JP2004356209A - ウエーハ搬送用ハンド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サセプタ1の上方において、ウエーハ搬送用ハンド5とウエーハ1の下側に配置された複数の突き上げピン4との間でウエーハ1の受け渡しが行われる。本発明のウエーハ搬送用ハンド5は、ウエーハ1を支持する面6がウエーハ1の直径と同一またはそれ以上の幅を有し、この面6に当該ウエーハ搬送用ハンド5の移動方向に対して平行な複数のスリット状の切り込み7が形成されている。ウエーハ1の受け渡しの際、各突き上げピン4は、各スリット状の切り込み7の中を僅かなクリアランスを介して貫通し且つ通過する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばCVD装置などの、サセプタの上に置かれたウエーハを下側からヒータを用いて加熱して処理を行う装置において、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に使用されるウエーハ搬送用ハンドの形状に係る。
【0002】
【従来の技術】
図6に、従来のウエーハ搬送用ハンド(エンドエフェクタ)の例を示す。ウエーハ搬送用ハンドは、通常、フォーク型の形状に作られている。しかし、このようなフォーク型のウエーハ搬送用ハンド15を用いた場合、サセプタの上にウエーハ1を降ろす際及びサセプタの上からウエーハ1を持ち上げる際、サセプタの下側に配置されたヒータ(作動状態のまま維持されている)からの放射熱がフォークの歯16の部分で遮られるので、ウエーハ1の面内に温度差が生ずる。その結果、ウエーハ1に反りが発生する。また、最悪の場合、ウエーハの内部の応力が増大して、ウエーハに割れが発生することもある。
【0003】
【特許文献1】
特開平5−55148号公報(例えば、図1、図2)
【0004】
【特許文献2】
特開平9−199427号公報(図4)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような従来のウエーハ搬送用ハンドの問題点に鑑み成されたものであり、本発明の目的は、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に、ウエーハの面内に生ずる温度差を小さく抑えることができるウエーハ搬送用ハンドを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明のウエーハ搬送用ハンドは、
サセプタの上に置かれたウエーハをその下側に配置されたヒータを用いて加熱して処理を行う装置において、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に、ウエーハの下側に配置された複数の突き上げピンとの間でウエーハの受け渡しを行うためのウエーハ搬送用ハンドであって、
ウエーハを支持する面がウエーハの直径と同一またはそれ以上の幅を有し、この面に複数のスリット状の切り込みが当該ウエーハ搬送用ハンドの移動方向に対して平行に形成され、ウエーハの受け渡しの際、各突き上げピンが前記各スリット状の切り込みの中を僅かなクリアランスを介して貫通し且つ通過するように構成されていることを特徴とする。
【0007】
本発明のウエーハ搬送用ハンドは、上記のような形状を備えているので、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に、ヒータからウエーハの下面に入射する放射熱を一様に遮ることができる。これによって、ウエーハの面内に生ずる温度差を小さく抑え、熱変形や熱応力を低減させることができる。
【0008】
好ましくは、前記スリット状の切り込みの幅と前記突き上げピンの直径の差を、1mm以上10mm以下程度に設定する。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1に、本発明に基づくウエーハ搬送用ハンドの一例を示す。この例では、ウエーハ搬送用ハンド5の支持面6(ウエーハを支持する手のひら状の部分)の幅が、ウエーハ1の直径と同一に設定されている。この支持面6には、スリット状の切り込み7が3本、形成されている。各スリット状の切り込み7は、突き上げピン4の上方におけるウエーハ搬送用ハンド5の移動方向に対して平行に形成されている。ウエーハ搬送用ハンド5と3本の突き上げピン4の間でウエーハ1の受け渡しを行うとき、各突き上げピン4は、各スリット状の切り込み7の中を貫通し且つ通過することができる。
【0010】
ここで、突き上げピン4の直径は、一般的に、2〜5mm程度である。各スリット状の切り込み7の幅と突き上げピン4の直径の差は、1mm以上10mm以下程度に設定される。
【0011】
図2〜図4を用いて、ウエーハ1の受け渡しを行う際のウエーハ搬送用ハンド5及び突き上げピン4の動作について説明する。
【0012】
図2に示すように、処理室9(例えば、CVD装置の反応室)の中には、サセプタ2が設置されている。サセプタ2は、リング状の形状を備え、中央の開口部の内周側の縁でウエーハ1を支持するように構成されている。サセプタ2の下側には、ヒータ3及び突き上げピン4が配置されている。処理対象のウエーハ1は、ウエーハ搬送用ハンド5の上に載せられて処理室9内に搬入される。
【0013】
図3に示すように、ウエーハ搬送用ハンド5をサセプタ2の上方で停止させ、ウエーハ1の中心をサセプタ2の中心に合わせる。次いで、突き上げピン4を上昇させ、ウエーハ搬送用ハンド5の支持面のスリット状の切り込み7(図1)の中を下から上に貫通させて、ウエーハ1の下面に突き当てる。突き上げピン4の上にウエーハ1を保持した後、ウエーハ搬送用ハンド5を後退させて反応室9の外に退避させる。このとき、各突き上げピン4が各スリット状の切り込み7(図1)の中を通過することによって、突き上げピン4とウエーハ搬送用ハンド5の間の干渉を避ける。
【0014】
図4に示すように、ウエーハ搬送用ハンド5を反応室9の外に退避させた後、突き上げピン4を下降させ、ウエーハ1をサセプタ2の上に降ろす。
【0015】
図5に、本発明に基づくウエーハ搬送用ハンドの他の例を示す。この例では、ウエーハ搬送用ハンド5の支持面6に、スリット状の切り込み(7a、7b)が2本、形成されている。この場合、一方のスリット状の切り込み7aには、2本の突き上げピン4a、4cが貫通し、他方のスリット状の切り込み7bには、1本の突き上げピン4bが貫通する。
【0016】
【発明の効果】
本発明のウエーハ搬送用ハンドによれば、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に、突き上げピンとの間でウエーハの受け渡しを行うとき、ヒータからウエーハの下面に入射する放射熱を一様に遮ることができる。その結果、ウエーハの面内に生ずる温度差を小さく抑え、熱変形や熱応力を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づくウエーハ搬送用ハンドの一例を示す図。
【図2】ウエーハの受け渡しを行う際のウエーハ搬送用ハンド及び突き上げピンの動作について説明する図であって、ウエーハ搬送用ハンドが処理室内に前進した状態を示す図。
【図3】ウエーハの受け渡しを行う際のウエーハ搬送用ハンド及び突き上げピンの動作について説明する図であって、ウエーハ搬送用ハンドから突き上げピンの上にウエーハを移す状態を示す図。
【図4】ウエーハの受け渡しを行う際のウエーハ搬送用ハンド及び突き上げピンの動作について説明する図であって、サセプタの上にウエーハを降ろした状態を示す図。
【図5】本発明に基づくウエーハ搬送用ハンドの他の例を示す図。
【図6】従来のウエーハ搬送用ハンドの一例を示す図。
【符号の説明】
1…ウエーハ、
2…サセプタ、
3…ヒータ、
4、4a、4b、4c…突き上げピン、
5…ウエーハ搬送用ハンド、
6…支持面、
7、7a、7b…スリット状の切り込み、
9…反応室。
Claims (2)
- サセプタの上に置かれたウエーハをその下側に配置されたヒータを用いて加熱して処理を行う装置において、サセプタの上にウエーハを降ろす際及びサセプタの上からウエーハを持ち上げる際に、ウエーハの下側に配置された複数の突き上げピンとの間でウエーハの受け渡しを行うためのウエーハ搬送用ハンドであって、
ウエーハを支持する面がウエーハの直径と同一またはそれ以上の幅を有し、この面に複数のスリット状の切り込みが当該ウエーハ搬送用ハンドの移動方向に対して平行に形成され、ウエーハの受け渡しの際、各突き上げピンが前記各スリット状の切り込みの中を僅かなクリアランスを介して貫通し且つ通過するように構成されていることを特徴とするウエーハ搬送用ハンド。 - 前記スリット状の切り込みの幅と前記突き上げピンの直径の差が、1mm以上10mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ搬送用ハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003149421A JP2004356209A (ja) | 2003-05-27 | 2003-05-27 | ウエーハ搬送用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003149421A JP2004356209A (ja) | 2003-05-27 | 2003-05-27 | ウエーハ搬送用ハンド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004356209A true JP2004356209A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=34045527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003149421A Pending JP2004356209A (ja) | 2003-05-27 | 2003-05-27 | ウエーハ搬送用ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004356209A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101810172B1 (ko) | 2015-12-09 | 2017-12-20 | 국제엘렉트릭코리아 주식회사 | 보우트 및 그 보우트를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 장치 그리고 클러스터 설비 |
-
2003
- 2003-05-27 JP JP2003149421A patent/JP2004356209A/ja active Pending
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KR101810172B1 (ko) | 2015-12-09 | 2017-12-20 | 국제엘렉트릭코리아 주식회사 | 보우트 및 그 보우트를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 장치 그리고 클러스터 설비 |
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