすることができる。一度び垂直切断方向の全てが為されたならば、筒形レンズはその第二の位置まで90゜回転させこの第一の位置にて、筒形レンズはレーザービームを合焦させ、その細長いビームスポットのその長寸法が水平方向に伸びる、すなわちシリコン円筒体10の軸に対して直角に伸びる状態で方向決めされるようにする。この水平方向に方向決めされたレーザービームスポットはウェハを円筒体から分離し得るように円筒体10を垂直切断箇所の間にて水平方向に縦断させる。このことは、シリコン円筒体を回転させることにより実現可能である。これと代替的に、シリコン円筒体に対して平行に伸びる枢動軸の上でミラー40を枢動させることによりこれを実現してもよい。ウェハの底端縁はシリコン円筒体の底端縁の部分であるから、水平方向切断を行う方法に関係なく、ウェハを製造するためには1本の水平方向切断箇所があればよい。
【0034】
上述したように筒形レンズを使用する必要性は、その他のレーザーを使用し且つビームを円形のスポットパターンに合焦させることにより、また、円筒体から切断されるウェハが四角形又は矩形となるような仕方にてシリコン円筒体の表面をレーザーが走査する機械的手段を使用することにより、解消されると考えられる。この適用例の場合、より光パルス反復率を有する、上述したもの以外のレーザーが必要とされよう。
【0035】
材料を選択したパターンにて切断するためにレーザーを使用するその他の方法及び手段は、以下の米国特許により例示されるように周知である。すなわち、A・ツツミ(Tsutsumi)に対し1985年3月5日付けで発行された米国特許第4,503,313号、H・クリンゲル(Klingel)に対し1987年6月23日付けで発行された米国特許第4,675,501号、F・サートリオ(Sartorio)に対し1988年3月1日付けで発行された米国特許第4,728,771号、M・クロサワ(Kurosawa)らに対し1995年10月31日付けで発行された米国特許第5,463,202号、K・サトー(Sato)らに対し1997年9月16日付けで発行された米国特許第5,667,707号及び1998年3月26日付けで発行された米国特許第5,756,961号、H・バラマン(Balamane)らに対し1998年6月2日付けで発行された米国特許第5,759,428号である。上記の特許の教示内容は参考として引用し本明細書に含めてある。
【0036】
希ガス又は製造ガス環境内で切断を行う1つの代替的な装置及び方法はガス支援レーザーノズルを使用することを含む。ガス支援ノズルは当該技術分野で周知であり、上記米国特許第4,728,771号及びD・ストラウド(Stroud)に対し1992年1月21日付けで発行された米国特許第5,083,006号、G・ネイドハード(Neidhardt)らに対し1993年6月15日付けで発行された米国特許第5,220,149号により例示されている。
【0037】
非限定的な一例として、図6には、ガス支援ノズル50が概略図的に図示されている。該ノズルは、合焦レンズ54が内部に取り付けられた中央穴又は軸方向穴52を有している。穴52は、レーザービームをレーザー(図示せず)から導入するため一端56にて開放しており、縮小径の排出開口又はオリフィス58を有し、レーザービームがこのオリフィスを通ってノズルから出る。レンズ54はレーザービームを合焦させ、その焦点面が排出オリフィス58に近い位置に排出される切断すべき材料の隣接面にあるようにする。支援ガスをガス供給源21から噴射するためノズルには1つ又は2つ以上の側ポート60が設けられている。この場合、支援ガスは上述したように希ガス又は製造ガスである。排出オリフィス58から流れ出て切断される材料と接触する支援ガスは切断エッジに塵として付着しやすい材料を除去することによりレーザーの切断速度を向上させるのに十分な速度にてノズルから流れ出るようにする流体圧力レベルにて充填される(シリコン管を切断するとき、この塵は、主としてレーザーエネルギーにより発生された溶融し且つ蒸発した状態から再沈着したシリコンから成っている)。塵の層は切断エッジにおけるマイクロクラックを促進させるため、支援ガスにより塵を除去することは、切断速度を向上させるのみならず切断したウェハの強度を向上させることにもなる。ノズルから排出された支援ガス流は切断されるシリコン管の表面に沿って横方向に拡がり、これにより管の隣接する表面部分を包み込む非空気雰囲気を形成する。
【0038】
本発明をNd:YAGレーザーに関して説明したが、本発明は、異なる短パルス長のパルスレーザーを使用して実施可能であることも理解すべきである。また、比較的長い長さのパルスを発生させるレーザー、例えば、パルス長さ500マイクロ秒(μs)にて作動するNd:YAGレーザーを使用してシリコンをレーザー切断することは、本発明により教示されるように、希ガス又は製造ガスから成る雰囲気内で切断を行うことにより、切断速度は向上させないにしても、ウェハを質の点にて改良が可能であることも説明した。上記の説明にて、パルス反復率が50Hz及び10ns持続時間並びに平均パワー出力65ワットにて作動するものとしてQスイッチしたNd:YAGレーザーを説明したが、このレーザーは切断される材料及び実現しようとする結果に従って、異なるパルス反復率、パルス持続時間及び平均パワー出力にて作動させることも可能であることを理解すべきである。また、切断すべき材料に合焦されたレーザービームのスポット寸法及び形状は、使用されるレーザーの型式、所望の切断速度、パルス幅、反復率、エネルギー密度、切断される材料の組成及び厚さに従って変更可能である。その他のレーザー及び本発明と共に、円形のビームスポットパターンを使用することが好ましいが、切断速度を最大にする目的のため細長い狭小なスポットパターンとすることが好ましい。好ましくは、このビームスポットパターンは、切断される材料の切断個所の幅がミクロン程度であるような形状であるようにする。非限定的な一例として、シリコンを切断するために短パルスNd:YAGレーザーを使用するとき、40乃至150ミクロン範囲の最大幅を有する狭小な細長いビームスポットを使用することが好ましい。
【0039】
更なる可能な改変例は、その底側部が閉塞するように、すなわちその断面にて、その側部にて90゜回転させた「U字形」の形態の側壁により接続された頂部壁及び底部壁から成るようにするため、カラー16を形成することである。また、異なる構造のレーザーノズルを使用して本発明を実施することも可能であることも理解すべきである。
【0040】
図2には、例えば、八面体のような多面体の断面の管ではなくて、円筒体に適用される本発明が図示されているが、本発明は、一般に、特に、図2及び図3に図示したカラーではなくて、図6に図示した支援ガスノズルが使用されるならば、単に「八面体」として識別される八面体EFG成長シリコン管のような色々な断面形状の管を切断するために使用可能であることも理解すべきである。切断すべきEFG管が多角形の断面形状を有するならば、切断領域内で適当な希ガス又は製造ガスの雰囲気を提供し得るように同様にカラーを使用することが可能であるが、この場合、カラーの構造を改変し、その内端縁で切断すべき管と緊密に嵌まる得るように合わさる多角形の形状となるようにすることをも理解すべきである。ガス支援ノズルは、ガスが外部雰囲気に損失するため、より多量の製造ガス又は希ガスを消費するから、このガス支援ノズルよりもカラーを使用することのほうが好ましいことを理解すべきである。
【0041】
また、本発明により提供されるガス状環境は希ガスの混合体又は製造ガスと1つ又は2つ以上の希ガスとの混合体から成るようにすることも考えられる。キセノンは試験しなかったが、このキセノンを使用すれば、ヘリウム、ネオン、アルゴン及びクリプトンにて得られるものと同一の結果の改良が実現されると考えられる。
【0042】
本発明をシリコンの切断に関して説明したが、選ばれた非空気雰囲気又は環境を使用してレーザーにより弱体な結晶材料を切断する思想はその他の材料を切断するために使用可能であると考えられる。本発明は、中空の管の切断にのみ限定されず、特に、例えば厚さが100乃至700μmの範囲の比較的薄い厚さを有する材料のようなシート又はその他の形態のシリコン又はその他の結晶材料を切断するために使用することができる。同様に、シリコン管を支持するために使用される装置及びレーザー装置の構造は、当該技術分野の当業者に周知又は明らかな手段を使用し得るように改変することが可能である。上記の説明から当該技術分野の当業者には更にその他の改変例が明らかであろう。
【0043】
本明細書にて使用するように、「レーザービーム」及び「レーザーエネルギービーム」という語は、レーザーエネルギーのパルス流を含むものと解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】
1Aは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Bは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Cは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Dは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Eは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Fは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
1Gは、切断が行われる雰囲気に従ってQスイッチNd:YAGレーザーによるシリコンの切断速度の変化を比較するグラフ図である。
【図2】
本発明を実施するための装置の1つの形態の概略図である。
【図3】
図2の装置の一部分の断面図である。
【図4】
図2の装置の一部を形成するOリングの断面図である。
【図5】
ガス封入カラーの1つの改変例の平面図である。
【図6】
本発明の1つの代替的な実施の形態の一部を構成するレーザーガス支援ノズルの図である。
Claims (19)
- 固体エレクトロニクスデバイスの製造に使用するため中空の半導体シリコン本体をウェハに切断する方法において、
負圧内又は製造ガス及び希ガスの1つ又は2つ以上から成るガス状媒体の存在下において短パルスレーザーで前記半導体本体を切断するステップを備える、切断方法。 - 請求項1による方法において、前記ガス状媒体の実質的に全てが一つの希ガスから成る、方法。
- 請求項1による方法において、前記ガス状媒体の実質的に全てが、製造ガス、ヘリウム、アルゴン、ネオン及びクリプトンの1つ又は2つ以上から成る、方法。
- 請求項1による方法において、前記ガス状媒体の実質的に全てがヘリウムから成る、方法。
- 請求項1による方法において、前記ガス状媒体の実質的に全てがアルゴンから成る、方法。
- 請求項1による方法において、前記切断がNd:YAGレーザーを使用して行われる、方法。
- 請求項6による方法において、前記レーザーが50Hzパルスの反復率を有する、方法。
- 請求項7による方法において、前記レーザーが10nsパルスの持続時間を有する、方法。
- 請求項1による方法において、前記ガス状媒体の実質的に全てが製造ガス、ヘリウム、アルゴン、ネオン及びクリプトンの1つ又は2つ以上から成り、更に前記レーザーが、50Hz程度のパルス反復率及び10ns程度のパルス持続時間を有するレーザービームを発生させるNd:YAGレーザーである、方法。
- 請求項1による方法において、前記中空本体を支持するステップと、該中空本体から矩形のウェハを切断し得るように選ばれた水平方向及び垂直方向経路内で前記中空本体を横切るレーザービームを提供し得るように前記レーザーを作動させるステップとを更に含む、方法。
- 固体エレクトロニクスデバイスの製造に使用するため中空の半導体シリコン本体をウェハへと切断する方法において、
前記半導体本体を取り囲む環状の空間を画成するように該半導体本体をカラーで取り囲むステップと、
製造ガス及び希ガスであるHe、Ne、Ar及びKrから成る群から選択された1つのガスを前記環状空間内に噴射するステップと、
レーザーエネルギーパルスを前記環状空間を通して前記半導体本体に照射するように作動される短パルス長レーザーを用いて前記半導体本体を切断し、これにより、前記半導体本体のレーザー切断が前記ガスの存在下で行われるようにするステップとを備える、方法。 - 請求項1による方法において、前記カラーがレーザーエネルギーに対して透過性がある窓部を有し、更に、前記レーザーパルスが前記半導体本体にて前記窓部を通じて向けられる、方法。
- 半導体本体を切断する方法において、
前記レーザーエネルギービームが前記半導体本体を切断する作用を果たすように前記半導体本体に向けられたガス支援ノズルにレーザーエネルギービームを通すステップと、
製造ガス及び希ガスであるHe、Ne、Ar及びKrから成る群から選択された1つのガスを前記ガス支援ノズル内に噴射し、前記ガスが前記半導体本体と接触するように前記ノズル外に進み、これにより、前記半導体本体のレーザー切断が前記ガスの存在下にて行われるようにするステップとを備える、方法。 - 請求項13による方法において、前記レーザーエネルギービームが短パルスレーザーにより発生される、方法。
- 請求項14による方法において、前記レーザーがNd:YAGレーザーであり、前記半導体本体がシリコンである、方法。
- 請求項13による方法において、前記切断が、前記半導体本体から四角形のウェハを切断し得るように行われる、方法。
- 半導体本体を切断する方法において、
レーザーエネルギーを透過可能な窓部を有する容器内に前記本体を配置し且つ前記本体が空気の無い環境となるように前記容器を排気するステップと、
レーザーエネルギービームを前記容器内の前記窓部を通じて前記半導体本体に通し且つ前記レーザーエネルギービームが前記半導体本体の一部を切断するように前記レーザーエネルギービームが前記半導体本体を横切るようにするステップとを備える、方法。 - 請求項17による方法において、前記レーザーエネルギービームがNd:YAGレーザーにより発生され、前記ビームが前記本体からウェハを切断するように作用する、方法。
- 請求項18による方法において、前記本体がPドープ処理されたシリコンからなる、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/626,708 US6376797B1 (en) | 2000-07-26 | 2000-07-26 | Laser cutting of semiconductor materials |
PCT/US2001/015566 WO2002007927A1 (en) | 2000-07-26 | 2001-05-14 | Laser cutting of semiconductor materials |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004504729A true JP2004504729A (ja) | 2004-02-12 |
JP2004504729A5 JP2004504729A5 (ja) | 2008-05-22 |
JP4242642B2 JP4242642B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=24511494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002513648A Expired - Fee Related JP4242642B2 (ja) | 2000-07-26 | 2001-05-14 | 半導体材料のレーザー切断 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6376797B1 (ja) |
EP (1) | EP1303377A4 (ja) |
JP (1) | JP4242642B2 (ja) |
CN (1) | CN1185076C (ja) |
AU (1) | AU764787B2 (ja) |
WO (1) | WO2002007927A1 (ja) |
Families Citing this family (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4659300B2 (ja) | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
US7157038B2 (en) * | 2000-09-20 | 2007-01-02 | Electro Scientific Industries, Inc. | Ultraviolet laser ablative patterning of microstructures in semiconductors |
US6676878B2 (en) | 2001-01-31 | 2004-01-13 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser segmented cutting |
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Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2000
- 2000-07-26 US US09/626,708 patent/US6376797B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-05-14 WO PCT/US2001/015566 patent/WO2002007927A1/en active IP Right Grant
- 2001-05-14 JP JP2002513648A patent/JP4242642B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-14 CN CNB018021859A patent/CN1185076C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-14 AU AU61583/01A patent/AU764787B2/en not_active Ceased
- 2001-05-14 EP EP01935492A patent/EP1303377A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1303377A4 (en) | 2009-08-05 |
CN1386081A (zh) | 2002-12-18 |
AU6158301A (en) | 2002-02-05 |
EP1303377A1 (en) | 2003-04-23 |
AU764787B2 (en) | 2003-08-28 |
WO2002007927A1 (en) | 2002-01-31 |
CN1185076C (zh) | 2005-01-19 |
US6376797B1 (en) | 2002-04-23 |
JP4242642B2 (ja) | 2009-03-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050603 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050902 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050909 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20051130 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060725 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060824 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061006 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071228 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080109 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20080403 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080714 |
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A602 | Written permission of extension of time |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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