JP2004337704A - Droplet discharging apparatus - Google Patents

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JP2004337704A
JP2004337704A JP2003135874A JP2003135874A JP2004337704A JP 2004337704 A JP2004337704 A JP 2004337704A JP 2003135874 A JP2003135874 A JP 2003135874A JP 2003135874 A JP2003135874 A JP 2003135874A JP 2004337704 A JP2004337704 A JP 2004337704A
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Japan
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data
pattern
ejection
glass substrate
unit
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JP2003135874A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Okuyama
正幸 奥山
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharging apparatus which can form a pattern at a high speed. <P>SOLUTION: The apparatus has a group 3 of discharge heads with nozzles for discharging droplets to a glass substrate 5 mounted on a stage 4. When the pattern formed on the glass substrate 5 has repeatability, data corresponding to a repeated one period portion is converted into a bitmap format. The converted data are read into a controller 2, and the discharge of the droplets from the discharge heads are controlled on the basis of discharge data prepared from the bitmap data. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークに向かって液滴を吐出して所望のパターンを形成させる液滴吐出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯型コンピュータなどといった電子機器の表示部として、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置などが用いられている。例えば、液晶装置では、ガラス、プラスチックなどによって形成された基板の表面に、赤、緑、青のドット状の各色のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列またはモザイク配列などといった所定の配列で並べてカラーフィルタを形成している。
【0003】
また、このようなカラーフィルタの形成方法としては、赤、緑、青のそれぞれの色素の液滴を噴出する色素滴噴出ヘッドをスキャンさせながら、ガラス基板上に塗布したアクリル樹脂に液滴を噴出し、固着させる方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平2−173703号公報(第2頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、通常、この種の製造方法においては、1枚のガラス基板に同種のパターンを多数形成するような、いわゆる多面取りが行われるが、このような場合には、同じパターンであってもガラス基板1枚分に相当する全てのデータを制御装置に読み込ませている。制御装置に読み込ませるデータは、例えば、一辺が2m程度の大型基板では、パターンの量や形成密度にもよるが、数ギガバイトものデータとなる。このため、従来の方法では、制御装置に大容量のメモリが必要となるし、データの転送時間が長くなるという課題を有している。
本発明は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、メモリの使用量を増大させることなく高速なデータ処理を行えるようにし、ワークが大型基板である場合や、高密度のパターンを形成する場合であっても、高速度でパターンを形成できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決する本発明の請求項1にかかる発明は、液滴を吐出してワーク表面にパターンを複数形成するにあたり、前記パターンについてのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、前記パターンについてのデータとして、格子状に配列したピクセルから構成するデータであって、前記ワークに所定回数だけ繰り返して形成する前記パターンの1周期分に相当する単位データを取得し、この単位データを前もって設定された回数分だけ配列させて前記吐出データを作成する制御装置を有することを特徴とする液滴吐出装置とした。
【0007】
この液滴吐出装置は、ワークに複数形成するパターンが繰り返し性を有する場合に、繰り返しの1周期分に相当するデータを単位データとして取得し、この単位データからワークに形成すべきパターンを復元して、吐出データを作成する。なお、ここでのパターンとは、表示装置に使われるカラーフィルタや、回路など、所定の機能を果たすために作製される単体もしくは集合体をいう。
【0008】
請求項2にかかる発明は、請求項1に記載の液滴吐出装置において、前記単位データは、前記ワークに複数配列して形成する同じパターンのうち、1つの前記パターンのデータであることを特徴とする。
【0009】
この液滴吐出装置は、パターンが繰り返しの単位である場合に、1つのパターンに相当するデータを単位データとして取得し、この単位データからワークに形成すべきパターンを復元して、吐出データを作成する。
【0010】
請求項3にかかる発明は、請求項1に記載の液滴吐出装置において、前記単位データは、前記パターン内に繰り返して形成する構成要素のデータであることを特徴とする。
【0011】
この液滴吐出装置は、パターンを構成する要素が繰り返しの単位である場合に、1つの要素に相当するデータを単位データとして取得し、この単位データからワークに形成すべきパターンを復元して、吐出データを作成する。
【0012】
【発明の実施の形態】
発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図1は液滴吐出装置であるインクジェット装置の構成を示す斜視図である。図2は制御装置のブロック図である。
【0013】
図1に示す本実施形態の液滴吐出装置であるインクジェット装置1は、制御装置2からの指令に応じて吐出ヘッド群3から液滴を吐出し、ステージ4に載置したワークであるガラス基板5上に所定のパターンを形成するもので、吐出ヘッド群3の配置方向と直交する方向にガラス基板5が搬送される構成を有する。なお、以下において、吐出ヘッド群3の配置方向は、液滴を吐出するノズルの配列方向と同一であり、この方向をX方向する。ガラス基板5の搬送方向をY方向とする。XY平面内における面内回転方向をθ方向とする。
【0014】
吐出ヘッド群3は、基台6から立設する支柱7間に、ステージ5を跨ぐようにX方向に平行に架設したX方向軸8に固定してある。この吐出ヘッド群3は、X方向軸8に沿って細長形状を有し、1列に配列した複数の吐出ヘッドから構成してある。吐出ヘッドの配列長さは、ガラス基板5に形成するパターンのX方向の長さ以上である。各吐出ヘッドには、X方向に沿って液滴を吐出するノズルがガラス基板5に向かって多数穿設してある。液滴を吐出する機構としては、吐出させるインクを貯溜するチャンバをノズルごとに設け、チャンバの壁面を構成する圧電素子を電圧制御により変形させて、チャンバの容積を変化させ、連通するノズルから所定の量のインクを液滴として吐出させるものがあげられるが、吐出ヘッドの構成はこれに限定されるものではない。なお、例えば、各吐出ヘッドのノズルの穿設間隔(ピッチ)に対して、必要とされる分解能が半分であった場合には、X方向に1/2ピッチずらした吐出ヘッドを2列配置する。このように吐出ヘッドを多数配列すると、分解能を高めることができる。ここで、分解能とは、ガラス基板5に形成するパターンのサイズの変化量に相当する。つまり、パターンが50μmの線幅と60μmの線幅とからなる場合には、10μmの分解能が必要となる。
【0015】
ガラス基板5を載置するステージ4は、ガラス基板5を位置決めして載置する載置部41を、ベース部42に対して、X方向およびY方向に直線移動、ならびにθ方向に面内回転可能に取り付けてある。また、ベース部42には、Y方向におけるステージ4の位置を検出するためにY軸に沿って基台6に取り付けたリニアスケール15のスケールを読み取るエンコーダ43を取り付けてある。なお、載置部41を直線移動させる移動機構としては、モータと、モータの回転量に応じて進退するプッシャピンとがあげられる。載置部41を面内回転させる回転機構としては、載置部41の中心を軸支する支持ピンと、載置部41の端部をX方向、またはY方向に押圧して載置部41を支持ピン回りに回転させるプッシャピンと、プッシャピンを進退させるアクチュエータとがあげられる。また、支持ピン自体を回転させるモータでも良い。
【0016】
さらに、このステージ4は、X方向に直交するように敷設してあるY方向軸9に沿って移動可能に構成になっている。ステージ4をY方向に移動させる搬送機構としては、Y方向軸9上に配列した永久磁石10と、ステージ4のベース部41の下側に固設したプレート11にY方向に沿って、かつ、永久磁石10に近接させて配列した複数のコイル(不図示)とから構成されるリニアモータがあげられる。
【0017】
制御装置2は、CPU(Central Processing Unit)や、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)や、入出力用のインターフェイス、発振回路などをバス接続した構成を有し、インクジェット装置1を統括して制御する。制御装置2に入力するデータとしては、ガラス基板5に形成するパターンをビットマップ形式などの所定の形式に則って作成したデータ、および、パターンなどの繰り返し情報と、ステージ4の位置情報とがあげられる。制御装置7から出力するデータとしては、ステージ4のコイルの制御信号と、ステージ4の移動機構および回転機構の制御信号と、吐出ヘッド群3の制御信号とがあげられる。吐出ヘッド群3の制御信号としては、発振回路で形成したクロック信号と、ノズルごとに吐出タイミングの制御するデータである吐出データなどがある。
【0018】
また、制御装置2を機能ブロックに分割すると図2のようになる。すなわち、制御装置2は、吐出データの設定値の入力を受け付ける吐出データ設定値入力部22、吐出ヘッド群3の吐出ヘッドの設定値の入力を受け付ける吐出ヘッド設定値入力部23と、ステージ4の回転機構の駆動量を演算する補正演算部24と、吐出データを作成する吐出データ作成部25と、外部の各種機器との入出力を制御する入出力IF(Inter Face)26とを有する。
【0019】
さらに、ガラス基板5にパターンを形成するために制御装置2に取り込まれるデータである吐出データ設定値と、吐出ヘッド設定値と、ビットマップデータと、制御装置2からの出力データである吐出データについて説明する。
吐出データ設定値は、ガラスサイズやパターンの大きさ、パターンの形成ピッチなどの情報である。
吐出ヘッド設定値は、使用するヘッド数、ノズル数、配置について情報である。
【0020】
ビットマップデータは、ガラス基板5に形成するパターンを設計する際に作成するベクトルデータからなるCAD(Computer Aided Design)データを、XY格子に多数のピクセルを配列したデータ構成を有するビットマップ形式に変換したデータであって、繰り返しにより重複するデータを省略して作成した単位データである。
【0021】
例えば、携帯電話のディスプレイなどの表示部に用いられる液晶のカラーフィルタを形成する場合のビットマップデータについて図3を参照して説明する。まず、CAD装置で、同種のカラーフィルタ31がガラス基板5上に配列する形状C1が設計される。このような形状を与えるデータがCADデータに相当する。この形状C1は、同一のカラーフィルタ31が繰り返して配置されているので、1つのカラーフィルタ31を繰り返しの単位とみなすことができる。すなわち、カラーフィルタ31についての情報があれば、形状C1を復元することができる。そこで、制御装置2に読み込ませるビットマップデータは、1つのカラーフィルタ31のビットマップB1に相当するデータとし、単位データと重複する部分は省略する。1枚のガラス基板5から25個のカラーフィルタ31を形成する場合のビットマップデータは、1つのカラーフィルタ31のビットマップイメージのみを有し、そのデータ量は1/25になる。また、この場合の繰り返し情報は、配列の繰り返し数N1=25となる。
【0022】
さらに、カラーフィルタ31は、形状C1において示すように、3つの同じ形状の長方形のフィルタ片R,G,Bから構成されるので、カラーフィルタ31を構成する要素であるフィルタ片R,G,Bも、その繰り返しの1周期分に相当するビットマップからなる単位データにすることができる。この場合のビットマップデータは、1つのフィルタ片R,G,Bとその周囲のデータとからなるビットマップB2に相当するデータで、単位データと重複する残りのフィルタ片R,G、Bのデータは省略する。ビットマップデータのデータ量は、1つのカラーフィルタ31に対しては1/3にすることができるし、例えば、25枚取りのガラス基板5であれば、1/75になる。繰り返し情報は、1つのカラーフィルタ31については、パターン内の繰り返し数N2=3となり、ガラス基板5全体の配列の繰り返し数N1=25となる。
【0023】
また、抵抗や、コイル、フィルタなどの回路素子や、これらの組み合わせからなる回路を形成する場合には、ガラス基板5上に繰り返して形成される回路のうちの1つの回路に相当するビットマップが、1周期分の単位データとなる。さらに、各回路が同じ回路素子や配線の繰り返しを有するものである場合には、回路内の繰り返しの単位に相当するビットマップを単位データとして、その単位データと重複するデータを省略することもできる。
【0024】
一方、吐出ヘッド群3の制御に用いる吐出データは、単位データを、設計時に前もって設定した繰り返し回数、および、配置に基づいて制御装置2内で復元したデータである。図4に、ガラス基板5上に形成するパターンがカラーフィルタ31である場合の吐出データのデータ構成を示。XY格子状に配置した複数のピクセルは、X方向の各ピクセルが吐出ヘッド群3の各ノズルからの液体の吐出のオンまたはオフを示し、Y方向が時間の経過を示す。液体の吐出のオンまたはオフとは、例えば、3列目では、ピクセルp22およびピクセルp23に対応するノズルが液滴を吐出し(オン)、ピクセルp24に対応するノズルは液滴を吐出しない(オフ)ことである。また、Y方向の時間の経過とは、吐出開始のときは、Y=0の列のデータが吐出ヘッド群3の各ノズルの制御信号となることを示し、最初の液滴の吐出後に1ピクセルに相当する所定距離だけステージ4が移動した後には、Y=1の列のデータが吐出ヘッド群3の各ノズルの制御信号となることを示している。さらに、各ピクセルには吐出させるインクについての情報が含まれている。これにより、例えば、フィルタ片Rのピクセルに相当する位置では、赤色の色素を含有するインクを吐出させ、他の色素を含有するインクが吐出されることはない。
【0025】
繰り返し情報であるパターンの配列の繰り返し数N1と、パターン内の繰り返し数N2とは、図示しない入力装置から制御装置2に入力されるようにしても良いし、ビットマップデータのヘッダファイルとして入力しても良い。また、パターンの配列の仕方(例えば、4×4であるか、2×8であるか、など)も繰り返しに関する情報に含めても良い。
【0026】
ここで、本実施形態のガラス基板5について説明する。
ガラス基板5には、上述のように携帯電話のディスプレイなどの表示部に用いられる液晶表示装置などのカラーフィルタ31や、抵抗や、コイル、フィルタなどの他の回路素子や、これらの組み合わせからなる回路を形成することができる。カラーフィルタ31であれば、赤色用のフィルタ片Rと,緑色用のフィルタ片Gと、青色用のフィルタ片Bとを平行に配列(ストライプ配列)したものを1画素に対応するフィルタとし、このようなフィルタをX方向およびY方向にそれぞれ所定数だけ配列させる。このようなパターンは、1枚のガラス基板5に多数形成できるように、つまり、いわゆる多面取りできるようになっている。そして、各パターンを正確に形成するために、ガラス基板5には、位置決めの基準として活用できるアライメントマーク21(図1参照)を形成してある。
【0027】
なお、アライメントマーク21を利用したガラス基板5の位置決めを行うために、インクジェット装置1は、ガラス基板5のアライメントマーク21を撮像する位置検出手段である撮像装置12を備える。撮像装置12は、基台6から立設する支柱13に架設した撮像軸14の所定位置に固定してある。所定位置とは、各撮像装置12の視野内にアライメントマーク21が入るような位置である。なお、制御装置2に入力されるステージ4の位置情報とは、この撮像装置12の情報と、上述のエンコーダ43で読み取ったリニアスケール15の情報とからなる。
【0028】
次に、ガラス基板5にパターンを形成する手順について説明する。なお、以下においてインクジェット装置1は、カラーフィルタ31を形成する装置として説明する。したがって、吐出ヘッド群3には、フィルタ片Rを形成する赤色の色素を含有するインクと、フィルタ片Gを形成する緑色の色素を含有するインクと、フィルタ片Bを形成する青色の色素を含有するインクとを別々に吐出するノズルを有する。また、吐出ヘッド群3のノズルピッチは、分解能に等しく、1パスでカラーフィルタ31を形成できるものとする。
【0029】
まず、インクジェット装置1よりも前段に配置した図示しない供給装置で、前処理工程が終了したガラス基板5を空のステージ4上に移載する。
制御装置2は、ステージ4のコイルに電流を通電させて、ステージ4を所定位置に達するまでY方向に移動させる。ここでの所定位置とは、ガラス基板5のアライメントマーク21が撮像装置12の視野内に入る位置である。
【0030】
アライメントマーク21が撮像装置12の視野内に入ったら、補正演算部24が撮像装置12で取得したアライメントマーク21の像を画像処理し、撮像装置12の視野の中心からアライメントマーク21の中心までのずれ量を演算する。さらに、補正演算部24は、2つのアライメントマーク21の中心を結ぶ仮想線と、X方向とのなす角度を求める。この角度は、ガラス基板5のθ方向のずれ量に相当するので、この角度に相当する駆動信号を作成して入出力IF26からステージ4の回転機構に送信し、回転機構を稼動させて載置部41を回転させる。これにより、ガラス基板5のθ方向の角度が修正される。さらに、θ方向の角度を修正したら、再度、撮像装置12の視野内のアライメントマーク21の位置を調べ、補正演算部24でX方向およびY方向の位置のずれ量を演算する。演算結果に応じて制御装置2から、ステージ4のX方向およびY方向の移動機構に制御信号が出力され、ガラス基板5の位置ずれが修正される。
【0031】
一方、吐出データ作成部25は、前もってカラーフィルタのCADデータから変換したビットマップ形式の単位データ、および、繰り返しに関する情報(N1,N2)と、吐出データ設定値入力部22から取得した吐出データ設定値と、吐出ヘッド設定値入力部23から取得した吐出ヘッド設定値とを取得し、バッファメモリに格納してあり、これらの情報から吐出データを作成する。
【0032】
例えば、単位データが、パターンの1つに相当するデータ(図3のビットマップB1に相当するデータ)で、配列の繰り返し数N1=12である場合には、吐出データ作成部25が、バッファメモリに蓄積しているビットマップB1のデータを所定の間隔で、配列の繰り返し数N1だけ割り当てて、図4に示す構成を有する吐出データを作成する。この際に、吐出データ作成部25は、ガラス基板5の形状によって異なるパターンの配列の仕方や、配置のピッチといった吐出データ設定値を参照して、ガラス基板5に合った配置の吐出データを作成する。
【0033】
また、単位データが、パターンの構成要素に相当するデータ(図3のビットマップB2に相当するデータ)で、パターン内の繰り返し数N2=3、かつ、配列の繰り返し数N1=12である場合には、吐出データ作成部25が、バッファメモリに蓄積しているビットマップのデータを所定の間隔で、パターン内の繰り返し数N2に相当する数だけ配置して1つのパターンに相当するビットマップを作成する(なお、このビットマップが図3に示すビットマップB1に相当する)。さらに、1つのパターンに相当するビットマップのデータを所定の間隔で、配列の繰り返し数N1だけ割り当てて、図4に示す構成を有する吐出データを作成する。パターン内の配列の仕方や、パターン内の配置のピッチ、および、パターンの配置の仕方や、パターンの配置のピッチは、吐出データ設定値に基づいて設定される。
【0034】
制御装置2は、繰り返しに着目して最小限のデータサイズに編集したビットマップ形式の単位データから、ガラス基板5全体に対して形成すべきパターンのデータを復元して吐出データを作成したら、吐出データを入出力IF26から吐出ヘッド群3に出力する。
吐出ヘッド群3の各吐出ヘッドのノズルは、この吐出データに従って、液滴を吐出すべきノズルから所定量の液滴をガラス基板5の表面に向けて吐出する。また、制御装置2は、ステージ4のコイル11に通電して、1ライン分の吐出データにより吐出した液滴がガラス基板5の表面に着弾してから、次の1ライン分の吐出データにより吐出した液滴がラス基板5の表面に着弾するまでの間に、ステージ4を1ピクセル分に相当する距離だけ前進させる。ノズルの吐出タイミングと、ステージ4の移動タイミングとは、発振回路で発生させたクロック信号により同期させることができる。
【0035】
以降は、ステージ4を順送りしながら、吐出データの全てのラインに基づいて吐出ヘッド群3から液滴を吐出させ、ガラス基板5上に所定のピッチでフィルタ片R,G,Bを形成する。フィルタ片R,G,Bを形成したガラス基板5は、インクジェット装置1から搬出され、不図示の搬出装置から焼成工程などの次工程に送られる。なお、インクジェット装置1が、フィルタ片Rのみを形成する装置である場合には、インクジェット装置1から搬出されたガラス基板5が、フィルタ片Gを形成する他のインクジェット装置や、フィルタ片Bを形成する他のインクジェット装置に、順番に移送され、カラーフィルタ31が形成される。この場合の吐出データは、装置ごと、つまりフィルタ片R、G,Bごとに作成される。
【0036】
このように、本実施形態では、固定した吐出ヘッド群3に対して、ガラス基板5を移動させながらパターンを形成するに際し、パターンが有する繰り返し性に着目し、制御装置2にデータを取り込む段階では、重複する繰り返し部分を省略した1周期分の単位データとして取り扱い、制御装置2内でデータを復元するようにした。これにより、制御装置が読み込むデータ量を減少させることができる。したがって、制御装置に必要なメモリ量を削減できる。また、データの読み込み時間を短縮できるので、作業効率が向上する。さらに、1つのガラス基板5上に繰り返して形成するパターンの数が多いほどデータ量を多く削減できるし、1つのパターンの中に複数の繰り返して形成される要素がある場合にはさらにデータ量を削減できる。
【0037】
なお、本発明は、前記した実施形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、吐出ヘッド群3は、ガラス基板5のX方向の長さに渡ってノズルを配列した構成にする代わりに、より少ないノズル数の吐出ヘッド群をX方向に走査するように構成しても良い。この場合は、X方向軸8に沿って吐出ヘッド郡3を往復移動させる走査手段を備える必要がある。走査手段としては、吐出ヘッド群のキャリッジにX方向に沿って配設したコイル(不図示)と、コイルに近接するようにX方向軸8に配設した永久磁石とからなるリニアモータがあげられる。また、X方向軸8をY方向に往復移動可能に構成し、吐出ヘッド群3をY方向にも走査可能にしても良い。
【0038】
さらに、X方向に吐出ヘッド群3を移動させる走査手段や、Y方向にステージ4を移動させる搬送機構は、ステッピングモータなどの回転角度を高精度に制御可能なモータと、このモータに係合したリードスクリューとから構成しても良い。この場合は、リードスクリューをX方向またはY方向に平行に架設し、吐出ヘッド群3のキャリッジまたはステージ4にリードスクリューと螺合するナットを設ける。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態における液滴吐出装置であるインクジェット装置の構成を示す斜視図である。
【図2】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図3】制御装置に読み込ませるデータを説明する図である。
【図4】吐出データを模式的に示した図である。
【符号の説明】
1 インクジェット装置(液滴吐出装置)
2 制御装置
3 吐出ヘッド群(吐出ヘッド)
5 ガラス基板(ワーク)
25 吐出データ作成部
B1 ビットマップ
B2 ビットマップ
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge device that discharges droplets toward a workpiece to form a desired pattern.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal devices, electroluminescent devices, and the like have been used as display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. For example, in a liquid crystal device, filter elements of red, green, and blue dot shapes are arranged in a predetermined arrangement such as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, or mosaic arrangement on a surface of a substrate formed of glass, plastic, or the like. A color filter is formed.
[0003]
In addition, as a method of forming such a color filter, a droplet is ejected onto an acrylic resin applied on a glass substrate while scanning a dye droplet ejection head that ejects droplets of red, green, and blue pigments. Then, a method of fixing is known (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-2-173703 (page 2, FIG. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, usually, in this type of manufacturing method, so-called multi-panning is performed such that a large number of patterns of the same type are formed on a single glass substrate. All data corresponding to one substrate is read by the control device. The data to be read by the control device is, for example, several gigabytes of data on a large substrate having a side of about 2 m, depending on the amount and formation density of the pattern. For this reason, the conventional method has a problem that a large-capacity memory is required for the control device and the data transfer time becomes long.
The present invention has been made in view of such problems, and enables high-speed data processing without increasing the amount of memory used. It is an object of the present invention to provide a droplet discharge device capable of forming a pattern at a high speed even in the case of forming.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 of the present invention that solves the above-described problem controls reading timing of droplets by reading data on the patterns when discharging droplets and forming a plurality of patterns on the work surface. In a droplet ejection apparatus that creates ejection data and ejects droplets from an ejection head in accordance with the ejection data, the data about the pattern is data composed of pixels arranged in a grid pattern, A unit for acquiring unit data corresponding to one cycle of the pattern formed by repeating the above-described process, and arranging the unit data a predetermined number of times to create the ejection data. A droplet ejection device was used.
[0007]
When a plurality of patterns to be formed on a work have repetition, the droplet discharge apparatus acquires data corresponding to one cycle of repetition as unit data, and restores a pattern to be formed on the work from the unit data. To create ejection data. Note that the pattern here refers to a single unit or an aggregate manufactured to perform a predetermined function, such as a color filter or a circuit used for a display device.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, in the droplet discharge device according to the first aspect, the unit data is data of one of the same patterns among a plurality of the same patterns formed and arranged on the work. And
[0009]
When the pattern is a repetition unit, the droplet ejection apparatus obtains data corresponding to one pattern as unit data, restores a pattern to be formed on a work from the unit data, and creates ejection data. I do.
[0010]
According to a third aspect of the present invention, in the droplet discharge device according to the first aspect, the unit data is data of a component repeatedly formed in the pattern.
[0011]
This droplet discharge device acquires data corresponding to one element as unit data when an element constituting a pattern is a repeating unit, and restores a pattern to be formed on a work from this unit data, Create ejection data.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an ink jet device which is a droplet discharge device. FIG. 2 is a block diagram of the control device.
[0013]
An ink jet apparatus 1 which is a droplet discharge apparatus of the present embodiment shown in FIG. 1 discharges droplets from a discharge head group 3 in response to a command from a control device 2 and is a glass substrate which is a work placed on a stage 4. A predetermined pattern is formed on the glass substrate 5, and the glass substrate 5 is transported in a direction orthogonal to the direction in which the ejection head group 3 is arranged. In the following, the arrangement direction of the ejection head group 3 is the same as the arrangement direction of the nozzles that eject droplets, and this direction is the X direction. The transport direction of the glass substrate 5 is defined as a Y direction. The in-plane rotation direction in the XY plane is defined as the θ direction.
[0014]
The ejection head group 3 is fixed to an X-direction shaft 8 erected in parallel to the X-direction so as to straddle the stage 5 between columns 7 erected from a base 6. The ejection head group 3 has an elongated shape along the X-direction axis 8 and includes a plurality of ejection heads arranged in a line. The array length of the ejection heads is equal to or longer than the length of the pattern formed on the glass substrate 5 in the X direction. Each of the ejection heads is provided with a number of nozzles for ejecting liquid droplets in the X direction toward the glass substrate 5. As a mechanism for ejecting droplets, a chamber for storing the ink to be ejected is provided for each nozzle, a piezoelectric element constituting the wall surface of the chamber is deformed by voltage control, the volume of the chamber is changed, and a predetermined number of nozzles communicate with each other. Is discharged as droplets, but the configuration of the discharge head is not limited to this. For example, if the required resolution is half the interval (pitch) between the nozzles of each ejection head, two rows of ejection heads are shifted by 1/2 pitch in the X direction. . By arranging a large number of ejection heads in this way, the resolution can be increased. Here, the resolution corresponds to the amount of change in the size of the pattern formed on the glass substrate 5. That is, when the pattern has a line width of 50 μm and a line width of 60 μm, a resolution of 10 μm is required.
[0015]
The stage 4 on which the glass substrate 5 is mounted moves the mounting portion 41 on which the glass substrate 5 is positioned and mounted linearly in the X and Y directions with respect to the base portion 42, and rotates in-plane in the θ direction. Mounted as possible. In addition, an encoder 43 that reads the scale of the linear scale 15 attached to the base 6 along the Y axis is attached to the base section 42 in order to detect the position of the stage 4 in the Y direction. In addition, as a moving mechanism for linearly moving the mounting portion 41, a motor and a pusher pin that moves forward and backward in accordance with the rotation amount of the motor can be cited. As a rotation mechanism for rotating the mounting portion 41 in-plane, a supporting pin that supports the center of the mounting portion 41 and an end of the mounting portion 41 are pressed in the X direction or the Y direction to There are a pusher pin that rotates around the support pin and an actuator that moves the pusher pin forward and backward. Further, a motor for rotating the support pin itself may be used.
[0016]
Further, the stage 4 is configured to be movable along a Y-direction axis 9 laid so as to be orthogonal to the X direction. As a transport mechanism for moving the stage 4 in the Y direction, a permanent magnet 10 arranged on the Y direction axis 9 and a plate 11 fixed below the base portion 41 of the stage 4 are provided along the Y direction, and A linear motor including a plurality of coils (not shown) arranged in close proximity to the permanent magnet 10 is exemplified.
[0017]
The control device 2 has a configuration in which a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), an input / output interface, an oscillation circuit, and the like are bus-connected. Overall control. The data to be input to the control device 2 include data created by forming a pattern to be formed on the glass substrate 5 in a predetermined format such as a bitmap format, repetitive information such as a pattern, and position information of the stage 4. Can be The data output from the control device 7 includes a control signal of the coil of the stage 4, a control signal of the moving mechanism and the rotating mechanism of the stage 4, and a control signal of the ejection head group 3. Control signals for the ejection head group 3 include a clock signal formed by an oscillation circuit and ejection data that is data for controlling ejection timing for each nozzle.
[0018]
FIG. 2 shows the control device 2 divided into functional blocks. That is, the control device 2 includes an ejection data set value input unit 22 that receives an input of a set value of the ejection data, an ejection head set value input unit 23 that receives an input of a set value of the ejection head of the ejection head group 3, and a It has a correction operation unit 24 for calculating the drive amount of the rotating mechanism, an ejection data creation unit 25 for creating ejection data, and an input / output IF (Inter Face) 26 for controlling input and output with various external devices.
[0019]
Furthermore, the ejection data set value, ejection head set value, bitmap data, and ejection data that is output data from the control device 2 are data taken in by the control device 2 to form a pattern on the glass substrate 5. explain.
The ejection data set value is information such as a glass size, a pattern size, and a pattern formation pitch.
The ejection head setting value is information on the number of heads to be used, the number of nozzles, and the arrangement.
[0020]
The bitmap data is obtained by converting CAD (Computer Aided Design) data composed of vector data created when designing a pattern to be formed on the glass substrate 5 into a bitmap format having a data configuration in which many pixels are arranged in an XY lattice. This is unit data created by omitting duplicate data by repetition.
[0021]
For example, bitmap data for forming a liquid crystal color filter used for a display unit such as a display of a mobile phone will be described with reference to FIG. First, a shape C1 in which the same type of color filters 31 are arranged on the glass substrate 5 is designed by a CAD apparatus. Data giving such a shape corresponds to CAD data. In the shape C1, the same color filter 31 is repeatedly arranged, so that one color filter 31 can be regarded as a unit of repetition. That is, if there is information on the color filter 31, the shape C1 can be restored. Therefore, the bitmap data to be read by the control device 2 is data corresponding to the bitmap B1 of one color filter 31, and a portion overlapping with the unit data is omitted. Bitmap data for forming 25 color filters 31 from one glass substrate 5 has only a bitmap image of one color filter 31, and the data amount is 1/25. Further, the repetition information in this case is the number of repetitions N1 of the array = 25.
[0022]
Further, as shown in the shape C1, the color filter 31 is composed of three rectangular filter pieces R, G, and B of the same shape, so that the filter pieces R, G, and B, which are elements constituting the color filter 31, are formed. Can also be unit data composed of a bit map corresponding to one cycle of the repetition. The bitmap data in this case is data corresponding to a bitmap B2 composed of one filter piece R, G, B and its surrounding data, and data of the remaining filter pieces R, G, B overlapping the unit data. Is omitted. The data amount of the bitmap data can be reduced to 1/3 for one color filter 31. For example, in the case of a glass substrate 5 having 25 sheets, the data amount is reduced to 1/75. As for the repetition information, for one color filter 31, the number of repetitions N2 in the pattern is N2 = 3, and the number of repetitions N1 of the arrangement of the entire glass substrate 5 is 25.
[0023]
In the case of forming a circuit including a circuit element such as a resistor, a coil, a filter, or a combination thereof, a bit map corresponding to one of the circuits repeatedly formed on the glass substrate 5 is used. , Which is one cycle of unit data. Further, in the case where each circuit has the same circuit element or wiring repetition, a bit map corresponding to a repetition unit in the circuit may be used as unit data, and data overlapping with the unit data may be omitted. .
[0024]
On the other hand, the ejection data used for controlling the ejection head group 3 is data obtained by restoring the unit data in the control device 2 based on the number of repetitions set in advance at the time of design and the arrangement. FIG. 4 shows a data structure of ejection data when the pattern formed on the glass substrate 5 is the color filter 31. In the plurality of pixels arranged in the XY lattice shape, each pixel in the X direction indicates ON or OFF of the ejection of the liquid from each nozzle of the ejection head group 3, and the Y direction indicates the passage of time. Turning on or off the ejection of the liquid means that, for example, in the third column, the nozzles corresponding to the pixels p22 and p23 eject droplets (on), and the nozzles corresponding to the pixel p24 do not eject droplets (off). ) That is. The lapse of time in the Y direction means that at the start of ejection, data in the column of Y = 0 becomes a control signal for each nozzle of the ejection head group 3, and one pixel after ejection of the first droplet. After the stage 4 has moved by a predetermined distance corresponding to, the data in the column of Y = 1 becomes a control signal for each nozzle of the ejection head group 3. Further, each pixel contains information about the ink to be ejected. Accordingly, for example, at a position corresponding to a pixel of the filter piece R, ink containing a red dye is ejected, and ink containing another dye is not ejected.
[0025]
The number of repetitions N1 of the pattern arrangement and the number of repetitions N2 in the pattern, which are repetition information, may be input to the control device 2 from an input device (not shown) or may be input as a header file of bitmap data. May be. In addition, the pattern arrangement method (for example, 4 × 4 or 2 × 8) may be included in the information on repetition.
[0026]
Here, the glass substrate 5 of the present embodiment will be described.
As described above, the glass substrate 5 includes a color filter 31 such as a liquid crystal display device used for a display unit such as a display of a mobile phone, another circuit element such as a resistor, a coil, and a filter, or a combination thereof. A circuit can be formed. In the case of the color filter 31, a filter piece corresponding to one pixel is obtained by arranging a red filter piece R, a green filter piece G, and a blue filter piece B in parallel (stripe arrangement). A predetermined number of such filters are arranged in each of the X direction and the Y direction. Such a pattern can be formed in large numbers on one glass substrate 5, that is, so-called multi-paneling can be performed. Then, in order to form each pattern accurately, an alignment mark 21 (see FIG. 1) that can be used as a reference for positioning is formed on the glass substrate 5.
[0027]
Note that, in order to position the glass substrate 5 using the alignment marks 21, the inkjet apparatus 1 includes an imaging device 12 that is a position detection unit that images the alignment marks 21 of the glass substrate 5. The imaging device 12 is fixed to a predetermined position of an imaging shaft 14 erected on a column 13 erected from the base 6. The predetermined position is a position where the alignment mark 21 enters the field of view of each imaging device 12. Note that the position information of the stage 4 input to the control device 2 includes the information of the imaging device 12 and the information of the linear scale 15 read by the encoder 43 described above.
[0028]
Next, a procedure for forming a pattern on the glass substrate 5 will be described. Hereinafter, the inkjet apparatus 1 will be described as an apparatus for forming the color filter 31. Accordingly, the ejection head group 3 contains an ink containing a red dye forming the filter piece R, an ink containing a green dye forming the filter piece G, and a blue dye forming the filter piece B. And a nozzle for separately discharging the ink to be discharged. The nozzle pitch of the ejection head group 3 is equal to the resolution, and the color filters 31 can be formed in one pass.
[0029]
First, the glass substrate 5 for which the pre-processing step has been completed is transferred onto the empty stage 4 by a supply device (not shown) arranged before the inkjet apparatus 1.
The control device 2 applies a current to the coil of the stage 4 to move the stage 4 in the Y direction until the stage 4 reaches a predetermined position. Here, the predetermined position is a position where the alignment mark 21 of the glass substrate 5 enters the field of view of the imaging device 12.
[0030]
When the alignment mark 21 enters the field of view of the imaging device 12, the correction operation unit 24 performs image processing on the image of the alignment mark 21 acquired by the imaging device 12, and performs processing from the center of the field of view of the imaging device 12 to the center of the alignment mark 21. Calculate the shift amount. Further, the correction calculation unit 24 obtains an angle between a virtual line connecting the centers of the two alignment marks 21 and the X direction. Since this angle corresponds to the amount of displacement of the glass substrate 5 in the θ direction, a drive signal corresponding to this angle is created and transmitted from the input / output IF 26 to the rotating mechanism of the stage 4, and the rotating mechanism is operated to place The part 41 is rotated. Thereby, the angle of the glass substrate 5 in the θ direction is corrected. Further, after correcting the angle in the θ direction, the position of the alignment mark 21 in the field of view of the imaging device 12 is checked again, and the shift amount in the X direction and the Y direction is calculated by the correction calculation unit 24. A control signal is output from the control device 2 to the moving mechanism of the stage 4 in the X direction and the Y direction according to the calculation result, and the displacement of the glass substrate 5 is corrected.
[0031]
On the other hand, the ejection data creation unit 25 includes a bitmap format unit data previously converted from the color filter CAD data, information on repetition (N1, N2), and the ejection data setting value acquired from the ejection data setting value input unit 22. The values and the ejection head setting values acquired from the ejection head setting value input unit 23 are acquired and stored in the buffer memory, and ejection data is created from these information.
[0032]
For example, when the unit data is data corresponding to one of the patterns (data corresponding to the bitmap B1 in FIG. 3) and the number of repetitions of the array N1 = 12, the ejection data creation unit 25 uses the buffer memory The data of the bitmap B1 stored in the memory is allocated at predetermined intervals by the number N1 of arrangement repetitions, and ejection data having the configuration shown in FIG. 4 is created. At this time, the ejection data creation unit 25 creates ejection data of an arrangement suitable for the glass substrate 5 with reference to ejection data set values such as an arrangement method of a pattern that differs depending on the shape of the glass substrate 5 and an arrangement pitch. I do.
[0033]
Further, when the unit data is data corresponding to the components of the pattern (data corresponding to the bitmap B2 in FIG. 3) and the number of repetitions in the pattern N2 = 3 and the number of repetitions of the array N1 = 12, Means that the ejection data creation unit 25 creates bitmaps equivalent to one pattern by arranging bitmap data stored in the buffer memory at predetermined intervals by the number corresponding to the number of repetitions N2 in the pattern. (Note that this bitmap corresponds to the bitmap B1 shown in FIG. 3). In addition, bitmap data corresponding to one pattern is allocated at predetermined intervals by the number N1 of arrangement repetitions to create ejection data having the configuration shown in FIG. The arrangement method in the pattern, the arrangement pitch in the pattern, the pattern arrangement method, and the pattern arrangement pitch are set based on the ejection data set value.
[0034]
The controller 2 restores the data of the pattern to be formed on the entire glass substrate 5 from the unit data in the bitmap format edited to the minimum data size by paying attention to the repetition and creates the ejection data. Data is output from the input / output IF 26 to the ejection head group 3.
The nozzles of each of the ejection heads of the ejection head group 3 eject a predetermined amount of droplets toward the surface of the glass substrate 5 from the nozzles from which the droplets are to be ejected, according to the ejection data. Further, the control device 2 energizes the coil 11 of the stage 4 and discharges droplets discharged by one line of discharge data on the surface of the glass substrate 5 before discharging by the next one line of discharge data. The stage 4 is advanced by a distance corresponding to one pixel until the dropped droplet lands on the surface of the lath substrate 5. The ejection timing of the nozzle and the movement timing of the stage 4 can be synchronized by a clock signal generated by an oscillation circuit.
[0035]
Thereafter, while sequentially moving the stage 4, droplets are ejected from the ejection head group 3 based on all lines of ejection data, and filter pieces R, G, B are formed on the glass substrate 5 at a predetermined pitch. The glass substrate 5 on which the filter pieces R, G, and B have been formed is carried out of the inkjet device 1 and sent from a carrying-out device (not shown) to the next process such as a firing process. When the ink jet device 1 is a device that forms only the filter piece R, the glass substrate 5 carried out of the ink jet device 1 forms another ink jet device that forms the filter piece G or forms the filter piece B. Then, the color filters 31 are sequentially transferred to another inkjet device, and the color filters 31 are formed. The ejection data in this case is created for each device, that is, for each of the filter pieces R, G, and B.
[0036]
As described above, in the present embodiment, when forming a pattern on the fixed ejection head group 3 while moving the glass substrate 5, attention is paid to the repeatability of the pattern, and the data is taken into the control device 2 at the stage of taking in the data. In this case, the data is restored in the control device 2 by treating the data as unit data for one cycle in which overlapping repeated parts are omitted. Thereby, the data amount read by the control device can be reduced. Therefore, the amount of memory required for the control device can be reduced. Further, since the data reading time can be reduced, work efficiency is improved. Furthermore, the larger the number of patterns repeatedly formed on one glass substrate 5, the more the data amount can be reduced. If a single pattern includes a plurality of repeatedly formed elements, the data amount is further reduced. Can be reduced.
[0037]
The present invention can be widely applied without being limited to the above embodiment.
For example, the ejection head group 3 may be configured to scan the ejection head group with a smaller number of nozzles in the X direction instead of arranging the nozzles over the length of the glass substrate 5 in the X direction. good. In this case, it is necessary to provide a scanning means for reciprocating the ejection head group 3 along the X-axis 8. Examples of the scanning unit include a linear motor including a coil (not shown) disposed on the carriage of the ejection head group along the X direction and a permanent magnet disposed on the X-direction shaft 8 so as to be close to the coil. . Further, the X-direction axis 8 may be configured to be reciprocally movable in the Y direction, and the ejection head group 3 may be capable of scanning also in the Y direction.
[0038]
Further, a scanning means for moving the ejection head group 3 in the X direction and a transport mechanism for moving the stage 4 in the Y direction are engaged with a motor such as a stepping motor capable of controlling the rotation angle with high accuracy and this motor. You may comprise from a lead screw. In this case, a lead screw is installed in parallel in the X direction or the Y direction, and a nut for screwing with the lead screw is provided on the carriage or stage 4 of the ejection head group 3.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of an ink jet device that is a droplet discharge device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a control device.
FIG. 3 is a diagram illustrating data read by a control device.
FIG. 4 is a diagram schematically showing ejection data.
[Explanation of symbols]
1 inkjet device (droplet discharge device)
2 Controller 3 Discharge head group (discharge head)
5 Glass substrate (work)
25 Discharge data creation unit B1 Bitmap B2 Bitmap

Claims (3)

液滴を吐出してワーク表面にパターンを複数形成するにあたり、前記パターンについてのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、
前記パターンについてのデータとして、格子状に配列したピクセルから構成するデータであって、前記ワークに所定回数だけ繰り返して形成する前記パターンの1周期分に相当する単位データを取得し、この単位データを前もって設定された回数分だけ配列させて前記吐出データを作成する制御装置を有することを特徴とする液滴吐出装置。
In forming a plurality of patterns on the work surface by discharging droplets, data on the pattern is read, discharge data for controlling the timing of discharging droplets is created, and droplets are discharged from a discharge head according to the discharge data. In the droplet discharge device to be
As the data on the pattern, unit data corresponding to one cycle of the pattern formed by repeating a predetermined number of times on the work, which is data configured from pixels arranged in a grid, is acquired. A droplet discharge device, comprising: a control device that creates the discharge data by arranging the discharge data a predetermined number of times.
前記単位データは、前記ワークに複数配列して形成する同じパターンのうち、1つの前記パターンのデータであることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the unit data is data of one of the same patterns formed and arranged on the workpiece. 3. 前記単位データは、前記パターン内に繰り返して形成する構成要素のデータであることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the unit data is data of a component repeatedly formed in the pattern.
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