JP2004348067A - 紫外線顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料面10に照射された光は反射され、再び対物レンズ9で集光され、観察光/AF光分岐ミラー8で反射され、照明光/結像光分岐ミラー7で反射されて結像光学系に導かれる。結像光学系では、観察光に対して高い透過率を有し、後述のオートフォーカス光に対して低い透過率を有する光学フィルタ11が設けられている。光学フィルタ11を透過した結像光は結像レンズ12の作用により撮像素子13の撮像面に、試料面10の像を所定の倍率で結像する。光学フィルタ11のためにオートフォーカス光が低減されて撮像素子13に入るため、オートフォーカス光がノイズとなって観察される像が劣化することがない。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、可視光より短い波長の光を使った紫外線顕微鏡装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
より高解像力を求めて光学顕微鏡は、より短波長の光源を使うようになってきた。近年の半導体ウェハの観察などでは可視光ではなく紫外線を使った顕微鏡が必要とされてきている。紫外線を光源に使った顕微鏡では、従来の光学顕微鏡と違って、ビジコンや紫外線対応のCCDなどの撮像素子を使って像を観察する必要がある。
【0003】
このような紫外線顕微鏡では、試料に観察光学系(撮像光学系)のピントを合わせるためのオートフォーカス装置が設けられているのが普通である。しかし、紫外線顕微鏡の場合は、より高分解能を求めるために対物レンズの開口数は0.90から0.95というように非常に大きな値となっている。このため、対物レンズの作動距離が短くなり対物レンズの脇から光を入れて試料面の高さ検出を検出することができない。よって、オートフォーカス装置としては、試料面の位置検出を、対物レンズを通して検出する方式のものが採用されている。
【0004】
又、紫外線顕微鏡の場合は、光そのものの持つエネルギーが大きくなるために試料面に照射することによりダメージを与えてしまうという問題点がある。そこで、観察光より波長の長い、つまり試料に与えるダメージの少ないオートフォーカス光で予めピント出しをしておいてから観察に用いる照明光を照射するという方法が採られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述のように、観察光より波長の長いオートフォーカス光で予めピント出しをしておいてから観察に用いる照明光を照射する方法では、作業手順が煩わしくなり、観察に時間を要するという問題があるので、観察光とオートフォーカス光を同時に試料面に照射し、オートフォーカスを行いながら試料の観察を行うことが好ましい。この場合、オートフォーカス光としては、可視光又は赤外光が用いられることが多い。しかし、紫外線撮像素子は、観察で用いる照明光よりも広い波長域にわたって感度があるため、オートフォーカス光を検出してしまい、観察される像が劣化して、所望の分解能が得られないという問題があった。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、観察中にオートフォーカスをかけた場合でも、観察される像が劣化しない紫外線顕微鏡を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための第1の手段は、380nmより短い波長の試料観察光を試料面に照射する第1の照明光学系と、前記試料観察光の波長帯域で収差が補正されている第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系で形成された前記試料面の像を撮像する撮像素子と、前記試料観察光の波長より長い波長のオートフォーカス用光を試料面に照射する第2の照明光学系とその反射光を第2の結像光学系で集光し、オートフォーカス受光素子で受光して、試料面の光軸方向の高さを調整するオートフォーカス装置を具備している紫外線顕微鏡装置であって、
前記第1の結像光学系中、又は前記第1の結像光学系と前記撮像素子の間に前記試料観察光に対して高い透過率を有し、前記オートフォーカス用光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されていることすることを特徴とする紫外線顕微鏡装置(請求項1)である。
【0008】
本手段においては、第1の結像光学系中、又は第1の結像光学系と撮像素子の間に試料観察光に対して高い透過率を有し、オートフォーカス用光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されている。よって、オートフォーカス用光が撮像素子に入射する場合でも、この波長選択素子によって減衰した状態で入射するので、試料観察のノイズとなることが防止される。また、オートフォーカス用光を十分に除去することができるので、それ以前の光学系で広い範囲に亘って色消しを十分に行う必要が無くなる。
【0009】
なお、紫外線顕微鏡装置においては、第1の結像光学系と第2の結像光学系において、対物レンズ等の光学要素を共通に使用している場合がある。このような場合に、波長選択素子が設けられる位置は、これら共通の光学要素の部分以外の部分としなければならないことはいうまでもない。
【0010】
前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、前記試料観察光に対する前記撮像素子の感度をE1とし、前記オートフォーカス用光に対する前記撮像素子の感度をE2とし、前記試料観察光の試料面上での照度をL1とし、前記オートフォーカス用光の試料面上での照度をL2としたときに、前記波長選択素子が
(E1・T1・L1)/(E2・T2・L2)>K1
を満たすものであることを特徴とする紫外線顕微鏡装置(請求項2)である。
【0011】
ただし、T1は、前記試料観察光に対する前記波長選択素子の透過率、T2は前記オートフォーカス用光に対する前記波長選択素子の透過率、K1は、前記撮像素子の光強度の分解能の逆数である。
【0012】
(E1・T1・L1)/(E2・T2・L2)は、撮像素子から出力される試料観察光とオートフォーカス用光の信号の強度比である。よって、試料観察光によって撮像素子の出力が最大となった場合でも、オートフォーカス用光は、撮像素子の感度以下となる。よって、オートフォーカス用光の影響は事実上無視できる。
【0013】
前記課題を解決するための第3の手段は、前記第1の手段又は第2の手段であって、前記第2の結像光学系中、又は前記第2の結像光学系と前記オートフォーカス受光素子の間に前記オートフォーカス用光に対して高い透過率を有し、前記試料観察光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されていることを特徴とするもの(請求項3)である。
【0014】
本手段においては、本手段においては、第2の結像光学系中、又は第2の結像光学系とオートフォーカス受光素子の間に、オートフォーカス用光に対して高い透過率を有し、試料観察光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されている。よって、試料観察光がオートフォーカス受光素子に入射する場合でも、この波長選択素子によって減衰した状態で入射するので、オートフォーカスのノイズとなることが防止される。また、試料観察光を十分に除去することができるので、それ以前の光学系で広い範囲に亘って色消しを十分に行う必要が無くなる。
【0015】
なお、紫外線顕微鏡装置においては、第1の結像光学系と第2の結像光学系において、対物レンズ等の光学要素を共通に使用している場合がある。このような場合に、波長選択素子が設けられる位置は、これら共通の光学要素の部分以外の部分としなければならないことはいうまでもない。
【0016】
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第3の手段であって、前記試料観察光に対する前記オートフォーカス受光素子の感度をF1とし、前記オートフォーカス用光に対する前記オートフォーカス受光素子の感度をF2とし、前記試料観察光の試料面上での照度をL1とし、前記オートフォーカス用光の試料面上での照度をL2としたときに、前記波長選択素子が、
(F2・T2・L2)/(F1・T1・L1)>K2
を満たすものであることを特徴とする紫外線顕微鏡装置(請求項4)である。
【0017】
ただし、T1は、前記試料観察光に対する前記波長選択素子の透過率、T2は前記オートフォーカス用光に対する前記波長選択素子の透過率、K2は、前記オートフォーカス受光素子の光強度の分解能の逆数である。
【0018】
(F2・T2・L2)/(F1・T1・L1)は、オートフォーカス受光素子から出力されるオートフォーカス用光と試料観察光の信号の強度比である。よって、オートフォーカス用光によって撮像素子の出力が最大となった場合でも、試料観察光は、オートフォーカス受光素子の感度以下となる。よって、試料観察光の影響は事実上無視できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態の1例である紫外線顕微鏡装置の光学系の概要を示す図である。紫外光源1から射出された観察光はコレクタレンズ2および照明系リレーレンズ3を通り、さらに、開口絞り4、視野絞り5、照明コンデンサレンズ6を通って、照明光/結像光分岐ミラー7を透過し、観察光/AF光分岐ミラー8で反射され、対物レンズ9を介して試料面10に照射される。
【0020】
開口絞り4は、所定の照明光束径を得るためものであり、対物レンズ9の瞳に共役な位置に配置されている。視野絞り5は、所定の照明領域に光束を限定するためのものであり、対物レンズ9の焦点面に共役な位置に配置されている。
【0021】
試料面10に照射された光は反射され、再び対物レンズ9で集光され、観察光/AF光分岐ミラー8で反射され、照明光/結像光分岐ミラー7で反射されて結像光学系に導かれる。
【0022】
結像光学系では、観察光に対して高い透過率を有し、後述のオートフォーカス光に対して低い透過率を有する光学フィルタ−11が設けられている。光学フィルタ11を透過した結像光は結像レンズ12の作用により撮像素子13の撮像面に、試料面10の像を所定の倍率で結像する。
【0023】
撮像素子13では光電変換が行われ、像の光強度に応じた画像信号が、画像処理装置14を介して不図示のモニタに表示される。また、画像処理装置14では画像信号を使って、試料面の欠陥を検査したり、試料面上に形成されたパターンの大きさを測定したりすることも可能である。
【0024】
オートフォーカス光学系は、LED光源15から出射した光をスリット16に照射してスリット16を透過した光を用いる。スリット16を透過した光は、レンズ17,投光系瞳制限絞り(ナイフエッジ)18,オートフォーカス送光/受光分岐ミラー19を通り、さらに観察光/AF光分岐ミラー8を透過して対物レンズ9を介して試料面上に投影される。
【0025】
このとき瞳制限絞り18ではスリット16を透過した光のうちスリットの短手方向のほぼ半分の光束をカットして、スリット16の像を対物レンズ9の光軸に対して非対称な光束で試料面10上に結像させる。試料面10上に照射された光束は反射されて再び対物レンズ9で集光され、観察光/AF光分岐ミラー8を透過してオートフォーカス送光/受光分岐ミラー19で反射され、オートフォーカス受光部へと導かれる。オートフォーカス受光部では、まずオートフォーカス光を透過するフィルター20があり、オートフォーカス光のみをオートフォーカス受光部に入射させる。レンズ21を介して、対物レンズ9の瞳共役面に受光系瞳制限絞り22を設け、試料面10上のパターンからの不要な回折光を除去する。
【0026】
オートフォーカス結像レンズ23は、前述の受光系瞳制限絞り22を透過した光を受け、試料面10に結像したスリット16の像を、オートフォーカス受光素子25の撮像面に結像させる。撮像素子25は1次元CCDであり、スリット像の長手方向の光を有効に使うために、撮像素子25の前にシリンドリカルレンズ24を入れて、スリット像の長手方向を圧縮してオートフォーカス光を有効に使うようにしている。
【0027】
図2は、フォーカス検出の原理を示す図である。図2においては、図1に示された構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し、フォーカス検出の原理に関係のない観察光学系などの図示を省略している。オートフォーカスの照明光は前述のごとく像を形成する光束が非対称になっている。このため、試料面10が正しく対物レンズ9の焦点面上にある場合(図2(b))は、光軸上にスリット像を結ぶ。
【0028】
ところが、試料面10が対物レンズ9の焦点面より下方に下がると、光軸側の光はまっすぐ試料面10に照射されているため余り変化はないが、対物レンズ9の周辺を通ってきた光は試料面10に斜めに照射するので、スリット16の像は、試料面10が下がった分だけずれて見える。図2(a)では、左側に像の重心がずれている。
【0029】
一方、試料面10が対物レンズ9の焦点面より上方に上がった場合には、対物レンズ9の周辺を通ってきた斜めに照射する光は光軸付近を通ってきた光と交わること試料面10で反射される。このため、スリット16の像は逆の方向にずれる。(図2(c))この像のずれを、オートフォーカス受光素子25で検出して試料面10が対物レンズ9の焦点面に一致しているか、どちらの方向にずれているかを検出するものである。当然この試料面10のずれ情報を基に試料面10を上下させるか、光学系を上下させて試料面10が対物レンズ9の焦点面に一致するようにする。
【0030】
また、対物レンズ9は特願2002−331797号として本出願人が出願したようなものを用いることが好ましい。観察光とオートフォーカス光は対物レンズ9で色消しされていることに越したことはないが、観察波長がより短くなってくると、波長の短い紫外光を透過する材料が限定されてくるため、色消しをすることが困難になってくる。
【0031】
このため、本実施の形態では、図1に示すように対物レンズ9を出射した後で、すぐに観察系とオートフォーカス系とを分離して、それぞれ独立に結像光学系12および21を持たせるようにしている。このため、それぞれの結像光学系では、観察系からオートフォーカス系に至る広い範囲にわたる色消しは必要なくなる。
【0032】
光学フィルタ11は、紫外光である観察光に対して高い透過率を有し、通常可視光や赤外光が使用されるオートフォーカス光に対して低い透過率を有するような特性のフィルタである。観察光に対する透過率は高ければ高いほど良いが、オートフォーカス光に対しては、それが観察光に対してノイズとなって、撮像素子13で検出される画像の質が悪化しない程度に低減すればよい。
【0033】
観察光に対する撮像素子13の感度をE1とし、オートフォーカス光に対する撮像素子13の感度をE2とし、観察光の試料面10上での照度をL1とし、オートフォーカス用光の試料面10上での照度をL2とし、光学フィルタ11の観察光に対する透過率をT1、オートフォーカス光に対する透過率をT2とし、K1を撮像素子13の分解能の逆数とするとき
(E1・T1・L1)/(E2・T2・L2)>K1
を満たすようにすることが好ましい。撮像素子13の分解能は、実質的にはそれを画素データにしたときの階調の度数によって決まる。256階調の場合は、K1は256となり、1024階調の場合は、K1は1024となる。このようにしておけば、観察光の強度が撮像素子13が有効に受光できる最大強度(最大階調)となった場合でも、オートフォーカス光の影響を、撮像素子13の分解能以下に抑えることができる。
【0034】
光学フィルタ20は、通常可視光や赤外光が使用されるオートフォーカス光に対して高い透過率を有し、紫外光である観察光に対して低い透過率を有するような特性のフィルタである。オートフォーカス光に対する透過率は高ければ高いほど良いが、観察光に対しては、それがオートフォーカス制御に対してノイズとなって、制御精度が悪化しないような透過率であればよい。
【0035】
また、波長フィルタとして、紫外光を反射し、可視光及び赤外光を透過するような特性を有するダイクロイックミラーを用いてもよい。ダイクロイックミラーを4枚用いて、図3に示すように、フィルタを構成することにより、波長選択性を向上させることができる。ここで、第1ダイクロイックミラーを透過した光は、第4ダイクロイックミラーを透過して、元の光路に戻るため、これを防ぐために、第1ダイクロイックミラーと第4ダイクロイックミラーとの間に、遮光板を配置している。
【0036】
観察光に対するオートフォーカス受光素子25の感度をF1とし、オートフォーカス光に対するオートフォーカス受光素子25の感度をF2とし、観察光の試料面10上での照度をL1とし、オートフォーカス用光の試料面10上での照度をL2とし、光学フィルタ11の観察光に対する透過率をT1、オートフォーカス光に対する透過率をT2とし、K2をオートフォーカス受光素子25の分解能の逆数とするとき
(F2・T2・L2)/(F1・T1・L1)>K2
を満たすようにすることが好ましい。このようにしておけば、観察光の強度がオートフォーカス受光素子25が有効に受光できる最大強度となった場合でも、オートフォーカス光の影響を、オートフォーカス受光素子25の分解能以下に抑えることができる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、観察中にオートフォーカスをかけた場合でも、観察される像が劣化しない紫外線顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の1例である紫外線顕微鏡装置の光学系の概要を示す図である。
【図2】オートフォーカスの原理を説明する概略図である。
【図3】ダイクロイックミラーを4枚用いて構成したフィルタの例を示す図である。
[符号の説明]
1…紫外光源、2…コレクタレンズ、3…照明系リレーレンズ、4…開口絞り、5…視野絞り、6…照明コンデンサレンズ、7…照明光/結像光分岐ミラー、8…観察光/AF光分岐ミラー、9…対物レンズ、10…試料面、11…光学フィルタ、12…結像レンズ、13…撮像素子、14…画像処理装置、15…LED光源、16…スリット、17…レンズ、18…送光系瞳瞳制限絞り、19…オートフォーカス送光/受光分岐ミラー、20…フィルタ、21…レンズ、22…受光系瞳制限絞り、23…オートフォーカス結像レンズ、24…シリンドリカルレンズ、25…オートフォーカス受光素子
Claims (4)
- 380nmより短い波長の試料観察光を試料面に照射する第1の照明光学系と、前記試料観察光の波長帯域で収差が補正されている第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系で形成された前記試料面の像を撮像する撮像素子と、前記試料観察光の波長より長い波長のオートフォーカス用光を試料面に照射する第2の照明光学系とその反射光を第2の結像光学系で集光し、オートフォーカス受光素子で受光して、試料面の光軸方向の高さを調整するオートフォーカス装置を具備している紫外線顕微鏡装置であって、
前記第1の結像光学系中、又は前記第1の結像光学系と前記撮像素子の間に前記試料観察光に対して高い透過率を有し、前記オートフォーカス用光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されていることすることを特徴とする紫外線顕微鏡装置。 - 請求項1に記載の紫外線顕微鏡装置であって、前記試料観察光に対する前記撮像素子の感度をE1とし、前記オートフォーカス用光に対する前記撮像素子の感度をE2とし、前記試料観察光の試料面上での照度をL1とし、前記オートフォーカス用光の試料面上での照度をL2としたときに、前記波長選択素子が
(E1・T1・L1)/(E2・T2・L2)>K1
を満たすものであることを特徴とする紫外線顕微鏡装置。
ただし、T1は、前記試料観察光に対する前記波長選択素子の透過率、T2は前記オートフォーカス用光に対する前記波長選択素子の透過率、K1は、前記撮像素子の光強度の分解能の逆数である。 - 請求項1又は請求項2に記載の紫外線顕微鏡装置であって、前記第2の結像光学系中、又は前記第2の結像光学系と前記オートフォーカス受光素子の間に前記オートフォーカス用光に対して高い透過率を有し、前記試料観察光に対して低い透過率を有する波長選択素子が配置されていることを特徴とする紫外線顕微鏡装置。
- 請求項3に記載の紫外線顕微鏡装置であって、前記試料観察光に対する前記オートフォーカス受光素子の感度をF1とし、前記オートフォーカス用光に対する前記オートフォーカス受光素子の感度をF2とし、前記試料観察光の試料面上での照度をL1とし、前記オートフォーカス用光の試料面上での照度をL2としたときに、前記波長選択素子が、
(F2・T2・L2)/(F1・T1・L1)>K2
を満たすものであることを特徴とする紫外線顕微鏡装置。
ただし、T1は、前記試料観察光に対する前記波長選択素子の透過率、T2は前記オートフォーカス用光に対する前記波長選択素子の透過率、K2は、前記オートフォーカス受光素子の光強度の分解能の逆数である。
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JP2003147831A JP2004348067A (ja) | 2003-05-26 | 2003-05-26 | 紫外線顕微鏡装置 |
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JP2009540343A (ja) * | 2006-06-09 | 2009-11-19 | ダブリューディーアイ ワイズ デヴァイス インコーポレイテッド | 無限遠補正顕微鏡をオートフォーカスするための方法および装置 |
CN107314891A (zh) * | 2017-08-29 | 2017-11-03 | 天津津航技术物理研究所 | 手术显微镜的光学检测系统及光学检测方法 |
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2003
- 2003-05-26 JP JP2003147831A patent/JP2004348067A/ja active Pending
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