JP2004312002A - Z方向オフセットおよび斜光照明によるマスク対象物シフトのy方向位置補正 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射型リソグラフィ投影機器において、光軸に沿ってマスクのパターン表面の位置が変動することによって生じるマスクのパターン像の走査方向のシフトを、マスクおよび/または基板の相対位置を走査方向にシフトすることによって補正する。マスクおよび/または基板の相対位置を光軸の周りに回転することによって、像回転誤差の補正を行うこともできる。リソグラフィ投影機器にマスクを設置した後で、干渉計によって光軸に沿ったマスクのパターン表面の位置の変動を求めることができる。これらの変動をマッピングし記憶して、リソグラフィ投影機器を制御することができる。
【選択図】図4
Description
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTは本質的に固定したまま、目標部分C上にマスク像全体を1回で、すなわち1回の「フラッシュ」で投影する。次いで、基板テーブルWTをX方向および/またはY方向に移動して、ビームPBで異なる目標部分Cを照射することができる。
2.スキャン・モードでは、所与の目標部分Cが1回の「フラッシュ」で露光されない点を除き、本質的に同じ状況が当てはまる。その代わりに、マスク・テーブルMTが、所与の方向(いわゆる「走査方向」、たとえばY方向)に速度vで移動可能であり、それによって、投影ビームPBがマスク像の上を走査する。それと並行して、基板テーブルWTが同時に同方向または反対方向に速度V=Mvで移動する。ただし、MはレンズPLの倍率(通常、M=1/4または1/5)である。このようにして、解像力を損なわずに比較的大きな目標部分Cを露光することができる。
A 点
AM 調節手段
B 点
BP ベース・プレート
C 点、目標部分
CO コンデンサ
D 点
Ex 放射システム、ビーム・エキスパンダ
IF 干渉計
IFZ 干渉計
IL 放射システム、照明システム、照明器
ILS スリット
IN 統合器
LA 放射源
M ミラー
MA マスク
MA1 マスク
MA2 マスク
MP マスク・パターン区域
MPM ミラー位置決め機構
MT 第1対象物テーブル、マスク・テーブル
M1 マスク位置決めマーク
M2 マスク位置決めマーク
M1 ミラー
M2 ミラー
M3 ミラー
M4 ミラー
M5 ミラー
M6 ミラー
PB 投影ビーム
PL 投影システム、レンズ
PM 第1位置決め装置、放物面ミラー
PW 第2位置決め装置
P1 基板位置決めマーク
P2 基板位置決めマーク
RI 反射型統合器
RS レチクル・ステージ
RSM 放射感受性材料、フォトレジスト
T トラック
W 基板、ウェハ
WS ウェハ・ステージ
WT 第2対象物テーブル、基板テーブル
Claims (13)
- 放射投影ビームを提供するように構成され配置された放射システムと、
パターン表面を含み、所望のパターンに従って前記投影ビームをパターン化するように構成され配置された反射型パターン化装置を支持するように構成され配置された支持構造と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記基板の目標部分上に前記パターン化されたビームを投影するように構成され配置された投影システムとを備えるリソグラフィ投影機器であって、前記支持構造および前記基板テーブルが第1方向に相互に移動可能であり、前記パターン表面の位置の前記第1方向に直交する第2方向の変動を、前記パターン化装置の位置の前記第1方向の調整、前記基板位置の前記第1方向の調整、前記第2方向に平行な軸の周りの前記基板の回転、および前記第2方向に平行な前記軸の周りの前記パターン化装置の回転のうち少なくとも1つを行うことによって補正する、機器。 - 前記パターン表面の前記位置の前記第2方向の前記変動を求めるように構成され配置された干渉計システムをさらに備える、請求項1に記載の機器。
- 前記干渉計システムが、前記投影システムに対する相対的な前記パターン表面の前記位置を求める2つの干渉計を含む、請求項2に記載の機器。
- 前記パターン化装置および前記基板の前記位置を前記第1方向にΔY=ΔZ×tanαの量だけ相互に調整し、ΔZが前記パターン表面の前記位置の前記第2方向の変動であり、αが前記パターン化装置上での前記投影ビームの入射角である、請求項1に記載の機器。
- 前記パターン化装置および前記基板の前記位置を相互に調整することが、前記パターン化装置および前記基板が相互に移動する間に、前記パターン化装置および前記基板の少なくとも1つの速度を調整することを含む、請求項4に記載の機器。
- 前記第2方向に平行な前記軸の周りで前記基板を回転することが、前記基板をΔθzw=±tanα×(ΔZ2−ΔZ1)/dの量だけ回転することを含み、αが前記パターン化装置上での前記投影ビームの入射角、ΔZ1が前記パターン表面の位置の前記第2方向の第1変動測定値、ΔZ2が前記パターン表面の位置の前記第2方向の第2変動測定値、dが前記第1および第2方向に直交する第3方向のΔZ1およびΔZ2の2つの測定位置間の距離である、請求項1に記載の機器。
- パターン化装置、基板およびミラーを第1方向に同期して移動させながら、パターン表面を含む反射型パターン化装置上に形成されたパターンを、所定の角度で前記パターン化装置上に入射する投影ビームを投影システムにより投影することによって、放射感受性材料を被覆した基板上に転写する方法であって、
前記パターン表面の位置の前記第1方向に直交する第2方向の変動を求めるステップと、
前記パターン化装置の少なくとも1つの位置を前記第1方向に調整し、前記基板の位置を前記第1方向に調整し、前記ミラーの位置を前記第1方向に調整し、前記第2方向に平行な軸の周りで前記基板を回転して、焦点面からの前記パターンの前記位置の前記変動を補正するステップとを含む、方法。 - 前記パターン表面の前記位置の前記変動を求めることが、前記投影システムに対する相対的な前記パターン化装置の位置を求めることを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記パターン化装置、前記基板および前記ミラーの前記位置を前記第1方向に相互に調整することが、前記相対位置をΔY=ΔZ×tanαの量だけ調整することを含み、ΔZが前記焦点面からの前記パターンの前記変動の量であり、αが前記パターン化装置上での前記投影ビームの前記入射角である、請求項7に記載の方法。
- 前記パターン化装置、前記基板および前記ミラーの前記位置を相互に調整することが、前記パターン化装置、前記基板および前記ミラーが相互に移動する間に、前記パターン化装置、前記ウェハおよび前記ミラーの少なくとも1つの速度を調整することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記軸の周りで前記基板を回転することが、前記基板をΔθz=±tanα×(ΔZ2−ΔZ1)/dの量だけ回転することを含み、αが前記パターン化装置上での前記投影ビームの前記入射角、ΔZ1が前記パターン表面の前記第2方向の第1変動測定値、ΔZ2が前記パターン表面の前記第2方向の第2変動測定値、dが前記第1および第2方向に直交する第3方向の2つの変位測定装置間の距離である、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも部分的に放射感受性材料の層で覆われた基板を提供するステップと、
放射システムを使用して放射投影ビームを提供するステップと、
パターン化装置を使用して前記投影ビームの横断面にパターンを付与するステップと、
ミラーを含む投影システムを使用して、放射感受性材料の前記層の目標部分上に前記パターン化された放射ビームを投影するステップと、
前記パターン化装置の位置の第1方向の調整、前記基板位置の前記第1方向の調整、前記ミラー位置の前記第1方向の調整、および前記第1方向に直交する第2方向に平行な軸の周りの前記基板テーブルの回転のうち少なくとも1つを行うステップとを含む、デバイスを製造する方法。 - 放射投影ビームを提供するように構成され配置された放射システムと、
パターン表面を含み、所望のパターンに従って前記投影ビームをパターン化するように構成され配置された反射型パターン化装置を支持するように構成され配置された支持構造と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記基板の目標部分上に前記パターン化されたビームを投影するように構成され配置された、ミラーを含む投影システムとを備えるリソグラフィ投影機器であって、前記支持構造、前記基板テーブルおよび前記ミラーが第1方向に相互に移動可能であり、前記パターン表面の位置の前記第1方向に直交する第2方向の変動を、前記パターン化装置の位置の前記第1方向の調整、前記基板位置の前記第1方向の調整、前記ミラー位置の6自由度のうち少なくとも1つにおける調整、前記第2方向に平行な軸の周りの前記基板の回転、および前記第2方向に平行な前記軸の周りの前記パターン化装置の回転のうち少なくとも1つを行うことによって補正する、機器。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/406,602 US6853440B1 (en) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | Position correction in Y of mask object shift due to Z offset and non-perpendicular illumination |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004312002A true JP2004312002A (ja) | 2004-11-04 |
JP4405304B2 JP4405304B2 (ja) | 2010-01-27 |
Family
ID=32850652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004105078A Expired - Fee Related JP4405304B2 (ja) | 2003-04-04 | 2004-03-31 | Z方向オフセットおよび斜光照明によるマスク対象物シフトのy方向位置補正 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6853440B1 (ja) |
EP (1) | EP1465018B1 (ja) |
JP (1) | JP4405304B2 (ja) |
KR (1) | KR100706934B1 (ja) |
CN (1) | CN100487577C (ja) |
DE (1) | DE602004021309D1 (ja) |
SG (1) | SG143037A1 (ja) |
TW (1) | TWI284252B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008103512A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Hoya Corp | 反射型マスクブランクの製造方法及び反射型マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2009016424A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Renesas Technology Corp | 反射型露光方法 |
US7883930B2 (en) | 2005-05-19 | 2011-02-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Phase change memory including a plurality of electrically conductive bodies, and manufacturing method thereof |
JP2017003617A (ja) * | 2015-06-04 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 走査露光装置、走査露光方法、及びデバイス製造方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10219514A1 (de) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie |
US7031794B2 (en) * | 2003-09-26 | 2006-04-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Smart overlay control |
US7259834B2 (en) * | 2004-10-18 | 2007-08-21 | Nikon Corporation | Method and apparatus having a reticle stage safety feature |
JP2006278767A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Toshiba Corp | オーバーレイ制御システム及びオーバーレイ制御方法 |
US20090097004A1 (en) * | 2007-10-16 | 2009-04-16 | Qimonda Ag | Lithography Apparatus, Masks for Non-Telecentric Exposure and Methods of Manufacturing Integrated Circuits |
DE102008000967B4 (de) * | 2008-04-03 | 2015-04-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie |
US9671257B2 (en) | 2011-07-08 | 2017-06-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Correcting and/or preventing errors during the measurement of coordinates of a workpiece |
US9389520B2 (en) | 2012-02-03 | 2016-07-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for lithography with leveling sensor |
DE102014218474A1 (de) | 2014-09-15 | 2016-03-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren für die EUV-Mikrolithographie |
CN106226926B (zh) * | 2016-08-08 | 2019-08-23 | 深圳市科利德光电材料股份有限公司 | 一种液晶显示器及改善姆拉现象的方法 |
US10162257B2 (en) | 2016-12-15 | 2018-12-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Extreme ultraviolet lithography system, device, and method for printing low pattern density features |
US10996573B2 (en) * | 2017-01-31 | 2021-05-04 | Asml Netherlands B.V. | Method and system for increasing accuracy of pattern positioning |
EP3427663B1 (en) * | 2017-07-13 | 2020-03-04 | Agfa Nv | Phase contrast imaging method |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5222112A (en) * | 1990-12-27 | 1993-06-22 | Hitachi, Ltd. | X-ray pattern masking by a reflective reduction projection optical system |
US5953105A (en) | 1995-05-30 | 1999-09-14 | U.S. Philips Corporation | Positioning device with a reference frame for a measuring system, and a lithographic device provided with such a positioning device |
JPH09180989A (ja) | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Toshiba Corp | 露光装置および露光方法 |
US6312134B1 (en) * | 1996-07-25 | 2001-11-06 | Anvik Corporation | Seamless, maskless lithography system using spatial light modulator |
US5757160A (en) | 1996-12-23 | 1998-05-26 | Svg Lithography Systems, Inc. | Moving interferometer wafer stage |
JP3570728B2 (ja) | 1997-03-07 | 2004-09-29 | アーエスエム リソグラフィ ベスローテン フェンノートシャップ | 離軸整列ユニットを持つリトグラフ投射装置 |
US5956192A (en) | 1997-09-18 | 1999-09-21 | Svg Lithography Systems, Inc. | Four mirror EUV projection optics |
AU1053199A (en) | 1997-11-14 | 1999-06-07 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method of manufacturing the same, and exposure method |
AU2549899A (en) * | 1998-03-02 | 1999-09-20 | Nikon Corporation | Method and apparatus for exposure, method of manufacture of exposure tool, device, and method of manufacture of device |
JP4072981B2 (ja) * | 1998-10-09 | 2008-04-09 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
US6369874B1 (en) | 2000-04-18 | 2002-04-09 | Silicon Valley Group, Inc. | Photoresist outgassing mitigation system method and apparatus for in-vacuum lithography |
EP1271247A1 (en) * | 2001-06-20 | 2003-01-02 | ASML Netherlands B.V. | Device manufacturing method and a mask for use in the method |
US6618120B2 (en) * | 2001-10-11 | 2003-09-09 | Nikon Corporation | Devices and methods for compensating for tilting of a leveling table in a microlithography apparatus |
-
2003
- 2003-04-04 US US10/406,602 patent/US6853440B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004105078A patent/JP4405304B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-02 SG SG200401892-5A patent/SG143037A1/en unknown
- 2004-04-02 CN CNB2004100321850A patent/CN100487577C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-02 KR KR1020040022897A patent/KR100706934B1/ko active IP Right Grant
- 2004-04-02 TW TW093109277A patent/TWI284252B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-04-05 DE DE602004021309T patent/DE602004021309D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-05 EP EP04251975A patent/EP1465018B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7883930B2 (en) | 2005-05-19 | 2011-02-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Phase change memory including a plurality of electrically conductive bodies, and manufacturing method thereof |
JP2008103512A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Hoya Corp | 反射型マスクブランクの製造方法及び反射型マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2009016424A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Renesas Technology Corp | 反射型露光方法 |
JP2017003617A (ja) * | 2015-06-04 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 走査露光装置、走査露光方法、及びデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100487577C (zh) | 2009-05-13 |
KR20040086817A (ko) | 2004-10-12 |
TWI284252B (en) | 2007-07-21 |
TW200510944A (en) | 2005-03-16 |
KR100706934B1 (ko) | 2007-04-11 |
EP1465018B1 (en) | 2009-06-03 |
DE602004021309D1 (de) | 2009-07-16 |
EP1465018A3 (en) | 2007-08-29 |
SG143037A1 (en) | 2008-06-27 |
EP1465018A2 (en) | 2004-10-06 |
US6853440B1 (en) | 2005-02-08 |
CN1573556A (zh) | 2005-02-02 |
JP4405304B2 (ja) | 2010-01-27 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091104 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131113 Year of fee payment: 4 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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