JP2004312327A - 信号処理装置および方法、並びにプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体デバイスの出力を適切に検査することができるようにする。
【解決手段】出力制御部61は、出力制御部11,13から入力されたデバイス2からのデバイスデータとデータ出力部12からのレファレンスデータを、排他的論理和回路14に出力するが、出力制御部11からのデバイスデータと、出力制御部13からのレファレンスデータの入力タイミングにずれがある場合、先に入力されたデータを、そのずれの分だけ遅延させて排他的論理和回路14に出力する。すなわちその結果、排他的論理和回路14には、デバイスデータとレファレンスデータが同期して入力されるので、それぞれ対応するデータの排他的論理和がとられる。
【選択図】 図3
【解決手段】出力制御部61は、出力制御部11,13から入力されたデバイス2からのデバイスデータとデータ出力部12からのレファレンスデータを、排他的論理和回路14に出力するが、出力制御部11からのデバイスデータと、出力制御部13からのレファレンスデータの入力タイミングにずれがある場合、先に入力されたデータを、そのずれの分だけ遅延させて排他的論理和回路14に出力する。すなわちその結果、排他的論理和回路14には、デバイスデータとレファレンスデータが同期して入力されるので、それぞれ対応するデータの排他的論理和がとられる。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、信号処理装置および方法、並びにプログラムに関し、特に、半導体デバイスの出力を適切に検査することができるようにした信号処理装置および方法、並びにプログラムに関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は、半導体デバイス2が本来出力すべきデータを適切に出力しているか否かを検査する従来の半導体試験装置1の構成例を示している。
【0003】
半導体試験装置1は、デバイス2が本来出力すべきデータ(以下、レファレンスデータと称する)を予め保持している。半導体試験装置1は、デバイス2が実際に出力してきたデータ(以下、デバイスデータと称する)と、レファレンスデータとを比較し、それらが一致しているか否かを判定する。
【0004】
デバイス2は、デバイスデータを半導体試験装置1の出力制御部11(レジスタ21)に出力するとともに、アウトプットイネーブル(Output enable)信号(“0”の信号)またはアウトプットディスエーブル(Output disable)信号(“1”の信号)を、出力制御部11(バッファ22)に出力する。
【0005】
出力制御部11のレジスタ21は、クロック発生部16により発生されたクロックに従って、デバイス2から入力されたデバイスデータをラッチし、バッファ22に出力する。
【0006】
バッファ22は、レジスタ21からのデバイスデータを記憶するとともに、図2のBに示すように、デバイス2から、アウトプットイネーブル信号が入力されているとき、図2のCに示すように、記憶したデバイスデータを排他的論理和回路14に出力する(アウトプットイネーブル信号が入力されて最初のクロック(図2のA)の立ち上がりに出力を開始する)。
【0007】
レファレンスデータ出力部12は、デバイス2のレファレンスデータを保持しており、それを適宜出力制御部13(レジスタ31)に出力するとともに、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号を、出力制御部13(バッファ32)に出力する。
【0008】
レジスタ31は、クロック発生部16により発生されたクロックに従って、入力されたレファレンスデータをラッチし、バッファ32に出力する。
【0009】
バッファ32は、レジスタ31からのレファレンスデータを記憶するとともに、図2のDに示すように、レファレンスデータ出力部12から、アウトプットイネーブル信号が入力されているとき、図2のEに示すように、記憶したレファレンスデータを排他的論理和回路14に出力する(アウトプットイネーブル信号が入力されて最初のクロックの立ち上がりに出力を開始する)。
【0010】
排他的論理和回路14は、それぞれ対応して入力された、バッファ22から入力されたデバイスデータ(図2のC)と、バッファ32から入力されたレファレンスデータ(図2のE)との排他的論理和をとり、その結果を、図2のFに示すように、レジスタ15に出力する。すなわち、両者が一致しているとき、“0”の信号が出力され、一致していないとき、“1”の信号が出力される。
【0011】
レジスタ15は、クロック発生部16からのクロックに従って、排他的論理和回路14からの比較結果をラッチし、外部の装置(例えば、その比較結果を表示する、図示せぬ表示制御装置)に出力する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、出力制御部11へのアウトプットイネーブル信号の入力タイミングと、出力制御部13へのアウトプットイネーブル信号の入力タイミングが、例えば、信号線の非対象等によって、図2のB,Dに示すように、バッファ22およびバッファ32の出力(図2のC,E)が、1クロック分以上ずれてしまうほどずれた場合、本来比較されるべきデバイスデータとレファレンスデータ同士の排他的論理和がとられないので(図2の場合、例えば、デバイスデータのデータD1とレファレンスデータのデータD0との排他的論理和がとられるので)、排他的論理和回路14からは、常に、両者が一致しない旨を表す“1”の信号が出力されるようになる。
【0013】
このように、従来の半導体試験装置1では、デバイスデータとレファレンスデータの入力タイミングの間にずれが生じると、デバイス2の出力を適切に検査することができない課題があった。
【0014】
なおデジタル衛星放送機構における復調時の多相搬送波の補正方法は、開示されているが(特許文献参照)、半導体試験装置1における上述したようなずれを補正する技術を示すものは存在しない。
【0015】
【特許文献】
特開2002−9858号公報
【0016】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、デバイスデータとレファレンスデータの入力タイミングの間にずれが生じても、デバイス2の出力を適切に検査することができるものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の信号処理装置は、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御手段と、入出力制御手段により出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【0018】
本発明の信号処理方法は、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、入出力制御ステップの処理で出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップとを含むことを特徴とする。
【0019】
本発明のプログラムは、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、入出力制御ステップの処理で出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップとを含む処理をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【0020】
本発明の信号処理装置および方法、並びにプログラムにおいては、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、その一方の出力が遅延され、出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かが判定される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明するが、特許請求の範囲に記載の発明の各手段と以下の実施の形態との対応関係を明らかにするために、各手段の後の括弧内に、対応する実施の形態(但し一例)を付加して本発明の特徴を記述すると、次のようになる。但し勿論この記載は、各手段を記載したものに限定することを意味するものではない。
【0022】
本発明の信号処理装置は、入力された第1のデータ(例えば、デバイスデータ)および第2のデータ(例えば、レファレンスデータ)を出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御手段(例えば、図3の出力制御部61)と、入出力制御手段により出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定手段(例えば、図3の排他的論理和回路14)とを備えることを特徴とする。
【0023】
図3は、本発明を適用した半導体試験装置51の構成例を示している。この半導体試験装置51には、図1の半導体試験装置1の出力制御部11,13と、排他的論理和回路14との間に、出力制御部61がさらに設けられている。半導体試験装置51にはまた、クロック発生部16が発生するクロックより高い周波数のクロックを発生するクロック発生部62がさらに設けられている。他の部分は、半導体試験装置1における場合と同様であるので、その説明は適宜省略する。
【0024】
出力制御部61は、出力制御部11,13から入力されたデバイスデータとレファレンスデータを、排他的論理和回路14に出力するが、図2のB,Dに示したように、デバイス2のアウトプットイネーブル信号OEとレファレンスデータのアウトプットイネーブル信号OEの入力タイミングがずれることによって、出力制御部11からのデバイスデータと、出力制御部13からのレファレンスデータの入力タイミングにずれが生じた場合、先に入力されたデータを、そのずれの分だけ遅延させて排他的論理和回路14に出力する。すなわちその結果、排他的論理和回路14には、デバイスデータとレファレンスデータが同期して入力されるので、それぞれ対応するデータの排他的論理和がとられる。
【0025】
出力制御部61のFIFO71は、クロック発生部16からのクロック(以下、マスタクロックと称する)に従って、出力制御部11からのデバイスデータを記憶し、それを、論理積回路74からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、論理和回路72および排他的論理和回路14に出力する。例えば、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が入力されている間、FIFO71は、データを、記憶した順に論理和回路72および排他的論理和回路14に出力する。また論理積回路74から、アウトプットディスエーブル信号が入力されている間、FIFO71は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力した所定のデータを繰り返し出力する。
【0026】
論理和回路72は、FIFO71からのデータと、レジスタ73からのデータの論理和をとり、その結果を、レジスタ73に出力する。
【0027】
レジスタ73は、クロック発生部62により発生されるクロック(以下、テストクロックと称する)に従って、論理和回路72からのデータをラッチし、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0028】
論理積回路74は、レジスタ73からのデータと、排他的論理和回路79からのデータの論理積をとり、その結果を、FIFO71に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0029】
FIFO75は、クロック発生部16からのマスタクロックに従って、出力制御部13からのレファレンスデータを記憶し、それを、論理積回路78からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、論理和回路76および排他的論理和回路14に出力する。例えば、論理積回路78から、アウトプットイネーブル信号が入力されている間、FIFO75は、記憶した順にデータを論理和回路76および排他的論理和回路14に出力する。また論理積回路78から、アウトプットディスエーブル信号が入力されている間、FIFO75は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力した所定のデータを繰り返し出力する。
【0030】
論理和回路76は、FIFO75からのデータと、レジスタ75からのデータの論理和をとり、その結果を、レジスタ77に出力する。
【0031】
レジスタ77は、クロック発生部62により発生されるテストクロックに従って、論理和回路76からのデータをラッチし、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0032】
論理積回路78は、レジスタ77からのデータと、排他的論理和回路79からのデータの論理積をとり、その結果を、FIFO75に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0033】
排他的論理和回路79は、レジスタ73からのデータと、レジスタ77からのデータとの排他的論理和をとり、その結果を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0034】
否定論理積回路80は、レジスタ73からのデータと、レジスタ77からのデータとの否定論理積をとり、その結果を、レジスタ15に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0035】
排他的論理和回路14は、FIFO71からのデバイスデータと、FIFO75からのレファレンスデータの排他的論理和をとり、その結果(比較結果)を、レジスタ15に出力する。
【0036】
レジスタ15は、クロック発生部16により発生されるマスタクロックに従って、排他的論理和回路14からのデータ(デバイスデータとレファレンスデータとの比較結果)をラッチし、論理和回路80からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、外部に出力する。
【0037】
次に、図4を参照して、出力制御部61の動作を説明する。
【0038】
例えば、図4のBに示すタイミングで、デバイスデータのアウトプットイネーブル信号OEが出力制御部11に入力されると、デバイスデータは、そのアウトプットイネーブル信号OEに応じて出力制御部11から出力され、出力制御部61のFIFO71に入力されるので(図4のC)、FIFO71は、クロックMa(図4のA)に対応するタイミングで、デバイスデータのデータD0(図4のD)を、論理和回路72と排他的論理和回路14に出力する。
【0039】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの初期信号として“0”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。なお、FIFO71には、初期状態として、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が供給されているものとする。
【0040】
一方、図4のEに示すタイミングで(デバイスデータのアウトプットイネーブル信号(図4のB)より遅れて)、レファレンスデータのアウトプットイネーブル信号OEが出力制御部13に入力されると、レファレンスデータは、そのアウトプットイネーブル信号に応じて出力制御部13から出力され、出力制御部61のFIFO75に入力されるので(図4のF)、FIFO75は、クロックMa(図4のA)に対応するタイミングで、初期信号としての“0”の信号(図4のG)を、論理和回路76と排他的論理和回路14に出力する。FIFO75には、初期状態として、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が供給されているものとする。
【0041】
論理和回路76にはこのとき、FIFO75からの“0”の信号(初期信号)(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、論理和回路76は、“0”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“0”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、“0”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0042】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0043】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のK)をFIFO71に出力する。
【0044】
一方論理積回路78には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75に出力する。
【0045】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のM)をレジスタ15に供給する。すなわち排他的論理和回路14には、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からの初期信号としての“0”(図4のG)が入力され、その排他的論理和の結果がレジスタ15に供給されるが、レジスタ15はこのとき、その比較結果を出力しないので、その比較結果は利用されない。
【0046】
次にクロックMb(図4のA)のタイミングにおいて、FIFO71には、論理積回路74からのアウトプットディスエーブル信号(図4のK)が入力されているので、FIFO71は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力したデータD0を、論理和回路72と排他的論理和回路14に再度出力する(図4のD)。
【0047】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0048】
一方、FIFO75は、クロックMbのタイミングでも、初期信号としての“0”(図4のG)を論理和回路76と排他的論理和回路14に出力するので、論理和回路76にはこのときも、FIFO75からの“0”(初期信号)(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力され、論理和回路76は、“0”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“0”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、“0”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0049】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78にさらに出力する。
【0050】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のK)をFIFO71にさらに出力する。すなわちこれ以降、FIFO71は、データを、記憶した順に出力する(図4のD)。
【0051】
論理積回路78には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75にさらに出力する。
【0052】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTb(図4のH)のタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のM)をレジスタ15にさらに供給する。すなわち排他的論理和回路14には、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からの初期信号としての“0”(図4のG)が入力され、その排他的論理和の結果がレジスタ15に供給されるが、レジスタ15はこのときも、その比較結果を出力しない。
【0053】
次に、クロックMc(図4のA)のタイミングにおいて、FIFO71には、論理積回路74からのアウトプットディスエーブル信号(図4のK)が入力されているので、FIFO71は、データD0を再度出力する(図4のD)。
【0054】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0055】
一方、FIFO75は、クロックMcのタイミングにおいて、記憶したレファレンスデータのデータD0(図4のG)を、論理和回路76と排他的論理和回路14に出力する。
【0056】
論理和回路76にはこのとき、FIFO75からのデータD0(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、論理和回路76は、“1”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“1”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0057】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0058】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“0”(アウトプットイネーブル信号)(図4のK)をFIFO71に出力する。
【0059】
一方論理積回路78には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75にさらに出力する。
【0060】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のM)をレジスタ15に供給する。すなわち排他的論理和回路14には、このとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からのデータD0(図4のG)が入力され(すなわち、デバイスデータとレファレンスデータのそれぞれ対応するデータが入力され)、排他的論理和回路14は、その排他的論理和の結果(比較結果)をレジスタ15に供給するので、レジスタ15からの比較結果(図4のN)が、有効な比較結果として利用される。
【0061】
以上のように、先に入力された、例えば、出力制御部11からのデバイスデータの出力を遅延させ、デバイスデータとレファレンスデータとが同期して排他的論理和回路14に入力されるように、デバイスデータとレファレンスデータの出力を制御するようにしたので、それらの入力タイミングの間にずれがあっても、デバイス2の出力を適切に検査することができる。
【0062】
【発明の効果】
本発明によれば、例えば、半導体デバイスの出力を適切に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の半導体試験装置の構成例を示すブロック図である。
【図2】図1の半導体試験装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【図3】本発明を適用した半導体試験装置の構成例を示すブロック図である。
【図4】図3の半導体試験装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【符号の説明】
2 半導体デバイス, 11 出力制御部, 12 レファレンスデータ出力部, 13 出力制御部, 14 排他的論理和回路, 15 レジスタ, 16 クロック発生部, 21 レジスタ, 22 バッファ, 31 レジスタ, 32 バッファ, 61 出力制御部, 62 クロック発生部, 71 FIFO, 72 論理和回路, 73 レジスタ, 74 論理積回路, 75 FIFO, 76 論理和回路, 77 レジスタ, 78 論理積回路, 79 排他的論理和回路, 80 否定論理積回路
【発明の属する技術分野】
本発明は、信号処理装置および方法、並びにプログラムに関し、特に、半導体デバイスの出力を適切に検査することができるようにした信号処理装置および方法、並びにプログラムに関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は、半導体デバイス2が本来出力すべきデータを適切に出力しているか否かを検査する従来の半導体試験装置1の構成例を示している。
【0003】
半導体試験装置1は、デバイス2が本来出力すべきデータ(以下、レファレンスデータと称する)を予め保持している。半導体試験装置1は、デバイス2が実際に出力してきたデータ(以下、デバイスデータと称する)と、レファレンスデータとを比較し、それらが一致しているか否かを判定する。
【0004】
デバイス2は、デバイスデータを半導体試験装置1の出力制御部11(レジスタ21)に出力するとともに、アウトプットイネーブル(Output enable)信号(“0”の信号)またはアウトプットディスエーブル(Output disable)信号(“1”の信号)を、出力制御部11(バッファ22)に出力する。
【0005】
出力制御部11のレジスタ21は、クロック発生部16により発生されたクロックに従って、デバイス2から入力されたデバイスデータをラッチし、バッファ22に出力する。
【0006】
バッファ22は、レジスタ21からのデバイスデータを記憶するとともに、図2のBに示すように、デバイス2から、アウトプットイネーブル信号が入力されているとき、図2のCに示すように、記憶したデバイスデータを排他的論理和回路14に出力する(アウトプットイネーブル信号が入力されて最初のクロック(図2のA)の立ち上がりに出力を開始する)。
【0007】
レファレンスデータ出力部12は、デバイス2のレファレンスデータを保持しており、それを適宜出力制御部13(レジスタ31)に出力するとともに、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号を、出力制御部13(バッファ32)に出力する。
【0008】
レジスタ31は、クロック発生部16により発生されたクロックに従って、入力されたレファレンスデータをラッチし、バッファ32に出力する。
【0009】
バッファ32は、レジスタ31からのレファレンスデータを記憶するとともに、図2のDに示すように、レファレンスデータ出力部12から、アウトプットイネーブル信号が入力されているとき、図2のEに示すように、記憶したレファレンスデータを排他的論理和回路14に出力する(アウトプットイネーブル信号が入力されて最初のクロックの立ち上がりに出力を開始する)。
【0010】
排他的論理和回路14は、それぞれ対応して入力された、バッファ22から入力されたデバイスデータ(図2のC)と、バッファ32から入力されたレファレンスデータ(図2のE)との排他的論理和をとり、その結果を、図2のFに示すように、レジスタ15に出力する。すなわち、両者が一致しているとき、“0”の信号が出力され、一致していないとき、“1”の信号が出力される。
【0011】
レジスタ15は、クロック発生部16からのクロックに従って、排他的論理和回路14からの比較結果をラッチし、外部の装置(例えば、その比較結果を表示する、図示せぬ表示制御装置)に出力する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、出力制御部11へのアウトプットイネーブル信号の入力タイミングと、出力制御部13へのアウトプットイネーブル信号の入力タイミングが、例えば、信号線の非対象等によって、図2のB,Dに示すように、バッファ22およびバッファ32の出力(図2のC,E)が、1クロック分以上ずれてしまうほどずれた場合、本来比較されるべきデバイスデータとレファレンスデータ同士の排他的論理和がとられないので(図2の場合、例えば、デバイスデータのデータD1とレファレンスデータのデータD0との排他的論理和がとられるので)、排他的論理和回路14からは、常に、両者が一致しない旨を表す“1”の信号が出力されるようになる。
【0013】
このように、従来の半導体試験装置1では、デバイスデータとレファレンスデータの入力タイミングの間にずれが生じると、デバイス2の出力を適切に検査することができない課題があった。
【0014】
なおデジタル衛星放送機構における復調時の多相搬送波の補正方法は、開示されているが(特許文献参照)、半導体試験装置1における上述したようなずれを補正する技術を示すものは存在しない。
【0015】
【特許文献】
特開2002−9858号公報
【0016】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、デバイスデータとレファレンスデータの入力タイミングの間にずれが生じても、デバイス2の出力を適切に検査することができるものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の信号処理装置は、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御手段と、入出力制御手段により出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【0018】
本発明の信号処理方法は、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、入出力制御ステップの処理で出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップとを含むことを特徴とする。
【0019】
本発明のプログラムは、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、入出力制御ステップの処理で出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップとを含む処理をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【0020】
本発明の信号処理装置および方法、並びにプログラムにおいては、入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、その一方の出力が遅延され、出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かが判定される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明するが、特許請求の範囲に記載の発明の各手段と以下の実施の形態との対応関係を明らかにするために、各手段の後の括弧内に、対応する実施の形態(但し一例)を付加して本発明の特徴を記述すると、次のようになる。但し勿論この記載は、各手段を記載したものに限定することを意味するものではない。
【0022】
本発明の信号処理装置は、入力された第1のデータ(例えば、デバイスデータ)および第2のデータ(例えば、レファレンスデータ)を出力する際に、時間的に先に入力された第1のデータまたは第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、一方の出力を遅延させる入出力制御手段(例えば、図3の出力制御部61)と、入出力制御手段により出力された第1のデータと第2のデータが一致するか否かを判定する判定手段(例えば、図3の排他的論理和回路14)とを備えることを特徴とする。
【0023】
図3は、本発明を適用した半導体試験装置51の構成例を示している。この半導体試験装置51には、図1の半導体試験装置1の出力制御部11,13と、排他的論理和回路14との間に、出力制御部61がさらに設けられている。半導体試験装置51にはまた、クロック発生部16が発生するクロックより高い周波数のクロックを発生するクロック発生部62がさらに設けられている。他の部分は、半導体試験装置1における場合と同様であるので、その説明は適宜省略する。
【0024】
出力制御部61は、出力制御部11,13から入力されたデバイスデータとレファレンスデータを、排他的論理和回路14に出力するが、図2のB,Dに示したように、デバイス2のアウトプットイネーブル信号OEとレファレンスデータのアウトプットイネーブル信号OEの入力タイミングがずれることによって、出力制御部11からのデバイスデータと、出力制御部13からのレファレンスデータの入力タイミングにずれが生じた場合、先に入力されたデータを、そのずれの分だけ遅延させて排他的論理和回路14に出力する。すなわちその結果、排他的論理和回路14には、デバイスデータとレファレンスデータが同期して入力されるので、それぞれ対応するデータの排他的論理和がとられる。
【0025】
出力制御部61のFIFO71は、クロック発生部16からのクロック(以下、マスタクロックと称する)に従って、出力制御部11からのデバイスデータを記憶し、それを、論理積回路74からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、論理和回路72および排他的論理和回路14に出力する。例えば、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が入力されている間、FIFO71は、データを、記憶した順に論理和回路72および排他的論理和回路14に出力する。また論理積回路74から、アウトプットディスエーブル信号が入力されている間、FIFO71は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力した所定のデータを繰り返し出力する。
【0026】
論理和回路72は、FIFO71からのデータと、レジスタ73からのデータの論理和をとり、その結果を、レジスタ73に出力する。
【0027】
レジスタ73は、クロック発生部62により発生されるクロック(以下、テストクロックと称する)に従って、論理和回路72からのデータをラッチし、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0028】
論理積回路74は、レジスタ73からのデータと、排他的論理和回路79からのデータの論理積をとり、その結果を、FIFO71に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0029】
FIFO75は、クロック発生部16からのマスタクロックに従って、出力制御部13からのレファレンスデータを記憶し、それを、論理積回路78からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、論理和回路76および排他的論理和回路14に出力する。例えば、論理積回路78から、アウトプットイネーブル信号が入力されている間、FIFO75は、記憶した順にデータを論理和回路76および排他的論理和回路14に出力する。また論理積回路78から、アウトプットディスエーブル信号が入力されている間、FIFO75は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力した所定のデータを繰り返し出力する。
【0030】
論理和回路76は、FIFO75からのデータと、レジスタ75からのデータの論理和をとり、その結果を、レジスタ77に出力する。
【0031】
レジスタ77は、クロック発生部62により発生されるテストクロックに従って、論理和回路76からのデータをラッチし、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0032】
論理積回路78は、レジスタ77からのデータと、排他的論理和回路79からのデータの論理積をとり、その結果を、FIFO75に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0033】
排他的論理和回路79は、レジスタ73からのデータと、レジスタ77からのデータとの排他的論理和をとり、その結果を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0034】
否定論理積回路80は、レジスタ73からのデータと、レジスタ77からのデータとの否定論理積をとり、その結果を、レジスタ15に、アウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号として供給する。
【0035】
排他的論理和回路14は、FIFO71からのデバイスデータと、FIFO75からのレファレンスデータの排他的論理和をとり、その結果(比較結果)を、レジスタ15に出力する。
【0036】
レジスタ15は、クロック発生部16により発生されるマスタクロックに従って、排他的論理和回路14からのデータ(デバイスデータとレファレンスデータとの比較結果)をラッチし、論理和回路80からのアウトプットイネーブル信号またはアウトプットディスエーブル信号に応じて、外部に出力する。
【0037】
次に、図4を参照して、出力制御部61の動作を説明する。
【0038】
例えば、図4のBに示すタイミングで、デバイスデータのアウトプットイネーブル信号OEが出力制御部11に入力されると、デバイスデータは、そのアウトプットイネーブル信号OEに応じて出力制御部11から出力され、出力制御部61のFIFO71に入力されるので(図4のC)、FIFO71は、クロックMa(図4のA)に対応するタイミングで、デバイスデータのデータD0(図4のD)を、論理和回路72と排他的論理和回路14に出力する。
【0039】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの初期信号として“0”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。なお、FIFO71には、初期状態として、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が供給されているものとする。
【0040】
一方、図4のEに示すタイミングで(デバイスデータのアウトプットイネーブル信号(図4のB)より遅れて)、レファレンスデータのアウトプットイネーブル信号OEが出力制御部13に入力されると、レファレンスデータは、そのアウトプットイネーブル信号に応じて出力制御部13から出力され、出力制御部61のFIFO75に入力されるので(図4のF)、FIFO75は、クロックMa(図4のA)に対応するタイミングで、初期信号としての“0”の信号(図4のG)を、論理和回路76と排他的論理和回路14に出力する。FIFO75には、初期状態として、論理積回路74から、アウトプットイネーブル信号が供給されているものとする。
【0041】
論理和回路76にはこのとき、FIFO75からの“0”の信号(初期信号)(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、論理和回路76は、“0”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“0”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、“0”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0042】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0043】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のK)をFIFO71に出力する。
【0044】
一方論理積回路78には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75に出力する。
【0045】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTa(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のM)をレジスタ15に供給する。すなわち排他的論理和回路14には、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からの初期信号としての“0”(図4のG)が入力され、その排他的論理和の結果がレジスタ15に供給されるが、レジスタ15はこのとき、その比較結果を出力しないので、その比較結果は利用されない。
【0046】
次にクロックMb(図4のA)のタイミングにおいて、FIFO71には、論理積回路74からのアウトプットディスエーブル信号(図4のK)が入力されているので、FIFO71は、アウトプットディスエーブル信号が入力されたときに出力したデータD0を、論理和回路72と排他的論理和回路14に再度出力する(図4のD)。
【0047】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0048】
一方、FIFO75は、クロックMbのタイミングでも、初期信号としての“0”(図4のG)を論理和回路76と排他的論理和回路14に出力するので、論理和回路76にはこのときも、FIFO75からの“0”(初期信号)(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力され、論理和回路76は、“0”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“0”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、“0”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0049】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78にさらに出力する。
【0050】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のK)をFIFO71にさらに出力する。すなわちこれ以降、FIFO71は、データを、記憶した順に出力する(図4のD)。
【0051】
論理積回路78には、テストクロックのクロックTb(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75にさらに出力する。
【0052】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTb(図4のH)のタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“1”の信号(アウトプットディスエーブル信号)(図4のM)をレジスタ15にさらに供給する。すなわち排他的論理和回路14には、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からの初期信号としての“0”(図4のG)が入力され、その排他的論理和の結果がレジスタ15に供給されるが、レジスタ15はこのときも、その比較結果を出力しない。
【0053】
次に、クロックMc(図4のA)のタイミングにおいて、FIFO71には、論理積回路74からのアウトプットディスエーブル信号(図4のK)が入力されているので、FIFO71は、データD0を再度出力する(図4のD)。
【0054】
論理和回路72にはこのとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)とともに、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)が入力されるので、論理和回路72は“1”の信号をレジスタ73に出力する。レジスタ73は、論理和回路72から、“1”の信号がさらに入力されると、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のI)を、論理和回路72、論理積回路74、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれにさらに出力する。
【0055】
一方、FIFO75は、クロックMcのタイミングにおいて、記憶したレファレンスデータのデータD0(図4のG)を、論理和回路76と排他的論理和回路14に出力する。
【0056】
論理和回路76にはこのとき、FIFO75からのデータD0(図4のG)とともに、レジスタ77からの初期信号としての“0”の信号(図4のJ)が入力されるので、論理和回路76は、“1”の信号をレジスタ77に出力する。レジスタ77は、論理和回路76から、“1”の信号が入力されると、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、“1”の信号(図4のJ)を、論理和回路76、論理積回路78、排他的論理和回路79、および否定論理積回路80のそれぞれに出力する。
【0057】
従って排他的論理和回路79には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)が入力されるので、排他的論理和回路79は、“1”の信号を、論理積回路74および論理積回路78に出力する。
【0058】
論理積回路74には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路74は、“0”(アウトプットイネーブル信号)(図4のK)をFIFO71に出力する。
【0059】
一方論理積回路78には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)と、排他的論理和回路79からの“1”の信号が入力されるので、論理積回路78は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のL)を、FIFO75にさらに出力する。
【0060】
否定論理積回路80には、テストクロックのクロックTc(図4のH)に対応するタイミングで、レジスタ73からの“1”の信号(図4のI)と、レジスタ77からの“1”の信号(図4のJ)が入力されるので、否定論理積回路80は、“0”の信号(アウトプットイネーブル信号)(図4のM)をレジスタ15に供給する。すなわち排他的論理和回路14には、このとき、FIFO71からのデータD0(図4のD)と、FIFO75からのデータD0(図4のG)が入力され(すなわち、デバイスデータとレファレンスデータのそれぞれ対応するデータが入力され)、排他的論理和回路14は、その排他的論理和の結果(比較結果)をレジスタ15に供給するので、レジスタ15からの比較結果(図4のN)が、有効な比較結果として利用される。
【0061】
以上のように、先に入力された、例えば、出力制御部11からのデバイスデータの出力を遅延させ、デバイスデータとレファレンスデータとが同期して排他的論理和回路14に入力されるように、デバイスデータとレファレンスデータの出力を制御するようにしたので、それらの入力タイミングの間にずれがあっても、デバイス2の出力を適切に検査することができる。
【0062】
【発明の効果】
本発明によれば、例えば、半導体デバイスの出力を適切に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の半導体試験装置の構成例を示すブロック図である。
【図2】図1の半導体試験装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【図3】本発明を適用した半導体試験装置の構成例を示すブロック図である。
【図4】図3の半導体試験装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【符号の説明】
2 半導体デバイス, 11 出力制御部, 12 レファレンスデータ出力部, 13 出力制御部, 14 排他的論理和回路, 15 レジスタ, 16 クロック発生部, 21 レジスタ, 22 バッファ, 31 レジスタ, 32 バッファ, 61 出力制御部, 62 クロック発生部, 71 FIFO, 72 論理和回路, 73 レジスタ, 74 論理積回路, 75 FIFO, 76 論理和回路, 77 レジスタ, 78 論理積回路, 79 排他的論理和回路, 80 否定論理積回路
Claims (3)
- 入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された前記第1のデータまたは前記第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、前記一方の出力を遅延させる入出力制御手段と、
前記入出力制御手段により出力された前記第1のデータと前記第2のデータが一致するか否かを判定する判定手段と
を備えることを特徴とする信号処理装置。 - 入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された前記第1のデータまたは前記第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、前記一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、
前記入出力制御ステップの処理で出力された前記第1のデータと前記第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップと
を含むことを特徴とする信号処理方法。 - 入力された第1のデータおよび第2のデータを出力する際に、時間的に先に入力された前記第1のデータまたは前記第2のデータのいずれか一方を、後から入力された他方と同期して出力することができるように、前記一方の出力を遅延させる入出力制御ステップと、
前記入出力制御ステップの処理で出力された前記第1のデータと前記第2のデータが一致するか否かを判定する判定ステップと
を含む処理をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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