JP2004145195A - 画像取り込み装置 - Google Patents
画像取り込み装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004145195A JP2004145195A JP2002312510A JP2002312510A JP2004145195A JP 2004145195 A JP2004145195 A JP 2004145195A JP 2002312510 A JP2002312510 A JP 2002312510A JP 2002312510 A JP2002312510 A JP 2002312510A JP 2004145195 A JP2004145195 A JP 2004145195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- subject
- image capturing
- image
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
【課題】高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供する。
【解決手段】被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有し、第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有している。
【選択図】 図1
【解決手段】被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有し、第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【技術分野】
本発明は画像取り込み装置に関し、とくに半導体デバイス、薄膜磁気ヘッド素子などの被検体に紫外線を照射してその寸法を計測するための画像取り込み装置に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】
従来の半導体デバイスの寸法の検査においては、光学顕微鏡に高解像度のCCD(受光素子)を備えたデジタルカメラを接続して、CCDに結像された画像に基づいて被検体たる半導体デバイス表面をコントラスト画像として測定していた。
【0003】
しかしながら、 近年、画像取り込みの光学系を利用してレーザー光を被検体に照射することによって合焦を行い、その後可視光を被検体に照射してCCDによって画像を取り込む方法が採用されている。しかし、波長λ=200nm〜380nmの短波長のレーザー光を使用して合焦を行う場合、被検体に焦点を合わせることが困難になってきた。また、可視光による合焦にオフセットをかけてレーザー光による合焦とみなすとしても、このオフセット値がばらつくため、合焦が困難になっていた。
【0004】
また、このような短波長光を照射した場合においては、レンズの焦点深度が浅いため、高精度AFを行うために多くの画像コントラスト情報(取り込み画像数)が必要となり、高解像度のデジタルカメラでは高速処理できなかった。
【0005】
【特許文献】
特開平5−127096号公報
【0006】
【発明の目的】
そこで本発明の目的は、高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供することにある。
【0007】
【発明の概要】
上記問題点を解決するために、本発明の画像取り込み装置においては、被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有し、第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有している。
【0008】
また、焦点検出手段は、第1光学系の前記被検体に対する合焦が完了したときに、合焦完了情報を第2光学系に伝達することができる。
【0009】
また、本発明の画像取り込み装置は、被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする焦点検出用カメラと画像取り込み用カメラと接続された光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有することとしてもよく、このとき焦点検出用カメラは、画像取り込み用カメラよりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、画像取り込み用カメラは、焦点検出用カメラよりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有しているとしてもよい。
【0010】
【発明の実施形態】
以下、本実施形態を図1を参照しつつ詳しく説明する。図1に示す本発明の実施形態にかかる画像取り込み装置は、光学顕微鏡1、半導体デバイスなどの被検体11を載置するためのステージ10、被検体11に紫外線を照射するための光源20、被検体11について高速に合焦するための第1光学系30、及び、被検体11によって反射された紫外線を受光する高い解像度を有する第2光学系40を有する。
【0011】
被検体11を上部に置いて光学顕微鏡1により被検体11を観察可能とするステージ10にはステージ高さ調整機構12が接続されている。ステージ高さ調整機構12にはAFユニット34が接続されており、AFユニット34から入力された測距情報に応じてステージ高さ調整機構12はA方向にステージ10の高さを調整する。ステージ10の高さを調整することにより、光学顕微鏡1は被検体11上に焦点を合わせることができる。
【0012】
被検体11には、その画像を取り込むために波長λ=200nm〜380nm程度の紫外線光が照射される。この紫外線光は光源20から出射され、照射レンズ系21で集光され、ハーフミラー22で反射され対物レンズ系23を経て被検体11表面に集光される。このような波長の紫外線光を照射することにより、被検体11表面の微細な平面形状の情報を取り入れることが可能である。なお、この紫外線光の波長は200nm〜380nm内の任意の値を選択可能であって、被検体11の種類によっては200nm未満の値を設定することも可能である。
【0013】
光学顕微鏡1は、被検体11に高速で合焦するための第1光学系30、及び、第1光学系30の合焦と同時に被検体11に合焦し、かつ被検体11によって反射された紫外線を受光する第2光学系40を備える。
【0014】
これらの光学系のうち第1光学系30は、反射ミラー31、拡大レンズ系32、ハーフミラー33、AFユニット(焦点検出手段)34、ハーフミラー22、対物レンズ系23、ハーフミラー24を有する。一方の第2光学系40は拡大レンズ系42、ハーフミラー22、対物レンズ系23、ハーフミラー24を有する。第1光学系30の光路長と第2光学系40の光路長及び両光学系内のレンズのパワーを同一としてあるため、第1光学系30において被検体11に合焦すると、同時に第2光学系40においても被検体11に合焦することになる。
【0015】
AFユニット34は焦点検出カメラとして構成されている。このように構成された光学顕微鏡1において、被検体11で反射され対物レンズ系23を経てハーフミラー22を透過した紫外線光は、一部がハーフミラー24で反射されて第1光学系30内に入り、残りはハーフミラー24を透過して第2光学系40内に入る。
【0016】
第1光学系30内に入った光は、反射ミラー31で反射された後に拡大レンズ系32で所定の倍率で拡大されて低解像度だが画像取り込み速度(フレーム転送速度)の速いCCD36(受光素子)(例えば、総画素数が24万画素、フレーム転送速度60ハーフフレーム/秒)に結像された後、画像信号がAFユニット34に入力される。AFユニット34に入力された画像は装置外部のモニタ(不図示)で観察可能である。もちろん、CCD36は、フレームレート60以上の高速なデジタルカメラとして構成してもよい。さらに、ハーフミラー33及びAFユニット34に加えて第1光学系30内へ測距光を出射できる光源を設け、この光源から発せられた測拒光の被検体11表面による反射光の受光素子への入射角によって、被検体11表面までの距離を測定して合焦するアクティブ方式のカメラとして構成してもよい。また、第1光学系に位相差検知方式のカメラを接続して、このカメラを用いて被検体の合焦を行っても良い。
【0017】
ステージ高さ調整機構12が接続されているAFユニット34は、被検体11表面に対する合焦を検知するまでの間、ステージ高さ調整機構12に対してステージ10の高さを調整するための信号を順次出力し、この信号を受けてステージ高さ調整機構12はステージ10のA方向の高さを変更させる。以上により、第1光学系30は、ステージ10上の被検体11表面に短時間で自動的に焦点を合わせることができ、合焦プロセスが完了する。この合焦プロセスが完了したとの情報は、AFユニット34から、CCD43に接続された画像取り込み部45に送られる。この合焦完了情報を受け取った画像取り込み部45は画像取り込みプロセスを開始する。なお、拡大レンズ系32を交換することにより所望の拡大倍率を設定することが可能である。
【0018】
一方、ハーフミラー24を透過して第2光学系40に入った光は拡大レンズ系42で拡大されて、画像取り込み速度は遅いが解像度の高いCCD43(受光素子)(例えば、総画素数が100万画素以上、フレーム転送速度7.5フレーム/秒)に結像される。CCD43に接続された画像取り込み部45は、被検体11からの反射光による結像情報に基づいて被検体11表面のコントラストとしての画像を取り入れる。ここで、CCD43と画像取り込み部45は画像読み取りカメラ(デジタルカメラ)として構成されている。
【0019】
上述のように、第2光学系40の光路長と第1光学系30の光路長、及び、両光学系内のレンズのパワーを同一にしてあるため、上述のように第1光学系30側で高速に被検体11表面に合焦することにより、同時に、第2光学系40側についても被検体11表面に合焦することとなる。もちろん、第1光学系30の合焦と、第2光学系40の合焦とが同時に達成できれば両者の光路長を同一とする構成以外の構成としても良い。また、ステージ10の高さを固定とし、かつ、第1光学系30及び第2光学系40の光路長を可変として、まず第1光学系30で被検体11表面に高速で合焦させた後に、第1光学系30における被検体11までの距離の情報に基づいて、第2光学系40の光路長を変化させて被検体11表面に合焦させてその画像をCCD43に取り込むこととしてもよい。
【0020】
本実施形態においては、CCD36及びAFユニット34内のCCD(不図示)として比較的低解像度であるが高速で動作することができるものを用いる一方、CCD43は高解像度のものを用いている。このように、光学系を、合焦のための光学系と、高解像度の画像を取り込むための光学系とに分離することによって、第1光学系30及び第2光学系40の両方について被検体11への合焦を高速に行うことができ、かつ、高解像度のCCD43を用いて精度の高い測定を行うことができる。
【0021】
本発明について上記実施形態を参照しつつ説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、改良の目的または本発明の思想の範囲内において改良または変更が可能である。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、位相差検知方式またはアクティブ方式により合焦可能な第1光学系と、高解像度のCCDを備える第2光学系とを分離、併用することによって、高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる画像取り込み装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 光学顕微鏡
10 ステージ
11 被検体
12 ステージ高さ調整機構
20 光源
30 第1光学系
34 AFユニット(焦点検出手段)
36 43 CCD(受光素子)
40 第2光学系
45 画像取り込み部
【技術分野】
本発明は画像取り込み装置に関し、とくに半導体デバイス、薄膜磁気ヘッド素子などの被検体に紫外線を照射してその寸法を計測するための画像取り込み装置に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】
従来の半導体デバイスの寸法の検査においては、光学顕微鏡に高解像度のCCD(受光素子)を備えたデジタルカメラを接続して、CCDに結像された画像に基づいて被検体たる半導体デバイス表面をコントラスト画像として測定していた。
【0003】
しかしながら、 近年、画像取り込みの光学系を利用してレーザー光を被検体に照射することによって合焦を行い、その後可視光を被検体に照射してCCDによって画像を取り込む方法が採用されている。しかし、波長λ=200nm〜380nmの短波長のレーザー光を使用して合焦を行う場合、被検体に焦点を合わせることが困難になってきた。また、可視光による合焦にオフセットをかけてレーザー光による合焦とみなすとしても、このオフセット値がばらつくため、合焦が困難になっていた。
【0004】
また、このような短波長光を照射した場合においては、レンズの焦点深度が浅いため、高精度AFを行うために多くの画像コントラスト情報(取り込み画像数)が必要となり、高解像度のデジタルカメラでは高速処理できなかった。
【0005】
【特許文献】
特開平5−127096号公報
【0006】
【発明の目的】
そこで本発明の目的は、高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供することにある。
【0007】
【発明の概要】
上記問題点を解決するために、本発明の画像取り込み装置においては、被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有し、第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有している。
【0008】
また、焦点検出手段は、第1光学系の前記被検体に対する合焦が完了したときに、合焦完了情報を第2光学系に伝達することができる。
【0009】
また、本発明の画像取り込み装置は、被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする焦点検出用カメラと画像取り込み用カメラと接続された光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有することとしてもよく、このとき焦点検出用カメラは、画像取り込み用カメラよりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、画像取り込み用カメラは、焦点検出用カメラよりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有しているとしてもよい。
【0010】
【発明の実施形態】
以下、本実施形態を図1を参照しつつ詳しく説明する。図1に示す本発明の実施形態にかかる画像取り込み装置は、光学顕微鏡1、半導体デバイスなどの被検体11を載置するためのステージ10、被検体11に紫外線を照射するための光源20、被検体11について高速に合焦するための第1光学系30、及び、被検体11によって反射された紫外線を受光する高い解像度を有する第2光学系40を有する。
【0011】
被検体11を上部に置いて光学顕微鏡1により被検体11を観察可能とするステージ10にはステージ高さ調整機構12が接続されている。ステージ高さ調整機構12にはAFユニット34が接続されており、AFユニット34から入力された測距情報に応じてステージ高さ調整機構12はA方向にステージ10の高さを調整する。ステージ10の高さを調整することにより、光学顕微鏡1は被検体11上に焦点を合わせることができる。
【0012】
被検体11には、その画像を取り込むために波長λ=200nm〜380nm程度の紫外線光が照射される。この紫外線光は光源20から出射され、照射レンズ系21で集光され、ハーフミラー22で反射され対物レンズ系23を経て被検体11表面に集光される。このような波長の紫外線光を照射することにより、被検体11表面の微細な平面形状の情報を取り入れることが可能である。なお、この紫外線光の波長は200nm〜380nm内の任意の値を選択可能であって、被検体11の種類によっては200nm未満の値を設定することも可能である。
【0013】
光学顕微鏡1は、被検体11に高速で合焦するための第1光学系30、及び、第1光学系30の合焦と同時に被検体11に合焦し、かつ被検体11によって反射された紫外線を受光する第2光学系40を備える。
【0014】
これらの光学系のうち第1光学系30は、反射ミラー31、拡大レンズ系32、ハーフミラー33、AFユニット(焦点検出手段)34、ハーフミラー22、対物レンズ系23、ハーフミラー24を有する。一方の第2光学系40は拡大レンズ系42、ハーフミラー22、対物レンズ系23、ハーフミラー24を有する。第1光学系30の光路長と第2光学系40の光路長及び両光学系内のレンズのパワーを同一としてあるため、第1光学系30において被検体11に合焦すると、同時に第2光学系40においても被検体11に合焦することになる。
【0015】
AFユニット34は焦点検出カメラとして構成されている。このように構成された光学顕微鏡1において、被検体11で反射され対物レンズ系23を経てハーフミラー22を透過した紫外線光は、一部がハーフミラー24で反射されて第1光学系30内に入り、残りはハーフミラー24を透過して第2光学系40内に入る。
【0016】
第1光学系30内に入った光は、反射ミラー31で反射された後に拡大レンズ系32で所定の倍率で拡大されて低解像度だが画像取り込み速度(フレーム転送速度)の速いCCD36(受光素子)(例えば、総画素数が24万画素、フレーム転送速度60ハーフフレーム/秒)に結像された後、画像信号がAFユニット34に入力される。AFユニット34に入力された画像は装置外部のモニタ(不図示)で観察可能である。もちろん、CCD36は、フレームレート60以上の高速なデジタルカメラとして構成してもよい。さらに、ハーフミラー33及びAFユニット34に加えて第1光学系30内へ測距光を出射できる光源を設け、この光源から発せられた測拒光の被検体11表面による反射光の受光素子への入射角によって、被検体11表面までの距離を測定して合焦するアクティブ方式のカメラとして構成してもよい。また、第1光学系に位相差検知方式のカメラを接続して、このカメラを用いて被検体の合焦を行っても良い。
【0017】
ステージ高さ調整機構12が接続されているAFユニット34は、被検体11表面に対する合焦を検知するまでの間、ステージ高さ調整機構12に対してステージ10の高さを調整するための信号を順次出力し、この信号を受けてステージ高さ調整機構12はステージ10のA方向の高さを変更させる。以上により、第1光学系30は、ステージ10上の被検体11表面に短時間で自動的に焦点を合わせることができ、合焦プロセスが完了する。この合焦プロセスが完了したとの情報は、AFユニット34から、CCD43に接続された画像取り込み部45に送られる。この合焦完了情報を受け取った画像取り込み部45は画像取り込みプロセスを開始する。なお、拡大レンズ系32を交換することにより所望の拡大倍率を設定することが可能である。
【0018】
一方、ハーフミラー24を透過して第2光学系40に入った光は拡大レンズ系42で拡大されて、画像取り込み速度は遅いが解像度の高いCCD43(受光素子)(例えば、総画素数が100万画素以上、フレーム転送速度7.5フレーム/秒)に結像される。CCD43に接続された画像取り込み部45は、被検体11からの反射光による結像情報に基づいて被検体11表面のコントラストとしての画像を取り入れる。ここで、CCD43と画像取り込み部45は画像読み取りカメラ(デジタルカメラ)として構成されている。
【0019】
上述のように、第2光学系40の光路長と第1光学系30の光路長、及び、両光学系内のレンズのパワーを同一にしてあるため、上述のように第1光学系30側で高速に被検体11表面に合焦することにより、同時に、第2光学系40側についても被検体11表面に合焦することとなる。もちろん、第1光学系30の合焦と、第2光学系40の合焦とが同時に達成できれば両者の光路長を同一とする構成以外の構成としても良い。また、ステージ10の高さを固定とし、かつ、第1光学系30及び第2光学系40の光路長を可変として、まず第1光学系30で被検体11表面に高速で合焦させた後に、第1光学系30における被検体11までの距離の情報に基づいて、第2光学系40の光路長を変化させて被検体11表面に合焦させてその画像をCCD43に取り込むこととしてもよい。
【0020】
本実施形態においては、CCD36及びAFユニット34内のCCD(不図示)として比較的低解像度であるが高速で動作することができるものを用いる一方、CCD43は高解像度のものを用いている。このように、光学系を、合焦のための光学系と、高解像度の画像を取り込むための光学系とに分離することによって、第1光学系30及び第2光学系40の両方について被検体11への合焦を高速に行うことができ、かつ、高解像度のCCD43を用いて精度の高い測定を行うことができる。
【0021】
本発明について上記実施形態を参照しつつ説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、改良の目的または本発明の思想の範囲内において改良または変更が可能である。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、位相差検知方式またはアクティブ方式により合焦可能な第1光学系と、高解像度のCCDを備える第2光学系とを分離、併用することによって、高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる画像取り込み装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 光学顕微鏡
10 ステージ
11 被検体
12 ステージ高さ調整機構
20 光源
30 第1光学系
34 AFユニット(焦点検出手段)
36 43 CCD(受光素子)
40 第2光学系
45 画像取り込み部
Claims (3)
- 被検体を載せるためのステージ、
前記被検体に紫外線を照射するための光源、
前記被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及び
前記ステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、
を有し、
前記第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、前記焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、
前記第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、前記被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有することを特徴とする画像取り込み装置。 - 前記焦点検出手段は、前記第1光学系の前記被検体に対する合焦が完了したときに、合焦完了情報を第2光学系に伝達することを特徴とする請求項1記載の画像取り込み装置。
- 被検体を載せるためのステージ、
前記被検体に紫外線を照射するための光源、
前記被検体との焦点状態を同じにする焦点検出用カメラと画像取り込み用カメラと接続された光学顕微鏡、及び
前記ステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、
を有し、
前記焦点検出用カメラは、画像取り込み用カメラよりも画像の取り込み速度が早く、前記焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、
前記画像取り込み用カメラは、焦点検出用カメラよりも解像度が高い、前記被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有することを特徴とする画像取り込み装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312510A JP2004145195A (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 画像取り込み装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312510A JP2004145195A (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 画像取り込み装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004145195A true JP2004145195A (ja) | 2004-05-20 |
Family
ID=32457384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002312510A Withdrawn JP2004145195A (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 画像取り込み装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004145195A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006145793A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮像システム |
JP2012042564A (ja) * | 2010-08-16 | 2012-03-01 | Sony Corp | 顕微鏡及びゴースト除去方法 |
JP2012523583A (ja) * | 2009-04-13 | 2012-10-04 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 改良型予測オートフォーカスシステム及びその方法 |
-
2002
- 2002-10-28 JP JP2002312510A patent/JP2004145195A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006145793A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮像システム |
US8878923B2 (en) | 2007-08-23 | 2014-11-04 | General Electric Company | System and method for enhanced predictive autofocusing |
JP2012523583A (ja) * | 2009-04-13 | 2012-10-04 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 改良型予測オートフォーカスシステム及びその方法 |
JP2012042564A (ja) * | 2010-08-16 | 2012-03-01 | Sony Corp | 顕微鏡及びゴースト除去方法 |
US9465211B2 (en) | 2010-08-16 | 2016-10-11 | Sony Corporation | Microscope and ghosting elimination method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10488348B2 (en) | Wafer inspection | |
JP2012073285A (ja) | 撮像方法および顕微鏡装置 | |
JPH10326587A (ja) | 電動スキャニングテーブル付き共焦点顕微鏡 | |
JP6729960B2 (ja) | カメラモジュール調整装置及びカメラモジュール調整方法 | |
US7872741B2 (en) | Method and apparatus for scatterfield microscopical measurement | |
KR20220156625A (ko) | 고감도 이미지-기반 반사계측 | |
JP2013113650A (ja) | トレンチ深さ測定装置及びトレンチ深さ測定方法並びに共焦点顕微鏡 | |
WO2016132451A1 (ja) | 顕微鏡 | |
US20090161117A1 (en) | Inclined exposure lithography system | |
JP2008215833A (ja) | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 | |
TWI797390B (zh) | 晶圓檢測裝置及用於檢測晶圓之方法 | |
KR20150114199A (ko) | 자동초점거리 조절 기능을 갖는 렌즈 검사장치 | |
TW201826013A (zh) | 參照圖像確認方法、光罩檢測方法及光罩檢測裝置 | |
JP2004145195A (ja) | 画像取り込み装置 | |
JP2010243815A (ja) | 焦点検出機構及び焦点検出方法 | |
JP2012181341A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2770521B2 (ja) | 焦点位置検出方式 | |
JP2008197283A (ja) | スリット走査共焦点顕微鏡、及び画像取得方法 | |
US20200004103A1 (en) | Imaging ellipsometer system utilizing a tunable acoustic gradient lens | |
JP2008032401A (ja) | 赤外カットフィルタの検査方法及び装置 | |
JP2003307678A (ja) | 複合プリズム光学系を有する撮像装置 | |
KR101127563B1 (ko) | 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 | |
US20080084557A1 (en) | Optical inspection system | |
JP2000241123A (ja) | 微小寸法測定装置 | |
JP2011141135A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060523 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060624 |