JP2004317889A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

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Shinji Tadaki
進二 只木
Yoshinori Kiyota
芳則 清田
Toshiaki Yoshihara
敏明 吉原
Hironori Shirato
博紀 白戸
Tetsuya Makino
哲也 牧野
Shigeo Kasahara
滋雄 笠原
Keiichi Betsui
圭一 別井
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Abstract

【課題】基板表面の段差に起因する配向欠陥の発生を抑制することができる液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】TFT95を形成したアレイ基板10全面に、第2層間絶縁膜として機能する平坦化膜18を塗布する(図3(b))。次に、開口パターン41aを配したフォトマスク41を介して光(i線)を照射して平坦化膜18を露光(露光量:200mJ/cm)する(図3(c))。また、開口パターン42aを配したフォトマスク42を介して光を照射して平坦化膜18を露光(露光量:50mJ/cm)する(図3(d))。そして、スプレー現像を行うことにより露光された領域を除去(エッチング)し、密着露光機でブリーチ露光を行う。これにより、平坦化膜18を貫通する第2コンタクトホール20が形成されるとともに、TFT95を形成した領域上の平坦化膜18に凹部80が形成される(図3(e))。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置の製造方法に関し、より具体的には、基板に形成したスイッチング素子に起因する段差を制御することにより、配向欠陥の発生を抑制することができる液晶表示装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置は、電極を設けた2つの基板を、その電極が対向するように配置させて生じる空隙内に液晶物質を封入し、その電極間に電圧を印加することにより、印加された電圧によって決定される液晶物質の光透過率を制御する構成をしている。
【0003】
一般的に普及しているTN(Twisted Nematic)液晶は、印加電圧に対する応答速度が十〜数十msであり、印加電圧が低い領域では応答速度が急激に遅くなり百msに近い値となる場合もある。従って、TN液晶を用いた液晶表示装置にて動画(60画像/秒)表示する場合には、液晶分子が動作しきれず画像がぼやけてしまうため、TN液晶はマルチメディア等の動画表示用途には不適である。
【0004】
そこで、自発分極特性を有し、印加電圧に対する応答速度が数十〜数百μsと高速であるFLC又はAFLCを用いた液晶表示装置が実用化されている。これらの高速応答可能な液晶を液晶表示装置に用いた場合には、液晶分子の分極を短時間で完了させることにより優れた動画表示が可能である。
【0005】
液晶表示装置の表示制御方式としては、大別して単純マトリックス方式とアクティブマトリックス方式との二つの方式が一般的であるが、後者のアクティブマトリックス方式は、TFT(Thin Film Transistor)、MIM(Metal Insulator Metal)等のスイッチング素子を介して各画素に印加する電圧を制御し、印加された電圧に応じた階調(多階調)表示が可能であるため、より精細な画像表示を行うことができる。従って、最近のモニタ、テレビ、携帯端末等の液晶表示装置の多くは、アクティブマトリックス方式を採用している。
【0006】
図9は従来の液晶表示装置の模式的平面図であり、図10は図9のX−X線における構造断面図、図11は図9のXI−XI線における構造断面図、図12は図9のXII−XII線における構造断面図である。なお、図9は分かり易くするため構成要素の一部を省略して示す。従来の液晶表示装置は、画素電極115を設けたアレイ基板110,対向電極162を設けた対向基板160の表面上に図示しない配向膜をそれぞれ形成した後に、アレイ基板110と対向基板160とを対向するように配置させて生じた空隙内に液晶物質190を封入し、更にアレイ基板110,対向基板160の表面に偏光板136,186を夫々貼付け、画素電極115,対向電極162間に電圧を印加することにより、印加された電圧によって決定される液晶物質190の光透過率を制御する構成をしている。
アレイ基板110には、半導体層111、ゲート電極112、ソース電極113、及びドレイン電極114、それらを絶縁する酸化膜、窒化膜等のゲート絶縁膜116,第1層間絶縁膜117,第2層間絶縁膜125、並びに、半導体層111とソース電極113及びドレイン電極114とを適宜接続する第1コンタクトホール119a,119bを積層して形成することにより、スイッチング素子であるTFT195を形成し、第2コンタクトホール120を通じてTFT195のドレイン電極114に画素電極115を接続する。従って、TFT195をアレイ基板110に形成することは、複数のレイヤを積層することに他ならず、アレイ基板110に積層したそれらのレイヤに起因して段差(凹凸)が生じる。一方、対向基板160には、ブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜161を形成することにより、隣合う画素を分離して解像度を向上する。また、カラー化のためには、図示しないカラーフィルタを更に設ける必要がある。従って、対向基板160も同様に、遮光膜161、カラーフィルタ等のレイヤに起因して段差が生じる。
これらアレイ基板110及び対向基板160に生じた段差は液晶物質190の配向状態を乱す要因となって配向欠陥が発生する。図13は従来の液晶表示装置における配向欠陥の発生状態を示す模式図である。図13に示すように、従来の液晶表示装置には、TFT195を起点とする配向欠陥191と、ソース電極113を起点とする配向欠陥192とが発生する。
【0007】
そこで、TFT195を形成した後に、第2層間絶縁膜としてアクリル系樹脂等の平坦化膜を形成し、TFT195、ゲート電極112、及びソース電極113に起因した段差を緩和する構成とした液晶表示装置が実用化されている(例えば、特許文献1参照。)。
図14は平坦化処理された液晶表示装置の模式的平面図であり、図15は図14のXV−XV線における構造断面図、図16は図14のXVI−XVI線における構造断面図、図17は図14のXVII−XVII線における構造断面図である。なお、図14は分かり易くするため構成要素の一部を省略して示す。平坦化処理された液晶表示装置は、アレイ基板110に図9〜図12と同様に各種レイヤを積層してTFT195を形成した後、第2層間絶縁膜としてアクリル系樹脂等の平坦化膜118を全面にスピンコートし、一方、対向基板160に図9〜図12と同様に各種レイヤを積層した後、アレイ基板と同様に平坦化膜163を全面にスピンコートし、積層したレイヤにより生じた段差を緩和することで配向欠陥の発生を低減することができる。なお、その他の構成は前述した図9〜図12と同様であるので、対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0008】
【特許文献1】
特許第3247870号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した平坦化処理により、アレイ基板の表面に生じる段差をある程度平坦化することができるが、TFT195を形成した領域上に生じる段差(凸部)までを平坦化することは困難である。すなわち、平坦化処理により、ソース電極113に起因する段差(図16)、及びゲート電極112に起因する段差(図17)は解消することができるが、TFT195に起因する段差(図15)までは解消することができない。
【0010】
特に、FLC、AFLCであるカイラルスメクティック(Sc*)相は粘度が高いため、等方(Iso)相まで昇温して低粘度化した液晶物質を空パネルに注入し、冷却により温度を降下させてカイラルスメクティック(Sc*)相を発現させて利用するのが一般的である。この相転移の際に、温度降下に起因する体積収縮が生じてしまうため、液晶物質にストレスが印加されて配向欠陥が発生する。図18は平坦化処理された液晶表示装置における配向欠陥の発生状態を示す模式図である。図18に示すように、液晶表示装置を平坦化処理した場合であっても、TFT195に起因する凸部が残存してしまい、TFT195を起点とする配向欠陥191が発生する。なお、Sc*相を発現させる相系列としては、Iso相→スメクティックA相(Sa相)→Sc*相,Iso相→カイラルネマティック(N*相)→Sa相→Sc*相,Iso相→N*相→Sc*相等の相系列パターンが一般的に知られている。
【0011】
従って、液晶物質の体積収縮により基板間の対向距離(以下、ギャップ)が収縮した場合、スイッチング素子を形成した領域におけるギャップの収縮率が、その領域の周囲におけるギャップの収縮率より大きく、この収縮率の相違が液晶物質の移動を生じさせ、液晶物質の流出部に相当するスイッチング素子を起点に配向欠陥が発生して画質及びコントラスト特性、並びに透過率等の表示品質が低下するという問題があった。
【0012】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にすべく、前記領域に位置する絶縁膜の一部を除去することにより、前記領域におけるギャップの収縮率を、前記領域の周囲におけるギャップの収縮率と比較して同等、又は小さくして配向欠陥の発生を抑制し、画質及びコントラスト特性、並びに透過率等の表示品質が低下することのない液晶表示装置の製造方法の提供を目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、スイッチング素子を形成した後、該スイッチング素子を被覆する絶縁膜を形成し、形成した絶縁膜を貫通して前記スイッチング素子の一方の電極まで開口するコンタクトホールを形成し、形成したコンタクトホールを介して前記電極に接続する画素電極を形成した第1基板と、対向電極を形成した第2基板とを備え、前記対向電極を前記画素電極に対向させ、前記第1基板と前記第2基板とのギャップに液晶物質を封入し、前記画素電極と前記対向電極との間に印加される電圧により前記液晶物質の光透過率を制御する構成とした液晶表示装置の製造方法において、前記スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にすべく、前記領域に位置する絶縁膜の一部を除去する処理を含むことを特徴とする。
【0014】
このような液晶表示装置の製造方法にあっては、スイッチング素子を形成した領域に位置する絶縁膜の一部を除去することにより、前記領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にする。従って、前記領域におけるギャップの収縮率を、前記領域の周囲におけるギャップの収縮率と比較して同等、又は小さくして配向欠陥の発生を抑制する。
【0015】
また、絶縁膜がポジ型の感光性樹脂である場合には、フォトマスクを介して光を照射して絶縁膜を露光すれば、容易に絶縁膜を露光する露光量を調整して、除去される絶縁膜の量を制御することをができるため、絶縁膜の形状を所望のものに加工することができる。
【0016】
また、絶縁膜を露光する露光量を、コンタクトホールを形成するのに必要な露光量より少ないようにすれば、絶縁膜を残存させておくことができる。従って、スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップと同等、すなわち平坦化することができる。
【0017】
また、スイッチング素子を形成した領域の絶縁膜を露光する第1パターンと、コンタクトホールを形成する領域の絶縁膜を露光する第2パターンとを含み、第1パターンが第2パターンに比べて、照射された光をより多く散乱又は吸収させるパターンを有するフォトマスクを用いれば、1枚のフォトマスクで、スイッチング素子を形成した領域の絶縁膜を露光する露光量と、コンタクトホールを形成する領域の絶縁膜を露光する露光量とを調整して、除去される絶縁膜の量を制御することをができるため、スイッチング素子を形成した領域に位置する絶縁膜の一部を除去でき、同時に、コンタクトホールを形成することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
【0019】
(実施の形態1)
図1は本発明に係る液晶表示装置の一例を示す模式的平面図、図2は図1のII−II線における構造断面図である。なお、図1は分かり易くするため構成要素の一部を省略して示す。図中10,60は、可視光領域(380nm〜770nm)における透過率が優れたガラス又は石英等からなる絶縁性基板であり、以下、基板を区別するために絶縁性基板10をアレイ基板10、絶縁性基板60を対向基板60という。
【0020】
アレイ基板10には、アモルファスシリコン等の半導体層11がマトリックス状に形成されており、各半導体層11の中央部には、ポリシリコン等のゲート電極12が酸化膜、窒化膜等のゲート絶縁膜16を介して形成されている。一方、ゲート電極12が被覆されていない半導体層11の両端部には、リン等のN型キャリアがイオン注入されており、半導体層11の両端部がそれぞれソース11a,ドレイン11bとして機能し、且つゲート電極12がゲートとして機能するTFT95を構成する。そして、第1コンタクトホール19a,19bにより、半導体層11のソース11a,ドレイン11bとそれぞれ接続したアルミニウム等のソース電極13,ドレイン電極14が、NSG、BPSG等の第1層間絶縁膜17を介して形成されている。なお、半導体層11の幅がゲート幅、ゲート電極12の幅がゲート長となり、この2つのパラメータ及びイオン注入条件等によりスイッチング特性が決定される。
【0021】
半導体層11、ゲート電極12、ソース電極13、及びドレイン電極14が形成されたアレイ基板10には、ポジ型アクリル系樹脂(住友化学製:PMHS−901)等の第2層間絶縁膜として機能する平坦化膜18が形成されている。ここで、平坦化膜18は、TFT95が形成された領域におけるアレイ基板10からの高さが、その領域の周囲における高さより低い状態で形成されている。もちろん、平坦化されているほうが好ましいが、本発明の特徴、すなわち従来の液晶表示装置との相違を誇張するために、TFT95の領域上の平坦化膜18が凹部80を有する形態を示した(詳細は後述する)。なお、下地は平坦であるほうが好ましいため、平坦化膜18は段差を緩和すべく数μmという比較的厚い膜厚で形成されている。従って、平坦化膜18に用いる材料は、液晶表示装置全体としての透過率を低下することのないよう、可視光領域における透過率が優れた材料であることが望ましい。また、平坦化膜18を厚くすることにより、画素電極15に対するゲート電極12及びソース電極13の寄生容量を低減して、クロストークを低減することができる。
【0022】
平坦化膜18には、ITO(Indium Tin Oxide)製の透過率に優れた画素電極15がマトリックス状に形成されており、平坦化膜18に設けた第2コンタクトホール20を通じて、TFT95のドレイン電極14に接続されている。このような構成により、TFT95は、ゲート電極12に供給される走査信号を入力することによってオン/オフ制御され、オン期間にはソース電極13に入力するデータ電圧を画素電極15に印加し、オフ期間にはそれまでのデータ電圧を保持することができる。なお、画素電極15には、ポリアミック酸溶液等の配向膜溶液をスピンコータにより塗布し、200℃で30分間焼成を行って、膜厚が20nmとなる図示しない配向膜が形成されている。配向膜は、液晶物質のアレイ基板10側の配向方向がゲート電極12の長手方向となるように、レーヨン製の布により図1のゲート電極12の長手方向、例えば、左から右方向にラビングされ、その側鎖方向が規制されている。
【0023】
一方、対向基板60のアレイ基板10対向面には、Cr(Chromium)又はWSi(Wolfram(Tungsten) Silicide)等の遮光特性に優れた遮光膜61が、前述したアレイ基板10と対向した場合に画素電極15を除いた領域とマッチングするように形成されている(図1では不図示)。更に、ポジ型アクリル系樹脂等の平坦化膜63により下地を平坦化したうえで、ITO製の透過率に優れた対向電極(共通電極ともいう)62が形成されている。なお、遮光膜61の欠損領域は、光が出射される領域である画素開口部66となる。もちろん、遮光膜61は必要に応じて形成されるものであって必ずしも必要ではない。なお、対向電極62には、前述のアレイ基板10と同様に、膜厚が20nmとなる図示しない配向膜が形成されており、液晶物質の対向基板60側の配向方向を決定すべく、レーヨン製の布によりラビング処理され、その側鎖方向が規制されている。
【0024】
このような構成を有するアレイ基板10及び対向基板60は、画素電極15及び対向電極62を対向して配置され、画素電極15と対向電極62との間にギャップを保持するための図示しないギャップ保持材が形成されており、形成した空隙内に、ナフタレン系液晶を主成分とするFLC等の液晶物質90が充填されている。ここで、図2に示すように、TFT95が形成された領域におけるギャップが、その領域の周囲におけるギャップより広い状態で形成されている。
【0025】
更に、相互の偏光軸方向が直交した(クロスニコル状態の)2枚の偏光板36,86が、偏光板36(又は86)の偏光軸と液晶分子長軸との方向を一致させた状態で、アレイ基板10,対向基板60の表面に夫々貼付けられており、TFTを介して画素電極15に印加された電圧と対向電極62に印加された電圧との電圧差に基づいて、液晶物質90の光透過率が制御され、遮光膜61が形成されていない矩形部にあたる画素開口部66から光が出射するよう構成されている。
【0026】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法について説明する。まず、本発明の特徴点であるアレイ基板の製造方法について説明する。なお、TFTを形成するまでの製造方法は従来の方法と同様であるため図面を省略し、本発明の主旨であるTFT形成後の製造方法について詳述する。図3は本発明の実施の形態1に係る液晶表示装置に用いるアレイ基板の製造方法を示す説明図であり、同図(a)はTFT形成工程を、同図(b)は平坦化膜塗布工程を、同図(c)は第1露光工程を、同図(d)は第2露光工程を、同図(e)は現像工程を、同図(f)は画素電極形成工程を、それぞれ示す。
【0027】
(TFT形成工程)
まず、アレイ基板10に、それ自体公知のフォトリソグラフィー法により所定パターンのアモルファスシリコン等の半導体層11をマトリックス上に形成した後、半導体層11を含む全面に、酸化膜、窒化膜等のゲート絶縁膜16を形成し、各半導体層11の中央部に、フォトリソグラフィー法により所定パターンのポリシリコン等のゲート電極12を形成する。次に、リン等のN型キャリアをイオン化した後、イオン化したキャリアを高電圧(数十kV〜数百kV等)により半導体層11へ注入し、半導体層11をアニールにより再結晶化させて両端部を所定のN型キャリア濃度となるソース11a,ドレイン11bを形成する。そして、フォトリソグラフィー法により半導体層11のソース11a,ドレイン11bまで貫通する第1コンタクトホール19a,19bを有するNSG、BPSG等の第1層間絶縁膜17を形成する。更に、アルミニウム等の導電膜をスパッタリングした後、フォトリソグラフィー法により所定パターンのソース電極13,ドレイン電極14を形成する(図3(a))。
【0028】
(平坦化膜塗布工程)
そして、TFT95を形成したアレイ基板10全面に、第2層間絶縁膜として機能する平坦化膜18(例えば、ポジ型アクリル系樹脂(住友化学製:PMHS−901))をスピンコート法により2.5μmの膜厚で塗布し、110℃にて2分間プリベークして樹脂中の溶剤を蒸発させる(図3(b))。ここで、TFT95を形成した領域における平坦化膜18は凸状の形状を有している。
【0029】
(第1露光工程)
そして、開口パターン41aを配したフォトマスク41を介してi線(365nm)ステッパにより光を照射して平坦化膜18を露光(露光量:200mJ/cm)する。なお、開口パターン41aは第2コンタクトホール20を形成すべきドレイン電極14の一端部にi線が照射されるようにパターニングされている(図3(c))。
【0030】
(第2露光工程)
また、開口パターン42aを配したフォトマスク42を介してi線ステッパにより光を照射して平坦化膜18を露光(露光量:50mJ/cm)する。なお、開口パターン42aはTFT95を形成した領域にi線が照射されるようにパターニングされている。また、第2露光工程にて照射される露光量は、第1露光工程の露光量に比べて少なくなるように設定されている(図3(d))。
【0031】
(現像工程)
そして、アレイ基板10を0.2%TMAH水溶液等の現像液にてスプレー現像を行うことにより、第1露光工程及び第2露光工程にて露光された領域を除去(エッチング)し、密着露光機でブリーチ露光(露光量:300mJ/cm)を行い、クリーンオーブンにて、220℃、30分間のポストベークを行う。これにより、平坦化膜18を貫通する第2コンタクトホール20が形成されるとともに、TFT95を形成した領域上の平坦化膜18に凹部80が形成される(図3(e))。
【0032】
(画素電極工程)
更に、ITO等の透明導電膜をスパッタリングした後、フォトリソグラフィー法により所定パターンの画素電極15を形成する。これにより、画素電極15は、第2コンタクトホール20を通じてドレイン電極14と接続される(図3(f))。
【0033】
次に、第2露光工程に用いたフォトマスク42について説明する。図4は本発明の実施の形態1に係るフォトマスクのパターンと露光する領域との対応を示す概略図である。フォトマスク42は、平坦化膜18にi線を露光すべきTFT95を形成した領域を選択するために用いるものであり、TFT95を形成した領域にi線を照射させるべく、開口パターン42aがパターニングされている。つまり、開口パターン42aの領域に入射されたi線は透過し、開口パターン42aを除く領域に入射されたi線は遮光される。
【0034】
次に、アレイ基板10と対向基板60とを接着して液晶表示装置とする製造方法について説明する。図5はアレイ基板と対向基板とを接着して液晶表示装置とする製造方法を示す説明図であり、同図(a)は配向膜形成工程を、同図(b)はギャップ保持材・シール材形成工程を、同図(c)は接着工程を、同図(d)は液晶注入工程を、それぞれ示す。
【0035】
(配向膜形成工程)
まず、アレイ基板10,対向基板60上に、ポリアミック酸溶液等の配向膜溶液をスピンコータにより塗布し、200℃で30分間焼成を行い、膜厚が20nmとなる配向膜21,71を夫々形成する(図5(a))。
【0036】
(ギャップ保持材・シール材形成工程)
そして、対向基板60上の配向膜71の側鎖方向を規制すべくレーヨン製の布によりラビング処理した後、第1ギャップ保持材として機能する未硬化状態の球状(粒径4.0μm)のエポキシビーズ81と、第2ギャップ保持材として機能する球状(粒径1.8μm)のシリカビーズ82とを、エポキシビーズ81及びシリカビーズ82が凝集しないように、静電散布法又はドライ散布法等により、エポキシビーズ81が約80個/mm、シリカビーズ82が約150個/mmの散布密度となるように散布条件を夫々調整して均一に散布する。一方、アレイ基板10上の配向膜21の側鎖方向を規制すべくレーヨン製の布によりラビング処理した後、アレイ基板10の周辺部に未硬化状態の熱硬化性エポキシ系樹脂等のシール材31をディスペンサにより環状に塗布し、塗布したシール材31を80℃で乾燥して仮硬化(半硬化)させる(図5(b))。なお、シール材31には、図示しない液晶注入口が設けられている。
【0037】
(接着工程)
そして、エポキシビーズ81、シリカビーズ82、及びシール材31を介して、アレイ基板10の各画素電極15と対向基板60の各画素開口部66とが対向するように、アレイ基板10と対向基板60とをアライメントし、真空包装機により真空パックしてアレイ基板10及び対向基板60の外側から大気圧(略100kPa)が加圧された加圧状態にする。更に、加圧状態を維持しながら135℃で1.5時間加熱して、エポキシビーズ81及びシール材31をアレイ基板10及び対向基板60に接着する(図5(c))。
【0038】
(液晶注入工程)
そして、Ch相まで昇温して低粘度化したFLCである液晶物質90を、シール材31の一部に設けた液晶注入口から、真空注入法により注入した後、室温まで冷却してSc*相を発現させ、液晶注入口をUV硬化性樹脂により封口処理する。更に、相互の偏光軸方向が直交した(クロスニコル状態の)2枚の偏光板36,86を、偏光板36(又は86)の偏光軸と液晶分子長軸との方向を一致させた状態で、アレイ基板10,対向基板60の表面に夫々貼付けて液晶表示装置とする(図5(d))。ここで、液晶注入口から注入した液晶物質90は、相系列がIso相→N*相→Sc*相となる単安定(片安定)性を有する強誘電性液晶材料組成物であり、N*相→Sc*相への相転移時にDC電界を印加することにより、自発分極の方向を揃えて一様な配向状態にさせる。以上のような製造方法により、画素電極15と画素開口部66とで一つの画素(一つの液晶セル)が構成され、全体としてマトリクス状に画素が配列された液晶表示装置を製造することができる。
【0039】
以上のようにして製造した液晶表示装置の表示品質を評価した。液晶表示装置の背面よりバックライトの光が入射できるようにバックライトを配置して、画素電極15と対向電極62との間に0Vの電圧を印加して黒画面を表示させた際の画素電極15を観測したが、配向欠陥の発生に起因する光漏れは発生せず、画質及びコントラスト特性、並びに透過率等の表示品質の低下も見られなかった。つまり、図13,図18に示したようなTFT95を起点とする配向欠陥、及びソース電極を起点とする配向欠陥の発生を抑制することができることを確認した。これは、TFT95が形成された領域におけるギャップが、その領域の周囲におけるギャップより広い状態で形成されているため、液晶物質90の体積収縮によりギャップが収縮した場合、TFT95が形成された領域におけるギャップの収縮率が、その領域の周囲におけるギャップの収縮率より小さく、TFT95が形成された領域が、液晶物質90の移動を生じさせる流出部とはならず、配向欠陥の発生を抑制できたものと推定される。
【0040】
(実施の形態2)
実施の形態1では、第2コンタクトホール20の形状を決定するフォトマスク41を用いて平坦化膜18を露光する第1露光工程と、TFT95を形成した領域における平坦化膜18の表面形状を決定するフォトマスク42を用いて平坦化膜18を露光する第2露光工程とを実行する製造方法の一例について説明したが、一枚のフォトマスクを用いて平坦化膜を露光させるようにしてもよく、このようにした一例が実施の形態2である。なお、実施の形態2による液晶表示装置の構成は実施の形態1と同様であるため、その説明を省略する。
【0041】
図6は本発明の実施の形態2に係る液晶表示装置に用いるアレイ基板の製造方法を示す説明図であり、同図(a)はTFT形成工程を、同図(b)は平坦化膜塗布工程を、同図(c)は露光工程を、同図(d)は現像工程を、同図(e)は画素電極形成工程を、それぞれ示す。なお、本実施形態の製造方法は露光工程を一枚のフォトマスクを用いて露光を行う点が、図4に示した実施の形態1の製造方法と相違し、その他の工程は実施の形態1と同様であるため説明を省略し、本実施形態において特徴的である露光工程及び現像工程について詳述する。
【0042】
(露光工程)
露光工程では、第1パターン43a及び第2パターン43bを配したフォトマスク43を介してi線ステッパにより光を照射して平坦化膜18を露光(露光量:200mJ/cm)する。なお、第1パターン43aはTFT95を形成した領域にi線が照射されるようにパターニングされ、一方、第2パターン43bは第2コンタクトホール20を形成すべきドレイン電極14の一端部にi線が照射されるようにパターニングされている。ここで、本実施形態においては、第1パターン43aを透過するi線の光量は、第2パターン43bを透過するi線の光量の略1/4程度しか透過しないようにパターニングされている。従って、このようなフォトマスク43を用いることにより、i線を照射する領域に加えて照射量までを制御することができる(図6(c))。なお、具体的なパターンについては後述する。
【0043】
(現像工程)
そして、アレイ基板10を0.2%TMAH水溶液等の現像液にてスプレー現像を行うことにより、露光工程にて露光された領域をエッチングし、密着露光機でブリーチ露光(露光量:300mJ/cm)を行い、クリーンオーブンにて、220℃、30分間のポストベークを行う。これにより、1枚のフォトマスク43を用いて、平坦化膜18を貫通する第2コンタクトホール20と、TFT95を形成した領域上の平坦化膜18を凹状にする凹部80とを形成することができる(図6(d))。
【0044】
次に、露光工程に用いたフォトマスク43について説明する。図7は本発明の実施の形態2に係るフォトマスクのパターンと露光する領域との対応を示す概略図である。フォトマスク43は、平坦化膜にi線を露光すべきTFT95を形成した領域を選択するための第1パターン43aと、第2コンタクトホール20を形成すべきドレイン電極14の一端部を選択するための第2パターン43bとがパターニングされている。具体的なパターンとしては、例えば、第2パターン43bが開口パターン、第1パターン43aがi線の波長(365nm)よりも小さい径の開口部がアレイ状に配されたパターンであり、第1パターン43aに配するアレイ状の開口部の径を調整することにより露光量を制御する。つまり、第2パターン43bの領域に入射されたi線は、その略100%が透過し、第1パターン43aの領域に入射されたi線は、一部が散乱又は吸収され、アレイ状に配した開口部の径に応じたもの(例えば、略25%)が透過する。また、第1パターン43a及び第2パターン43bを除く領域に入射されたi線は、その略100%が遮光される。なお、フォトマスク43に照射する光の波長に基づいて、アレイ状の開口部の径を決定する必要があることは言うまでもない。
【0045】
以上のようにして製造した液晶表示装置の表示品質を、実施の形態1と同様の方法で評価したが、配向欠陥の発生に起因する光漏れは発生せず、画質及びコントラスト特性、並びに透過率等の表示品質の低下も見られなかった。つまり、図13,図18に示したようなTFTを起点とする配向欠陥、及びソース電極を起点とする配向欠陥の発生を抑制することができることを確認した。
【0046】
なお、各実施の形態にて詳述した液晶表示装置は、TFT95が形成された領域におけるギャップが、その領域の周囲におけるギャップより広い状態の形態について説明したが、図8に示すように、TFT95が形成された領域におけるギャップが、その領域の周囲におけるギャップと同等、すなわち平坦化されている形態であるほうが好ましく、例えば、実施の形態1では平坦化膜18を露光する露光量を、実施の形態2では第1パターン43aのi線に対する散乱又は吸収率を、適宜調整することにより、TFT95が形成された領域における平坦化膜18のエッチング量を制御すれば所望の形状(平坦状)に加工することができる。
【0047】
また、各実施の形態にて詳述した液晶表示装置は、アレイ基板60上に能動層となる半導体層11を形成した後、ゲート絶縁膜16を介してゲート電極12を形成する構造としたが、もちろん、ゲート電極12を形成した後、ゲート絶縁膜16を介して半導体層11を形成する構造としてもよい。
【0048】
更に、TFTの能動層としてポリシリコンが形成されていてもよく、ポリシリコンとすれば、キャリアの電界効果移動度を向上させ、スイッチング特性を向上させることができる。もちろん、スイッチング素子としてTFTに限定されるものではなく、MIM等のスイッチング素子であってもよい。
【0049】
(付記1) スイッチング素子を形成した後、該スイッチング素子を被覆する絶縁膜を形成し、形成した絶縁膜を貫通して前記スイッチング素子の一方の電極まで開口するコンタクトホールを形成し、形成したコンタクトホールを介して前記電極に接続する画素電極を形成した第1基板と、対向電極を形成した第2基板とを備え、前記対向電極を前記画素電極に対向させ、前記第1基板と前記第2基板とのギャップに液晶物質を封入し、前記画素電極と前記対向電極との間に印加される電圧により前記液晶物質の光透過率を制御する構成とした液晶表示装置の製造方法において、前記スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にすべく、前記領域に位置する絶縁膜の一部を除去する処理を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
(付記2) 前記絶縁膜は、所定波長の光に感光した場合に、現像液に溶解する特性を有するポジ型の感光性樹脂であり、前記処理は、フォトマスクを介して前記所定波長の光を照射して前記絶縁膜を露光すべくなしてあり、前記絶縁膜を露光する露光量を調整することにより、前記現像液に溶解して除去される絶縁膜の量を制御することを特徴とする付記1に記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記3) 前記露光量は、前記コンタクトホールを形成するのに必要な露光量より少ないことを特徴とする付記2に記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記4) 前記処理は、前記コンタクトホールを形成する際に実行すべくなしてあることを特徴とする付記1乃至付記3のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記5) 前記フォトマスクは、前記スイッチング素子を形成した領域を露光する第1パターンと、前記コンタクトホールを形成する領域を露光する第2パターンとを備えており、前記第1パターンは、前記第2パターンに比べて前記所定波長の光を散乱又は吸収させるパターンを有していることを特徴とする付記4に記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記6) 前記液晶物質は、強誘電性液晶又は反強誘電性液晶であることを特徴とする付記1乃至付記5のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記7) 前記強誘電性液晶は、単安定型の強誘電性液晶であることを特徴とする付記6に記載の液晶表示装置の製造方法。
【0050】
【発明の効果】
以上詳述した如く本発明によれば、スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にすべく、前記領域に位置する絶縁膜の一部を除去することにより、前記領域におけるギャップの収縮率を、前記領域の周囲におけるギャップの収縮率と比較して同等、又は小さくして配向欠陥の発生を抑制し、画質及びコントラスト特性、並びに透過率等の表示品質の低下を防止することができる。
【0051】
また、絶縁膜がポジ型の感光性樹脂である場合には、フォトマスクを介して光を照射して絶縁膜を露光すれば、容易に絶縁膜を露光する露光量を調整して、除去される絶縁膜の量を制御することをができるため、絶縁膜の形状を所望のものに加工することができる。
【0052】
また、絶縁膜を露光する露光量を、コンタクトホールを形成するのに必要な露光量より少ないようにすれば、絶縁膜を残存させ、スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップと同等、すなわち平坦化することができる。
【0053】
また、スイッチング素子を形成した領域の絶縁膜を露光する第1パターンと、コンタクトホールを形成する領域の絶縁膜を露光する第2パターンとを含み、第1パターンが第2パターンに比べて、照射された光をより多く散乱又は吸収させるパターンを有するフォトマスクを用いれば、1枚のフォトマスクで、スイッチング素子を形成した領域の絶縁膜を露光する露光量と、コンタクトホールを形成する領域の絶縁膜を露光する露光量とを調整して、除去される絶縁膜の量を制御することをができるため、スイッチング素子を形成した領域に位置する絶縁膜の一部を除去でき、同時に、コンタクトホールを形成することができる等、優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液晶表示装置の一例を示す模式的平面図である。
【図2】図1のII−II線における構造断面図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る液晶表示装置に用いるアレイ基板の製造方法を示す説明図である。
【図4】本発明の実施の形態1に係るフォトマスクのパターンと露光する領域との対応を示す概略図である。
【図5】アレイ基板と対向基板とを接着して液晶表示装置とする製造方法を示す説明図である。
【図6】本発明の実施の形態2に係る液晶表示装置に用いるアレイ基板の製造方法を示す説明図である。
【図7】本発明の実施の形態2に係るフォトマスクのパターンと露光する領域との対応を示す概略図である。
【図8】本発明に係る液晶表示装置の他の一例を示す構造断面図である。
【図9】従来の液晶表示装置の模式的平面図である。
【図10】図9のX−X線における構造断面図である。
【図11】図9のXI−XI線における構造断面図である。
【図12】図9のXII−XII線における構造断面図である。
【図13】従来の液晶表示装置における配向欠陥の発生状態を示す模式図である。
【図14】平坦化処理された液晶表示装置の模式的平面図である。
【図15】図14のXV−XV線における構造断面図である。
【図16】図14のXVI−XVI線における構造断面図である。
【図17】図14のXVII−XVII線における構造断面図である。
【図18】平坦化処理された液晶表示装置における配向欠陥の発生状態を示す模式図である。
【符号の説明】
10 アレイ基板
12 ゲート電極
13 ソース電極
14 ドレイン電極
15 画素電極
18 平坦化膜
19a,19b 第1コンタクトホール
20 第2コンタクトホール
90 液晶物質
60 対向基板
62 対向電極
81 エポキシビーズ
82 シリカビーズ

Claims (5)

  1. スイッチング素子を形成した後、該スイッチング素子を被覆する絶縁膜を形成し、形成した絶縁膜を貫通して前記スイッチング素子の一方の電極まで開口するコンタクトホールを形成し、形成したコンタクトホールを介して前記電極に接続する画素電極を形成した第1基板と、対向電極を形成した第2基板とを備え、前記対向電極を前記画素電極に対向させ、前記第1基板と前記第2基板とのギャップに液晶物質を封入し、前記画素電極と前記対向電極との間に印加される電圧により前記液晶物質の光透過率を制御する構成とした液晶表示装置の製造方法において、
    前記スイッチング素子を形成した領域におけるギャップを前記領域の周囲におけるギャップ以上にすべく、前記領域に位置する絶縁膜の一部を除去する処理を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  2. 前記絶縁膜は、所定波長の光に感光した場合に、現像液に溶解する特性を有するポジ型の感光性樹脂であり、
    前記処理は、フォトマスクを介して前記所定波長の光を照射して前記絶縁膜を露光すべくなしてあり、
    前記絶縁膜を露光する露光量を調整することにより、前記現像液に溶解して除去される絶縁膜の量を制御することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
  3. 前記露光量は、前記コンタクトホールを形成するのに必要な露光量より少ないことを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法。
  4. 前記処理は、前記コンタクトホールを形成する際に実行すべくなしてあることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
  5. 前記フォトマスクは、前記スイッチング素子を形成した領域を露光する第1パターンと、前記コンタクトホールを形成する領域を露光する第2パターンとを備えており、
    前記第1パターンは、前記第2パターンに比べて前記所定波長の光を散乱又は吸収させるパターンを有していることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置の製造方法。
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