JP2004361378A - 振動計測方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光をその発振周波数を変化させながら計測対象物90に照射することにより、自己混合信号が所定の波形になったときのこの自己混合信号に基づいて発振レーザ光量に対する戻り光量の割合に関する所定のパラメータを求めるパラメータ算出ステップを有しており、振動計測ステップにおいては、計測対象物90に対して照射されるレーザ光の発振周波数を変化させることにより、所定の正弦波状波形を含む自己混合信号を得るようにし、この自己混合信号および上記パラメータ算出ステップにおいて求めた上記パラメータに基づいて、計測対象物90の振動の内容を判断する。
【選択図】 図1
Description
ソフト処理による手段としては、上記した信号S1aの移動平均処理を行なう手段がある。この移動平均処理法によっても、信号S2と同様な自己混合信号を得ることができ、実質的には、上記したフィルタリングによって高周波分を除去したのと同様な結果が得られる。
LD レーザダイオード
PD フォトダイオード
1 半導体レーザ素子
2 信号発生回路
3 可変電流供給回路
4 差動増幅器
5A オシロスコープ(信号観測手段)
5B パーソナルコンピュータ
90 計測対象物
Claims (10)
- レーザ発振手段により発振させたレーザ光を計測対象物に照射し、この計測対象物により反射された戻り光と上記発振レーザ光とが混合した光を光電変換することによって自己混合信号を生成し、この自己混合信号に基づいて上記計測対象物の振動の内容を判断する振動計測ステップを有している、振動計測方法であって、
上記レーザ発振手段から上記計測対象物にレーザ光を照射させたときの発振レーザ光量に対する戻り光量の割合に関する所定のパラメータを求めるパラメータ算出ステップを有しており、
上記振動計測ステップにおいては、上記計測対象物に照射されるレーザ光の発振周波数を変化させることにより、所定の波形の自己混合信号を得るようにし、この自己混合信号および上記パラメータ算出ステップにおいて求めた上記パラメータに基づいて上記計測対象物の振動の内容を判断することを特徴とする、振動計測方法。 - 上記パラメータ算出ステップは、上記計測対象物の振動が停止した状態において、発振周波数を変化させながら上記計測対象物にレーザ光を照射し、自己混合信号が所定の波形になったときのこの信号に基づいて上記パラメータを求める処理を含んでいる、請求項1に記載の振動計測方法。
- 上記パラメータ算出ステップは、上記計測対象物が振動している状態において、発振周波数を変化させながら上記計測対象物にレーザ光を照射し、自己混合信号が所定の波形になったときのこの信号に基づいて上記パラメータを求める処理を含んでいる、請求項1に記載の振動計測方法。
- 上記パラメータを求める処理は、上記自己混合信号から上記計測対象物の振動に基づく高周波分を取り除くことにより、または上記高周波分を含む上記自己混合信号の包絡曲線の波形に基づいて行なう、請求項3に記載の振動計測方法。
- 上記レーザ発振手段として、半導体レーザを用い、かつ上記レーザ光の発振周波数の変化は、上記半導体レーザへの注入電流を変化させることにより行なう、請求項1ないし4のいずれかに記載の振動計測方法。
- 上記半導体レーザへの注入電流の変化は、上記パラメータ算出ステップにおいては無段階に行なわせ、かつ上記振動計測ステップにおいては段階的に行なわせる、請求項5に記載の振動計測方法。
- 計測対象物に照射させるためのレーザ光を発振するレーザ発振手段と、
この計測対象物により反射された戻り光と上記発振レーザ光とが混合した光を光電変換することにより自己混合信号を出力可能な光電変換手段と、
上記自己混合信号を観測するための信号観測手段と、
を備えている、振動計測装置であって、
上記レーザ発振手段の発振周波数を変化させることが可能な発振周波数変更手段を備えており、かつ、
上記信号観測手段は、発振周波数を変更しながら上記計測対象物にレーザ光が照射されたときに得られる自己混合信号が所定の波形になった時点におけるこの信号に基づいて、発振レーザ光量に対する戻り光量の割合に関する所定のパラメータを算出可能に構成されていることを特徴とする、振動計測装置。 - 上記レーザ発振手段はレーザダイオードであるとともに、上記光電変換手段はフォトダイオードであり、かつこれらレーザダイオードとフォトダイオードとは1つの半導体パッケージ内に纏めて造り込まれている、請求項7に記載の振動計測装置。
- 上記発振周波数変更手段は、上記レーザ発振手段への注入電流を変化させることが可能な可変電流供給回路である、請求項7または8に記載の振動計測装置。
- パラメータ算出ステップのモードと、振動計測ステップのモードとのモード切り替えが可能な制御手段を有しており、かつ、
上記制御手段は、上記パラメータ算出ステップのモード時においては、上記レーザ光の発振周波数を変化させることにより自己混合信号が所定の波形になったときのこの信号に基づいて発振レーザ光量に対する戻り光量の割合に関する所定のパラメータを求めるとともに、上記振動計測ステップのモード時においては、上記レーザ光の発振周波数を変化させることにより、所定の波形を含む自己混合信号を得るようにし、かつその自己混合信号および上記パラメータ算出ステップのモードにおいて求めた上記パラメータに基づいて上記計測対象物の振動の内容を判断する処理の制御を行なうように構成されている、請求項7ないし9のいずれかに記載の振動計測装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4855423B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2012-01-18 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 血流センサ |
JP2009019895A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Yamatake Corp | 距離・振動計および距離・速度計測方法 |
JP2017003461A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 東芝テック株式会社 | 距離測定装置 |
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