JP2004308863A - 防振装置及びそれを用いたスターリング機関 - Google Patents

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Abstract

【課題】例えばスターリング機関のような運転に振動を伴う装置に用いる防振装置の長寿命化を図る。
【解決手段】質量体と、質量体支持バネとを備え、振動低減対象となる振動体の振動を低減する防振装置において、前記質量体支持バネに防錆処理を施すことで、質量体支持バネに発生する錆びを防止し、防振装置の長寿命化を図る。
【選択図】 なし

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動を発する装置の振動を低減するための防振装置に関するものであり、例えばスターリング機関に応用されるものである。
【0002】
【従来の技術】
図1は、フリーピストン型スターリング冷凍機の一例の断面図である。スターリング冷凍機は、作動ガスの充填された耐圧容器4内に配置されるシリンダ3A,3Bに挿入され同軸上で往復動するピストン1及びディスプレーサ2と、ピストン1を駆動する駆動機構であるリニアモータ16とを備えている。耐圧容器4の軸方向のコールドヘッド13と反対側の端部には、装置の防振用の防振装置42が配置されている。防振装置42は、主に、質量体支持バネ23と質量体37とから構成されており、板バネ231のバネ定数と、系の質量から求まる共振周波数が、ピストン1の振動系及びディスプレーサ2の振動系が有する共振周波数と同一になるように設計されたものである。このような構成により、防振装置42は、ピストン1の運動にともなって振動が発生した場合にその振動を受けて共振し、振動エネルギーを熱エネルギーに変換して、スターリング冷凍機及び防振装置42の全体から外部に放出される振動エネルギーを低減するもことができる。
【0003】
防振装置42に用いる板バネ231は図2に示すように形成されるものである。図2(a)は、板バネ231の一例の平面図であり、図2(b)はその側面断面図である。板バネ231は、所定の径及び厚みを有するステンレス鋼製の円板をベースとして、この円板に渦巻状のスリット232を4つ円周方向に繰り返すように等間隔に設け、さらにボルト38を挿通するための貫通穴233を円板の中心に設け、またさらに、固定軸40を挿通するための貫通穴234を、スリット232の外周側端部の延長上に固定軸の数に対応して設けたものである。このスリット232、貫通穴233、234を配置する加工は例えばレーザ加工により行なう。
【0004】
上記の加工を行った結果、これらのスリット232の間には、円板の中心部から渦巻状に取り残される形で腕部235が形成され、その腕部235により円板の板面に対して垂直な方向、すなわち軸方向に所定の弾性係数を有するものとなる。
【0005】
なお、図2に示す形状はあくまでも一例であり、この板バネ231のバネ定数の範囲は、円板の径や厚みによってある程度決まり、一つのスリット232の形状やその繰り返しの連続数に応じて、その範囲内にある所定値にバネ定数を設定することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、ステンレス鋼はクロム層による不導体膜を形成しているため、錆びに強く、塩水滴下条件であっても錆びが発生しない材料である。従って、特に防錆処理をせずとも錆びなどは発生せず、経年的な劣化もそれほど考慮しなくてもよいものである。しかしながら、例えばレーザ加工や放電加工のように高温を使用して加工された場合は、その熱により加工断面のクロム層が壊れるため、錆びが発生しやすくなる。
【0007】
特に、スターリング冷凍機の装置外部に設けられた防振装置42の板バネ231表面は、常に外気に触れているため加工断面のエッジ部に赤錆が発生しやすく、錆びが発生したところが劣化してしまい強度が弱くなる。また、防振装置の板バネは、スターリング冷凍機の運転により装置の振動にともなって軸方向に激しく振動するものであるため、腕部235の付け根部236には繰り返し大きな応力が作用する。したがって、この付近の加工断面のエッジ部に発生した赤錆の発生にともなって強度低下した箇所が亀裂へと発展し、最終的には破断に至ることになる。このように、板バネ231が破断すると、防振効果がなくなるだけでなく、板バネ自信が異音を発生するようになるため、装置の振動及び騒音が増大する結果となる。
【0008】
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、長寿命の防振装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、質量体と、前記質量体を支持する質量体支持バネとを備え、振動低減対象となる振動体の振動を低減する防振装置において、前記質量体支持バネに防錆処理を施したことを特徴とする防振装置をその構成とする。
【0010】
その防錆処理には防錆塗装が好適である。他の防錆処理としては、加工後に酸によって加工により変質した箇所を除去しクロム層を再生させる方法、加工後に表面を研磨することによって加工により変質した箇所を除去しクロム層を再生させる方法があるが、防錆塗装を施す方が最も確実に錆びを防止できる。なお、防錆塗装としては、アクリル樹脂の電着塗装が好適に用いられる。アクリル樹脂は、耐候性が良いためであり、これにより非常に長時間、板バネに錆びが発生することを防止することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、防振装置を用いて防振を行う対象の例として、フリーピストン型スターリング冷凍機の防振を行う場合について説明する。
【0012】
図1は、フリーピストン型スターリング冷凍機の一例を示す断面図である。このスターリング冷凍機は、耐圧容器4内に配置された諸構成により、スターリングサイクルを動作させコールドヘッド13を冷却するものである。
【0013】
各構成について説明すると、耐圧容器4は、主に、背面空間8側に配置されるベッセル4Bと、作動空間7側に配置される外筒3Cとから形成される。ベッセル4Bは、さらに二つの構造体に分割されており、コールドヘッド13側がベッセル本体4Dであり、コールドヘッド13側とは相対する側(以下、本明細書においては防振装置側と称する。なお、組み立て構造を説明する際において、まだ防振装置42が組まれていない場合にも、説明の便宜上、完成品の状態を基準として防振装置側の語を使用する。)がベッセルキャップ4Cである。
【0014】
耐圧容器4内には、連通穴12Aを備えて接合されたシリンダ3A及びシリンダ3Bが配置される。シリンダ3A,3Bには、シリンダ3A及び3Bの軸と同軸上で往復動可能なピストン1及びディスプレーサ2とが挿入されており、更には、ピストン1を駆動するリニアモータ16がシリンダ3Aの外側に備えられている。
【0015】
耐圧容器4内は大別して2つの空間に仕切られており、その一つは主にベッセル4Bとピストン1により囲まれる背面空間8であり、他の一つは主にピストン1、外筒3C、及びコールドヘッド13によって囲まれる作動空間7である。そして、作動空間7はディスプレーサ2によってさらに二つの空間に仕切られており、ディスプレーサ2とピストン1の間に存在する空間が圧縮空間9、ディスプレーサ2とコールドヘッド13の間に存在する空間が膨張空間10である。
【0016】
この圧縮空間9と膨張空間10はシリンダ3Bと外筒3Cとの間に形成された連通路12を介して連通しており、連通路12内には、高温側内部熱交換器21、再生器11、低温側内部熱交換器22が圧縮空間9から膨張空間10に向かって順に配置されている。
【0017】
コールドヘッド13は、銅やアルミニウムなどの高熱伝導性材料を略有底円筒状に形成されたものであり、底部13Aがシリンダ3Bの開口と対向し、淵部13Bが低温側内部熱交換器22と対向するよう配置される。また、ウォームヘッド41は、銅やアルミニウムなどの高熱伝導性材料をリング状に形成したものであり、その内周が高温側内部熱交換器21の外周と対向して配置される。
【0018】
ピストン1は、円柱状の構造体であり、その中心軸にロッド2aを挿通可能な貫通穴1aが加工され、さらには、圧縮空間9によって圧縮された冷媒をピストン1の外周面とシリンダ3Aの間の隙間に放出しベアリング効果を持たせるガスベアリング(不図示)が備えられる。
【0019】
ディスプレーサ2は、円柱状の構造体であり、圧縮空間9によって圧縮された冷媒をディスプレーサ2の外周面とシリンダ3Bの間の隙間に放出しベアリング効果を持たせるガスベアリング(不図示)が備えられる。そして、このディスプレーサ2のピストン1配置側の面にはロッド2aが取付けられ、ロッド2aはピストン1の貫通穴1aに挿通される。ロッド2aのディスプレーサ2側とは相対する側の端部には、ネジ部2bが加工されている。
【0020】
リニアモータ16は、主に、環状に配置された永久磁石15と、永久磁石15を保持するスリーブ14と、アウターヨーク17Aと、インナーヨーク17Bとから構成される。アウターヨーク17Aは、略コ字状の平板鉄心を環状に積層固定したものの内部にボビンに巻回したコイル20を配置したものを、非磁性体で軸方向両側から挟みこんで形成され、インナーヨーク17Bは、平板鉄心を環状に積層固定し形成される。アウターヨーク17Aの内周とインナーヨーク17Bの外周との間には隙間19が形成されており、その隙間19にはスリーブ14に保持された永久磁石15が配置される。
【0021】
スリーブ14は有底円筒状をしており、その周縁部14cの先端側の内周に環状の掘り込みが設けられている。そして、その掘り込みに複数辺の円弧状の永久磁石15が全体として環状になるように配置される。スリーブ14の底部14bの中心にはロッド2aが挿通可能な貫通穴が設けられ、その貫通穴の周縁から周縁部14c形成側とは相対する側に突出し内周面に螺子穴を備えたボス部14aが形成される。そして、底部14bの周縁部14c配置側の面には、ピストン1が、そのピストン1の軸と底部14bの中心が同軸に配置されるように調整され、ボルト等の固定手段を用いて固定される。
【0022】
アウターヨーク17Aの防振装置側の端面には、その端面から防振装置側に向かって、ピストン支持バネ5、及びディスプレーサ支持バネ6を固定するための固定軸24が3本以上の複数本(例えば4本)立設される。なお、この固定軸24には、その外周に螺子が形成されていて、ナット25とボス部14aの上面同士が略面一となる高さに、ナット25が差し込まれている。
【0023】
ピストン支持バネ5は、図2と同様な形状を有する円板型の2枚の板バネ51,51から成り、両板バネ51,51の間にスペーサ26を挟んで重ね、板バネ51の中心の貫通穴とスペーサ26の貫通穴に挿通した穴あきボルト28とスリーブ14のボス部14aとを嵌合することにより、ピストン支持バネ5にピストン1が固定される。板バネ51の周囲の数箇所にも貫通穴が設けられており、両板バネ51,51の間にはスペーサ27が挟まれ、板バネ51の周囲の貫通穴とスペーサ27の貫通穴に固定軸24が挿通されている。
【0024】
ディスプレーサ支持バネ6は、図2と同様な形状を有する円板型の2枚の板バネ61,61から成り、両板バネ61,61の間にスペーサ30を挟んで重ね、板バネ61の中心の貫通穴とスペーサ30の貫通穴に挿通したロッド2aのネジ部2bとナット32とを嵌合することにより、ディスプレーサ支持バネ6にディスプレーサ2が固定される。板バネ61の周囲の数箇所にも貫通穴が設けられており、両板バネ61,61の間にはスペーサ31が挟まれ、上記ピストン支持バネ5上に所定の高さを有するスペーサ29を介して、板バネ61の周囲の貫通穴とスペーサ29,31の貫通穴に固定軸24が挿通されている。
【0025】
最終的に、ピストン支持バネ5及びディスプレーサ支持バネ6は、両者の上下から固定軸24に差し込まれたナット33,25を締めることにより、スターリング冷凍機に組み込まれている。このようにしてピストン支持バネ5及びディスプレーサ支持バネ6をスターリング冷凍機に組み込んだ後、リニアモータ16への電源供給用配線などの必要な結線を済ませ、ベッセル本体4Dにベッセルキャップ4Cを溶接し固定する。
【0026】
また、耐圧容器4の軸方向のコールドヘッド13と反対側の端部には、スターリング冷凍機の防振用の防振装置42が配置される。防振装置42は、主に、質量体支持バネ23と質量体37とから構成されており、板バネ231のバネ定数と、系の質量から求まる共振周波数が、ピストン1の振動系及びディスプレーサ2の振動系が有する共振周波数と同一になるように設計されたものである。このように設計することにより、ピストン1及びディスプレーサ2の運転に基づく振動エネルギーを受けて、防振装置42が激しく振動することになり、それによって、振動エネルギーを熱エネルギーに変換し、結果的にスターリング冷凍機全体の振動を低減することができる。
【0027】
質量体支持バネ23は、従来と同様に図2のような形状の板バネ231から成り、ステンレス鋼製の円盤をレーザ加工して図2のような形状とした後、円盤の全体に防錆塗装を施したものである。この防錆塗装は、アクリル樹脂の電着塗装により行なう。アクリル樹脂は優れた耐候性を有することから、防錆には極めて有用な塗装である。
【0028】
このような防錆塗装を施すことにより、ステンレス鋼の表面は耐候性の高いアクリル樹脂の塗膜によってガードされ、外気と直接触れることがないため、酸化皮膜が生じず、錆びに強くなる。しかもこの塗膜は電着塗装のため、ステンレス鋼表面との親和性が極めて高く、繰り返し応力が作用してもひび割れたり剥がれたりしにくいので、激しい塑性変形を伴う過酷な条件でも防錆効果が持続する。
【0029】
したがって、ステンレス鋼製の円盤をレーザ加工して、図2のような形状の板バネ231とした後、この板バネ231全体に上記の防錆塗装を施すことにより、ステンレス鋼の持つ強度特性が改善され、スターリング冷凍機の通常の運転条件で、防振装置42の寿命が10倍以上も延びることが確かめられた。
【0030】
あるいは、防錆塗装に替えて、ステンレス鋼製の円盤をレーザ加工して図2のような形状とした後、円盤全体に酸による後処理を行なってもよいと考えられる。
【0031】
このように酸で後処理することにより、レーザ加工による熱で変質した部分が洗い流され、クロム層による不導体膜が自己再生機能により再生されるため、再び錆びの生じにくい板バネ231を得ることができる。
【0032】
それ以外にも、ステンレス鋼製の円盤をレーザ加工して図2のような形状とした後、円盤全体に表面研磨を行なってもよいと考えられる。
【0033】
このように表面研磨することにより、レーザ加工による熱で変質した部分が除去され、クロム層による不導体膜が自己再生機能により再生されるため、再び錆びの生じにくい板バネ231を得ることができる。
【0034】
次に、このような板バネ231を組み合わせて成る質量体支持バネ23をスターリング冷凍機へ組み込む手順を説明する。質量体支持バネ23の組み込みは、ベッセルキャップ4Cに取付枠34を配置し、その取付枠34に設けられた複数本(好ましくは3本以上、図2に示した板バネ231を用いる場合は4本)の固定軸40に、防振装置42を取付けることによって行う。なお、この固定軸40には外周に螺子が配置されたものを用いる。
【0035】
図3は、防振装置42をスターリング冷凍機への取り付けするときの工程を示す一部分解断面図であり、組み立ての一例について図3を使用して説明すると、固定軸40にナット36をスペーサとして装着し、その後、予め中心部に設けられた穴にボルト38が挿通された板バネ231を固定軸40に装着する。このとき、ボルト38の螺子側端部は取付枠34とは反対側を向くようにしておく。そして、さらにナット或いはワッシャなどのスペーサ39,41を固定軸40、及びボルト38の螺子部に装着する。このとき、固定軸40に装着するスペーサ39とボルト38に装着するスペーサ41は同じ厚さのものを用いる。
【0036】
その後、2枚目の板バネ231を取付枠34とは反対側から、その中心部に設けられた穴にボルト38が挿入されるように、また、その周縁部に配置された穴に固定軸40に挿入されるようにして装着する。その後、ナット35を固定軸40にねじ込み、板バネ231を固定し、さらに、質量体37をボルト38の螺子側端部にねじ込んで固定する。これにより、防振装置42の取り付けが完了する。
【0037】
以上のような構成のスターリング冷凍機は、その圧力容器内に冷媒が封入される。この冷媒は水素、ヘリウム、窒素などが使用でき数十気圧といった高圧に封入する。
【0038】
そして、リニアモータ16に交番電圧を加えると、リニアモータ16は往復動し、それに伴ってピストン1も往復動を行う。そして、ディスプレーサ2は、ピストン1の動作に対して4分の1周期程度位相が遅れた状態で往復動を行い、作動空間7内でスターリングサイクルを形成する。その結果、高温側内部熱交換器21は高温に加熱され、低温側熱交換器22は低温に冷却されることになる。
【0039】
高温側内部熱交換器21の熱はウォームヘッド41に伝達されて外部に放出され、低温側内部熱交換器22にはコールドヘッド13を介して外部から熱が供給されるようになる。つまり、コールドヘッド13は外部から見れば非常に低温な状態となり、この低温を利用することによりさまざまな対象物を冷却することが可能となる。
【0040】
以上、本実施形態ではスターリング冷凍機についての適用例を記載したが、これに限られず、質量体と、前記質量体を支持する質量体支持バネとを備え、振動低減対象となる振動体の振動周波数と同一の共振周波数を備えるように調整された防振装置すべてに適用可能である。
【0041】
また、フリーピストン型のスターリング冷凍機を例として説明したが、この型のものに限られるものではなく、他の型のスターリング冷凍機にも適用可能である。さらに、一般に、スターリング冷凍機はサイクルを逆転させて運転でき、その場合は発電機や動力発生機として動作可能であるが、これらの機器にも適用することができる。
【0042】
なお、本明細書にいうスターリング機関とは、スターリング冷凍機、発電機、動力発生機などスターリングサイクルを使用する装置全般を意味する語として用いている。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、質量体と、前記質量体を支持する質量体支持バネとを備え、振動低減対象となる振動体の振動を低減する防振装置において、前記質量体支持バネに防錆処理を施すことにより、防振装置を長寿命化することが可能である。
【0044】
また、これを用いたスターリング機関は、長時間にわたって防振装置が壊れることなく運転することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る防振装置を装着したフリーピストン型スターリング冷凍機の一例の断面図である。
【図2】(a)は、防振装置に用いられる板バネの一例の平面図であり、(b)はその側面断面図である。
【図3】防振装置のスターリング冷凍機への取付工程を示す一部分解断面図である。
【符号の説明】
1 ピストン
2 ディスプレーサ
3A,3B シリンダ
4 耐圧容器
5 ピストン支持バネ
6 ディスプレーサ支持バネ
8 背面空間
9 圧縮空間
10 膨張空間
11 再生器
13 コールドヘッド
14 スリーブ
16 リニアモータ
20 電磁コイル
23 質量体支持バネ
24,40 固定軸
25,32,33,36 ナット
26,27,29,30,31,39,41 スペーサ
28 穴あきボルト
37 質量体
38 ボルト
42 防振装置
51,61,231 板バネ

Claims (4)

  1. 質量体と、前記質量体を支持する質量体支持バネとを備え、振動低減対象となる振動体の振動を低減する防振装置において、前記質量体支持バネに防錆処理を施したことを特徴とする防振装置。
  2. 前記防錆処理は、防錆塗装により行うことを特徴とする請求項1に記載の防振装置。
  3. 前記防錆塗装は、アクリル樹脂の電着塗装によって行なうことを特徴とする請求項2に記載の防振装置。
  4. シリンダに挿入され同軸上で往復動するピストン及びディスプレーサと、前記ピストンを駆動する駆動機構とを備え、前記ピストンの往復動によりスターリングサイクルを形成するスターリング機関に、前記請求項1〜3のいずれかに記載の防振装置を装着したことを特徴とするスターリング機関。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2013088631A1 (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 キヤノンアネルバ株式会社 処理装置
CN104034077A (zh) * 2014-02-24 2014-09-10 宁波华斯特林电机制造有限公司 一种斯特林循环机
CN109510378A (zh) * 2018-12-28 2019-03-22 浙江荣捷特科技有限公司 一种斯特林电机减振系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013088631A1 (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 キヤノンアネルバ株式会社 処理装置
CN104034077A (zh) * 2014-02-24 2014-09-10 宁波华斯特林电机制造有限公司 一种斯特林循环机
CN104034077B (zh) * 2014-02-24 2016-09-28 宁波华斯特林电机制造有限公司 一种斯特林循环机
CN109510378A (zh) * 2018-12-28 2019-03-22 浙江荣捷特科技有限公司 一种斯特林电机减振系统

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