JP2004337700A - Method and apparatus for discharging liquid drop - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for discharging a liquid drop by which a high-precision pattern is formed on a substrate with a simple structure, and an apparatus therefor. <P>SOLUTION: In the method of discharging the liquid drop, the liquid drop is discharged on the substrate 5 from a discharge head 3a(3) while relatively moving the discharge head 3a(3) provided with a liquid drop discharge means, and the substrate 5, so that the pattern is formed on the substrate 5. In the liquid drop discharge method, the pattern is formed by making out liquid drop discharge data for discharging the liquid drop based on the dimension of the substrate 5, the dimension of each region in a plurality of the regions to which the substrate 5 is assigned, a mutual distance between the adjacent regions, the array of the pattern, the number of the patterns, the dimension of the pattern, a mutual distance between the adjacent patterns, the quantity of the liquid drop required to form the pattern, the number of times of relative movement action of the discharge head 3a(3) to the substrate 5 required to form the pattern, the number of the discharge heads 3a(3) and the arrangement of the discharge head 3a(3). <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出方法、及び液滴吐出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯型コンピュータなどといった電子機器の表示部として、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置などが用いられている。例えば、液晶装置では、ガラス、プラスチックなどによって形成された基板の表面に、赤、緑、青のドット状の各色のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列またはモザイク配列などといった所定の配列で並べてカラーフィルタを形成している。
【0003】
また、このようなカラーフィルタの形成方法としては、赤、緑、青のそれぞれの色素の液滴を吐出する色素滴噴出ヘッドをスキャンさせながら、ガラス基板上に塗布したアクリル樹脂に液滴を噴出し、固着させる方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平2−173703号公報(第2頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、各液滴は、基板上の前もって定めた位置に固着させる必要があるので、大面積の基板上に多数のカラーフィルタを形成する場合には、基板の位置を精度良く調整する機構が必要であった。特に、基板上に形成するパターンが微細なカラーフィルタや、複雑な形状を有する回路などである場合には、高精度の整機構を設けなければならない。さらに、基板の位置を調整する機構の駆動に時間がかかる場合には、1枚の基板当たりのタクトタイムが長くなることがある。
【0006】
本発明は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、精度の高いパターンを基板上に形成できる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
即ち、本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出手段を備える吐出ヘッドと基板とを相対移動させながら、吐出ヘッドが液滴を基板に吐出して、当該基板上にパターンを形成する液滴吐出方法であって、基板の寸法と、当該基板を複数の領域に割り当てられた各領域の寸法と、隣接する領域の相互間隔と、パターンの配列と、当該パターンの寸法と、隣接するパターンの相互間隔と、パターンを形成するために必要な液滴量と、パターンを形成するために必要な吐出ヘッドと基板との相対移動動作の回数と、吐出ヘッドの数量と、当該吐出ヘッドの配置と、に基づいて、液滴の吐出を行うための液滴吐出データを作成し、当該液滴吐出データに応じて液滴吐出手段を駆動させることによりパターンを形成することを特徴とする。
【0008】
ここで、「液滴吐出手段」とは、圧電素子等に供給された所定の電圧波形に応じて吐出ヘッド内の容積を変化させて、これに応じて押圧された液滴を吐出させる機能を有するものである。なお、当該液滴吐出手段としては、圧電素子等を用いた電気機械変換体を限定するものではなく、例えば、エネルギ発生素子として電気熱変換体や、帯電制御型及び加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式等であってもよい。
また、「液滴吐出データ」とは、上記の電圧波形を液滴吐出手段に供給するためのデータであり、即ち、液滴吐出手段による液滴の吐出を制御するためのデータである。なお、当該液滴吐出データには、吐出ヘッドと基板とを相対移動させるためのデータを含んでおり、即ち、基板上の液滴の吐出位置を決定するためのデータでもある。また、当該液滴吐出データのデータ形式は、「0」と「1」からなる時系列データであって、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)に記憶されているものである。
また、「パターン」とは、基板上に液滴として吐出可能な材料が所定の位置に吐出されて形成されたものであって、例えば、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)からなるRGBのカラーフィルタが有する画素パターンや、例えばラビリンス構造を有するコイルやアンテナ等のインダクタンス、コンデンサ等の容量素子からなるキャパシタンス、レジスタンスを有する回路パターン、又は半導体を有するTFT(Thin Film Transistor)等のスイッチング素子、スイッチング素子に接続された画素電極等を有するパターン、又は局所的に吐出する必要がある液晶材料や配向膜材料等、を意味する。ここでいう、スイッチング素子とは、液体材料として吐出可能な材料によって形成されたものを意味する。
また、「基板」とは、上記の液滴が吐出されることによってパターンが形成される液滴吐出対象物である。その材料としては、種種のものが採用され、透明性を有する場合には例えばガラス等の基板、透明性が必要ない場合には例えば金属基板等が採用される。また、当該基板の寸法は限定するものではないが、本発明では、特に1mを超えるような大型基板を意味する。
また、「領域」とは、所謂チップと呼ばれるものであり、最終的に基板を領域毎に切り出して、例えば液晶装置等の一部品となるものである。また、領域の相互間隔とは、ピッチを意味する。
また、「相対移動動作の回数」とは、上記の液滴の吐出のために、吐出ヘッドと基板とを相対移動する回数であって、パス数を意味する。
本発明によれば、予めROMやRAM等に記憶された液滴吐出データに基づいて吐出ヘッドから基板上の所定の位置に吐出することにより、パターンを形成することが可能となる。
【0009】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、パターンの形状に応じて、液滴の吐出位置がXY格子によって規定されたビットマップデータを作成し、当該ビットマップデータを変換することにより液滴吐出データを作成することを特徴とする。
本発明によれば、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータを用いることにより、上記の液滴の吐出で形成するパターンをビットマップデータとして予め作成することができる。また、このように作成されたビットマップデータを変換することにより液滴吐出データが作成され、当該液滴吐出データに基づいて基板上にパターンを形成することが可能となる。
【0010】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、パターンの形状に応じて、複数のベクトルデータの組み合わせによって規定されたCADデータを作成し、当該CADデータをビットマップデータに変換することによりビットマップデータを作成することを特徴とする。
本発明によれば、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータを用いることにより、上記の液滴の吐出で形成するパターンをCADデータとして予め作成することができる。また、このように作成されたCADデータを変換することによりビットマップデータが作成され、当該ビットマップデータに基づいて液滴吐出データを作成し、当該液滴吐出データに基づいて基板上にパターンを形成することが可能となる。
【0011】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、CADデータのうち、液滴の吐出に必要なCADデータと、基板の寸法と、液滴を吐出するための吐出分解能とに基づいて、ビットマップデータを作成することを特徴とする。
ここで、液滴の吐出に必要なCADデータとは、CADデータのうち液滴の吐出を行う必要がない部分のデータを取り除いて、抽出された必要な部分のCADデータを意味する。
また、吐出分解能とは、吐出位置の細かさを意味するものである。例えば、吐出分解能が高い場合には単位面積に対して複数の液滴を密に吐出し、吐出分解能が低い場合には単位面積に対して複数の液滴を疎に吐出する。
本発明によれば、吐出される液滴の疎密を所望に設定した状態で、液滴の吐出に必要なCADデータを変換し、ビットマップデータを作成することができる。
【0012】
また、本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出データを作成する作成手段と、当該液滴吐出データを液滴吐出手段に転送する転送手段とを具備し、液滴吐出データを転送手段を介して液滴吐出手段に転送し、吐出ヘッドが液滴を基板に吐出することを特徴とする。
本発明によれば、作成手段によって作成された上記の液滴吐出データを転送手段によって液滴吐出手段に転送することが可能となる。
【0013】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、作成手段がパターンを形成するための全ての液滴吐出データを作成した後に、転送手段が当該全ての液滴吐出データを液滴吐出手段に転送することを特徴とする。
本発明によれば、作成手段によって作成された全ての液滴吐出データが一度に液滴吐出手段に転送されるので、吐出ヘッドは当該液滴吐出データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。
【0014】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、液滴吐出データを一時的に記憶する第1の記憶手段を更に具備し、作成手段が液滴吐出データを分割的に転送手段に転送するための分割データを作成し、第1の記憶手段が当該分割データを記憶した後に、転送手段が第1の記憶手段に記憶された分割データを液滴吐出手段に転送することを特徴とする。
本発明によれば、作成手段によって液滴吐出データが分割されて作成された分割データが第1の記憶手段に記憶された後に、当該分割データが転送手段によって液滴吐出手段に転送され、吐出ヘッドから液滴が吐出される。更に、その後に別の分割データが第1の記憶手段に記憶された後に、当該分割データが転送手段によって液滴吐出手段に転送され、吐出ヘッドから液滴が吐出される。
従って、第1の記憶手段が一時的に分割データを記憶し、順次分割データが液滴吐出手段に転送されるので、吐出ヘッドは当該分割データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。ここで、全ての液滴吐出データを一度に液滴吐出手段に転送する必要がない。
【0015】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、液滴吐出データを一時的に記憶する、第1の記憶手段とは異なる第2の記憶手段を具備し、作成手段が液滴吐出データを分割的に転送手段に転送するための第1の分割データ及び第2の分割データを作成し、第1の記憶手段と第2の記憶手段のうち選択された第1の記憶手段が第1の分割データを記憶し、転送手段が当該第1の分割データを液滴吐出手段に転送している間に、第2の記憶手段が第2の分割データを記憶することを特徴とする。
本発明によれば、第1の分割データの液滴吐出手段への転送と、第2の分割データの第2の記憶手段への記憶とが、同時に行われるので、当該第2の分割データを作成手段内に滞らせることなく第2の記憶手段に記憶することが可能となる。
従って、第1の記憶手段と第2の記憶手段とを備えることで、第1の分割データと第2の分割データを連続的に液滴吐出手段に転送することが可能となる。
【0016】
また、本発明は先に記載の液滴吐出方法であり、転送手段は、第1の記憶手段に記憶された第1の分割データを液滴吐出手段に転送した後に、第2の記憶手段に記憶された第2の分割データを、連続して液滴吐出手段に転送することを特徴とする。
本発明によれば、第1の分割データを液滴吐出手段に転送終了した状態において、第2の分割データが第2の記憶手段に記憶されているので、転送手段は第1の分割データに引き続いて第2の分割データを液滴吐出手段に連続的に転送することが可能となる。
従って、第1の記憶手段と第2の記憶手段とを備えることで、第1の分割データと第2の分割データを連続的に液滴吐出手段に転送することが可能となる。
【0017】
また、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出手段を備える吐出ヘッドと基板とを相対移動させながら、吐出ヘッドが液滴を基板に吐出して、当該基板上にパターンを形成する液滴吐出装置であって、基板の寸法と、当該基板を複数の領域に割り当てられた各領域の寸法と、隣接する領域の相互間隔と、パターンの配列と、当該パターンの寸法と、隣接するパターンの相互間隔と、を設定する第1の入力手段と、パターンを形成するために必要な液滴量と、パターンを形成するために必要な吐出ヘッドと基板との相対移動動作の回数と、吐出ヘッドの数量と、当該吐出ヘッドの配置と、を設定する第2の入力手段と、第1の入力手段と第2の入力手段とに基づいて液滴の吐出を行うための液滴吐出データを作成する作成手段と、を具備し、当該液滴吐出データに応じて液滴吐出手段を駆動させることによりパターンを形成することを特徴とする。
本発明によれば、第1の入力手段と第2の入力手段に設定されたデータに基づいて作成手段が液滴吐出データを作成する。当該液滴吐出データはROMやRAM等に記憶されており、これに基づいて吐出ヘッドから基板上の所定の位置に吐出することにより、パターンを形成することが可能となる。
【0018】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、液滴の吐出位置がXY格子によって規定されたビットマップデータを作成するビットマップデータ作成手段を更に具備し、作成手段はビットマップデータに基づいて、液滴吐出データを作成することを特徴とする。
本発明によれば、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータをビットマップデータ作成手段として用いることにより、上記の液滴の吐出で形成するパターンをビットマップデータとして予め作成することができる。また、このように作成されたビットマップデータを変換することにより液滴吐出データが作成され、当該液滴吐出データに基づいて基板上にパターンを形成することが可能となる。
【0019】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、複数のベクトルデータに組み合わせによって規定されたCADデータを作成するCADデータ作成手段を更に具備し、ビットマップデータ作成手段はCADデータに基づいて、ビットマップデータを作成することを特徴とする。
本発明によれば、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータをCADデータ作成手段として用いることにより、上記の液滴の吐出で形成するパターンをCADデータとして予め作成することができる。また、このように作成されたCADデータを変換することによりビットマップデータが作成され、当該ビットマップデータに基づいて液滴吐出データを作成し、当該液滴吐出データに基づいて基板上にパターンを形成することが可能となる。
【0020】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、ビットマップデータ作成手段は、液滴の吐出に必要なCADデータと、基板の寸法と、液滴を吐出するための吐出分解能とに基づいて、ビットマップデータを作成することを特徴とする。
本発明によれば、吐出される液滴の疎密を所望に設定した状態で、液滴の吐出に必要なCADデータを変換し、ビットマップデータを作成することができる。
【0021】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、液滴吐出データを作成する作成手段と、当該液滴吐出データを液滴吐出手段に転送する転送手段と、を具備し、液滴吐出データを転送手段を介して液滴吐出手段に転送し、吐出ヘッドが液滴を基板に吐出することを特徴とする。
本発明によれば、作成手段によって作成された上記の液滴吐出データを転送手段によって液滴吐出手段に転送することが可能となる。
【0022】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、転送手段は作成手段によって作成された全ての液滴吐出データを液滴吐出手段に転送することを特徴とする。本発明によれば、作成手段によって作成された全ての液滴吐出データが一度に液滴吐出手段に転送されるので、吐出ヘッドは当該液滴吐出データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。
【0023】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、液滴吐出データを一時的に記憶する第1の記憶手段を更に具備し、当該第1の記憶手段は作成手段によって液滴吐出データが分割された分割データを記憶することを特徴とする。
本発明によれば、作成手段によって液滴吐出データが分割されて作成された分割データが第1の記憶手段に記憶された後に、当該分割データが転送手段によって液滴吐出手段に転送され、吐出ヘッドから液滴が吐出される。更に、その後に別の分割データが第1の記憶手段に記憶された後に、当該分割データが転送手段によって液滴吐出手段に転送され、吐出ヘッドから液滴が吐出される。
従って、第1の記憶手段が一時的に分割データを記憶し、順次分割データが液滴吐出手段に転送されるので、吐出ヘッドは当該分割データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。ここで、全ての液滴吐出データを一度に液滴吐出手段に転送する必要がない。
【0024】
また、本発明は先に記載の液滴吐出装置であり、液滴吐出データを一時的に記憶する、第1の記憶手段とは異なる第2の記憶手段を更に具備し、当該第2の記憶手段は、作成手段によって液滴吐出データが分割された分割データを記憶することを特徴とする。
本発明によれば、第1の分割データの液滴吐出手段への転送と、第2の分割データの第2の記憶手段への記憶とが、同時に行われるので、当該第2の分割データを作成手段内に滞らせることなく第2の記憶手段に記憶することが可能となる。また、第1の分割データを液滴吐出手段に転送終了した状態において、第2の分割データが第2の記憶手段に記憶されているので、転送手段は第1の分割データに引き続いて第2の分割データを液滴吐出手段に連続的に転送することが可能となる。
従って、第1の記憶手段と第2の記憶手段とを備えることで、第1の分割データと第2の分割データを連続的に液滴吐出手段に転送することが可能となる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【0026】
図1に示すように液滴吐出装置1は、制御装置2と、吐出ヘッド群3と、ステージ4と、を主な構成要素として備えている。
このような液滴吐出装置1においては、制御装置2が吐出ヘッド群3及びステージ4の動作を制御することによって、ステージ4に載置された基板5に液滴を吐出し、当該基板5上に所定のパターンを形成するものである。
次に、各構成要素について説明する。
なお、以下の説明においては、吐出ヘッド群3の配置方向をX方向とし、また、基板5の搬送方向をY方向とし、また、XY平面内における面内回転方向をθ方向とする。
【0027】
吐出ヘッド群3は、1列に配列した複数の吐出ヘッド3aから構成されており、基台6から立設する支柱7、7間にステージ4を跨ぐようにX方向に架設されたX方向軸8に移動可能に設けられている。当該吐出ヘッド群3を構成する各吐出ヘッド3aには、液滴を吐出するノズルが基板5に向かって多数穿設されている(例えば、180個のノズルが一列に穿設されている。)。
【0028】
当該吐出ヘッド3aは、液滴を貯留するキャビティと、当該キャビティに連通するノズルと、当該キャビティ内に貯留された液状体をノズルから液滴として吐出する液滴吐出手段とを有した構成となっている。ここで、液滴吐出手段とは、圧電素子(ピエゾ素子)を意味しており、吐出ヘッド3aの壁面に設けられている。このように構成された吐出ヘッド3aにおいては、圧電素子に所望の電圧波形を供給することによって、吐出ヘッド3aの壁面が変形し、キャビティ内の容積が変化し、ノズルから所定量の液滴が吐出される。ここで、圧電素子に供給される電圧波形は、後述する液滴吐出データに基づいて生成されるものである。
なお、吐出ヘッド3aの液滴吐出手段としては、上記の圧電素子を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギ発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、更にはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【0029】
また、上記の吐出ヘッド群3は、1列に配列した複数の吐出ヘッド3aから構成されたものであるが、これに限定されるものではない。例えば、各吐出ヘッド3aのノズルの穿設間隔(ピッチ)に対して、X方向に1/2ピッチずらした吐出ヘッド3aを2列配置してもよい。このように吐出ヘッド3aを多数配列した場合には、ノズルの穿設間隔よりも小さい間隔で液滴の吐出が可能となる。
また、吐出ヘッド3aをX方向に対して所定の角度で傾かせて配置してもよい。この場合でも、ノズルの穿設間隔よりも小さい間隔で液滴の吐出が可能となる。
【0030】
ステージ4は、基板5を位置決めして載置する不図示のピンなどを備える載置部4aと、当該載置部4aをXY平面上で面内回転可能に連結されたベース部4bとによって構成されたものである。また、ベース部4bには、エンコーダ4cが設けられている。このエンコーダ4cは、基台6のY方向に沿って設けられたリニアスケール15のスケールを読み取るものであって、これによってY方向のステージ4の位置を検出することが可能となる。
更に、ステージ4は、X方向と直交するように敷設してあるY方向軸9に沿って移動可能に構成されている。ステージ4をY方向に移動させる搬送機構としては、Y方向軸9上に配列した永久磁石10と、ステージ4のベース部4bの下側に固設したプレート11にY方向に沿って、かつ、永久磁石10に近接させて配列した複数のコイル(不図示)とから構成されるリニアモータがあげられる。
【0031】
基板5は、本実施形態でパターンが形成される対象物である。材料としてはガラス等の透明基板が用いられるが、透明性を要求しない場合には金属板等を採用してもよい。また、当該基板5のサイズは、縦横がそれぞれ1mを超えるものである。
また、基板5上に形成されるパターンとしては、RGB色を有するカラーフィルタによって形成される画素パターンや、TFT回路を形成する場合の金属配線等が挙げられる。
【0032】
制御装置2は、上述の液滴吐出装置1の各構成要素に電気的に接続されたものであり、CPU(Central Processing Unit)、ROM、RAM、入出力用のインターフェイス、発振回路等がバス接続された所謂コンピュータである。このような制御装置2は、予め入力されたプログラムに応じて液滴吐出装置1を統括して制御するようになっている。
【0033】
次に、図2を参照して制御装置2の詳細な構成について説明する。
図2は、制御装置2の機能を説明するためのブロック図である。
図2に示すように、制御装置2は、液滴吐出データ設定値入力部(第1の入力手段)20と、吐出ヘッド設定値入力部(第2の入力手段)22と、CADデータ操作部(CADデータ作成手段)24と、ビットマップデータ作成部(ビットマップデータ作成手段)26と、ビットマップ処理部28と、液滴吐出データ作成部(作成手段)30と、液滴吐出データ転送部(転送手段)32と、スイッチ群34と、ヘッド駆動部38と、ヘッド駆動制御部40と、ヘッド位置検出部42と、液滴吐出タイミング制御部44と、を有している。
【0034】
ここで、液滴吐出データ設定値入力部20は、基板5の寸法と、基板5を複数のチップ(領域)として切り出すためのチップの寸法と、隣接するチップのピッチ(相互間隔)と、画素(パターン)の配列と、画素の個数と、画素の寸法(画素の縦、横のサイズ)と、隣接する画素のピッチ(相互間隔)と、を設定する機能を有している。
また、吐出ヘッド設定値入力部22は、画素を形成するために必要な液滴量と、画素を形成するために必要な吐出ヘッド群3と基板5とのパス数(相対移動動作の回数)と、使用する上記の吐出ヘッド群3の吐出ヘッド3aの個数、及び吐出ヘッド3aの配置を設定する機能を有している。
【0035】
また、CADデータ操作部24は、基板に形成すべきパターンの設計図となるCADデータを生成する機能を有し、図形情報(ベクトルデータ、図形の属性等のデータ)を入力するための入力手段と、図形処理機能を有するワークステーション等から構成されている。
また、ビットマップデータ作成部26は、CADデータから要求される分解能のビットマップデータに変換する機能を有している。
また、ビットマップ処理部28は、ビットマップデータ作成部26により作成されたビットマップデータを吐出ヘッドの個数、配置、あるいは液滴の基板への着弾径を考慮した回路パターンの細線化の要求に応じて変更する処理を行う。
また、液滴吐出データ作成部30は、所望のパターンサイズとなるように液滴が着弾した際の着弾径を考慮し、液滴吐出データ(バイナリの時系列データ)を作成するものである。ここで、当該液滴吐出データは、吐出ヘッド群3の各ノズルに対応して設けられた各液滴吐出手段の数に対応して設けられた各液滴吐出手段の数に対応するドット数の記録データを含んでいる。
【0036】
また、液滴吐出データ転送部32は、液滴吐出データ作成部30から出力される液滴吐出データを吐出ヘッド群3の液滴吐出手段に転送する機能を有する。
また、スイッチ群34は、液滴吐出データ転送部32と吐出ヘッド群3との間に設けられ、吐出ヘッド群3に含まれる複数の各駆動部に1対1に対応して接続され、液滴吐出データ転送部32から転送される記録データによりオン、オフ状態に設定される複数のスイッチから構成されている。
また、ヘッド駆動部38は、吐出ヘッド群3と一体化しており、例えば、リニアモータであり、吐出ヘッド群3を基板5の搬送方向と直交する方向に移動させる。
また、ヘッド駆動制御部40は、ヘッド駆動部38を図示してないシステムの上位コントローラの指示に基づいてヘッド駆動部38を駆動制御する。
また、ヘッド位置検出部42は、基板5が固定されるステージ4の位置の変位量、即ち、基板5上における吐出ヘッド群3の相対位置を検出する機能を有するものである。当該ヘッド位置検出部は、上記のエンコーダ4cに相当するものである。
また、液滴吐出タイミング制御部44は、ヘッド位置検出部42の検出出力に基づくタイミングで複数の駆動部の各々に駆動信号を供給する。
【0037】
次に、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作(液滴吐出方法)について説明する。
図3及び図4は基板5に画素を形成する場合のフローチャート図である。本実施形態では、例えば、画素として液晶パネルのカラーフィルタを想定している。
【0038】
まず、液滴吐出対象となる基板5の寸法、基板5から切り出すチップのチップ寸法、チップのピッチを決定し、液滴吐出データ設定値入力部20に入力する(ステップ100)。
次に、チップ上の画素配列(例えば、カラーフィルタの配列がストライプ型、デルタ型、モザイク型のいずれの配列であるか)、画素の個数、画素サイズ(画素の縦、横のサイズ)、画素ピッチを決定し、液滴吐出データ設定値入力部20に入力する(ステップ101)。
次に、画素への液滴吐出量、画素への液滴吐出回数(パス数P)、使用する吐出ヘッド3aの個数及び配置を決定し、吐出ヘッド設定値入力部22に入力する(ステップ102)。
【0039】
ここで、ステップ102について図5を参照して詳述する。
図5(a)は基板5上に形成された画素パターンRGBと、画素パターンRGBを形成するための吐出ヘッド群3を示す平面図、図5(b)は画素パターンRGBの要部Aを拡大視したピクセルPXを示す拡大図である。
図5(a)において、画素パターンRGBを形成するための有効吐出幅をW1、吐出ヘッド群3の幅をW2とすると、必要最小限のパス数P1は、W1/W2で求まる。ここで、パス数P1の値は小数点を切り上げて整数とする。
更に、液滴吐出量をq1、ピクセルPXを形成するために必要な要求体積をq2、液滴吐出量q1内の材料の含有率をrとすると、最低吐出発数n1はq2/(q1*r)で求まる。更に、ピクセルPXの長さをl、当該ピクセルPX内に吐出される液滴の着弾直径をdとすると、ピクセルPX内に一連に吐出してよい最大吐出発数n2は、l/dよりも以下であればよい。従って、最終的にパス数PはP1*(n1/n2)で求まる。
【0040】
次に、再び図3に戻り、液滴吐出装置の動作について説明する。
液滴吐出データ作成部30では、液滴吐出データ設定値入力部20及び吐出ヘッド設定値入力部22より入力されたデータに基づいて液滴吐出データを作成する(ステップ103)。
次に、ステージ4の搬送機構と、ヘッド駆動制御部40とによって基板5を搬送し、位置決めを行う(ステップ104)。
【0041】
次に、全ての液滴吐出データを液滴吐出データ転送部32に転送する(ステップ105)。
液滴吐出データ転送部32では、まず、最初のパスの液滴吐出データを、スイッチ群34を介して吐出ヘッド群3に転送する(ステップ106)。次に、吐出ヘッド群3のノズルに対向する位置まで搬送された基板5に対して吐出ヘッド群3より液滴が吐出される(ステップ107)。
【0042】
次に、最初のパスについて液滴吐出が終了したか否かが判定される(ステップ108)。ステップ108の判定が否定された場合にはステップ107に戻り、既述した処理を繰り返す。また、ステップ108の判定が肯定された場合には、次のパスの液滴吐出データを、スイッチ群34を介して吐出ヘッド群3に転送する(ステップ109)。次に、既述したように基板5に対して吐出ヘッド群3より液滴が吐出される(ステップ110)。
【0043】
次に、全てのパスについて液滴吐出が終了したか否かが判定される(ステップ111)。ステップ111の判定が否定された場合にはステップ109に戻り、既述した処理を繰り返す。また、ステップ111の判定が肯定された場合には、基板5は、ステージ4の搬送機構により他の工程に移送するように搬出される(ステップ112)。
【0044】
上述したように、液滴吐出装置1においては、予めROMやRAM等に記憶された液滴吐出データに基づいて吐出ヘッド群3から基板5上の所定の位置に吐出することにより、画素等のパターンを形成することが可能となる。
また、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータを用いることにより、上記の液滴の吐出で形成する画素等のパターンをビットマップデータとして予め作成することができる。また、このように作成されたビットマップデータを変換することにより液滴吐出データが作成され、当該液滴吐出データに基づいて基板5上にパターンを形成することが可能となる。
また、液滴吐出データ作成部30によって作成された上記の液滴吐出データを液滴吐出データ転送部32とによって液滴吐出手段に転送することが可能となる。また、液滴吐出データ作成部30によって作成された全ての液滴吐出データが一度に液滴吐出手段に転送されるので、吐出ヘッド群3は当該液滴吐出データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。
【0045】
次に、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作の他の例(液滴吐出方法)を図6に示す。
図6は、基板に回路パターンを形成する場合のフローチャート図である。回路パターンを形成するために、例えば、配線パターンを形成する場合には金属を含む液滴を使用するものとする。
【0046】
まず、液滴吐出対象となる基板のサイズ、液滴吐出分解能を決定する(ステップ200)。
次に、CADデータ操作部24により、回路パターンのCADデータから液滴吐出に必要な部分を抜き出し、ビットマップデータ作成部26に出力する(ステップ201)。
次に、ビットマップデータ作成部26は、CADデータから要求される分解能のビットマップデータに変換し、液滴吐出データ作成部30に出力する(ステップ202)。
【0047】
次に、ビットマップデータ処理部28は、液滴吐出の仕方に応じてビットマップデータを処理する(ステップ203)。即ち、吐出ヘッド群3のノズルピッチと画素ピッチが合わない場合、要求される液滴量が1度に打てない場合、あるいは1度に打つと液滴が固まってしまい目的とするパターンが得られない場合等を考慮してビットマップデータを変更する処理を行う。
【0048】
次に、使用する吐出ヘッド群3のヘッド個数、配置を決定し、吐出ヘッド設定値入力部22により液滴吐出データ作成部に入力する(ステップ204)。
次に、液滴吐出データ作成部30では、ビットマップデータ処理部28及び吐出ヘッド設定値入力部22より入力されたデータに基づいて液滴吐出データを作成する(ステップ205)。この後の動作は、図3及び図4におけるステップ104〜112と同一であるので、重複する説明は省略する。
【0049】
上述したように、液滴吐出装置1においては、ディスプレイ等の表示部とキーボード等の入力部を備えたコンピュータを用いることにより、上記の液滴の吐出で形成するパターンをCADデータとして予め作成することができる。
また、このように作成されたCADデータを変換することによりビットマップデータが作成され、当該ビットマップデータに基づいて液滴吐出データを作成し、当該液滴吐出データに基づいて基板5上にパターンを形成することが可能となる。
また、吐出される液滴の疎密を所望に設定した状態で、液滴の吐出に必要なCADデータを変換し、ビットマップデータを作成することができる。
【0050】
次に、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作の他の例(液滴吐出方法)を図7に示す。
図7(a)は制御装置2の機能を説明するためのブロック図、図7(b)は基板5に画素を形成する場合のフローチャート図である。
ここでは、先に記載した実施形態と同様のブロック図及びフローチャート図を省略し、異なる部分のみを示している。
【0051】
図7(a)に示すように、制御装置2は図2に示した液滴吐出データ作成部30と液滴吐出データ転送部32との間に、バッファ部(第1の記憶手段)50を備えた構成となっている。
バッファ部50とは、液滴吐出データ転送部32が液滴吐出データを液滴吐出手段に転送する前に、液滴吐出データが複数に分割された分割データを一時的に記憶するものである。
【0052】
次に、上記バッファ部50を備えた場合の動作について説明する。
まず、図3のステップ103に示したように液滴吐出データを作成する。当該ステップ103より以前の動作は、上記と同様であるので説明を省略する。
次に、液滴吐出データを容易に液滴吐出データ転送部32に転送するためのデータ量にするために、液滴吐出データ作成部30が液滴吐出データを分割することにより分割データを作成する(ステップ300)。
次に、図3のステップ104に示したようにヘッド駆動制御部40とによって基板5を搬送し、位置決めを行う。
次に、分割データをバッファ部50に記憶する(ステップ301)。
次に、分割データを液滴吐出データ転送部32に転送する(ステップ302)。ここで、バッファ部50は、液滴吐出データ転送部32が全ての分割データを液滴吐出手段に転送するまで、当該分割データを記憶する。
次に、液滴吐出データ転送部32では、まず、最初のパスの分割データをスイッチ群34を介して吐出ヘッド群3に転送する(ステップ303)。この後の動作は、図3及び図4の液滴吐出データに代わって分割データが処理される。その処理過程はステップ104〜112と同一であるので、重複する説明は省略する。
【0053】
上述したように、バッファ部50を備えた構成においては、バッファ部50が一時的に分割データを記憶し、順次分割データが吐出ヘッド群3(液滴吐出手段)に転送されるので、吐出ヘッド群3は当該分割データに基づいて液滴を吐出することが可能となる。ここで、全ての液滴吐出データを一度に液滴吐出手段に転送する必要がない。
【0054】
次に、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作の他の例(液滴吐出方法)を図8に示す。
図8(a)は制御装置2の機能を説明するためのブロック図、図8(b)は基板5に画素を形成する場合のフローチャート図である。
ここでは、先に記載した実施形態と同様のブロック図及びフローチャート図を省略し、異なる部分のみを示している。
【0055】
図8(a)に示すように、制御装置2は図2に示した液滴吐出データ作成部30と液滴吐出データ転送部32との間に、第1のバッファ部(第1の記憶手段)51と、第2のバッファ部(第2の記憶手段)52を備えた構成となっている。第1のバッファ部及び第2のバッファ部とは、液滴吐出データ転送部32が液滴吐出データを液滴吐出手段に転送する前に、液滴吐出データが複数に分割された分割データを一時的に記憶するものである。
【0056】
次に、上記バッファ部50を備えた場合の動作について説明する。
まず、図3のステップ103に示したように液滴吐出データを作成する。当該ステップ103より以前の動作は、上記と同様であるので説明を省略する。
次に、液滴吐出データを容易に液滴吐出データ転送部32に転送するためのデータ量にするために、液滴吐出データ作成部30が液滴吐出データを分割することにより第1の分割データと第2の分割データを作成する(ステップ400)。次に、図3のステップ104に示したようにヘッド駆動制御部40とによって基板5を搬送し、位置決めを行う。
次に、第1の分割データを第1のバッファ部51に記憶する(ステップ401)。
【0057】
次に、第1の分割データを液滴吐出データ転送部32に転送する(ステップ302)。ここで、第1のバッファ部51は、液滴吐出データ転送部32が全ての第1の分割データを液滴吐出手段に転送するまで、当該第1の分割データを記憶する。
次に、液滴吐出データ転送部32では、まず、最初のパスの第1の分割データをスイッチ群34を介して吐出ヘッド群3に転送すると同時に、第2の分割データを第2のバッファ部52に記憶する。(ステップ403)。ここで、第1の分割データが転送されると、第2の記憶データは、上記同様に液滴吐出データ転送部32によって吐出ヘッド群3に転送される。
その処理過程はステップ104〜112と同一であるので、重複する説明は省略する。
【0058】
上述したように、第1のバッファ部51及び第2のバッファ部52を備えた構成においては、第1の分割データの吐出ヘッド群3(液滴吐出手段)への転送と、第2の分割データの第2のバッファ部52への記憶とが、同時に行われるので、当該第2の分割データを液滴吐出データ作成部30内に滞らせることなく第2のバッファ部52に記憶することが可能となる。
また、第1の分割データを吐出ヘッド群3に転送終了した状態において、第2の分割データが第2のバッファ部52に記憶されているので、液滴吐出データ転送部32は第1の分割データに引き続いて第2の分割データを吐出ヘッド群3に連続的に転送することが可能となる。
従って、第1の記憶手段と第2の記憶手段とを備えることで、第1の分割データと第2の分割データを連続的に吐出ヘッド群3に転送することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図2】本発明の液滴吐出装置の制御装置の機能を説明するブロック図。
【図3】本発明の液滴吐出装置で画素を形成するフローチャート図。
【図4】図3に続くフローチャート図。
【図5】画素パターンと吐出ヘッド群とを示す平面図と、画素の拡大図。
【図6】本発明の液滴吐出装置で回路を形成するフローチャート図。
【図7】制御装置の他の機能を説明するブロック図、及びフローチャート図。
【図8】制御装置の他の機能を説明するブロック図、及びフローチャート図。
【符号の説明】
1…液滴吐出装置、3…吐出ヘッド群、3a…吐出ヘッド、5…基板、RGB…画素パターン(パターン)、30…液滴吐出データ作成部(作成手段)、32…液滴吐出データ転送部(転送手段)、50、51…第1のバッファ部(第1の記憶手段)、52…第2のバッファ部(第2の記憶手段)、20…液滴吐出データ設定値入力部(第1の入力手段)、22…吐出ヘッド設定値入力部(第2の入力手段)、24…CADデータ操作部(CADデータ作成手段)、26…ビットマップデータ作成部(ビットマップデータ作成手段)
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge method and a droplet discharge device.
[0002]
[Prior art]
In recent years, liquid crystal devices, electroluminescence devices, and the like have been used as display portions of electronic devices such as mobile phones and portable computers. For example, in a liquid crystal device, red, green, and blue dot-shaped filter elements are arranged in a predetermined arrangement such as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, or mosaic arrangement on the surface of a substrate formed of glass, plastic, or the like. A color filter is formed.
[0003]
In addition, as a method of forming such a color filter, droplets are ejected onto an acrylic resin coated on a glass substrate while scanning a pigment droplet ejection head that ejects pigment droplets of red, green, and blue. And the method of making it adhere is known (for example, refer to patent documents 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-2-173703 (second page, Fig. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, since each droplet needs to be fixed at a predetermined position on the substrate, a mechanism for accurately adjusting the position of the substrate is necessary when forming a large number of color filters on a large-area substrate. Met. In particular, when the pattern formed on the substrate is a fine color filter, a circuit having a complicated shape, or the like, a high-precision adjusting mechanism must be provided. Further, when it takes time to drive the mechanism for adjusting the position of the substrate, the tact time per substrate may be increased.
[0006]
The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a droplet discharge method and a droplet discharge device that can form a highly accurate pattern on a substrate with a simple configuration. .
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention employs the following means.
That is, according to the droplet discharge method of the present invention, a droplet in which a discharge head discharges a droplet onto a substrate while relatively moving the discharge head including the droplet discharge means and the substrate, and forms a pattern on the substrate. A discharge method, the dimensions of a substrate, the dimensions of each area assigned to a plurality of areas of the substrate, the mutual spacing between adjacent areas, the arrangement of patterns, the dimensions of the patterns, and the adjacent patterns The mutual distance, the amount of liquid droplets necessary for forming the pattern, the number of relative movement operations of the discharge head and the substrate necessary for forming the pattern, the number of discharge heads, the arrangement of the discharge heads, Based on the above, droplet discharge data for discharging droplets is created, and a pattern is formed by driving the droplet discharge means in accordance with the droplet discharge data.
[0008]
Here, the “droplet discharge means” has a function of changing the volume in the discharge head in accordance with a predetermined voltage waveform supplied to the piezoelectric element or the like and discharging a pressed droplet in accordance with this. It is what you have. The droplet discharge means is not limited to an electromechanical converter using a piezoelectric element or the like. For example, an electrothermal converter as an energy generating element, a continuous method such as a charge control type or a pressure vibration type is used. Alternatively, an electrostatic suction method or the like may be used.
The “droplet discharge data” is data for supplying the voltage waveform to the droplet discharge means, that is, data for controlling the discharge of the droplets by the droplet discharge means. The droplet discharge data includes data for moving the discharge head and the substrate relative to each other, that is, data for determining a droplet discharge position on the substrate. The data format of the droplet ejection data is time-series data composed of “0” and “1”, and is stored in a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory).
A “pattern” is formed by ejecting a material that can be ejected as droplets onto a substrate at a predetermined position. For example, R (red), G (green), and B (blue). Pixel pattern of RGB color filter composed of, for example, inductance such as coil or antenna having labyrinth structure, capacitance composed of capacitive element such as capacitor, circuit pattern having resistance, TFT (Thin Film Transistor) having semiconductor, etc. This means a switching element, a pattern having a pixel electrode or the like connected to the switching element, or a liquid crystal material or alignment film material that needs to be locally discharged. As used herein, the switching element means an element formed of a material that can be discharged as a liquid material.
The “substrate” is a droplet discharge target on which a pattern is formed by discharging the droplets. As the material, various kinds of materials are employed. For example, a substrate such as glass is used when the material has transparency, and a metal substrate or the like is employed when transparency is not necessary. Moreover, although the dimension of the said board | substrate is not limited, in this invention, the large board | substrate especially exceeding 1 m is meant.
In addition, the “region” is a so-called chip, and finally a substrate is cut out for each region to become one component such as a liquid crystal device. Moreover, the mutual space | interval of an area | region means a pitch.
Further, the “number of relative movement operations” is the number of times of relative movement between the ejection head and the substrate in order to eject the droplets, and means the number of passes.
According to the present invention, a pattern can be formed by discharging from a discharge head to a predetermined position on a substrate based on droplet discharge data stored in advance in a ROM, a RAM, or the like.
[0009]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, wherein bitmap data in which droplet discharge positions are defined by an XY grid is generated according to a pattern shape, and the bitmap data is converted. According to the present invention, droplet discharge data is created.
According to the present invention, by using a computer including a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard, the pattern formed by discharging the droplets can be created in advance as bitmap data. Further, by converting the bitmap data thus created, droplet ejection data is created, and a pattern can be formed on the substrate based on the droplet ejection data.
[0010]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, wherein CAD data defined by a combination of a plurality of vector data is created according to a pattern shape, and the CAD data is converted into bitmap data. According to the present invention, bitmap data is created.
According to the present invention, by using a computer including a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard, a pattern formed by the above-described droplet ejection can be created in advance as CAD data. Also, bitmap data is created by converting the CAD data thus created, droplet ejection data is created based on the bitmap data, and a pattern is formed on the substrate based on the droplet ejection data. It becomes possible to form.
[0011]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, which is based on CAD data necessary for droplet discharge, the dimensions of the substrate, and the discharge resolution for discharging the droplet. And generating bitmap data.
Here, the CAD data necessary for the ejection of droplets means the CAD data of the necessary portion extracted by removing the portion of the CAD data that does not need to eject the droplet.
The discharge resolution means the fineness of the discharge position. For example, when the discharge resolution is high, a plurality of droplets are densely discharged per unit area, and when the discharge resolution is low, a plurality of droplets are discharged sparsely per unit area.
According to the present invention, it is possible to convert CAD data necessary for ejecting droplets and create bitmap data in a state where the density of the ejected droplets is set as desired.
[0012]
Further, the droplet discharge method of the present invention includes a creation unit that creates droplet discharge data, and a transfer unit that transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit, and the droplet discharge data is transferred by the transfer unit. And the ejection head ejects the droplets onto the substrate.
According to the present invention, it is possible to transfer the droplet discharge data created by the creation unit to the droplet discharge unit by the transfer unit.
[0013]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, wherein after the creation unit creates all the droplet discharge data for forming a pattern, the transfer unit drops all the droplet discharge data. It transfers to a means, It is characterized by the above-mentioned.
According to the present invention, all the droplet discharge data created by the creation unit is transferred to the droplet discharge unit at a time, so that the ejection head can eject droplets based on the droplet ejection data. It becomes.
[0014]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, further comprising first storage means for temporarily storing droplet discharge data, wherein the creating means divides the droplet discharge data into transfer means in a divided manner. The division data for transfer is created, and after the first storage means stores the division data, the transfer means transfers the division data stored in the first storage means to the droplet discharge means. To do.
According to the present invention, after the divided data created by dividing the droplet ejection data by the creating unit is stored in the first storage unit, the divided data is transferred to the droplet ejecting unit by the transfer unit and ejected. Droplets are ejected from the head. Further, after another divided data is stored in the first storage unit, the divided data is transferred to the droplet discharge unit by the transfer unit, and the droplet is discharged from the discharge head.
Accordingly, the first storage means temporarily stores the divided data, and the divided data is sequentially transferred to the droplet discharge means, so that the discharge head can discharge droplets based on the divided data. . Here, it is not necessary to transfer all the droplet ejection data to the droplet ejection means at a time.
[0015]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, comprising a second storage unit different from the first storage unit for temporarily storing droplet discharge data, wherein the creation unit is a droplet discharge unit. First divided data and second divided data for transferring data to the transfer means in a divided manner are created, and the first storage means selected from the first storage means and the second storage means is the first storage means. One division data is stored, and the second storage unit stores the second division data while the transfer unit transfers the first division data to the droplet discharge unit.
According to the present invention, since the transfer of the first divided data to the droplet discharge means and the storage of the second divided data in the second storage means are performed simultaneously, the second divided data is stored in the second divided data. It is possible to store in the second storage means without stagnation in the creation means.
Therefore, by providing the first storage unit and the second storage unit, it is possible to continuously transfer the first divided data and the second divided data to the droplet discharge unit.
[0016]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge method, wherein the transfer unit transfers the first divided data stored in the first storage unit to the droplet discharge unit, and then transfers it to the second storage unit. The stored second divided data is continuously transferred to the droplet discharge means.
According to the present invention, since the second divided data is stored in the second storage means in the state where the transfer of the first divided data to the droplet discharge means is completed, the transfer means converts the first divided data into the first divided data. Subsequently, the second divided data can be continuously transferred to the droplet discharge means.
Therefore, by providing the first storage unit and the second storage unit, it is possible to continuously transfer the first divided data and the second divided data to the droplet discharge unit.
[0017]
Further, the droplet discharge device of the present invention is a droplet in which a discharge head discharges a droplet onto a substrate while relatively moving the discharge head provided with droplet discharge means and the substrate, and forms a pattern on the substrate. An ejection device, the dimensions of a substrate, the dimensions of each area assigned to a plurality of areas of the substrate, the mutual spacing between adjacent areas, the arrangement of patterns, the dimensions of the patterns, and the adjacent patterns A first input means for setting a mutual interval; a droplet amount necessary for forming a pattern; a number of relative movement operations between the ejection head and the substrate necessary for forming the pattern; The second input means for setting the quantity of the ink and the arrangement of the discharge head, and droplet discharge data for discharging the droplet based on the first input means and the second input means are created Creating means, and the liquid And forming a pattern by driving the droplet discharge means in response to the ejection data.
According to the present invention, the creating unit creates the droplet discharge data based on the data set in the first input unit and the second input unit. The droplet discharge data is stored in a ROM, RAM, or the like, and a pattern can be formed by discharging the droplet from the discharge head to a predetermined position on the substrate.
[0018]
The present invention is the above-described droplet discharge device, further comprising bitmap data generation means for generating bitmap data in which the droplet discharge position is defined by an XY grid, wherein the generation means is bitmap data. Based on the above, droplet discharge data is created.
According to the present invention, by using a computer having a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard as bitmap data creation means, the pattern formed by discharging the droplets is created in advance as bitmap data. be able to. Further, by converting the bitmap data thus created, droplet ejection data is created, and a pattern can be formed on the substrate based on the droplet ejection data.
[0019]
The present invention is the above-described liquid droplet ejection apparatus, further comprising CAD data creation means for creating CAD data defined by a combination of a plurality of vector data, wherein the bitmap data creation means is based on the CAD data. And creating bitmap data.
According to the present invention, by using a computer having a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard as CAD data generating means, the pattern formed by discharging the droplets can be generated in advance as CAD data. it can. Also, bitmap data is created by converting the CAD data thus created, droplet ejection data is created based on the bitmap data, and a pattern is formed on the substrate based on the droplet ejection data. It becomes possible to form.
[0020]
Further, the present invention is the above-described liquid droplet ejection apparatus, wherein the bitmap data creation means includes CAD data necessary for liquid droplet ejection, substrate dimensions, and ejection resolution for ejecting liquid droplets. Based on this, bit map data is created.
According to the present invention, it is possible to convert CAD data necessary for ejecting droplets and create bitmap data in a state where the density of the ejected droplets is set as desired.
[0021]
In addition, the present invention is the above-described droplet discharge device, comprising: a creation unit that creates droplet discharge data; and a transfer unit that transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit. The ejection data is transferred to the droplet ejection unit via the transfer unit, and the ejection head ejects the droplet onto the substrate.
According to the present invention, it is possible to transfer the droplet discharge data created by the creation unit to the droplet discharge unit by the transfer unit.
[0022]
Further, the present invention is the above-described droplet discharge device, wherein the transfer unit transfers all droplet discharge data created by the creation unit to the droplet discharge unit. According to the present invention, all the droplet discharge data created by the creation unit is transferred to the droplet discharge unit at a time, so that the ejection head can eject droplets based on the droplet ejection data. It becomes.
[0023]
The present invention is the above-described liquid droplet ejection apparatus, further comprising first storage means for temporarily storing liquid droplet ejection data, wherein the first storage means is the liquid droplet ejection data by the creating means. Is stored as divided data.
According to the present invention, after the divided data created by dividing the droplet ejection data by the creating unit is stored in the first storage unit, the divided data is transferred to the droplet ejecting unit by the transfer unit and ejected. Droplets are ejected from the head. Further, after another divided data is stored in the first storage unit, the divided data is transferred to the droplet discharge unit by the transfer unit, and the droplet is discharged from the discharge head.
Accordingly, the first storage means temporarily stores the divided data, and the divided data is sequentially transferred to the droplet discharge means, so that the discharge head can discharge droplets based on the divided data. . Here, it is not necessary to transfer all the droplet ejection data to the droplet ejection means at a time.
[0024]
The present invention is the above-described droplet discharge device, further comprising a second storage unit that temporarily stores droplet discharge data, different from the first storage unit, and the second storage unit. The means stores the divided data obtained by dividing the droplet discharge data by the creating means.
According to the present invention, since the transfer of the first divided data to the droplet discharge means and the storage of the second divided data in the second storage means are performed simultaneously, the second divided data is stored in the second divided data. It is possible to store in the second storage means without stagnation in the creation means. In addition, since the second divided data is stored in the second storage means in the state where the transfer of the first divided data to the droplet discharge means is completed, the transfer means continues to the second divided data after the first divided data. It is possible to continuously transfer the divided data to the droplet discharge means.
Therefore, by providing the first storage unit and the second storage unit, it is possible to continuously transfer the first divided data and the second divided data to the droplet discharge unit.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention will be described in detail below.
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
[0026]
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a control device 2, a discharge head group 3, and a stage 4 as main components.
In such a droplet discharge device 1, the control device 2 controls the operations of the discharge head group 3 and the stage 4 to discharge droplets onto the substrate 5 placed on the stage 4. A predetermined pattern is formed.
Next, each component will be described.
In the following description, the arrangement direction of the ejection head group 3 is the X direction, the transport direction of the substrate 5 is the Y direction, and the in-plane rotation direction in the XY plane is the θ direction.
[0027]
The ejection head group 3 is composed of a plurality of ejection heads 3 a arranged in a row, and an X-direction axis erected in the X direction so as to straddle the stage 4 between the columns 7, 7 standing from the base 6. 8 is movably provided. In each of the ejection heads 3a constituting the ejection head group 3, a large number of nozzles for ejecting liquid droplets are formed toward the substrate 5 (for example, 180 nozzles are formed in a line). .
[0028]
The ejection head 3a includes a cavity that stores droplets, a nozzle that communicates with the cavity, and a droplet ejection unit that ejects the liquid material stored in the cavity as droplets from the nozzle. ing. Here, the droplet discharge means means a piezoelectric element (piezo element), and is provided on the wall surface of the discharge head 3a. In the ejection head 3a configured as described above, by supplying a desired voltage waveform to the piezoelectric element, the wall surface of the ejection head 3a is deformed, the volume in the cavity is changed, and a predetermined amount of liquid droplets are discharged from the nozzle. Discharged. Here, the voltage waveform supplied to the piezoelectric element is generated based on droplet discharge data described later.
The droplet discharge means of the discharge head 3a may be other than the electromechanical converter using the piezoelectric element, for example, a method using an electrothermal converter as an energy generating element, a charge control type, a pressurizing type It is also possible to adopt a continuous method such as a vibration type, an electrostatic suction method, or a method in which an electromagnetic wave such as a laser is irradiated to generate heat and the liquid material is discharged by the action of this heat generation.
[0029]
Further, the ejection head group 3 is composed of a plurality of ejection heads 3a arranged in one row, but is not limited to this. For example, two rows of ejection heads 3a that are shifted by 1/2 pitch in the X direction with respect to the nozzle drilling interval (pitch) of each ejection head 3a may be arranged. When a large number of ejection heads 3a are arranged in this way, it is possible to eject droplets at an interval smaller than the nozzle drilling interval.
Further, the ejection head 3a may be disposed at a predetermined angle with respect to the X direction. Even in this case, it is possible to discharge droplets at an interval smaller than the nozzle drilling interval.
[0030]
The stage 4 includes a mounting portion 4a including a pin (not shown) for positioning and mounting the substrate 5, and a base portion 4b connected to the mounting portion 4a so as to be capable of in-plane rotation on the XY plane. It has been done. The base portion 4b is provided with an encoder 4c. The encoder 4c reads the scale of the linear scale 15 provided along the Y direction of the base 6, and can detect the position of the stage 4 in the Y direction.
Furthermore, the stage 4 is configured to be movable along a Y-direction axis 9 laid so as to be orthogonal to the X direction. As the transport mechanism for moving the stage 4 in the Y direction, the permanent magnet 10 arranged on the Y direction axis 9 and the plate 11 fixed below the base portion 4b of the stage 4 along the Y direction, and There is a linear motor composed of a plurality of coils (not shown) arranged close to the permanent magnet 10.
[0031]
The substrate 5 is an object on which a pattern is formed in the present embodiment. As a material, a transparent substrate such as glass is used. However, when transparency is not required, a metal plate or the like may be employed. The size of the substrate 5 is greater than 1 m in length and width.
Examples of the pattern formed on the substrate 5 include a pixel pattern formed by a color filter having RGB colors, a metal wiring in the case of forming a TFT circuit, and the like.
[0032]
The control device 2 is electrically connected to each component of the droplet discharge device 1 described above, and a CPU (Central Processing Unit), a ROM, a RAM, an input / output interface, an oscillation circuit, etc. are connected by a bus. So-called computer. Such a control device 2 controls the droplet discharge device 1 in accordance with a program inputted in advance.
[0033]
Next, a detailed configuration of the control device 2 will be described with reference to FIG.
FIG. 2 is a block diagram for explaining the function of the control device 2.
As shown in FIG. 2, the control device 2 includes a droplet discharge data set value input unit (first input unit) 20, an ejection head set value input unit (second input unit) 22, and a CAD data operation unit. (CAD data creation means) 24, bitmap data creation section (bitmap data creation means) 26, bitmap processing section 28, droplet ejection data creation section (creation means) 30, and droplet ejection data transfer section (Transfer means) 32, a switch group 34, a head drive unit 38, a head drive control unit 40, a head position detection unit 42, and a droplet discharge timing control unit 44.
[0034]
Here, the droplet discharge data set value input unit 20 includes the dimensions of the substrate 5, the dimensions of the chip for cutting the substrate 5 as a plurality of chips (regions), the pitch (interval) between adjacent chips, and pixels It has a function of setting an array of (pattern), the number of pixels, pixel dimensions (pixel vertical and horizontal sizes), and pitches (intervals) between adjacent pixels.
In addition, the ejection head set value input unit 22 has a droplet amount necessary for forming a pixel and the number of passes between the ejection head group 3 and the substrate 5 necessary for forming the pixel (the number of relative movement operations). And the function of setting the number of ejection heads 3a of the ejection head group 3 used and the arrangement of the ejection heads 3a.
[0035]
The CAD data operation unit 24 has a function of generating CAD data to be a design drawing of a pattern to be formed on the substrate, and is an input unit for inputting graphic information (data such as vector data and graphic attributes). And a workstation having a graphic processing function.
The bitmap data creation unit 26 has a function of converting CAD data into bitmap data having a required resolution.
In addition, the bitmap processing unit 28 uses the bitmap data created by the bitmap data creation unit 26 as a request for thinning the circuit pattern in consideration of the number and arrangement of the ejection heads or the landing diameter of the droplets on the substrate. Perform the change process accordingly.
In addition, the droplet discharge data creation unit 30 creates droplet discharge data (binary time-series data) in consideration of the landing diameter when the droplets land so as to have a desired pattern size. Here, the droplet discharge data includes the number of dots corresponding to the number of each droplet discharge means provided corresponding to the number of each droplet discharge means provided corresponding to each nozzle of the discharge head group 3. Contains recorded data.
[0036]
The droplet discharge data transfer unit 32 has a function of transferring the droplet discharge data output from the droplet discharge data creation unit 30 to the droplet discharge means of the discharge head group 3.
The switch group 34 is provided between the droplet ejection data transfer unit 32 and the ejection head group 3, and is connected to each of the plurality of driving units included in the ejection head group 3 in a one-to-one correspondence. It is composed of a plurality of switches that are set to an on / off state by recording data transferred from the droplet discharge data transfer unit 32.
The head driving unit 38 is integrated with the ejection head group 3 and is, for example, a linear motor, and moves the ejection head group 3 in a direction orthogonal to the conveyance direction of the substrate 5.
The head drive control unit 40 controls the drive of the head drive unit 38 based on an instruction from a host controller of the system (not shown).
The head position detection unit 42 has a function of detecting the amount of displacement of the position of the stage 4 to which the substrate 5 is fixed, that is, the relative position of the ejection head group 3 on the substrate 5. The head position detector corresponds to the encoder 4c.
The droplet discharge timing control unit 44 supplies a drive signal to each of the plurality of drive units at a timing based on the detection output of the head position detection unit 42.
[0037]
Next, the operation (droplet discharge method) of the droplet discharge apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.
3 and 4 are flowcharts for forming pixels on the substrate 5. In the present embodiment, for example, a color filter of a liquid crystal panel is assumed as a pixel.
[0038]
First, the dimensions of the substrate 5 as a droplet discharge target, the chip size of the chip cut out from the substrate 5, and the chip pitch are determined and input to the droplet discharge data setting value input unit 20 (step 100).
Next, the pixel arrangement on the chip (for example, whether the color filter arrangement is a stripe type, a delta type, or a mosaic type), the number of pixels, the pixel size (vertical size, horizontal size), and pixels The pitch is determined and input to the droplet discharge data set value input unit 20 (step 101).
Next, the droplet discharge amount to the pixel, the number of droplet discharges to the pixel (pass number P), the number and arrangement of the discharge heads 3a to be used are determined and input to the discharge head set value input unit 22 (step 102). ).
[0039]
Here, step 102 will be described in detail with reference to FIG.
5A is a plan view showing the pixel pattern RGB formed on the substrate 5 and the ejection head group 3 for forming the pixel pattern RGB, and FIG. 5B is an enlarged view of the main part A of the pixel pattern RGB. It is the enlarged view which shows the seen pixel PX.
In FIG. 5A, if the effective ejection width for forming the pixel pattern RGB is W1, and the width of the ejection head group 3 is W2, the minimum required number of passes P1 is obtained by W1 / W2. Here, the value of the pass number P1 is rounded up to an integer.
Further, assuming that the droplet discharge amount is q1, the required volume necessary for forming the pixel PX is q2, and the content of the material in the droplet discharge amount q1 is r, the minimum discharge number n1 is q2 / (q1 * r). Furthermore, if the length of the pixel PX is l and the landing diameter of the droplets discharged into the pixel PX is d, the maximum number of ejections n2 that can be discharged in series into the pixel PX is greater than 1 / d. The following is sufficient. Therefore, the path number P is finally obtained by P1 * (n1 / n2).
[0040]
Next, returning to FIG. 3 again, the operation of the droplet discharge device will be described.
The droplet discharge data creation unit 30 creates droplet discharge data based on the data input from the droplet discharge data set value input unit 20 and the discharge head set value input unit 22 (step 103).
Next, the substrate 5 is transported and positioned by the transport mechanism of the stage 4 and the head drive control unit 40 (step 104).
[0041]
Next, all the droplet discharge data is transferred to the droplet discharge data transfer unit 32 (step 105).
The droplet discharge data transfer unit 32 first transfers the droplet discharge data of the first pass to the discharge head group 3 via the switch group 34 (step 106). Next, droplets are ejected from the ejection head group 3 onto the substrate 5 conveyed to a position facing the nozzles of the ejection head group 3 (step 107).
[0042]
Next, it is determined whether or not the droplet discharge has been completed for the first pass (step 108). If the determination in step 108 is negative, the process returns to step 107 and the above-described processing is repeated. If the determination in step 108 is affirmative, the droplet ejection data for the next pass is transferred to the ejection head group 3 via the switch group 34 (step 109). Next, as described above, droplets are ejected from the ejection head group 3 onto the substrate 5 (step 110).
[0043]
Next, it is determined whether or not the droplet discharge has been completed for all passes (step 111). If the determination in step 111 is negative, the process returns to step 109 and the above-described processing is repeated. If the determination in step 111 is affirmative, the substrate 5 is unloaded so as to be transferred to another process by the transport mechanism of the stage 4 (step 112).
[0044]
As described above, the droplet discharge device 1 discharges pixels, etc., by discharging from the discharge head group 3 to a predetermined position on the substrate 5 based on droplet discharge data stored in advance in a ROM, RAM, or the like. A pattern can be formed.
In addition, by using a computer including a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard, a pattern of pixels and the like formed by the above-described droplet ejection can be created in advance as bitmap data. Further, by converting the bitmap data thus created, droplet ejection data is created, and a pattern can be formed on the substrate 5 based on the droplet ejection data.
Further, the above-described droplet discharge data created by the droplet discharge data creation unit 30 can be transferred to the droplet discharge means by the droplet discharge data transfer unit 32. In addition, since all the droplet discharge data created by the droplet discharge data creation unit 30 is transferred to the droplet discharge means at once, the discharge head group 3 discharges droplets based on the droplet discharge data. It becomes possible.
[0045]
Next, FIG. 6 shows another example (droplet discharge method) of the operation of the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a flowchart when a circuit pattern is formed on a substrate. In order to form a circuit pattern, for example, when forming a wiring pattern, a droplet containing a metal is used.
[0046]
First, the size of the substrate as a droplet discharge target and the droplet discharge resolution are determined (step 200).
Next, the CAD data operation unit 24 extracts a portion necessary for droplet discharge from the CAD data of the circuit pattern and outputs it to the bitmap data creation unit 26 (step 201).
Next, the bitmap data creation unit 26 converts the CAD data into bitmap data having the required resolution and outputs the bitmap data to the droplet discharge data creation unit 30 (step 202).
[0047]
Next, the bitmap data processing unit 28 processes the bitmap data in accordance with the manner of droplet ejection (step 203). That is, when the nozzle pitch of the ejection head group 3 does not match the pixel pitch, when the required amount of droplets cannot be hit at once, or when hit at once, the droplets solidify and the desired pattern is obtained. A process of changing the bitmap data is performed in consideration of a case where the data cannot be obtained.
[0048]
Next, the number and arrangement of the heads of the ejection head group 3 to be used are determined and input to the droplet ejection data creation unit by the ejection head set value input unit 22 (step 204).
Next, the droplet ejection data creation unit 30 creates droplet ejection data based on the data input from the bitmap data processing unit 28 and the ejection head set value input unit 22 (step 205). The subsequent operation is the same as steps 104 to 112 in FIG. 3 and FIG.
[0049]
As described above, in the droplet discharge device 1, by using a computer including a display unit such as a display and an input unit such as a keyboard, a pattern formed by the droplet discharge is created in advance as CAD data. be able to.
Also, bitmap data is created by converting the CAD data thus created, droplet ejection data is created based on the bitmap data, and a pattern is formed on the substrate 5 based on the droplet ejection data. Can be formed.
In addition, it is possible to create bitmap data by converting CAD data necessary for ejecting droplets in a state where the density of the ejected droplets is set as desired.
[0050]
Next, FIG. 7 shows another example (droplet discharge method) of the operation of the droplet discharge apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a block diagram for explaining the function of the control device 2, and FIG. 7B is a flowchart for forming pixels on the substrate 5.
Here, the same block diagram and flowchart diagram as those of the above-described embodiment are omitted, and only different portions are shown.
[0051]
As shown in FIG. 7A, the control device 2 includes a buffer unit (first storage means) 50 between the droplet discharge data creation unit 30 and the droplet discharge data transfer unit 32 shown in FIG. It has a configuration with.
The buffer unit 50 temporarily stores divided data obtained by dividing the droplet discharge data into a plurality of parts before the droplet discharge data transfer unit 32 transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit. .
[0052]
Next, the operation when the buffer unit 50 is provided will be described.
First, droplet discharge data is created as shown in step 103 of FIG. Since the operation before Step 103 is the same as described above, the description thereof is omitted.
Next, in order to make the amount of data for easily transferring the droplet discharge data to the droplet discharge data transfer unit 32, the droplet discharge data generation unit 30 generates the divided data by dividing the droplet discharge data. (Step 300).
Next, as shown in step 104 of FIG. 3, the substrate 5 is transported and positioned by the head drive control unit 40.
Next, the divided data is stored in the buffer unit 50 (step 301).
Next, the divided data is transferred to the droplet discharge data transfer unit 32 (step 302). Here, the buffer unit 50 stores the divided data until the droplet discharge data transfer unit 32 transfers all the divided data to the droplet discharge means.
Next, the droplet discharge data transfer unit 32 first transfers the divided data of the first pass to the discharge head group 3 via the switch group 34 (step 303). In the subsequent operation, the divided data is processed in place of the droplet discharge data shown in FIGS. Since the process is the same as that in steps 104 to 112, a duplicate description is omitted.
[0053]
As described above, in the configuration including the buffer unit 50, the buffer unit 50 temporarily stores the divided data, and the divided data is sequentially transferred to the ejection head group 3 (droplet ejection unit). Group 3 can eject droplets based on the division data. Here, it is not necessary to transfer all the droplet ejection data to the droplet ejection means at a time.
[0054]
Next, FIG. 8 shows another example (droplet discharge method) of the operation of the droplet discharge apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 8A is a block diagram for explaining the function of the control device 2, and FIG. 8B is a flowchart for forming pixels on the substrate 5.
Here, the same block diagram and flowchart diagram as those of the above-described embodiment are omitted, and only different portions are shown.
[0055]
As shown in FIG. 8A, the control device 2 includes a first buffer unit (first storage means) between the droplet discharge data creation unit 30 and the droplet discharge data transfer unit 32 shown in FIG. ) 51 and a second buffer unit (second storage means) 52. The first buffer unit and the second buffer unit are divided data obtained by dividing the droplet discharge data into a plurality of pieces before the droplet discharge data transfer unit 32 transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit. Temporary storage.
[0056]
Next, the operation when the buffer unit 50 is provided will be described.
First, droplet discharge data is created as shown in step 103 of FIG. Since the operation before Step 103 is the same as described above, the description thereof is omitted.
Next, in order to make the amount of data for easily transferring the droplet discharge data to the droplet discharge data transfer unit 32, the droplet discharge data creating unit 30 divides the droplet discharge data into the first division. Data and second divided data are created (step 400). Next, as shown in step 104 of FIG. 3, the substrate 5 is transported and positioned by the head drive control unit 40.
Next, the first divided data is stored in the first buffer unit 51 (step 401).
[0057]
Next, the first divided data is transferred to the droplet discharge data transfer unit 32 (step 302). Here, the first buffer unit 51 stores the first divided data until the droplet discharge data transfer unit 32 transfers all the first divided data to the droplet discharge means.
Next, the droplet discharge data transfer unit 32 first transfers the first divided data of the first pass to the discharge head group 3 via the switch group 34 and simultaneously transfers the second divided data to the second buffer unit. 52. (Step 403). Here, when the first divided data is transferred, the second storage data is transferred to the discharge head group 3 by the droplet discharge data transfer unit 32 as described above.
Since the process is the same as that in steps 104 to 112, a duplicate description is omitted.
[0058]
As described above, in the configuration including the first buffer unit 51 and the second buffer unit 52, the transfer of the first divided data to the discharge head group 3 (droplet discharge unit) and the second division are performed. Since the data is stored in the second buffer unit 52 at the same time, the second divided data can be stored in the second buffer unit 52 without being delayed in the droplet discharge data creating unit 30. It becomes possible.
In addition, since the second divided data is stored in the second buffer unit 52 in the state where the transfer of the first divided data to the ejection head group 3 is completed, the droplet ejection data transfer unit 32 has the first divided data. Subsequent to the data, the second divided data can be continuously transferred to the ejection head group 3.
Therefore, by providing the first storage unit and the second storage unit, the first divided data and the second divided data can be continuously transferred to the ejection head group 3.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram illustrating functions of a control device for a droplet discharge device according to the present invention.
FIG. 3 is a flow chart for forming pixels with the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 4 is a flowchart following FIG. 3;
FIG. 5 is a plan view showing a pixel pattern and an ejection head group, and an enlarged view of a pixel.
FIG. 6 is a flowchart for forming a circuit in the droplet discharge device of the present invention.
7A and 7B are a block diagram and a flowchart illustrating other functions of the control device.
8A and 8B are a block diagram and a flowchart illustrating other functions of the control device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 3 ... Discharge head group, 3a ... Discharge head, 5 ... Substrate, RGB ... Pixel pattern (pattern), 30 ... Droplet discharge data creation part (creation means), 32 ... Droplet discharge data transfer Part (transfer means), 50, 51 ... first buffer part (first storage means), 52 ... second buffer part (second storage means), 20 ... droplet ejection data set value input part (first 1..., 22... Discharge head set value input unit (second input unit), 24... CAD data operation unit (CAD data creation unit), 26... Bitmap data creation unit (bitmap data creation unit)

Claims (17)

液滴吐出手段を備える吐出ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記吐出ヘッドが液滴を前記基板に吐出して、当該基板上にパターンを形成する液滴吐出方法であって、
前記基板の寸法と、当該基板を複数の領域に割り当てられた各領域の寸法と、隣接する前記領域の相互間隔と、前記パターンの配列と、当該パターンの個数と、当該パターンの寸法と、隣接する前記パターンの相互間隔と、
前記パターンを形成するために必要な液滴量と、前記パターンを形成するために必要な前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動動作の回数と、前記吐出ヘッドの数量と、当該吐出ヘッドの配置と、
に基づいて、前記液滴の吐出を行うための液滴吐出データを作成し、当該液滴吐出データに応じて前記液滴吐出手段を駆動させることにより前記パターンを形成することを特徴とする液滴吐出方法。
A droplet discharge method in which the discharge head discharges droplets onto the substrate while relatively moving the discharge head provided with droplet discharge means and the substrate, and forms a pattern on the substrate,
The size of the substrate, the size of each region assigned to a plurality of regions of the substrate, the spacing between adjacent regions, the arrangement of the patterns, the number of the patterns, the size of the patterns, and the adjacent The mutual spacing of the patterns to be
The amount of liquid droplets necessary for forming the pattern, the number of relative movement operations of the discharge head and the substrate required for forming the pattern, the number of the discharge heads, and the arrangement of the discharge heads When,
A liquid droplet discharge data for discharging the liquid droplets based on the liquid droplet discharge data, and driving the liquid droplet discharge means in accordance with the liquid droplet discharge data to form the pattern. Drop ejection method.
前記パターンの形状に応じて、前記液滴の吐出位置がXY格子によって規定されたビットマップデータを作成し、当該ビットマップデータを変換することにより前記液滴吐出データを作成することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出方法。According to the shape of the pattern, bitmap data in which the droplet ejection position is defined by an XY grid is created, and the droplet ejection data is created by converting the bitmap data. The droplet discharge method according to claim 1. 前記パターンの形状に応じて、複数のベクトルデータの組み合わせによって規定されたCAD(computer aided design)データを作成し、当該CADデータを前記ビットマップデータに変換することにより前記ビットマップデータを作成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液滴吐出方法。According to the pattern shape, CAD (computer aided design) data defined by a combination of a plurality of vector data is created, and the bitmap data is created by converting the CAD data into the bitmap data. The droplet discharge method according to claim 1, wherein: 前記CADデータのうち、前記液滴の吐出に必要なCADデータと、前記基板の寸法と、前記液滴を吐出するための吐出分解能とに基づいて、前記ビットマップデータを作成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の液滴吐出方法。Of the CAD data, the bitmap data is created based on CAD data necessary for discharging the droplets, dimensions of the substrate, and discharge resolution for discharging the droplets. The droplet discharge method according to any one of claims 1 to 3. 前記液滴吐出データを作成する作成手段と、当該液滴吐出データを前記液滴吐出手段に転送する転送手段と、を具備し、
前記液滴吐出データを前記転送手段を介して前記液滴吐出手段に転送し、前記吐出ヘッドが液滴を前記基板に吐出することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出方法。
A creation unit that creates the droplet discharge data; and a transfer unit that transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit.
The droplet discharge method according to claim 1, wherein the droplet discharge data is transferred to the droplet discharge unit via the transfer unit, and the discharge head discharges droplets onto the substrate.
前記作成手段が前記パターンを形成するための全ての液滴吐出データを作成した後に、前記転送手段が当該全ての液滴吐出データを前記液滴吐出手段に転送することを特徴とする請求項1又は請求項5に記載の液滴吐出方法。2. The transfer unit transfers all of the droplet discharge data to the droplet discharge unit after the generation unit generates all the droplet discharge data for forming the pattern. Or the droplet discharge method of Claim 5. 前記液滴吐出データを一時的に記憶する第1の記憶手段を更に具備し、
前記作成手段が前記液滴吐出データを分割的に前記転送手段に転送するための分割データを作成し、
前記第1の記憶手段が当該分割データを記憶した後に、
前記転送手段が前記第1の記憶手段に記憶された前記分割データを前記液滴吐出手段に転送することを特徴とする請求項1又は請求項5に記載の液滴吐出方法。
A first storage means for temporarily storing the droplet discharge data;
The creation means creates divided data for transferring the droplet discharge data to the transfer means in a divided manner,
After the first storage means stores the divided data,
6. The droplet discharge method according to claim 1, wherein the transfer unit transfers the divided data stored in the first storage unit to the droplet discharge unit.
前記液滴吐出データを一時的に記憶する、前記第1の記憶手段とは異なる第2の記憶手段を具備し、
前記作成手段が前記液滴吐出データを分割的に前記転送手段に転送するための第1の分割データ及び第2の分割データを作成し、
前記第1の記憶手段と前記第2の記憶手段のうち選択された前記第1の記憶手段が前記第1の分割データを記憶し、
前記転送手段が当該第1の分割データを前記液滴吐出手段に転送している間に、前記第2の記憶手段が前記第2の分割データを記憶することを特徴とする請求項1、請求項5、請求項7に記載の液滴吐出方法。
A second storage means different from the first storage means for temporarily storing the droplet discharge data;
The creation means creates first divided data and second divided data for transferring the droplet discharge data to the transfer means in a divided manner;
The first storage means selected from the first storage means and the second storage means stores the first divided data,
2. The first storage unit stores the second divided data while the transfer unit transfers the first divided data to the droplet discharge unit. The droplet discharge method according to claim 5 or 7.
前記転送手段は、前記第1の記憶手段に記憶された前記第1の分割データを前記液滴吐出手段に転送した後に、前記第2の記憶手段に記憶された第2の分割データを、連続して前記液滴吐出手段に転送することを特徴とする請求項1、請求項5、請求項7、請求項8に記載の液滴吐出方法。The transfer means continuously transfers the second divided data stored in the second storage means after transferring the first divided data stored in the first storage means to the droplet discharge means. 9. The droplet discharging method according to claim 1, wherein the droplet discharging method is transferred to the droplet discharging means. 液滴吐出手段を備える吐出ヘッドと基板とを相対移動させながら、前記吐出ヘッドが液滴を前記基板に吐出して、当該基板上にパターンを形成する液滴吐出装置であって、
前記基板の寸法と、当該基板を複数の領域に割り当てられた各領域の寸法と、隣接する前記領域の相互間隔と、前記パターンの配列と、当該パターンの個数と、当該パターンの寸法と、隣接する前記パターンの相互間隔と、を設定する第1の入力手段と、
前記パターンを形成するために必要な液滴量と、前記パターンを形成するために必要な前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動動作の回数と、前記吐出ヘッドの数量と、当該吐出ヘッドの配置と、を設定する第2の入力手段と、
前記第1の入力手段と前記第2の入力手段とに基づいて前記液滴の吐出を行うための液滴吐出データを作成する作成手段と、
を具備し、
当該液滴吐出データに応じて前記液滴吐出手段を駆動させることにより前記パターンを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
A droplet discharge apparatus in which the discharge head discharges droplets onto the substrate while relatively moving the discharge head provided with droplet discharge means and the substrate, and forms a pattern on the substrate,
The size of the substrate, the size of each region assigned to a plurality of regions of the substrate, the spacing between adjacent regions, the arrangement of the patterns, the number of the patterns, the size of the patterns, and the adjacent First input means for setting the mutual spacing of the patterns to be
The amount of liquid droplets necessary for forming the pattern, the number of relative movement operations of the discharge head and the substrate required for forming the pattern, the number of the discharge heads, and the arrangement of the discharge heads And a second input means for setting
Creating means for creating droplet discharge data for discharging the droplet based on the first input means and the second input means;
Comprising
A droplet discharge apparatus, wherein the pattern is formed by driving the droplet discharge unit according to the droplet discharge data.
前記液滴の吐出位置がXY格子によって規定されたビットマップデータを作成するビットマップデータ作成手段を更に具備し、
前記作成手段は、前記ビットマップデータに基づいて、前記液滴吐出データを作成することを特徴とする請求項10に記載の液滴吐出装置。
Further comprising bitmap data creating means for creating bitmap data in which the droplet ejection position is defined by an XY grid;
The liquid droplet ejection apparatus according to claim 10, wherein the creation unit creates the liquid droplet ejection data based on the bitmap data.
複数のベクトルデータに組み合わせによって規定されたCADデータを作成するCADデータ作成手段を更に具備し、
前記ビットマップデータ作成手段は、前記CADデータに基づいて、前記ビットマップデータを作成することを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の液滴吐出装置。
CAD data creation means for creating CAD data defined by a combination of a plurality of vector data is further provided,
The droplet ejection apparatus according to claim 10 or 11, wherein the bitmap data creation unit creates the bitmap data based on the CAD data.
前記ビットマップデータ作成手段は、前記液滴の吐出に必要なCADデータと、前記基板の寸法と、前記液滴を吐出するための吐出分解能とに基づいて、前記ビットマップデータを作成することを特徴とする請求項10から請求項12のいずれかに記載の液滴吐出装置。The bitmap data creation means creates the bitmap data based on CAD data necessary for ejecting the droplets, dimensions of the substrate, and ejection resolution for ejecting the droplets. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 10, wherein the liquid droplet ejection apparatus is characterized in that: 前記液滴吐出データを作成する作成手段と、当該液滴吐出データを前記液滴吐出手段に転送する転送手段と、を具備し、
前記液滴吐出データを前記転送手段を介して前記液滴吐出手段に転送し、前記吐出ヘッドが液滴を前記基板に吐出することを特徴とする請求項10又は請求項14に記載の液滴吐出装置。
A creation unit that creates the droplet discharge data; and a transfer unit that transfers the droplet discharge data to the droplet discharge unit.
15. The droplet according to claim 10, wherein the droplet discharge data is transferred to the droplet discharge unit via the transfer unit, and the discharge head discharges the droplet onto the substrate. Discharge device.
前記転送手段は、前記作成手段によって作成された全ての液滴吐出データを前記液滴吐出手段に転送することを特徴とする請求項14に記載の液滴吐出装置。15. The droplet discharge apparatus according to claim 14, wherein the transfer unit transfers all droplet discharge data created by the creation unit to the droplet discharge unit. 前記液滴吐出データを一時的に記憶する第1の記憶手段を更に具備し、
当該第1の記憶手段は、前記作成手段によって前記液滴吐出データが分割された分割データを記憶することを特徴とする請求項10又は請求項14に記載の液滴吐出装置。
A first storage means for temporarily storing the droplet discharge data;
15. The droplet discharge apparatus according to claim 10, wherein the first storage unit stores division data obtained by dividing the droplet discharge data by the creation unit.
前記液滴吐出データを一時的に記憶する、前記第1の記憶手段とは異なる第2の記憶手段を更に具備し、
当該第2の記憶手段は、前記作成手段によって前記液滴吐出データが分割された分割データを記憶することを特徴とする請求項10、請求項14、請求項16に記載の液滴吐出装置。
A second storage means different from the first storage means for temporarily storing the droplet discharge data;
17. The droplet discharge device according to claim 10, wherein the second storage unit stores division data obtained by dividing the droplet discharge data by the creation unit.
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