JP2004330401A - Super abrasive grain wheel and its manufacturing method - Google Patents

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Tsuyoshi Fujii
剛志 藤井
Michiharu Komori
理晴 小森
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Noritake Co Ltd
Noritake Super Abrasive Co Ltd
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Noritake Co Ltd
Noritake Super Abrasive Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a super abrasive grain wheel which is easy in fabrication and excellent in sharpness and service life, and also to provide a method for manufacturing it. <P>SOLUTION: Since a grinding section having an end face partitioned into three minute tip faces is provided to each of a plurality of grinding stone members 16, a grinding face partitioned into a number of which the number of fixings is multiplied by the number of partitions is provided in the super adhesive grain wheel 10. For this reason, the number of the partitions of the grinding face is increased while keeping the number of the grinding stone members 16 adhering to a base metal 12 relatively small. Thus, the super adhesive grain wheel 10 which is easy in fabrication and excellent in sharpness and service life is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の超砥粒が結合剤により結合された複数の砥石部を台金に固着した超砥粒ホイールおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、水晶、サファイア、炭化珪素等の難削材から成るウェハの研削加工に、ダイヤモンド砥粒やCBN砥粒等の超砥粒をビトリファイド・ボンド(ガラス質結合剤)やメタル・ボンド(金属質結合剤)で結合した超砥粒ホイールを用いることが試みられている。しかしながら、ビトリファイド・ボンドを用いた超砥粒ホイールは、優れた切れ味を有する反面で、気孔を有することから砥粒保持力が不十分であるため寿命が短い欠点がある。一方、メタル・ボンドを用いた超砥粒ホイールでは、砥粒保持力には優れる反面で、目替り性が悪いことから切れ味の持続性に劣る欠点がある。
【0003】
これらに対して、電鋳によって多数の超砥粒を結合したチップを作製し、有底円筒状を成す台金の円環状端面に複数のチップを相互間に隙間を設けた状態で固着した所謂カップ型ホイールが提案されている(例えば、特許文献1参照)。このようなカップ型ホイールによれば、砥粒が固着された研削面と被研削面との接触面積の単位が小さくなるため目詰りが生じ難く高い切れ味が得られると共に、砥粒の保持力にも優れるため長寿命が得られる利点がある。しかも、上記接触単位面積の微小化はチップ相互間に隙間を設けることで為されていることから、砥粒層を台金の円環状端面の全面に一様な厚さ寸法で設けた後にスリット加工を施す場合に比較して、容易且つ安価に製造し得る利点もある。そのため、このようなカップ型ホイールは、例えば上記のような難削材製のウェハ研削加工に加えて、シリコン、化合物半導体、ガラス、セラミックス、フェライト、水晶、石英、超硬合金等の硬質脆性材料の研削加工にも好適に用いられる。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−62736号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献1に記載されているカップ状ホイールでは、研削面と被研削面との接触単位面積を一層減じようとすると、円環状端面に固着するチップの各々を著しく小さくすると共に固着数を著しく多くする必要がある。例えば、外径200(mm)の台金に2(mm)程度の長さのチップを相互に1(mm)程度の間隔で設ける場合には、200個ものチップが必要になる。そのため、切れ味の一層高いカップ状ホイールを製造しようとすると、チップの各々が小さくなり且つチップ数が多くなることに伴って製造工程が著しく煩雑になり、延いては製造コストが高くなる不都合があった。また、個々のチップが著しく小さくなることに起因して、台金への接着面積が著しく小さくなるので接着強度が不十分となり、或いは、人の手による取扱いが著しく困難になる不都合もあった。
【0006】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、製造が容易で切れ味および耐用寿命に優れた超砥粒ホイールおよびその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための第1の手段】
かかる目的を達成するために、第1発明の要旨とするところは、多数の超砥粒が結合剤によって結合された複数の砥石部材が台金の表面の所定位置に固着され且つそれら複数の砥石部材の所定の一面上に位置する端面で研削面が構成された超砥粒ホイールであって、前記複数の砥石部材の各々が、その一端側に設けられ且つ前記台金に固着するための固着部と、その他端側に設けられ且つ前記研削面を構成するための前記端面が相互に離隔させられた複数の微小面に分割された研削部とを有することにある。
【0008】
【第1発明の効果】
このようにすれば、複数の微小面に分割された端面を有する研削部が複数の砥石部材の各々に設けられていることから、超砥粒ホイールには、固着数にその分割数を乗じた数に分割された研削面が備えられる。このため、台金に固着する砥石部材の個数を比較的少なく留めながら研削面の分割数を微小面の分割数に応じて多くできるので、製造が容易で且つ切れ味や耐用寿命に優れた超砥粒ホイールが得られる。
【0009】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記結合剤はニッケル合金である。このようにすれば、ニッケル合金は鍍金で容易に形成することができると共に、耐蝕性に優れ、また、硬度の高いものが得られるので、超砥粒ホイールを構成する砥石部材の構成材料として特に好適である。
【0010】
また、好適には、前記複数の微小面は、各々が0.01乃至1(mm)の範囲内の面積を有するものである。本発明によれば、砥石部材の大きさを十分に大きく保ちながら研削面を構成する微小面を極めて小さくし、延いては研削面と被研削面との接触面積の単位を極めて小さくできるので、微小面を上記のような微小面積に構成することにより、良好な取扱い性や作業性、砥石部材の高い接着強度等を保ちつつ、切れ味の極めて高い超砥粒ホイールを得ることができる。一層好適には、微小面の各々の面積は、0.05(mm)以上が好ましく、また、0.8(mm)以下が好ましい。また、更に好ましくは、下限値が0.08(mm)以上であり、上限値が0.7(mm)以下である。
【0011】
また、好適には、前記砥石部材は、前記固着部の前記研削部側の一部が前記台金の表面に露出した状態で固着されたものである。このようにすれば、研削部が消滅するまで砥石部材が磨耗させられると、その砥石部材の先端面の面積が大きくなるので、超砥粒ホイールの使用寿命を容易に知ることができる。例えば、研削加工中に先端面の面積が大きくなることに起因して研削抵抗が大きくなったときに寿命を判断し、或いは、適宜の時期に先端面の目視により寿命を判断することが可能である。
【0012】
また、好適には、前記砥石部材は全体が一様な厚さ寸法の薄板状を成し、前記研削部は相互に平行な複数本の帯状部から成り且つその帯状部の先端に前記微小面を備えたものである。このようにすれば、複数本の帯状部はその先端から次第に磨耗させられても、基端部まで磨耗させられるまではその微小端面が相互に独立した状態に維持される。そのため、一層耐用寿命に優れた超砥粒ホイールが得られる。しかも、薄板状であることから研削点における加工圧力を比較的高くできるため、セラミックスのような砥粒が食い込み難い硬質の被研削材も容易に研削加工できると共に、大きい研削面の中央部のような研削加工への寄与が少なく専ら目詰りの原因となる部分が殆ど無いため切れ味が一層高められる利点がある。
【0013】
また、好適には、前記砥石部材は全体が一様な厚さ寸法の薄板状を成し、前記研削部は前記固着部との境界と前記端面との間に厚み方向に貫通する複数個の貫通孔を有するものである。このようにすれば、研削部が端面から次第に磨耗させられることによって貫通孔がその端面に露出させられると、その端面がその貫通孔によって複数の微小面に分割される。そのため、一層耐用寿命に優れた超砥粒ホイールが得られる。しかも、薄板状であることから研削点における加工圧力を比較的高くできるため、セラミックスのような砥粒が食い込み難い硬質の被研削材も容易に研削加工できると共に、大きい研削面の中央部のような研削加工への寄与が少なく専ら目詰りの原因となる部分が殆ど無いため切れ味が一層高められる利点がある。
【0014】
【課題を解決するための第2の手段】
また、前記目的を達成するための第2発明の要旨とするところは、多数の超砥粒が結合剤によって結合された複数の砥石部材が台金の表面の所定位置に固着され且つそれら複数の砥石部材の所定の一面上に位置する端面で研削面が構成された超砥粒ホイールの製造方法であって、(a)所定形状の固着部を一端側に有し且つ相互に離隔する複数の微小面に分割された前記端面を備えた研削部を他端側に有する薄板状の複数個の砥石部材を製造する砥石部材製造工程と、(b)前記複数個の砥石部材を前記端面が一面上に位置するように前記固着部において前記台金の表面に固着する固着工程とを、含むことにある。
【0015】
【第2発明の効果】
このようにすれば、砥石部材製造工程において、固着部と複数の微小面を備えた研削部とをそれぞれ有する複数個の砥石部材が製造される一方、固着工程において、その固着部が台金表面に固着されることにより、超砥粒ホイールが製造される。そのため、その超砥粒ホイールは、台金に固着するための固着部と、研削面を構成するための端面が相互に離隔させられた複数の微小面に分割された研削部とを有する砥石部材を備えたものになる。したがって、微小面の分割数に応じて分割数が多くされた研削面を備えることにより優れた切れ味および耐用寿命を備えた超砥粒ホイールを容易に製造できる。
【0016】
【第2発明の他の態様】
ここで、好適には、前記砥石部材製造工程は、前記薄板状の砥石部材の厚さ寸法に応じた高さ寸法を備えたマスキング・パターン内に多数の砥粒を散布した状態で鍍金処理を施すものである。このようにすれば、薄板状の砥石部材の厚み方向に鍍金層が形成されることから、その厚み方向に一様な断面を有し且つ端面が複数の微小面に分割された砥石部材が容易に得られ、延いてはその砥石部材が固着された超砥粒ホイールが容易に得られる。しかも、薄板状の砥石部材が高さ方向に鍍金される場合に比較して鍍金処理に必要な時間が短くなるので、超砥粒ホイールの製造効率が高められる利点もある。上記鍍金処理は、例えば電解鍍金或いは無電解鍍金であり、一層好適には電鋳である。
【0017】
また、好適には、前記マスキング・パターンは光造形法によって形成されたものである。このようにすれば、光造形法によれば、フォトマスクを用いるような方法に比較して精細で深さ寸法の深いマスキング・パターンが容易に得られることから、薄板状の砥石部材が一層容易に得られ延いては切れ味が良く且つ耐用寿命の長い超砥粒ホイールが一層容易に得られる。
【0018】
また、前記第1発明および第2発明において、好適には、前記薄板状の砥石部材は、前記台金の面方向における長さ寸法が5乃至50(mm)の範囲内の平面形状を備えたものである。台金に固着される砥石部材の個数を少なくして製造を安価且つ容易にするためには、個々の砥石部材の長さ寸法を十分に長くする必要があるので、長さ寸法は少なくとも5(mm)以上が望ましい。一方、長さ寸法が50(mm)を越えると、剛性を確保することが困難になるため好ましくない。上記長さ寸法は、一層好適には、厚さ寸法の100倍以下であり、更に好適には50倍以下である。
【0019】
また、好適には、前記薄板状の砥石部材は、前記台金の面方向における厚さ寸法が0.05乃至1(mm)の範囲内の値である。0.05(mm)未満では剛性が不十分となり、1(mm)を越える厚さ寸法を鍍金で得ようとすると製造に必要な時間が著しく長くなる。厚さ寸法は、一層好適には0.1〜0.8(mm)の範囲内、更に好適には、0.15〜0.6(mm)の範囲内の値である。また、厚さ寸法は、前記砥粒の平均粒径の3倍以上であることが砥粒を確実に保持するために好ましい。
【0020】
また、好適には、前記薄板状の砥石部材は、前記台金の表面における突き出し高さが1乃至10(mm)の範囲内の長さ寸法となるようにその表面に固着される。十分な使用代を確保して耐用寿命を得るためには、少なくとも1(mm)の突き出し長さとすることが好ましく、一方、剛性を確保するためには10(mm)以下の突き出し長さが好ましい。一層好適には、突き出し長さは厚さ寸法の30倍以下、更に好適には20倍以下である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【0022】
図1は、本発明の一実施例の超砥粒ホイール10の全体を示す斜視図である。図において、超砥粒ホイール10は、例えば外径250(mm)程度、内径230(mm)程度の椀状(カップ状)すなわち有底円筒状を成す台金12と、その台金12の円環状端面14において例えば直径240(mm)程度の円周上(すなわち円筒部分の厚みの略中央部)に固着されたそれぞれ薄板状を成す複数の砥石部材16とから構成されている。
【0023】
上記台金12は、例えばスチール、チタン合金、メタル・マトリックス・コンポジット(MMC:金属基複合材料)、又はアルミニウム合金等の金属材料、或いはエンジニアリングプラスチック等の合成樹脂材料から成るものである。また、この台金12の底部中央には、研削加工に際して図示しない所定の研削装置の回転主軸に取り付けられるための取付孔18がその厚み方向に貫通して設けられている。なお、研削装置の機械剛性を考えると、加工精度に与える影響が可及的に小さくなるように、台金12は可及的に軽量であることが望まれるので、アルミニウム合金が最も好ましい。但し、機械剛性が十分に高い場合には、加工精度を一層高めるためにチタン合金やMMCのような剛性の高い材料を用いることも考えられる。
【0024】
また、上記砥石部材16は、例えば0.05〜50(μm)の範囲内、例えば35(μm)程度の平均粒径を備えた多数のダイヤモンド砥粒又はCBN砥粒等の超砥粒が、ニッケル合金等から成る金属結合剤により相互に結合されたものである。この砥石部材16は、台金12の軸心方向に突き出す各々の先端面20(図2参照)が複数例えば3つに分割されている。複数の砥石部材16のそれら多数の先端面20は一平面上に位置させられており、これらが超砥粒ホイール10の研削面を構成する。本実施例においては、上記の先端面20が微小面に相当する。
【0025】
図2に拡大して示すように、砥石部材16は、例えば上述したように先端面20が3つに分割された、すなわち3本の互いに平行な帯状部22から成る先端側の研削部24と、帯状部22を一体化するために基端側に備えられた幅広の固着部26とから構成されている。また、台金端面14にはその外周縁および内周縁と同軸に環状溝28が設けられており、砥石部材16は、一部が露出した状態で固着部26においてその環状溝28内に嵌め入れられ、且つエポキシ樹脂等の合成樹脂接着剤30によって固着されている。この露出部分の高さ寸法h(すなわち台金12の軸心方向に沿った方向における露出長さ寸法)は、例えば1〜10(mm)の範囲内、例えば3.5(mm)程度であり、厚さ寸法t(すなわち台金12の径方向に沿った方向における厚さ寸法)は、全体が例えば0.05〜1.0(mm)の範囲内、例えば0.3(mm)程度の一様な値である。また、端面14の周方向に沿った方向における長さ寸法Lは、例えば5〜50(mm)の範囲内、例えば12(mm)程度である。したがって、本実施例においては、厚さ寸法tが砥粒径の8倍程度、露出高さ寸法hがその厚さ寸法tの11倍程度、長さ寸法Lがその厚さ寸法tの40倍程度になっている。なお、砥石部材16は、環状溝28に倣って、その長手方向において僅かに湾曲した形状となっている。
【0026】
図3は、上記の砥石部材16を正面視にて示した図である。研削部24の高さ寸法hgは1〜9.9(mm)の範囲内、例えば2.5(mm)程度であり、固着部26の高さ寸法hsは1〜10.0(mm)の範囲内、例えば4(mm)程度である。このため、台金12に固着された状態において、砥石部材16は、その研削部24の全体と、固着部26の上端の一部とが端面14上に露出させられている。また、前記の環状溝28の深さ寸法は、固着部26の非露出部分の高さ寸法に略一致する例えば3(mm)程度の値であり、溝幅寸法は砥石部材16の厚さ寸法tよりも僅かに大きくされている。また、帯状部22は、各々の幅寸法wが例えば0.1〜5(mm)の範囲内、例えば2(mm)程度であり、相互間の隙間の幅寸法gが0.1〜5(mm)の範囲内、例えば2(mm)程度である。また、両端の帯状部22は、例えばe=1(mm)程度だけ固着部26の両端位置から後退させられている。
【0027】
超砥粒ホイール10は、このような砥石部材16が例えば周方向において例えば0.1〜20(mm)の範囲内、例えば10(mm)程度の一様な相互間隔で固着されたものである。砥石部材16は、前述したように240(mm)程度の直径の円周上に固着されているから、その個数は例えば34個である。なお、図1においては、図示の便宜上、砥石部材16の個数は24個になっており、また、砥石部材16の長さ寸法Lに比較して相互間隔が小さく描かれている。
【0028】
以上のように構成された超砥粒ホイール10は、前記取付孔18において所定の研削装置の回転主軸に同軸となるように取り付けられ、その軸心Sまわりに回転駆動させられることで、複数個の砥石部材16の先端面20により構成される研削面により図示しないワークを研削加工する所謂平面研削に用いられる。このようなカップ型の超砥粒ホイール10は、好適には、例えばシリコン、化合物半導体、ガラス、セラミックス、フェライト、水晶、石英、超硬合金等の硬質脆性材料の研削加工に用いられるものである。
【0029】
ところで、上記のような超砥粒ホイール10は、例えば、図4に示される製造工程に従って製造される。以下、図5乃至図7を参照しつつ図4に従って製造方法を説明する。先ず、電鋳パターン作製工程P1において、前記砥石部材16を製造するための電鋳型32を作製する。図5は、電鋳型32の全体を示す斜視図であり、図6にその一部を拡大して示す。この電鋳型32は、例えばステンレス鋼等から成る基板34の一面に、非導電性材料から成るマスキング・パターン36が設けられることによって構成されている。
【0030】
上記のマスキング・パターン36は、例えば基板34の表面から500(μm)程度、すなわち砥石部材16の厚さ寸法よりも十分に高い高さ寸法を有し、且つ例えば200(μm)程度の比較的細い幅寸法を有するものである。このパターン36には、砥石部材16に対応する閉図形が一方向において例えば8個、他方向において例えば6個相互に密接して設けられており、一度に例えば48個の砥石部材16が得られるようになっている。このようなパターン36は、例えば通常のエッチング処理においてフォトリソグラフィによるパターン形成に用いられる光硬化性樹脂を基板34上にパターン形成して、或いは、絶縁性テープをくり抜いて基板34に貼り付けることにより構成される。また、これらの方法の他に、例えば所定の厚さ寸法に塗着した光硬化性樹脂に焦点の深さ位置を変化させつつレーザ光を照射することにより立体的な樹脂膜を得る所謂光造形プロセスを用いることもできる。フォトリソグラフィやテープの貼り付け等では、前述したような例えば300(μm)程度もの厚さ寸法を備えた砥石部材16を製造するために十分な深さ寸法をシャープ・エッジで得ることが困難であるが、光造形プロセスによれば、所望の高さ寸法を備え且つ幅寸法の一様な樹脂膜が容易に得られる。
【0031】
次いで、電解鍍金工程P2では、上記の電鋳型32を鍍金槽38内に沈め、砥粒40をマスキング・パターン36内に散布した後、電解鍍金を施す。すなわち、マスキング・パターン36を用いて電鋳する。鍍金条件は、例えば下記の表1に示されるとおりである。なお、砥粒40は、例えば、平均粒径が35(μm)程度のダイヤモンド砥粒であって、少なくとも製造しようとする砥石部材16の体積分以上が供給された散布状態とされる。例えば、図に示される電鋳型32は74×44(mm)程度の大きさを備えており、砥石部材16を製造する場合には、高さ鍍金層42の厚みを0.3(mm)程度とするので、電鋳物の体積は電鋳型32全体で1(cm)程度になる。ダイヤモンド砥粒の比重は3.52程度であるから、少なくとも4(g)程度以上、例えば40(g)程度を鍍金槽38中に均一に分散させながら鍍金処理を施す。また、下記の条件においては、鍍金層42の析出速度は例えば6(μm/hr)程度なので、例えば300(μm)の厚さを得ようとすると、鍍金処理に必要な時間は例えば50時間程度になる。また、図7(a)は砥粒40を散布した段階を、図7(b)は鍍金層42が形成された段階をそれぞれ示している。本実施例においては、この電解鍍金工程P2が砥石部材製造工程に対応する。
【0032】
[表1]
鍍金条件
・鍍金液:ワット浴(硫酸ニッケル・硼酸・塩化ニッケル)
(必要に応じて、鍍金の硬度・応力調整のための有機質添加剤を含む)
・pH:3〜5
・温度:25〜55(℃)
・電流密度:0.5(A/dm
【0033】
なお、上記の鍍金条件では、鍍金液44にワット浴を用いているが、これに代えて例えばスルファミン酸ニッケル浴や、ニッケル・コバルトの合金鍍金浴等を用いてもよい。また、上記のような電解鍍金に代えて、無電解鍍金を用いることもできる。
【0034】
次いで、剥離工程P3においては、電解鍍金工程P2で電鋳型32上に形成された電鋳品をその電鋳型32から剥離する。このとき、必要に応じて酸洗浄等の表面処理が施されるが、例えば、基板34の表面が十分に細かい研磨面等である場合には、何ら表面処理を施さなくとも剥離することが可能である。剥離した電鋳品は、例えば超音波洗浄機等で洗浄する。このようにして、前記の砥石部材16が得られる。図7(c)は、剥離した砥石部材16を示している。
【0035】
次いで、接着工程P4において、砥石部材16を前記の台金12の端面14に例えばエポキシ樹脂等の合成樹脂接着剤30(図2参照)で接着する。すなわち、端面14に前記の環状溝28を予め形成し、その環状溝28内に砥石部材16を挿入して固着する。図7(d)は、この工程の実施状態を説明する図である。電鋳型32を用いて電気鍍金することにより製造される砥石部材16は、平坦な薄板となるので、環状溝28の曲率に合わせて僅かに湾曲させた状態でそこに挿入される。本実施例においては、この接着工程P4が固着工程に対応する。
【0036】
次いで、仕上げ工程P5では、接着された複数枚の砥石部材16の先端面20が例えば切削加工等により形状が整えられることで、図1に示すような超砥粒ホイール10が製造される。前述した砥石部材16の突き出し高さ寸法hは、この切削加工後の値である。そのため、0.5(mm)程度になるこの切削代を見込んで、砥石部材16の製造段階では、研削部24の長さ寸法hgが例えば3(mm)程度に設定される。したがって、接着工程P4では、砥石部材16が端面14から例えば4(mm)程度だけ突き出した状態で接着されることになる。
【0037】
上述したように、本実施例によれば、3つの微小な先端面20に分割された端面を有する研削部24が複数の砥石部材16の各々に設けられていることから、超砥粒ホイール10には、固着数にその分割数を乗じた数に分割された研削面が備えられる。このため、台金12に固着する砥石部材16の個数を比較的少なく留めながら研削面の分割数を多くできるので、製造が容易で且つ切れ味や耐用寿命に優れた超砥粒ホイール10が得られる。
【0038】
また、本実施例によれば、前記砥石部材16は全体が一様な厚さ寸法の薄板状を成し、前記研削部24は相互に平行な複数本の帯状部22から成り且つその帯状部22の先端に微小な先端面20を備えているため、複数本の帯状部22がその先端から次第に磨耗させられても、基端部まで磨耗させられてそれら帯状部22が完全に無くなるまではその先端面20が相互に独立した状態に維持される。そのため、一層耐用寿命に優れた超砥粒ホイール10が得られる。例えば、本実施例のように仕上げ工程P5の後における長さ寸法hgが2.5(mm)程度とされた砥石部材16では、2(mm)程度の使用代を確保できることになる。また、基端部まで磨耗すると、砥石部材16と被研削材との接触面積が大きくなるので、急激に切れ味が悪化する。これにより、超砥粒ホイール10の使用寿命に至ったことが判る。しかも、薄板状であることから研削点における加工圧力を比較的高くできるため、セラミックスのような砥粒40が食い込み難い硬質の被研削材も容易に研削加工できると共に、大きい研削面の中央部のような研削加工への寄与が少なく専ら目詰りの原因となる部分が殆ど無いため切れ味が一層高められる利点がある。
【0039】
また、本実施例においては、電解鍍金工程P2において、固着部26と複数の微小な先端面20を備えた研削部24とをそれぞれ有する複数個の砥石部材16が製造される一方、接着工程P4において、その固着部26が台金12表面に固着されることにより、超砥粒ホイール10が製造される。そのため、その超砥粒ホイール10は、台金12に固着するための固着部26と、研削面を構成するための端面が相互に離隔させられた複数の先端面20に分割された研削部24とを有する砥石部材16を備えたものになる。したがって、先端面20の分割数に応じて分割数が多くされた研削面を備えることにより優れた切れ味および耐用寿命を備えた超砥粒ホイール10を容易に製造できる。
【0040】
また、本実施例においては、前記電解鍍金工程P2は、前記薄板状の砥石部材16の厚さ寸法に応じた高さ寸法を備えたマスキング・パターン36内に多数の砥粒40を散布した状態で鍍金処理を施すものであることから、薄板状の砥石部材16の厚み方向に鍍金層42が形成されるため、その厚み方向に一様な断面を有し且つ端面が複数の微小な先端面20に分割された砥石部材16が容易に得られ、延いてはその砥石部材16が固着された超砥粒ホイール10が容易に得られる。しかも、薄板状の砥石部材16が高さ方向に鍍金される場合に比較して鍍金処理に必要な時間が短くなるので、超砥粒ホイール10の製造効率が高められる利点もある。
【0041】
また、本実施例においては、砥石部材16は長さ寸法が例えば12(mm)程度であるため、台金12に固着される砥石部材16の個数が十分に少なくなって製造が安価且つ容易になると共に、厚さ寸法tの例えば40倍程度の長さ寸法に留められているため、十分に高い剛性が確保されている。
【0042】
また、本実施例においては、砥石部材16の厚さ寸法が0.3(mm)程度であるため、十分な剛性を備え且つ比較的短時間で製造が可能である。また、砥粒40の平均粒径の8倍程度の厚さ寸法であるため、砥粒40の保持が確実である。
【0043】
また、本実施例においては、端面14上における突き出し高さが3.5(mm)程度とされているため、2(mm)程度の十分な使用代が確保されて耐用寿命が得られると共に、厚さ寸法の11倍程度に留められているため十分な剛性が確保されている。
【0044】
次に、本発明の他の実施例を説明する。図8は、砥石部材16に代えて超砥粒ホイールを構成し得る砥石部材46の全体を示す斜視図である。図において、砥石部材46は、前記の砥石部材16と略同様な寸法および外形を有するものであるが、前記の帯状部22は備えられておらず、これに代わって先端面20に半円筒状の溝が形成されると共に、内側位置に厚み方向に貫通する複数個(例えば5個)の貫通孔48が備えられている。この貫通孔48の直径は、例えば0.05〜1(mm)の範囲内、例えば2(mm)程度であり、多段(図においては2段)に設けられている。
【0045】
上記の砥石部材46も、先端面20が上側に位置する向きで前記の台金12に接着されて用いられる。研削加工中にその先端面20が磨耗させられることによって貫通孔48の設けられている位置まで後退すると、露出させられた貫通孔48の相互間の部分のみに先端面20が形成される。すなわち、砥石部材46の端面が貫通孔48によって複数の微小な先端面20に分割される。そのため、このような砥石部材46が用いられる場合にも、前記の超砥粒ホイール10と同様に、優れた耐用寿命が得られる。
【0046】
また、図9は、更に他の砥石部材50をその先端面側から見た平面図である。この砥石部材50は円弧状の平面形状を有するものであって、例えば、前記の図6に示されるような電鋳型32において、複数の砥石部材の各々に対応する鍍金層42の形成面が蒲鉾状を成すものを用いること等により製造される。この砥石部材50も砥石部材16と同様に台金12に接着されることによって超砥粒ホイールを構成し得る。すなわち、超砥粒ホイールの構成材料としては、砥石部材16,46のような先端面20が直線状を成すものに限られず、種々の形状の先端面を有する砥石部材を用い得るのである。なお、台金12に固着するに際しては、例えば砥石部材50の円弧の半径と同程度の幅寸法の環状溝28内に挿入して固定される。
【0047】
また、図10および図11は、砥石部材16或いは46等の台金12上における他の配設形状の一例をそれぞれ説明する平面図である。図10に示されるものでは、砥石部材16等が台金12の径方向および周方向に対してそれぞれ一定の角度だけ傾斜した向きで固着されている。また、図11に示されるものでは、周方向において相互に隣接する砥石部材16等の傾斜方向が相互に反対と成るように固着されている。このように、砥石部材16等の配設パターンは、図1に示したような一円周上にその長手方向が台金12の周方向に沿った向きで並ぶものの他、超砥粒ホイールの用途に応じて、これらのような種々のパターンとすることができる。
【0048】
なお、図1に示した超砥粒ホイール10では、台金12の端面14に環状溝28が設けられると共に、平板状の砥石部材16がその環状溝28の曲率に合わせて僅かに湾曲させられることにより、全体として円環状の研削面が形成されるようにその砥石部材16が固着されていた。しかしながら、多数の砥石部材16が端面14に備えられる場合には、研削面が略円環状となっていれば完全な円環状でなくとも(例えば多角形を成していても)、同等の研削性能が得られるものと考えられる。そのため、砥石部材16等の配設形状は、例えば、図12に示されるように正多角形となっていてもよい。この配設形状では、図13に示されるように個々の砥石部材16が平坦なまま溝52内に嵌め入れられて接着等によって固定されている。そのため、溝52は、その砥石部材16の長さ寸法よりも僅かに各辺が長くされた正多角形を成しており、或いは、砥石部材16が平坦なまま挿入できるだけの幅寸法の円環状を成している。このような配設態様によれば、砥石部材16を湾曲させた状態で嵌め入れる必要がないので、製造が一層簡単になると共に、砥石部材16に湾曲に起因する応力が発生しないので破損し難くなる利点がある。
【0049】
以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、更に別の態様においても実施される。
【0050】
例えば、実施例においては、有底円筒状の台金12の円環状端面14に砥石部材16,46等が接着されることによって構成された平面研削用のカップ状ホイールである超砥粒ホイール10に本発明が適用された場合について説明したが、台金12の形状は特に限定されず、種々の形状のものを用いることができる。例えば、円板状の台金を用いることにより構成される平面研削用ディスク型ホイールにも本発明は適用される。このような台金を用いる場合には、砥石部材は、その周縁部だけでなく、例えば円形の端面全体に接着されても良い。
【0051】
また、実施例においては、例えば3本の帯状部22を備えた砥石部材16が用いられることによって100個程度の微小面で超砥粒ホイール10の研磨面が構成されていたが、同程度の個数の微小面を構成するために、更に多数の帯状部22を備えた長さ寸法Lの長い砥石部材を用いることもできる。このようにすれば、端面14に接着すべき砥石部材の個数が一層少なくなるので、製造が一層容易になる利点がある。なお、砥石部材は薄いことから比較的容易に湾曲させ得るため、長さ寸法Lが長くなっても環状溝28内に納めることは容易である。
【0052】
また、実施例においては、砥石部材16が電解鍍金によって、すなわち電鋳によって製造されていたが、無電解鍍金によって製造することもできる。また、砥石部材16等は、鍍金によって製造されるものに限られず、所望の形状のものが製造可能な範囲で、粉末プレス成形や流し込み成型等を用いてもよい。
【0053】
また、実施例においては、砥粒40をニッケル合金で結合することによって砥石部材16等が構成されていたが、結合材の種類は特に限定されず、用途に応じて、合成樹脂結合剤やガラス質結合材等を用いても良い。
【0054】
また、砥石部材16等の大きさや端面14からの突き出し量等の各部の構成は、実施例に記載されているものに限られず、超砥粒ホイールの用途に応じて適宜変更されるものである。
【0055】
また、実施例においては、砥粒40がダイヤモンド砥粒であったが、砥石部材16等に備えられる砥粒40は、超砥粒であれば差し支えなく、例えばCBNであっても良い。
【0056】
また、実施例においては、砥石部材16が台金12の円環状端面14の1円周上に接着されていたが、2つ或いはそれ以上の円周上に接着されることによって砥石部材16を二重或いはそれ以上の多重に設けることもできる。
【0057】
その他、一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の超砥粒ホイールの全体を示す斜視図である。
【図2】図1の一部を拡大して砥石部材の構成および固着構造を説明する図である。
【図3】図1の超砥粒ホイールに備えられた砥石部材の各部の寸法を説明する平面図である。
【図4】図1の超砥粒ホイールの製造方法を説明する工程図である。
【図5】図4の製造方法において砥石部材を製造するための電鋳型を示す斜視図である。
【図6】図5の電鋳型の一部を拡大して示す図である。
【図7】(a)〜(d)は、図4の製造工程の要部段階における実施状態を説明するための模式図である。
【図8】本発明の超砥粒ホイールを構成する砥石部材の他の一例を説明する斜視図である。
【図9】砥石部材形状の更に他の例を説明する平面図である。
【図10】砥石部材の配設形状の他の例を説明する平面図である。
【図11】砥石部材の配設形状の更に他の例を説明する平面図である。
【図12】砥石部材の配設形状の更に他の例を説明する平面図である。
【図13】図12の配設形状における砥石部材の固着状態を説明するための図2に対応する図である。
【符号の説明】
10:超砥粒ホイール
12:台金
14:端面
16:砥石部材
20:先端面
24:研削部
P2:電解鍍金工程
P4:接着工程
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a superabrasive wheel in which a plurality of grindstone portions in which a number of superabrasive grains are bonded by a binder are fixed to a base metal, and a method of manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
For example, for grinding a wafer made of a difficult-to-cut material such as quartz, sapphire, silicon carbide, etc., a super-abrasive such as a diamond abrasive or a CBN abrasive is used for a vitrified bond (glassy binder) or a metal bond (metallic). Attempts have been made to use superabrasive wheels bonded with a binder. However, a superabrasive wheel using a vitrified bond has excellent sharpness, but has a disadvantage that the life of the wheel is short due to insufficient abrasive holding power due to the presence of pores. On the other hand, a superabrasive wheel using a metal bond has an excellent abrasive grain holding power, but has a drawback of poor persistence of sharpness due to poor changeability.
[0003]
On the other hand, a so-called chip in which a number of superabrasive grains are bonded by electroforming is produced, and a plurality of chips are fixed to the annular end face of the base metal having a bottomed cylindrical shape with a gap provided between them. A cup-type wheel has been proposed (for example, see Patent Document 1). According to such a cup-type wheel, the unit of the contact area between the ground surface to which the abrasive grains are fixed and the surface to be ground is reduced, so that clogging is hardly generated and high sharpness is obtained, and the holding power of the abrasive grains is reduced. Therefore, there is an advantage that a long life can be obtained. Moreover, since the miniaturization of the contact unit area is performed by providing a gap between the chips, the slit is formed after the abrasive layer is provided with a uniform thickness on the entire annular end face of the base metal. There is also an advantage that it can be manufactured easily and inexpensively as compared with the case where processing is performed. Therefore, such a cup-type wheel is, for example, in addition to the above-mentioned wafer grinding processing of hard-to-cut materials, hard brittle materials such as silicon, compound semiconductor, glass, ceramics, ferrite, quartz, quartz, and cemented carbide. It is also suitably used for grinding.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-62736 A
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the cup-shaped wheel described in Patent Document 1, in order to further reduce the unit area of contact between the ground surface and the surface to be ground, each of the chips fixed to the annular end surface is significantly reduced, and the number of fixed chips is reduced. Needs to be significantly increased. For example, when chips having a length of about 2 (mm) are provided at intervals of about 1 (mm) on a base having an outer diameter of 200 (mm), as many as 200 chips are required. Therefore, in order to manufacture a cup-shaped wheel with higher sharpness, each of the chips becomes smaller and the number of chips increases, so that the manufacturing process becomes extremely complicated, and the manufacturing cost increases. Was. In addition, since the individual chips become extremely small, the adhesive area to the base metal becomes extremely small, so that the adhesive strength becomes insufficient, or there is a disadvantage that the handling by human hands becomes extremely difficult.
[0006]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a superabrasive wheel which is easy to manufacture, has excellent sharpness and a long service life, and a method for manufacturing the same.
[0007]
[First means for solving the problem]
In order to achieve the above object, the gist of the first invention is that a plurality of grindstone members in which a number of superabrasive grains are bonded by a binder are fixed at predetermined positions on a surface of a base metal, and the plurality of grindstones are provided. A superabrasive wheel in which a grinding surface is formed by an end surface located on a predetermined surface of a member, wherein each of the plurality of grinding stone members is provided at one end thereof and is fixed to the base metal. And a grinding portion provided on the other end side and divided into a plurality of minute surfaces which are separated from each other and constitute the grinding surface.
[0008]
[Effect of the first invention]
According to this configuration, since the grinding portion having the end surface divided into the plurality of minute surfaces is provided on each of the plurality of grindstone members, the superabrasive wheel is obtained by multiplying the fixed number by the number of divisions. A number of ground surfaces are provided. For this reason, the number of divisions of the grinding surface can be increased according to the number of divisions of the minute surface while keeping the number of grinding stone members fixed to the base metal relatively small, so that the super-abrasive which is easy to manufacture and has excellent sharpness and service life. A grain wheel is obtained.
[0009]
Other aspects of the invention
Here, preferably, the binder is a nickel alloy. In this way, the nickel alloy can be easily formed by plating, and is excellent in corrosion resistance, and a high hardness can be obtained. Therefore, particularly as a constituent material of the grindstone member constituting the superabrasive wheel, It is suitable.
[0010]
Preferably, each of the plurality of minute surfaces is 0.01 to 1 (mm). 2 ). According to the present invention, while keeping the size of the grindstone member sufficiently large, the minute surface constituting the ground surface is made extremely small, so that the unit of the contact area between the ground surface and the ground surface can be made extremely small, By arranging the minute surface to have the minute area as described above, it is possible to obtain a super-abrasive wheel having extremely high sharpness while maintaining good handleability and workability, high adhesive strength of the grindstone member, and the like. More preferably, the area of each of the micro-surfaces is 0.05 (mm 2 ) Is preferable, and 0.8 (mm 2 The following are preferred. More preferably, the lower limit is 0.08 (mm 2 ) Or more, and the upper limit is 0.7 (mm 2 )
[0011]
Preferably, the grinding wheel member is fixed in a state where a part of the fixing portion on the grinding portion side is exposed on the surface of the base metal. In this way, when the grindstone member is worn until the grinding portion disappears, the area of the tip surface of the grindstone member increases, so that the service life of the superabrasive wheel can be easily known. For example, it is possible to determine the life when the grinding resistance increases due to an increase in the area of the tip surface during the grinding process, or to determine the life by visual inspection of the tip surface at an appropriate time. is there.
[0012]
Also, preferably, the whole of the whetstone member is formed in a thin plate shape having a uniform thickness dimension, and the grinding portion is formed of a plurality of mutually parallel belt-like portions, and the fine surface is formed at the tip of the belt-like portion. It is provided with. In this way, even if the plurality of strips are gradually worn from their tips, the minute end faces are maintained independent of each other until they are worn down to the base end. For this reason, a superabrasive wheel with even more excellent service life can be obtained. In addition, since it is a thin plate, the processing pressure at the grinding point can be set relatively high, so that it is possible to easily grind hard workpieces such as ceramics, which are hard to penetrate abrasive grains, and at the center of a large ground surface. There is an advantage that the sharpness is further enhanced because there is almost no portion that causes the clogging because there is little contribution to the grinding process.
[0013]
Further, preferably, the whole grindstone member is formed in a thin plate shape having a uniform thickness dimension, and the grinding portion includes a plurality of pieces penetrating in a thickness direction between a boundary with the fixing portion and the end face. It has a through hole. With this configuration, when the grinding portion is gradually worn from the end surface to expose the through hole to the end surface, the end surface is divided into a plurality of minute surfaces by the through hole. For this reason, a superabrasive wheel with even more excellent service life can be obtained. In addition, since it is a thin plate, the processing pressure at the grinding point can be set relatively high, so that it is possible to easily grind hard workpieces such as ceramics, which are hard to penetrate abrasive grains, and at the center of a large ground surface. There is an advantage that the sharpness is further enhanced because there is almost no portion that causes the clogging because there is little contribution to the grinding process.
[0014]
[Second means for solving the problem]
Further, the gist of the second invention for achieving the above object is that a plurality of grindstone members in which a large number of superabrasive grains are bonded by a binder are fixed at predetermined positions on the surface of the base metal and the plurality of grindstone members are fixed. A method for manufacturing a superabrasive wheel in which a grinding surface is formed by an end surface located on a predetermined one surface of a grindstone member, comprising: (a) a plurality of abrasion wheels having a fixed portion having a predetermined shape on one end side and separated from each other; A whetstone member manufacturing process for manufacturing a plurality of thin plate-shaped whetstone members having a grinding portion having the end surface divided into minute surfaces on the other end side; and (b) the plurality of whetstone members having one end surface. Fixing to the surface of the base metal at the fixing portion so as to be positioned above.
[0015]
[Effect of the second invention]
With this configuration, in the grinding wheel member manufacturing process, a plurality of grinding wheel members each having a fixed portion and a grinding portion having a plurality of minute surfaces are manufactured, while in the bonding process, the fixed portion is formed on the base metal surface. The super-abrasive wheel is manufactured by being fixed to the surface. Therefore, the super-abrasive grain wheel has a fixed portion for fixing to the base metal and a grinding wheel member having a ground portion divided into a plurality of minute surfaces whose end surfaces for forming a ground surface are separated from each other. Will be provided. Therefore, a superabrasive wheel having excellent sharpness and a long service life can be easily manufactured by providing a ground surface whose number of divisions is increased according to the number of divisions of the minute surface.
[0016]
[Another aspect of the second invention]
Here, preferably, the whetstone member manufacturing process includes plating in a state where a large number of abrasive grains are scattered in a masking pattern having a height dimension corresponding to a thickness dimension of the thin plate-shaped whetstone member. It is something to give. With this configuration, since the plating layer is formed in the thickness direction of the thin plate-shaped grinding wheel member, the grinding wheel member having a uniform cross section in the thickness direction and having an end surface divided into a plurality of minute surfaces can be easily formed. And, in turn, a superabrasive wheel to which the grindstone member is fixed is easily obtained. In addition, the time required for the plating process is shorter than when the thin plate-shaped grindstone member is plated in the height direction, so that there is an advantage that the production efficiency of the superabrasive wheel is increased. The plating treatment is, for example, electrolytic plating or electroless plating, and more preferably, electroforming.
[0017]
Preferably, the masking pattern is formed by a stereolithography method. In this manner, according to the stereolithography method, a finer and deeper masking pattern can be easily obtained as compared with a method using a photomask. As a result, a superabrasive wheel having good sharpness and a long service life can be more easily obtained.
[0018]
In the first invention and the second invention, preferably, the thin plate-like grindstone member has a planar shape whose length in a plane direction of the base metal is in a range of 5 to 50 (mm). Things. In order to reduce the number of grindstone members fixed to the base metal and to make the production cheap and easy, it is necessary to make the length dimension of each grindstone member sufficiently long, so that the length dimension is at least 5 ( mm) or more is desirable. On the other hand, if the length exceeds 50 (mm), it is not preferable because it is difficult to secure rigidity. The length dimension is more preferably 100 times or less the thickness dimension, and more preferably 50 times or less.
[0019]
Preferably, the thickness of the thin plate-shaped grindstone member in the plane direction of the base metal is in a range of 0.05 to 1 (mm). If the thickness is less than 0.05 (mm), the rigidity becomes insufficient, and if a thickness exceeding 1 (mm) is to be obtained by plating, the time required for production becomes extremely long. The thickness dimension is more preferably in the range of 0.1 to 0.8 (mm), more preferably in the range of 0.15 to 0.6 (mm). The thickness is preferably at least three times the average particle size of the abrasive grains in order to reliably hold the abrasive grains.
[0020]
Preferably, the thin plate-shaped grindstone member is fixed to the surface of the base metal such that the protrusion height on the surface of the base metal is within a range of 1 to 10 (mm). In order to secure a sufficient usage margin and obtain a useful life, it is preferable that the protrusion length be at least 1 (mm), while to ensure rigidity, a protrusion length of 10 (mm) or less is preferable. . More preferably, the overhang length is no more than 30 times the thickness dimension, more preferably no more than 20 times.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0022]
FIG. 1 is a perspective view showing the entire superabrasive wheel 10 according to one embodiment of the present invention. In the figure, a superabrasive wheel 10 has a base 12 having a bowl shape (cup shape), that is, a bottomed cylindrical shape having an outer diameter of about 250 (mm) and an inner diameter of about 230 (mm), and a circle of the base 12. The annular end face 14 is composed of a plurality of thin plate-shaped grindstone members 16 fixed on a circumference having a diameter of, for example, about 240 (mm) (that is, a substantially central portion of the thickness of the cylindrical portion).
[0023]
The base metal 12 is made of, for example, a metal material such as steel, a titanium alloy, a metal matrix composite (MMC: metal matrix composite material), an aluminum alloy, or a synthetic resin material such as an engineering plastic. At the center of the bottom of the base metal 12, a mounting hole 18 for mounting to a rotating spindle of a predetermined grinding device (not shown) at the time of grinding is provided so as to penetrate in the thickness direction thereof. In consideration of the mechanical rigidity of the grinding device, the base metal 12 is desired to be as lightweight as possible so that the influence on the processing accuracy is minimized. Therefore, an aluminum alloy is most preferable. However, when the mechanical rigidity is sufficiently high, it is conceivable to use a material having high rigidity such as a titanium alloy or MMC in order to further enhance the processing accuracy.
[0024]
In addition, the abrasive member 16 includes a large number of diamond abrasive grains or super-abrasive grains such as CBN abrasive grains having an average particle diameter of, for example, about 35 (μm) in a range of 0.05 to 50 (μm). These are mutually bonded by a metal binder made of a nickel alloy or the like. In the whetstone member 16, each tip surface 20 (see FIG. 2) projecting in the axial direction of the base metal 12 is divided into a plurality of, for example, three. The many tip surfaces 20 of the plurality of grindstone members 16 are located on one plane, and these constitute the ground surface of the superabrasive wheel 10. In the present embodiment, the tip end surface 20 corresponds to a minute surface.
[0025]
As shown in FIG. 2 in an enlarged manner, the grindstone member 16 has, for example, a tip end surface 20 divided into three as described above, that is, a grinding portion 24 on the tip end side including three parallel strips 22. , And a wide fixing portion 26 provided on the base end side to integrate the band portion 22. The base end face 14 is provided with an annular groove 28 coaxially with the outer peripheral edge and the inner peripheral edge thereof, and the grindstone member 16 is fitted into the annular groove 28 at the fixing portion 26 in a partially exposed state. And is fixed by a synthetic resin adhesive 30 such as an epoxy resin. The height dimension h of the exposed portion (that is, the exposed length dimension in the direction along the axial direction of the base metal 12) is, for example, in the range of 1 to 10 (mm), for example, about 3.5 (mm). The thickness t (that is, the thickness in the direction along the radial direction of the base metal 12) is, for example, in the range of 0.05 to 1.0 (mm), for example, about 0.3 (mm). It is a uniform value. The length L in the direction along the circumferential direction of the end face 14 is, for example, in the range of 5 to 50 (mm), for example, about 12 (mm). Therefore, in this embodiment, the thickness t is about 8 times the abrasive grain size, the exposed height h is about 11 times the thickness t, and the length L is 40 times the thickness t. It is about. The grindstone member 16 has a slightly curved shape in the longitudinal direction following the annular groove 28.
[0026]
FIG. 3 is a diagram showing the grinding wheel member 16 in a front view. The height hg of the grinding portion 24 is in the range of 1 to 9.9 (mm), for example, about 2.5 (mm), and the height hs of the fixing portion 26 is 1 to 10.0 (mm). Within the range, for example, about 4 (mm). Therefore, in a state where the grinding stone member 16 is fixed to the base metal 12, the entire grinding portion 24 and a part of the upper end of the fixing portion 26 are exposed on the end surface 14. The depth of the annular groove 28 is, for example, about 3 (mm), which is substantially equal to the height of the non-exposed portion of the fixing portion 26, and the groove width is the thickness of the grindstone member 16. It is slightly larger than t. Further, the width of the strip 22 is, for example, about 2 (mm), for example, in the range of 0.1 to 5 (mm), and the width g of the gap between them is 0.1 to 5 ( mm), for example, about 2 (mm). Further, the band-shaped portions 22 at both ends are retracted from both end positions of the fixing portion 26 by, for example, about e = 1 (mm).
[0027]
The superabrasive wheel 10 has such a grindstone member 16 fixed in the circumferential direction, for example, within a range of 0.1 to 20 (mm), for example, at a uniform interval of about 10 (mm). . The number of the grindstone members 16 is, for example, 34 since they are fixed on a circumference having a diameter of about 240 (mm) as described above. In FIG. 1, for convenience of illustration, the number of the grindstone members 16 is 24, and the distance between the grindstone members 16 is smaller than the length L of the grindstone members 16.
[0028]
The superabrasive wheel 10 configured as described above is mounted so as to be coaxial with the rotating main shaft of a predetermined grinding device in the mounting hole 18 and is driven to rotate around its axis S, whereby a plurality of superabrasive wheels 10 are provided. This is used for so-called surface grinding in which a workpiece (not shown) is ground by a grinding surface constituted by the tip end surface 20 of the grinding wheel member 16. Such a cup-type superabrasive wheel 10 is preferably used for grinding hard brittle materials such as, for example, silicon, compound semiconductors, glass, ceramics, ferrite, quartz, quartz, and cemented carbide. .
[0029]
Incidentally, the superabrasive wheel 10 as described above is manufactured, for example, according to the manufacturing process shown in FIG. Hereinafter, the manufacturing method will be described according to FIG. 4 with reference to FIGS. First, in an electroforming pattern manufacturing process P1, an electroforming mold 32 for manufacturing the grindstone member 16 is manufactured. FIG. 5 is a perspective view showing the entire electroforming mold 32, and FIG. The electroforming mold 32 is formed by providing a masking pattern 36 made of a non-conductive material on one surface of a substrate 34 made of, for example, stainless steel.
[0030]
The masking pattern 36 has, for example, about 500 (μm) from the surface of the substrate 34, that is, a height dimension sufficiently higher than the thickness dimension of the grindstone member 16, and has a relatively large dimension, for example, about 200 (μm). It has a narrow width. In the pattern 36, for example, eight closed figures corresponding to the grindstone members 16 are provided in close contact with each other, for example, six in one direction, and, for example, 48 grindstone members 16 are obtained at one time. It has become. Such a pattern 36 is formed, for example, by patterning a photocurable resin used for pattern formation by photolithography on the substrate 34 in a normal etching process, or by cutting out an insulating tape and attaching the substrate to the substrate 34. Be composed. In addition to these methods, for example, a so-called stereolithography in which a three-dimensional resin film is obtained by irradiating a laser beam while changing a depth position of a focus on a photocurable resin applied to a predetermined thickness dimension, for example. A process can also be used. In photolithography, tape bonding, and the like, it is difficult to obtain a sufficient depth dimension with a sharp edge in order to manufacture the grindstone member 16 having a thickness dimension of, for example, about 300 (μm) as described above. However, according to the stereolithography process, a resin film having a desired height and a uniform width can be easily obtained.
[0031]
Next, in the electrolytic plating step P2, the above electroforming mold 32 is immersed in the plating tank 38, and the abrasive grains 40 are scattered in the masking pattern 36, followed by electrolytic plating. That is, electroforming is performed using the masking pattern 36. The plating conditions are, for example, as shown in Table 1 below. The abrasive grains 40 are, for example, diamond abrasive grains having an average particle diameter of about 35 (μm), and are in a scattered state to which at least the volume of the grinding stone member 16 to be manufactured is supplied. For example, the electroforming mold 32 shown in the figure is 74 × 44 (mm 2 ), And when manufacturing the grindstone member 16, the thickness of the height plating layer 42 is set to about 0.3 (mm). (Cm 3 ) About. Since the specific gravity of the diamond abrasive grains is about 3.52, plating is performed while uniformly dispersing at least about 4 (g) or more, for example, about 40 (g) in the plating tank 38. Further, under the following conditions, the deposition rate of the plating layer 42 is, for example, about 6 (μm / hr). Therefore, to obtain a thickness of, for example, 300 (μm), the time required for the plating process is, for example, about 50 hours. become. FIG. 7A shows a stage where the abrasive grains 40 are scattered, and FIG. 7B shows a stage where the plating layer 42 is formed. In the present embodiment, the electrolytic plating process P2 corresponds to a grindstone member manufacturing process.
[0032]
[Table 1]
Plating conditions
・ Plating solution: Watt bath (nickel sulfate, boric acid, nickel chloride)
(If necessary, include organic additives for adjusting plating hardness and stress)
-PH: 3-5
・ Temperature: 25 to 55 (° C)
-Current density: 0.5 (A / dm 2 )
[0033]
In the above plating conditions, a watt bath is used as the plating solution 44. Alternatively, for example, a nickel sulfamate bath or a nickel-cobalt alloy plating bath may be used. In addition, electroless plating can be used instead of electrolytic plating as described above.
[0034]
Next, in a peeling step P3, the electroformed product formed on the electroforming mold 32 in the electrolytic plating step P2 is peeled from the electroforming mold 32. At this time, a surface treatment such as acid cleaning is performed as necessary. For example, when the surface of the substrate 34 is a sufficiently fine polished surface or the like, the substrate 34 can be peeled without any surface treatment. It is. The peeled electroformed product is cleaned with, for example, an ultrasonic cleaner. In this way, the above-mentioned grindstone member 16 is obtained. FIG. 7C shows the peeled whetstone member 16.
[0035]
Next, in the bonding step P4, the grindstone member 16 is bonded to the end face 14 of the base metal 12 with a synthetic resin adhesive 30 such as an epoxy resin (see FIG. 2). That is, the above-mentioned annular groove 28 is formed in the end face 14 in advance, and the grindstone member 16 is inserted and fixed in the annular groove 28. FIG. 7D is a diagram for explaining an implementation state of this step. Since the grindstone member 16 manufactured by electroplating using the electroforming mold 32 is a flat thin plate, the grindstone member 16 is inserted therein while being slightly curved in accordance with the curvature of the annular groove 28. In the present embodiment, this bonding step P4 corresponds to a fixing step.
[0036]
Next, in the finishing step P5, the tip surfaces 20 of the plurality of bonded grindstone members 16 are adjusted in shape by, for example, cutting or the like, whereby the superabrasive wheel 10 as shown in FIG. 1 is manufactured. The protrusion height dimension h of the grindstone member 16 described above is a value after this cutting. Therefore, in anticipation of this cutting allowance of about 0.5 (mm), the length dimension hg of the grinding portion 24 is set to, for example, about 3 (mm) in the manufacturing stage of the grindstone member 16. Therefore, in the bonding step P4, the grindstone members 16 are bonded while protruding from the end face 14 by, for example, about 4 (mm).
[0037]
As described above, according to the present embodiment, since the grinding portion 24 having the end surface divided into the three minute tip surfaces 20 is provided on each of the plurality of grinding stone members 16, the superabrasive wheel 10 Is provided with a ground surface divided into a number obtained by multiplying the number of sticks by the number of divisions. For this reason, the number of divisions of the grinding surface can be increased while keeping the number of the grindstone members 16 fixed to the base metal 12 relatively small, so that the superabrasive grain wheel 10 which is easy to manufacture and has excellent sharpness and service life can be obtained. .
[0038]
Further, according to the present embodiment, the grinding wheel member 16 has a thin plate shape having a uniform thickness dimension as a whole, and the grinding portion 24 includes a plurality of belt portions 22 parallel to each other. Since the distal end 22 has a minute distal end surface 20, even if a plurality of strips 22 are gradually worn from the tip, they are worn down to the base end until the strips 22 completely disappear. The tip surfaces 20 are maintained independent of each other. As a result, a superabrasive wheel 10 having a much longer service life can be obtained. For example, in the grindstone member 16 having the length dimension hg of about 2.5 (mm) after the finishing step P5 as in this embodiment, it is possible to secure a use allowance of about 2 (mm). Further, when the base end is worn, the contact area between the grindstone member 16 and the material to be ground increases, so that sharpness sharply deteriorates. This indicates that the service life of the superabrasive wheel 10 has been reached. In addition, since the processing pressure at the grinding point can be set relatively high due to the thin plate shape, the hard workpiece to which the abrasive grains 40 hardly penetrate can be easily ground, and the center of the large ground surface can be ground. Since there is little contribution to the grinding process and there is almost no portion that causes clogging, there is an advantage that the sharpness is further enhanced.
[0039]
Further, in the present embodiment, in the electrolytic plating process P2, a plurality of the grindstone members 16 each having the fixing portion 26 and the grinding portion 24 having the plurality of fine tip surfaces 20 are manufactured, while the bonding process P4 is performed. The super abrasive wheel 10 is manufactured by fixing the fixing portion 26 to the surface of the base metal 12. For this reason, the superabrasive wheel 10 has a grinding portion 24 divided into a fixing portion 26 for fixing to the base metal 12 and a plurality of tip surfaces 20 whose end surfaces for forming a grinding surface are separated from each other. And a grinding stone member 16 having the following. Therefore, by providing a ground surface whose number of divisions is increased according to the number of divisions of the front end surface 20, it is possible to easily manufacture the superabrasive wheel 10 having excellent sharpness and service life.
[0040]
Further, in the present embodiment, the electrolytic plating step P2 is a state in which a large number of abrasive grains 40 are scattered in a masking pattern 36 having a height dimension corresponding to the thickness dimension of the thin plate-like grindstone member 16. Since the plating process is performed in this manner, the plating layer 42 is formed in the thickness direction of the thin plate-shaped grindstone member 16, and thus has a uniform cross section in the thickness direction and a plurality of minute tip surfaces. The grindstone member 16 divided into 20 is easily obtained, and the superabrasive wheel 10 to which the grindstone member 16 is fixed is easily obtained. In addition, since the time required for the plating process is shorter than when the thin plate-shaped grindstone member 16 is plated in the height direction, there is an advantage that the production efficiency of the superabrasive wheel 10 can be increased.
[0041]
In this embodiment, since the length of the grindstone member 16 is, for example, about 12 (mm), the number of the grindstone members 16 fixed to the base metal 12 is sufficiently reduced, and the manufacturing is cheap and easy. At the same time, since the length is limited to, for example, about 40 times the thickness t, sufficiently high rigidity is secured.
[0042]
Further, in the present embodiment, since the thickness of the grindstone member 16 is about 0.3 (mm), it has sufficient rigidity and can be manufactured in a relatively short time. Further, since the thickness is about eight times the average particle diameter of the abrasive grains 40, the holding of the abrasive grains 40 is ensured.
[0043]
Further, in this embodiment, the protrusion height on the end face 14 is about 3.5 (mm), so that a sufficient use margin of about 2 (mm) is ensured, and the service life can be obtained. Sufficient rigidity is secured because the thickness is kept to about 11 times the thickness.
[0044]
Next, another embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a perspective view showing the whole of a grindstone member 46 that can constitute a superabrasive wheel in place of the grindstone member 16. In the figure, the grindstone member 46 has substantially the same dimensions and outer shape as the aforementioned grindstone member 16, but does not include the aforementioned band 22, and instead has a semi-cylindrical shape on the tip end surface 20. And a plurality of (for example, five) through holes 48 penetrating in the thickness direction at the inner position. The diameter of the through hole 48 is, for example, in the range of 0.05 to 1 (mm), for example, about 2 (mm), and is provided in multiple stages (two stages in the figure).
[0045]
The above-mentioned grindstone member 46 is also used by being bonded to the base metal 12 in a direction in which the tip end surface 20 is located on the upper side. When the distal end surface 20 is worn down during the grinding process and retreats to the position where the through-hole 48 is provided, the distal end surface 20 is formed only at a portion between the exposed through-holes 48. That is, the end surface of the grindstone member 46 is divided into the plurality of minute tip surfaces 20 by the through holes 48. Therefore, even when such a grindstone member 46 is used, an excellent service life can be obtained as in the case of the superabrasive wheel 10 described above.
[0046]
FIG. 9 is a plan view of still another grindstone member 50 as viewed from its tip end side. The grindstone member 50 has an arc-shaped planar shape. For example, in the electroforming mold 32 as shown in FIG. 6 described above, the formation surface of the plating layer 42 corresponding to each of the plurality of grindstone members is It is manufactured by using a material having a shape. This grindstone member 50 can also constitute a superabrasive grain wheel by being bonded to the base metal 12 similarly to the grindstone member 16. That is, the constituent material of the superabrasive wheel is not limited to the one in which the tip surface 20 forms a straight line such as the grindstone members 16 and 46, and it is possible to use a grindstone member having various shapes of tip surfaces. Note that, when fixing to the base metal 12, for example, it is inserted and fixed into the annular groove 28 having a width approximately equal to the radius of the arc of the grindstone member 50.
[0047]
FIGS. 10 and 11 are plan views respectively illustrating examples of other arrangement shapes of the grindstone member 16 or 46 on the base metal 12. In FIG. 10, the grindstone member 16 and the like are fixed in a direction inclined by a certain angle with respect to the radial direction and the circumferential direction of the base metal 12. In FIG. 11, the grindstone members 16 and the like adjacent to each other in the circumferential direction are fixed so that the inclination directions thereof are opposite to each other. As described above, the arrangement pattern of the grindstone members 16 and the like is such that the longitudinal direction is arranged along the circumferential direction of the base metal 12 on one circumference as shown in FIG. Various patterns such as these can be used depending on the application.
[0048]
In the superabrasive grain wheel 10 shown in FIG. 1, the annular groove 28 is provided on the end face 14 of the base metal 12, and the flat-shaped grindstone member 16 is slightly curved in accordance with the curvature of the annular groove 28. As a result, the grindstone member 16 is fixed so as to form an annular grinding surface as a whole. However, when a large number of grinding stone members 16 are provided on the end face 14, even if the grinding surface is substantially annular, the grinding surface may not be perfectly annular (for example, even if it has a polygonal shape). It is considered that performance can be obtained. Therefore, the disposition shape of the grindstone member 16 and the like may be, for example, a regular polygon as shown in FIG. In this arrangement, as shown in FIG. 13, the individual grindstone members 16 are fitted into the grooves 52 while being flat, and fixed by bonding or the like. For this reason, the groove 52 has a regular polygon shape in which each side is slightly longer than the length of the grindstone member 16, or an annular ring having a width dimension that allows the grindstone member 16 to be inserted flat. Has formed. According to such an arrangement, it is not necessary to fit the whetstone member 16 in a curved state, so that the manufacturing is further simplified and the whetstone member 16 is hardly damaged because no stress due to bending is generated. There are advantages.
[0049]
As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments, and may be implemented in other embodiments.
[0050]
For example, in the embodiment, the superabrasive grain wheel 10 which is a cup-shaped wheel for surface grinding formed by bonding the grindstone members 16, 46 and the like to the annular end face 14 of the cylindrical metal base 12 having a bottom. Has been described above, the shape of the base metal 12 is not particularly limited, and various shapes can be used. For example, the present invention is also applied to a disk wheel for surface grinding constituted by using a disk-shaped base metal. When such a base is used, the grindstone member may be bonded not only to its peripheral edge but also to, for example, the entire circular end face.
[0051]
Further, in the embodiment, for example, the polishing surface of the superabrasive grain wheel 10 is constituted by about 100 minute surfaces by using the grindstone member 16 having three band-shaped portions 22. In order to form a small number of surfaces, a long grindstone member having a longer length L and having a greater number of strips 22 can be used. By doing so, the number of grinding stone members to be adhered to the end face 14 is further reduced, so that there is an advantage that the production becomes easier. In addition, since the grindstone member is thin, it can be relatively easily curved, so that it is easy to fit the grindstone member in the annular groove 28 even if the length dimension L becomes long.
[0052]
Further, in the embodiment, the grindstone member 16 is manufactured by electrolytic plating, that is, by electroforming, but may be manufactured by electroless plating. In addition, the whetstone member 16 and the like are not limited to those manufactured by plating, and powder press molding or casting may be used as long as a desired shape can be manufactured.
[0053]
Further, in the embodiment, the grindstone member 16 and the like are formed by bonding the abrasive grains 40 with a nickel alloy. However, the type of the binder is not particularly limited, and depending on the application, a synthetic resin binder or glass may be used. A binder may be used.
[0054]
In addition, the configuration of each part such as the size of the grindstone member 16 and the amount of protrusion from the end face 14 is not limited to those described in the examples, but may be appropriately changed depending on the use of the superabrasive wheel. .
[0055]
Further, in the embodiment, the abrasive grains 40 are diamond abrasive grains, but the abrasive grains 40 provided on the grindstone member 16 and the like may be super abrasive grains, and may be, for example, CBN.
[0056]
Further, in the embodiment, the grindstone member 16 is bonded on one circumference of the annular end face 14 of the base metal 12, but the grindstone member 16 is bonded on two or more circumferences. Double or more multiplexes may be provided.
[0057]
Although not specifically exemplified, the present invention is embodied with various changes without departing from the spirit of the invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an entire superabrasive wheel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a part of FIG. 1 for explaining a configuration and a fixing structure of a grindstone member.
FIG. 3 is a plan view illustrating dimensions of each part of a grindstone member provided in the superabrasive grain wheel of FIG.
FIG. 4 is a process chart illustrating a method for manufacturing the superabrasive wheel of FIG.
FIG. 5 is a perspective view showing an electroforming mold for manufacturing a grindstone member in the manufacturing method of FIG.
FIG. 6 is an enlarged view showing a part of the electroforming mold of FIG. 5;
7 (a) to 7 (d) are schematic diagrams for explaining an implementation state at a main part stage of the manufacturing process of FIG. 4;
FIG. 8 is a perspective view illustrating another example of a grindstone member constituting the superabrasive grain wheel of the present invention.
FIG. 9 is a plan view illustrating still another example of the shape of the grinding wheel member.
FIG. 10 is a plan view illustrating another example of the arrangement shape of the grindstone members.
FIG. 11 is a plan view illustrating still another example of the arrangement shape of the grindstone members.
FIG. 12 is a plan view illustrating still another example of the arrangement shape of the grindstone members.
13 is a view corresponding to FIG. 2 for explaining a fixed state of the grindstone member in the arrangement shape of FIG. 12;
[Explanation of symbols]
10: Super abrasive wheel
12: Deposit
14: End face
16: Whetstone member
20: Tip surface
24: Grinding unit
P2: Electroplating process
P4: Bonding process

Claims (7)

多数の超砥粒が結合剤によって結合された複数の砥石部材が台金の表面の所定位置に固着され且つそれら複数の砥石部材の所定の一面上に位置する端面で研削面が構成された超砥粒ホイールであって、
前記複数の砥石部材の各々が、その一端側に設けられ且つ前記台金に固着するための固着部と、その他端側に設けられ且つ前記研削面を構成するための前記端面が相互に離隔させられた複数の微小面に分割された研削部とを有することを特徴とする超砥粒ホイール。
A plurality of grindstone members in which a number of superabrasive grains are combined by a binder are fixed at predetermined positions on the surface of a base metal, and a grinding surface is formed by an end face located on a predetermined surface of the plurality of grindstone members. An abrasive wheel,
Each of the plurality of grindstone members is provided at one end thereof and is fixed to the base metal, and the end surfaces provided at the other end and constituting the grinding surface are separated from each other. And a grinding portion divided into a plurality of minute surfaces.
前記複数の微小面は、各々が0.01乃至1(mm)の範囲内の面積を有するものである請求項1の超砥粒ホイール。The superabrasive wheel according to claim 1, wherein each of the plurality of minute surfaces has an area within a range of 0.01 to 1 (mm 2 ). 前記砥石部材は全体が一様な厚さ寸法の薄板状を成し、前記研削部は相互に平行な複数本の帯状部から成り且つその帯状部の先端に前記微小面を備えたものである請求項1の超砥粒ホイール。The whetstone member is formed in a thin plate shape having a uniform thickness dimension as a whole, and the grinding portion is formed of a plurality of belt portions parallel to each other and has the micro surface at a tip of the belt portion. The superabrasive wheel of claim 1. 前記砥石部材は全体が一様な厚さ寸法の薄板状を成し、前記研削部は前記固着部との境界と前記端面との間に厚み方向に貫通する複数個の貫通孔を有するものである請求項1の超砥粒ホイール。The grinding wheel member has a thin plate shape with a uniform thickness dimension as a whole, and the grinding portion has a plurality of through holes penetrating in a thickness direction between a boundary with the fixing portion and the end face. The superabrasive wheel of claim 1. 多数の超砥粒が結合剤によって結合された複数の砥石部材が台金の表面の所定位置に固着され且つそれら複数の砥石部材の所定の一面上に位置する端面で研削面が構成された超砥粒ホイールの製造方法であって、
所定形状の固着部を一端側に有し且つ相互に離隔する複数の微小面に分割された前記端面を備えた研削部を他端側に有する薄板状の複数個の砥石部材を製造する砥石部材製造工程と、
前記複数個の砥石部材を前記端面が一面上に位置するように前記固着部において前記台金の表面に固着する固着工程と
を、含むことを特徴とする超砥粒ホイールの製造方法。
A plurality of grindstone members in which a number of superabrasive grains are combined by a binder are fixed at predetermined positions on the surface of a base metal, and a grinding surface is formed by an end face located on a predetermined surface of the plurality of grindstone members. A method for manufacturing an abrasive wheel,
A grindstone member for producing a plurality of thin plate-shaped grindstone members having a fixed portion at a predetermined shape at one end and a grinding portion having the end surface divided into a plurality of minute surfaces separated from each other at the other end. Manufacturing process;
Fixing the plurality of grindstone members to the surface of the base metal at the fixing portion so that the end surfaces are located on one surface.
前記砥石部材製造工程は、前記薄板状の砥石部材の厚さ寸法に応じた高さ寸法を備えたマスキング・パターン内に多数の砥粒を散布した状態で鍍金処理を施すものである請求項5の超砥粒ホイールの製造方法。6. The grinding wheel member manufacturing process, wherein a plating process is performed in a state where a large number of abrasive grains are scattered in a masking pattern having a height dimension corresponding to a thickness dimension of the thin plate-shaped grinding wheel member. Manufacturing method of super abrasive wheel. 前記マスキング・パターンは光造形法によって形成されたものである請求項5の超砥粒ホイールの製造方法。6. The method for manufacturing a superabrasive wheel according to claim 5, wherein the masking pattern is formed by a stereolithography method.
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