JP2004327722A - 固体撮像装置の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】転送部のゲート構造に起因する欠陥と、転送部の絞込み部の構造に起因する欠陥とを区別した、別々の算出値による良否判定を可能とする。
【解決手段】各画素を構成するフォトダイオードと、信号電荷を転送する垂直および水平転送部と、電荷検出部とを備え、水平転送部と電荷検出部の接続部に信号電荷の絞込み部を有する固体撮像装置を検査する。フォトダイオードの蓄積電荷量が異なる2種類の撮像動作により得た画像データAおよび画像データBを用いて、絞込み部近傍の領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A1、平均値B1を各々算出し、また、絞込み部から遠くに位置する領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A2、平均値B2を各々算出する。比率T=A1/B1に基づき、絞込み部の欠陥に関する良否判定を行い、比率Tと比率U=A2/B2の比率V=U/T基づき、水平転送部の欠陥に関する良否判定を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】各画素を構成するフォトダイオードと、信号電荷を転送する垂直および水平転送部と、電荷検出部とを備え、水平転送部と電荷検出部の接続部に信号電荷の絞込み部を有する固体撮像装置を検査する。フォトダイオードの蓄積電荷量が異なる2種類の撮像動作により得た画像データAおよび画像データBを用いて、絞込み部近傍の領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A1、平均値B1を各々算出し、また、絞込み部から遠くに位置する領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A2、平均値B2を各々算出する。比率T=A1/B1に基づき、絞込み部の欠陥に関する良否判定を行い、比率Tと比率U=A2/B2の比率V=U/T基づき、水平転送部の欠陥に関する良否判定を行う。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置の欠陥を検査する方法、特に、フォトダイオードで蓄積された信号電荷を電荷検出部に転送するための転送部における欠陥に関する良否を判定するため検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
デジタルスチルカメラ等に用いる固体撮像装置は、各画素を構成するフォトダイオードがマトリクス状に配置され、光電変換された電荷を読み出すために、通常、垂直転送部とともに水平転送部を備えている。水平転送部の特性は画質に与える影響が大きいので、水平転送部の評価および検査は、固体撮像装置の製造において欠かせないものである。
【0003】
一般的な固体撮像装置の構成について、図2および図3を参照して説明する。図2は固体撮像装置の構成図である。フォトダイオード1は半導体基板上に形成され、X方向にi列、Y方向にj行のマトリクス状に配列されている。各フォトダイオード1の位置をP(X,Y)で表す。2は垂直転送部、3は水平転送部でありφH1及びφH2の2相の転送パルスで駆動される。4は水平転送部3の絞込み部、5は電荷検出部である。
【0004】
図3に、水平転送部3と絞込み部4のゲート構造、およびポテンシャル図を示す。ポテンシャルに段差を持つ隣接ゲートを1組として、転送パルスφH1,φH2が印加される。図3はφH1=「L」、φH2=「H」の状態を示し、信号電荷は、φH2を印加する転送ゲート下に蓄積される。φH1を「L」→「H」→「L」、φH2を「H」→「L」→「H」と変化させることで、信号電荷が右から左へ向かって転送される。
【0005】
このような固体撮像装置における、水平転送部3および絞込み部4に存在する欠陥モデルとその影響について説明する。
【0006】
第1の欠陥モデルは、水平転送部3の特定位置に欠陥を持つ場合であり、固体撮像装置から出力された画像は、特定位置の右側(水平転送の特定位置より後ろ側)で水平解像度が劣化し、一様に着色する。
【0007】
第2の欠陥モデルは、水平転送部3のゲート構造に欠陥を持つ場合であり、水平転送全段に影響するため、固体撮像装置から出力された画像は、水平方向の右側に進むに従って水平解像度が劣化し、水平方向に色シェーディング(色がなだらかに変化)が生じる。
【0008】
第3の欠陥モデルは、絞り込み部4に欠陥を持つ場合であり、固体撮像装置から出力された画像は、全面一様に水平解像度が劣化するが正常な画像に見える。しかし、光量を可変にした場合に、光量依存のホワイトバランスズレが生じる。
【0009】
第1、第2、第3のいずれの欠陥モデルが存在する場合でも、完全な水平転送が行われない状態となり、転送残りが発生する。ここで、完全な水平転送が行われる状態を水平転送効率100%,水平転送が全く行われない状態を水平転送効率0%として、水平転送部の動作の良否を水平転送効率で表す。
【0010】
水平転送効率の評価方法として、例えば特許文献1には、固体撮像素子に単色光を照射することで水平走査方向に変調した信号電荷を得、この信号電荷を水平転送レジスタによって水平転送して得られる色差信号の、水平走査方向における前縁出力と後縁出力の差の割合から転送効率を求める方法が記載されている。
【0011】
また、以下のような他の方法で転送効率の測定を行うことも知られている。図4に、固体撮像装置から得られる信号電荷を、画像イメージに合わせて配置した概念図を示す。受光領域6は、フォトダイオード1の上部が遮光されていない領域を示す。受光領域6の外側は、フォトダイオード1の上部がアルミニウム等により遮光された遮光領域である。受光領域6の右側の遮光領域が、水平OB領域7である。受光領域6中のF(X,Y)は、j行i列に配列されたP(X,Y)のフォトダイオード1から得られる各信号電荷を、j行i列に対応させて配列した画像データの各要素を示す。水平最終列領域8は、受光領域6の最終列(i列)の領域を示す。水平OB1領域9、水平OB5領域10は、遮光領域である水平OB領域7における、各々(i+1)列目、(i+5)列目の領域である。
【0012】
水平転送効率の測定には、まず、フォトダイオード1に光を照射し、フォトダイオード1から出力される信号出力の内、図4に示す各領域の信号出力を選択して水平転送効率を算出する。
【0013】
水平最終列領域8の各フォトダイオード1から得られる信号の平均信号出力を(データP)、水平OB1領域9の平均信号出力を(データQ)、水平OB5領域10の平均信号出力を(データR)とすると、水平転送効率は、次の式で表される。
【0014】
水平転送効率[%]
={(データP)−(データQ)}÷{(データP)−(データR)}×100
この算出値(水平転送効率)を判定の基準値(任意)と比較して、固体撮像装置における水平転送部の動作の良否判定を行う。
【0015】
【特許文献1】
特開平5−168050号公報
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の検査方法では、一種類の水平転送効率の算出値により判定を行うため、第1、第2、第3の欠陥モデルのうちいずれの欠陥が存在するのかを特定できない。
【0017】
また、次のような問題も伴う。すなわち、第1、第2の欠陥モデルの場合は、従来の算出値(水平転送効率)で、例えば96%以下の場合に画質不良とみなされるのに対して、第3の欠陥モデルの場合は、例えば90%以下で画質不良とみなされる。つまり、従来の検査方法では、第1、第2の欠陥モデルについて保証するために、例えば96%の判定値を設定する必要があるが、そのように設定すると、第3の欠陥モデルに対しては過剰品質で良否判定を行うことになる。この結果、例えば製造工程にある全製品が第3の欠陥モデルに起因して水平転送効率が93%である場合、画質不良と判断されるべきではないにもかかわらず、検査においては不良と判定されてしまい、過剰品質による生産効率の低下を招く。
【0018】
以上のことを考慮して、本発明は、第1および第2の欠陥モデルと、第3の欠陥モデルを各々別個の算出値に基づいて判定可能、すなわち、水平転送部における絞込み部以外の部分に起因する欠陥と、絞込み部に起因する欠陥とを区別して良否を判定することが可能な、精度の高い検査方法を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像装置の検査方法は、半導体基板上にマトリクス状に形成され、色フィルタを備えた複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積され読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記垂直転送部からの前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部からの前記信号電荷を信号電圧又は信号電流に変換して出力する電荷検出部とを備え、前記水平転送部には、前記水平転送部と前記電荷検出部の接続部に向けて信号電荷の絞込み部が形成され、電荷量に差のある2種類の前記信号電荷を前記電荷検出部へ繰り返し転送するように構成された固体撮像装置の検査方法である。
【0020】
上記課題を解決するために、前記フォトダイオードに蓄積される信号電荷量が異なる2種類の撮像動作を、第1の撮像動作の場合の信号電荷量に対する第2の撮像動作の場合の信号電荷量が比率Sの関係となるように行い、前記第1および第2の撮像動作によりそれぞれ画像データAおよび画像データBを取得する。
【0021】
前記絞込み部近傍の前記水平転送部に対応する第1領域内における、水平方向に隣接する前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、前記画像データAから平均値A1として算出し、前記画像データBから平均値B1として算出し、前記比率Sと比率T=A1/B1から算出した比率S・Tを、前記絞込み部の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行う。
【0022】
また、前記第1信号領域の場合よりも前記絞込み部から遠くに位置する前記水平転送部に対応する第2領域内における、水平方向に隣接した前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、画像データAから平均値A2として算出し、画像データBから平均値B2として算出し、前記比率Tと比率U=A2/B2から算出した比率V=U/Tを、前記水平転送部における前記絞込み部以外の部分の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行う。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法によれば、フォトダイオードの蓄積電荷量が異なる2種類の撮像動作により、画像データAおよび画像データBを取得する。各データを用いて、絞込み部近傍の領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A1、平均値B1を各々算出し、また、絞込み部から遠くに位置する領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A2、平均値B2を各々算出する。そして、比率T=A1/B1に基づく判定と、比率V=U/T(U=A2/B2)に基づく判定を行う。したがって、第3の欠陥モデルによる影響を受けるが、第1、第2の欠陥モデルによる影響を受け難い、絞込み部に近い領域内のフォトダイオードの信号出力に基づく水平転送効率を算出することができる。その結果、第1および第2の欠陥モデルと、第3の欠陥モデルを別々の算出値により判定でき、精度の高い検査結果を得ることが可能である。
【0024】
上述の2種類の撮像動作を、照射光の照度を異ならせることにより行うことができる。あるいは、2種類の撮像動作を、電子シャッターを操作して蓄積電荷量を異ならせることにより行ってもよい。
【0025】
以下、本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法について、図2に示した一般的な固体撮像装置の構成に適用する場合を例として説明する。図1に、固体撮像装置から得られる信号電荷を、画像イメージに合わせて配置した概念図を示す。受光領域11は、フォトダイオード1の上部が遮光されていない領域を示す。受光領域11の外側は、フォトダイオード1の上部がアルミニウム等により遮光された遮光領域である。受光領域11中のF(X,Y)は、上記図4の場合と同様に、図2のj行i列に配列されたフォトダイオード1から各々得られる各信号電荷を、j行i列に対応させて配列した画像データの各要素を示す。
【0026】
受光領域11におけるハッチングを施された第1信号領域12は、受光領域11内の要素F(1,1)〜要素F(6,6)の6行6列に対応する信号領域である。ハッチングを施された第2信号領域13は、受光領域1内の要素F(i−5,1)〜要素F(i,6)の6行6列に対応する信号領域である。各要素に図示された●,■,▲,◆は、固体撮像装置の対応するフォトダイオード1上に形成された色フィルターを区別するための記号である。以下の説明では、この記号により画像データの各要素を色フィルター毎に区分して、例えば「要素●」と称する。
【0027】
水平転送効率の測定には、まず、固体撮像装置に低い照度(例えば0.4Luxのホワイト光)の光を照射し、フォトダイオード1に電荷量aの電荷を蓄積させる低照度動作を行わせる。この低照度動作の状態で、フォトダイオード1の蓄積電荷を出力して画像データAを得る。得られた画像データAより、水平方向に隣接する要素●と要素■について、第1信号領域12内の平均値および第2信号領域13内の平均値を算出する。第1信号領域12内の各平均値を、要素●a1平均値および要素■a1平均値と記す。第2信号領域13内の各平均値を、要素●a2平均値および要素■a2平均値と記す。これらの平均値を用いて、次の式に示す(色差A1)と、(色差A2)の値を算出する。
【0028】
(色差A1)=(要素●a1平均値−要素■a1平均値)
(色差A2)=(要素●a2平均値−要素■a2平均値)
また、固体撮像装置に高い照度(例えば3.2Luxのホワイト光)の光を照射し、フォトダイオード1に電荷量bの電荷を蓄積させる高照度動作を行う。この高照度動作の状態で、フォトダイオード1の蓄積電荷を出力して画像データBを得る。この場合、電荷量bは上述の電荷量aの8倍(8=3.2÷0.4)である。得られた画像データBより、低照度動作の場合と同様、水平方向に隣接する要素●と要素■について、第1信号領域12内の平均値および第2信号領域13内の平均値を算出する。第1信号領域12内の各平均値を、要素●b1平均値および要素■b1平均値と記す。また第2信号領域13内の各平均値を、要素●b2平均値および要素■b2平均値と記す。これらの平均値を用いて、次の式に示す(色差B1)と、(色差B2)の値を算出する。
【0029】
(色差B1)=(要素●b1平均値−要素■b1平均値)
(色差B2)=(要素●b2平均値−要素■b2平均値)
以上の算出値を用いて、次式に示す水平転送効率(ηH1)、水平転送効率(ηH2)および水平転送効率(ηH3)を算出する。
【0030】
水平転送効率(ηH1)[%]=(色差A1)×8÷(色差B1)×100
水平転送効率(ηH2)[%]=(色差A2)×8÷(色差B2)×100
水平転送効率(ηH3)[%]=(ηH2)÷(ηH1)×100
これらの算出値を、それぞれ判定の基準値(任意)と比較して良否判定を行う。水平転送効率(ηH1)は、上述の第3の欠陥モデルによる影響を表す。水平転送効率(ηH2)は、第1、第2、第3の欠陥モデルを総合した影響を表す。水平転送効率(ηH3)は、第1と第2の欠陥モデルを総合した影響を表す。
【0031】
従って、水平転送効率(ηH1)と水平転送効率(ηH3)により、第3の欠陥モデルと、(第1、第2)の欠陥モデルを、別々の算出値に基づいて判定できる。その結果、精度の高い検査が実現できる。
【0032】
なお、本実施の形態では、要素●と要素■のみを用いて水平転送効率を算出したが、水平方向に隣接する要素▲と要素◆を用いてもよい。また上述の方法では蓄積電荷量の比率と色差の比率とを比較したが、色差の替わりに出力平均値を用いて、蓄積電荷量の比率と出力平均値の比率とを比較してもよい。ここで言う出力平均値とは、各信号領域の所定要素の出力平均値(例えば要素●a1平均値)からゼロ基準値(暗時出力値)を引いた値である。ゼロ基準値(暗時出力値)としては、例えば、水平後段のOB部の出力データの平均値、あるいは各信号領域の暗時出力データの平均値を用いる。
【0033】
なお、本実施の形態では、第1信号領域12として要素F(1,1)を含む6行6列の信号領域を選択したが、要素F(1,1)を含むことは必須ではない。また、例えば10行4列のように6行6列の信号領域以外の領域を用いても同様の効果が得られる。第2信号領域13についても、要素F(i,1)を含むことは必須ではない。また、10行4列のように6行6列の信号領域以外の領域を用いても同様の効果が得られる。
【0034】
また、本実施の形態では、低照度と高照度の比率として8倍を選択し、水平転送効率の算出に際して、低照度の場合に得られる値を8倍したが、必要に応じて、例えば12.345倍といった実数倍を適宜用いることができる。
【0035】
また、任意の照度の光照射を行った動作状態でデータを取得し、同じ照度の光照射を行いながら、例えば固体撮像装置の機能(電子シャッター)を用いて、蓄積する信号電荷量が所定の比率Sの関係となるように、フォトダイオードの電荷量を実数倍に低下させた動作状態でデータ取得を行うこともできる。電子シャッター機能とは、フォトダイオードに蓄積する電荷を基板排出し蓄積電荷量をコントロールする機能をいう。
【0036】
【発明の効果】
本発明にかかる固体撮像装置の検査方法によれば、転送部の特定位置およびゲート構造に起因する欠陥と、転送部の絞込み部の構造に起因する欠陥とを区別して、別々に精度の高い算出値で判定することができる。したがって、固体撮像装置の欠陥改善を的確に行うことが可能になるだけでなく、過剰品質による生産効率の低下を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法を説明するための、画像データを構成する各要素を示す概念図
【図2】一般的な固体撮像装置の構成図
【図3】図2の固体撮像装置における水平転送部と絞込み部とのゲート構造およびポテンシャルを示す図
【図4】従来例の固体撮像装置の検査方法を説明するための、画像データを構成する各要素を示す概念図
【符号の説明】
1 フォトダイオード
2 垂直転送部
3 水平転送部
4 水平転送部の絞り込み部
5 電荷検出部
6、11 受光領域
7 水平OB領域
8 水平最終列領域
9 水平OB1領域
10 水平OB5領域
12 第1信号領域
13 第2信号領域
F(X、Y) 画像データの各要素
P(X,Y) フォトダイオードの各位置
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置の欠陥を検査する方法、特に、フォトダイオードで蓄積された信号電荷を電荷検出部に転送するための転送部における欠陥に関する良否を判定するため検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
デジタルスチルカメラ等に用いる固体撮像装置は、各画素を構成するフォトダイオードがマトリクス状に配置され、光電変換された電荷を読み出すために、通常、垂直転送部とともに水平転送部を備えている。水平転送部の特性は画質に与える影響が大きいので、水平転送部の評価および検査は、固体撮像装置の製造において欠かせないものである。
【0003】
一般的な固体撮像装置の構成について、図2および図3を参照して説明する。図2は固体撮像装置の構成図である。フォトダイオード1は半導体基板上に形成され、X方向にi列、Y方向にj行のマトリクス状に配列されている。各フォトダイオード1の位置をP(X,Y)で表す。2は垂直転送部、3は水平転送部でありφH1及びφH2の2相の転送パルスで駆動される。4は水平転送部3の絞込み部、5は電荷検出部である。
【0004】
図3に、水平転送部3と絞込み部4のゲート構造、およびポテンシャル図を示す。ポテンシャルに段差を持つ隣接ゲートを1組として、転送パルスφH1,φH2が印加される。図3はφH1=「L」、φH2=「H」の状態を示し、信号電荷は、φH2を印加する転送ゲート下に蓄積される。φH1を「L」→「H」→「L」、φH2を「H」→「L」→「H」と変化させることで、信号電荷が右から左へ向かって転送される。
【0005】
このような固体撮像装置における、水平転送部3および絞込み部4に存在する欠陥モデルとその影響について説明する。
【0006】
第1の欠陥モデルは、水平転送部3の特定位置に欠陥を持つ場合であり、固体撮像装置から出力された画像は、特定位置の右側(水平転送の特定位置より後ろ側)で水平解像度が劣化し、一様に着色する。
【0007】
第2の欠陥モデルは、水平転送部3のゲート構造に欠陥を持つ場合であり、水平転送全段に影響するため、固体撮像装置から出力された画像は、水平方向の右側に進むに従って水平解像度が劣化し、水平方向に色シェーディング(色がなだらかに変化)が生じる。
【0008】
第3の欠陥モデルは、絞り込み部4に欠陥を持つ場合であり、固体撮像装置から出力された画像は、全面一様に水平解像度が劣化するが正常な画像に見える。しかし、光量を可変にした場合に、光量依存のホワイトバランスズレが生じる。
【0009】
第1、第2、第3のいずれの欠陥モデルが存在する場合でも、完全な水平転送が行われない状態となり、転送残りが発生する。ここで、完全な水平転送が行われる状態を水平転送効率100%,水平転送が全く行われない状態を水平転送効率0%として、水平転送部の動作の良否を水平転送効率で表す。
【0010】
水平転送効率の評価方法として、例えば特許文献1には、固体撮像素子に単色光を照射することで水平走査方向に変調した信号電荷を得、この信号電荷を水平転送レジスタによって水平転送して得られる色差信号の、水平走査方向における前縁出力と後縁出力の差の割合から転送効率を求める方法が記載されている。
【0011】
また、以下のような他の方法で転送効率の測定を行うことも知られている。図4に、固体撮像装置から得られる信号電荷を、画像イメージに合わせて配置した概念図を示す。受光領域6は、フォトダイオード1の上部が遮光されていない領域を示す。受光領域6の外側は、フォトダイオード1の上部がアルミニウム等により遮光された遮光領域である。受光領域6の右側の遮光領域が、水平OB領域7である。受光領域6中のF(X,Y)は、j行i列に配列されたP(X,Y)のフォトダイオード1から得られる各信号電荷を、j行i列に対応させて配列した画像データの各要素を示す。水平最終列領域8は、受光領域6の最終列(i列)の領域を示す。水平OB1領域9、水平OB5領域10は、遮光領域である水平OB領域7における、各々(i+1)列目、(i+5)列目の領域である。
【0012】
水平転送効率の測定には、まず、フォトダイオード1に光を照射し、フォトダイオード1から出力される信号出力の内、図4に示す各領域の信号出力を選択して水平転送効率を算出する。
【0013】
水平最終列領域8の各フォトダイオード1から得られる信号の平均信号出力を(データP)、水平OB1領域9の平均信号出力を(データQ)、水平OB5領域10の平均信号出力を(データR)とすると、水平転送効率は、次の式で表される。
【0014】
水平転送効率[%]
={(データP)−(データQ)}÷{(データP)−(データR)}×100
この算出値(水平転送効率)を判定の基準値(任意)と比較して、固体撮像装置における水平転送部の動作の良否判定を行う。
【0015】
【特許文献1】
特開平5−168050号公報
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の検査方法では、一種類の水平転送効率の算出値により判定を行うため、第1、第2、第3の欠陥モデルのうちいずれの欠陥が存在するのかを特定できない。
【0017】
また、次のような問題も伴う。すなわち、第1、第2の欠陥モデルの場合は、従来の算出値(水平転送効率)で、例えば96%以下の場合に画質不良とみなされるのに対して、第3の欠陥モデルの場合は、例えば90%以下で画質不良とみなされる。つまり、従来の検査方法では、第1、第2の欠陥モデルについて保証するために、例えば96%の判定値を設定する必要があるが、そのように設定すると、第3の欠陥モデルに対しては過剰品質で良否判定を行うことになる。この結果、例えば製造工程にある全製品が第3の欠陥モデルに起因して水平転送効率が93%である場合、画質不良と判断されるべきではないにもかかわらず、検査においては不良と判定されてしまい、過剰品質による生産効率の低下を招く。
【0018】
以上のことを考慮して、本発明は、第1および第2の欠陥モデルと、第3の欠陥モデルを各々別個の算出値に基づいて判定可能、すなわち、水平転送部における絞込み部以外の部分に起因する欠陥と、絞込み部に起因する欠陥とを区別して良否を判定することが可能な、精度の高い検査方法を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像装置の検査方法は、半導体基板上にマトリクス状に形成され、色フィルタを備えた複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積され読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記垂直転送部からの前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部からの前記信号電荷を信号電圧又は信号電流に変換して出力する電荷検出部とを備え、前記水平転送部には、前記水平転送部と前記電荷検出部の接続部に向けて信号電荷の絞込み部が形成され、電荷量に差のある2種類の前記信号電荷を前記電荷検出部へ繰り返し転送するように構成された固体撮像装置の検査方法である。
【0020】
上記課題を解決するために、前記フォトダイオードに蓄積される信号電荷量が異なる2種類の撮像動作を、第1の撮像動作の場合の信号電荷量に対する第2の撮像動作の場合の信号電荷量が比率Sの関係となるように行い、前記第1および第2の撮像動作によりそれぞれ画像データAおよび画像データBを取得する。
【0021】
前記絞込み部近傍の前記水平転送部に対応する第1領域内における、水平方向に隣接する前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、前記画像データAから平均値A1として算出し、前記画像データBから平均値B1として算出し、前記比率Sと比率T=A1/B1から算出した比率S・Tを、前記絞込み部の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行う。
【0022】
また、前記第1信号領域の場合よりも前記絞込み部から遠くに位置する前記水平転送部に対応する第2領域内における、水平方向に隣接した前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、画像データAから平均値A2として算出し、画像データBから平均値B2として算出し、前記比率Tと比率U=A2/B2から算出した比率V=U/Tを、前記水平転送部における前記絞込み部以外の部分の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行う。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法によれば、フォトダイオードの蓄積電荷量が異なる2種類の撮像動作により、画像データAおよび画像データBを取得する。各データを用いて、絞込み部近傍の領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A1、平均値B1を各々算出し、また、絞込み部から遠くに位置する領域内の隣接した画素からの信号出力の差の平均値A2、平均値B2を各々算出する。そして、比率T=A1/B1に基づく判定と、比率V=U/T(U=A2/B2)に基づく判定を行う。したがって、第3の欠陥モデルによる影響を受けるが、第1、第2の欠陥モデルによる影響を受け難い、絞込み部に近い領域内のフォトダイオードの信号出力に基づく水平転送効率を算出することができる。その結果、第1および第2の欠陥モデルと、第3の欠陥モデルを別々の算出値により判定でき、精度の高い検査結果を得ることが可能である。
【0024】
上述の2種類の撮像動作を、照射光の照度を異ならせることにより行うことができる。あるいは、2種類の撮像動作を、電子シャッターを操作して蓄積電荷量を異ならせることにより行ってもよい。
【0025】
以下、本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法について、図2に示した一般的な固体撮像装置の構成に適用する場合を例として説明する。図1に、固体撮像装置から得られる信号電荷を、画像イメージに合わせて配置した概念図を示す。受光領域11は、フォトダイオード1の上部が遮光されていない領域を示す。受光領域11の外側は、フォトダイオード1の上部がアルミニウム等により遮光された遮光領域である。受光領域11中のF(X,Y)は、上記図4の場合と同様に、図2のj行i列に配列されたフォトダイオード1から各々得られる各信号電荷を、j行i列に対応させて配列した画像データの各要素を示す。
【0026】
受光領域11におけるハッチングを施された第1信号領域12は、受光領域11内の要素F(1,1)〜要素F(6,6)の6行6列に対応する信号領域である。ハッチングを施された第2信号領域13は、受光領域1内の要素F(i−5,1)〜要素F(i,6)の6行6列に対応する信号領域である。各要素に図示された●,■,▲,◆は、固体撮像装置の対応するフォトダイオード1上に形成された色フィルターを区別するための記号である。以下の説明では、この記号により画像データの各要素を色フィルター毎に区分して、例えば「要素●」と称する。
【0027】
水平転送効率の測定には、まず、固体撮像装置に低い照度(例えば0.4Luxのホワイト光)の光を照射し、フォトダイオード1に電荷量aの電荷を蓄積させる低照度動作を行わせる。この低照度動作の状態で、フォトダイオード1の蓄積電荷を出力して画像データAを得る。得られた画像データAより、水平方向に隣接する要素●と要素■について、第1信号領域12内の平均値および第2信号領域13内の平均値を算出する。第1信号領域12内の各平均値を、要素●a1平均値および要素■a1平均値と記す。第2信号領域13内の各平均値を、要素●a2平均値および要素■a2平均値と記す。これらの平均値を用いて、次の式に示す(色差A1)と、(色差A2)の値を算出する。
【0028】
(色差A1)=(要素●a1平均値−要素■a1平均値)
(色差A2)=(要素●a2平均値−要素■a2平均値)
また、固体撮像装置に高い照度(例えば3.2Luxのホワイト光)の光を照射し、フォトダイオード1に電荷量bの電荷を蓄積させる高照度動作を行う。この高照度動作の状態で、フォトダイオード1の蓄積電荷を出力して画像データBを得る。この場合、電荷量bは上述の電荷量aの8倍(8=3.2÷0.4)である。得られた画像データBより、低照度動作の場合と同様、水平方向に隣接する要素●と要素■について、第1信号領域12内の平均値および第2信号領域13内の平均値を算出する。第1信号領域12内の各平均値を、要素●b1平均値および要素■b1平均値と記す。また第2信号領域13内の各平均値を、要素●b2平均値および要素■b2平均値と記す。これらの平均値を用いて、次の式に示す(色差B1)と、(色差B2)の値を算出する。
【0029】
(色差B1)=(要素●b1平均値−要素■b1平均値)
(色差B2)=(要素●b2平均値−要素■b2平均値)
以上の算出値を用いて、次式に示す水平転送効率(ηH1)、水平転送効率(ηH2)および水平転送効率(ηH3)を算出する。
【0030】
水平転送効率(ηH1)[%]=(色差A1)×8÷(色差B1)×100
水平転送効率(ηH2)[%]=(色差A2)×8÷(色差B2)×100
水平転送効率(ηH3)[%]=(ηH2)÷(ηH1)×100
これらの算出値を、それぞれ判定の基準値(任意)と比較して良否判定を行う。水平転送効率(ηH1)は、上述の第3の欠陥モデルによる影響を表す。水平転送効率(ηH2)は、第1、第2、第3の欠陥モデルを総合した影響を表す。水平転送効率(ηH3)は、第1と第2の欠陥モデルを総合した影響を表す。
【0031】
従って、水平転送効率(ηH1)と水平転送効率(ηH3)により、第3の欠陥モデルと、(第1、第2)の欠陥モデルを、別々の算出値に基づいて判定できる。その結果、精度の高い検査が実現できる。
【0032】
なお、本実施の形態では、要素●と要素■のみを用いて水平転送効率を算出したが、水平方向に隣接する要素▲と要素◆を用いてもよい。また上述の方法では蓄積電荷量の比率と色差の比率とを比較したが、色差の替わりに出力平均値を用いて、蓄積電荷量の比率と出力平均値の比率とを比較してもよい。ここで言う出力平均値とは、各信号領域の所定要素の出力平均値(例えば要素●a1平均値)からゼロ基準値(暗時出力値)を引いた値である。ゼロ基準値(暗時出力値)としては、例えば、水平後段のOB部の出力データの平均値、あるいは各信号領域の暗時出力データの平均値を用いる。
【0033】
なお、本実施の形態では、第1信号領域12として要素F(1,1)を含む6行6列の信号領域を選択したが、要素F(1,1)を含むことは必須ではない。また、例えば10行4列のように6行6列の信号領域以外の領域を用いても同様の効果が得られる。第2信号領域13についても、要素F(i,1)を含むことは必須ではない。また、10行4列のように6行6列の信号領域以外の領域を用いても同様の効果が得られる。
【0034】
また、本実施の形態では、低照度と高照度の比率として8倍を選択し、水平転送効率の算出に際して、低照度の場合に得られる値を8倍したが、必要に応じて、例えば12.345倍といった実数倍を適宜用いることができる。
【0035】
また、任意の照度の光照射を行った動作状態でデータを取得し、同じ照度の光照射を行いながら、例えば固体撮像装置の機能(電子シャッター)を用いて、蓄積する信号電荷量が所定の比率Sの関係となるように、フォトダイオードの電荷量を実数倍に低下させた動作状態でデータ取得を行うこともできる。電子シャッター機能とは、フォトダイオードに蓄積する電荷を基板排出し蓄積電荷量をコントロールする機能をいう。
【0036】
【発明の効果】
本発明にかかる固体撮像装置の検査方法によれば、転送部の特定位置およびゲート構造に起因する欠陥と、転送部の絞込み部の構造に起因する欠陥とを区別して、別々に精度の高い算出値で判定することができる。したがって、固体撮像装置の欠陥改善を的確に行うことが可能になるだけでなく、過剰品質による生産効率の低下を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査方法を説明するための、画像データを構成する各要素を示す概念図
【図2】一般的な固体撮像装置の構成図
【図3】図2の固体撮像装置における水平転送部と絞込み部とのゲート構造およびポテンシャルを示す図
【図4】従来例の固体撮像装置の検査方法を説明するための、画像データを構成する各要素を示す概念図
【符号の説明】
1 フォトダイオード
2 垂直転送部
3 水平転送部
4 水平転送部の絞り込み部
5 電荷検出部
6、11 受光領域
7 水平OB領域
8 水平最終列領域
9 水平OB1領域
10 水平OB5領域
12 第1信号領域
13 第2信号領域
F(X、Y) 画像データの各要素
P(X,Y) フォトダイオードの各位置
Claims (3)
- 半導体基板上にマトリクス状に形成され、色フィルタを備えた複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積され読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記垂直転送部からの前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部からの前記信号電荷を信号電圧又は信号電流に変換して出力する電荷検出部とを備え、前記水平転送部には、前記水平転送部と前記電荷検出部の接続部に向けて信号電荷の絞込み部が形成され、電荷量に差のある2種類の前記信号電荷を前記電荷検出部へ繰り返し転送するように構成された固体撮像装置の検査方法であって、
前記フォトダイオードに蓄積される信号電荷量が異なる2種類の撮像動作を、第1の撮像動作の場合の信号電荷量に対する第2の撮像動作の場合の信号電荷量が比率Sの関係となるように行い、前記第1および第2の撮像動作によりそれぞれ画像データAおよび画像データBを取得し、
前記絞込み部近傍の前記水平転送部に対応する第1領域内における、水平方向に隣接する前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、前記画像データAから平均値A1として算出し、前記画像データBから平均値B1として算出し、前記比率Sと比率T=A1/B1から算出した比率S・Tを、前記絞込み部の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行い、
前記第1信号領域の場合よりも前記絞込み部から遠くに位置する前記水平転送部に対応する第2領域内における、水平方向に隣接した前記各フォトダイオードからの信号出力の差の平均値を、画像データAから平均値A2として算出し、画像データBから平均値B2として算出し、前記比率Tと比率U=A2/B2から算出した比率V=U/Tを、前記水平転送部における前記絞込み部以外の部分の欠陥を判定するための基準値と比較して良否判定を行うことを特徴とする固体撮像装置の検査方法。 - 前記2種類の撮像動作を、照射光の照度を異ならせることにより行う請求項1に記載の固体撮像装置の検査方法。
- 前記2種類の撮像動作を、電子シャッターを操作して蓄積電荷量を異ならせることにより行う請求項1に記載の固体撮像装置の検査方法。
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JP2008148129A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Canon Inc | 撮像装置、及びその制御方法、並びにプログラム |
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-
2003
- 2003-04-24 JP JP2003120534A patent/JP2004327722A/ja not_active Withdrawn
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