JP2004307839A - Azeotrope-like detergent composition - Google Patents

Azeotrope-like detergent composition Download PDF

Info

Publication number
JP2004307839A
JP2004307839A JP2004074018A JP2004074018A JP2004307839A JP 2004307839 A JP2004307839 A JP 2004307839A JP 2004074018 A JP2004074018 A JP 2004074018A JP 2004074018 A JP2004074018 A JP 2004074018A JP 2004307839 A JP2004307839 A JP 2004307839A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
methyl
content
methoxy
butanol
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004074018A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shunji Aman
俊二 阿萬
Kazuhiro Iwabe
一宏 岩部
Yoshikazu Oda
良和 小田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tosoh Corp filed Critical Tosoh Corp
Priority to JP2004074018A priority Critical patent/JP2004307839A/en
Publication of JP2004307839A publication Critical patent/JP2004307839A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an azeotrope-like detergent composition suitable for deterging lead-free solder flux without using a halogen-based solvent, having excellent deterging power to a smudge in a partly denatured or carbonized state because of reflowing the lead-free solder flux at a high temperature, requiring no rinsing, and capable of using even under conditions of being repeatedly recovered by distillation. <P>SOLUTION: This azeotrope-like detergent composition comprises 3-methoxy-3-methyl-1-butanol and at least one kind of saturated alicyclic hydrocarbons selected among methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、メチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとからなる共沸様洗浄剤組成物に関する。   The present invention provides at least one kind of saturation selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. The present invention relates to an azeotropic detergent composition comprising an alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol.

更に詳しくは、自動車、電機、電子、機械、精密機器等のハンダ付け作業の際に残存するフラックス類に対する洗浄力に優れ、特に高温でのリフローが必要となる鉛フリーハンダフラックスの洗浄に適しており、リンスが不要で且つ繰り返し蒸留回収される条件下においても使用可能な共沸様組成物に関する。   More specifically, it has excellent detergency against fluxes remaining during soldering work of automobiles, electric appliances, electronics, machinery, precision equipment, etc., and is particularly suitable for cleaning lead-free solder flux that requires reflow at high temperatures. The present invention relates to an azeotrope-like composition which does not require rinsing and can be used even under conditions of repeated distillation and recovery.

自動車、電機、電子、機械、精密機器等のハンダ付けの際には、Sn−Pb共晶ハンダが長年に渡って使用されてきた。しかしながら、近年、電子機器等の廃棄基板から酸性雨による鉛の溶出が水質汚染とともに人体にも悪影響を与えることから、社会問題として大きく注目されている。そこで、その様な環境問題から世界的な鉛規制とともに鉛を使用しない鉛フリーハンダの開発が盛んに行われおり、すでに実用化されている。   2. Description of the Related Art Sn-Pb eutectic solder has been used for many years when soldering automobiles, electric machines, electronics, machines, precision instruments, and the like. However, in recent years, the elution of lead from waste substrates of electronic devices and the like due to acid rain has an adverse effect on human bodies as well as water pollution, and has thus attracted much attention as a social problem. In view of such environmental problems, lead-free solders that do not use lead are being actively developed along with worldwide lead regulations, and have already been put to practical use.

鉛フリーハンダは一部の合金系を除いて、鉛入りハンダに比べて融点が30℃以上高くなる。そのため、鉛フリーハンダを使用する際は、鉛入りハンダでのリフロー温度(通常230℃以下)よりも高い温度(250℃以上)でリフローしなければいけない。この様な高温でリフローした場合、フラックスは一部変質もしくは炭化したものとなり、これまで提案されてきた1,1,1−トリクロロエタンやCFC−113の代替洗浄剤ではいずれにおいても満足する洗浄力、安全性、経済性等の要求項目を満たすことはできていない。   Except for some alloys, lead-free solder has a higher melting point by 30 ° C. or more than lead-containing solder. Therefore, when using lead-free solder, reflow must be performed at a temperature (250 ° C. or higher) higher than the reflow temperature (normally 230 ° C. or lower) of lead-containing solder. When the reflow is performed at such a high temperature, the flux is partially altered or carbonized, and the detergency that can be satisfied with any of the 1,1,1-trichloroethane and CFC-113 alternative cleaning agents that have been proposed so far, The required items such as safety and economy cannot be satisfied.

すなわち、水系洗浄剤は、引火性がないという利点はあるが、洗浄力が弱く、且つ金属部品に対してシミや腐食問題を起こしやすく、すすぎ、乾燥、廃水処理等の付帯設備やそのためのスペースが必要等、多くの問題点がある。   In other words, the water-based cleaning agent has the advantage of not being flammable, but has low cleaning power, and is liable to cause stains and corrosion problems on metal parts, and has ancillary facilities for rinsing, drying, wastewater treatment and the like and space therefor. There are many problems, such as the need for

HCFC−225、HCFC−141b等のハイドロクロロフルオロカーボン類は、非水系の不燃性溶剤として扱えるが、オゾン層破壊物質としても追加指定され全廃時期が決まっており、また、HFC−43−10mee等のハイドロフルオロカーボン類もオゾン破壊係数はゼロだが地球温暖化係数がHCFC、ハロゲン系溶剤と比較して高いことより、地球温暖化という面で今後規制される可能性が高く、将来的な代替洗浄剤にはなり得ない。   Hydrochlorofluorocarbons such as HCFC-225 and HCFC-141b can be treated as non-aqueous nonflammable solvents, but they have been additionally specified as ozone depleting substances, and their total abolition time has been decided. Hydrofluorocarbons also have zero ozone depletion potential, but have a higher global warming potential than HCFCs and halogenated solvents, and are likely to be regulated in the future in terms of global warming. Can not be.

アルコール系溶剤やグリコールエーテル系溶剤は、上記に示す地球環境問題や設備等の大きな問題は無いが、アルコール系溶剤は、あまり良好な洗浄力を有していない上、引火点が低いため常温で引火する危険性があり、また、グリコールエーテル系溶剤も同様、洗浄力に劣り、さらに、熱安定性に至ってはどちらも加熱により著しく劣化し洗浄性能等に悪影響を及ぼす危険性がある。   Alcohol-based solvents and glycol ether-based solvents do not have the above-mentioned major problems such as global environmental problems and facilities, but alcohol-based solvents do not have very good detergency and have a low flash point at room temperature. There is a danger of catching fire, and glycol ether-based solvents are also poor in detergency, and furthermore, in terms of thermal stability, both of them are significantly degraded by heating and have a risk of adversely affecting cleaning performance and the like.

炭化水素系溶剤においては、加工油、鉱物油等の汚れには優れた洗浄力を示すものの、ハンダフラックスまたはロジン系フラックス等の極性物質に対する洗浄力は非常に乏しい
ため、アルコール、エーテル、ケトン、グリコールエーテル等の極性化合物を配合した非水系洗浄剤が提案(例えば、特許文献1〜4)されている。
Hydrocarbon solvents exhibit excellent detergency against dirt such as processing oils and mineral oils, but have very poor detergency against polar substances such as solder flux or rosin flux, so alcohols, ethers, ketones, Non-aqueous detergents containing a polar compound such as glycol ether have been proposed (for example, Patent Documents 1 to 4).

しかしながら、これらの特許に開示している技術では、通常の温度でリフローを行ったハンダフラックスまたはロジン系フラックス等は洗浄可能だが、鉛フリーハンダ用フラックスを高温でリフローを行うことにより一部変質もしくは炭化したような汚れに対しての洗浄力は不十分なものである。   However, in the technology disclosed in these patents, the solder flux or rosin-based flux that has been reflowed at a normal temperature can be washed, but a part of the flux for lead-free solder is deteriorated or deteriorated by reflowing at a high temperature. The detergency against carbonized soil is inadequate.

また、本発明者らにより先に提案した技術(例えば、特許文献5)には、高温でリフローした汚れに対して十分な洗浄力を示すことを開示してはいるが、主成分が芳香族炭化水素であることより健康面への影響が懸念されており、安全性といった面では十分に要求を満たした洗浄剤とは言えない。   In addition, the technology (for example, Patent Document 5) proposed by the present inventors discloses that it shows sufficient detergency against dirt reflowed at a high temperature, but the main component is aromatic. There are concerns about the effects on health due to being hydrocarbons, and it cannot be said that the cleaning agent satisfies the requirements in terms of safety.

したがって、このような汚れに対しては未だ、厳しい規制のあるジクロロメタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等の塩素系溶剤を使用しているのが現状である。   Therefore, at present, chlorinated solvents such as dichloromethane, trichloroethylene, and tetrachloroethylene, which are strictly regulated, are used for such stains.

特開平7−268391号公報JP-A-7-268391

特開平7−331291号公報JP-A-7-331291 特開平9−59680号公報JP-A-9-59680 特開2002−12895号公報JP-A-2002-12895 特開2001−220598号公報JP 2001-220598 A

本発明の目的は、ジクロロメタン、トリクロロエチレン、パークロロエチレン等のハロゲン系溶剤を使用することなく、鉛フリーハンダフラックスを高温でリフローすることにより一部変質もしくは炭化状態になった汚れに対し優れた洗浄力を有し、リンスが不要で且つ繰り返し蒸留回収される条件下においても使用可能な共沸様洗浄剤組成物を提供することである。   An object of the present invention is to provide an excellent cleaning method for dirt that has been partially altered or carbonized by reflowing a lead-free solder flux at a high temperature without using a halogen-based solvent such as dichloromethane, trichloroethylene, and perchlorethylene. It is an object of the present invention to provide an azeotropic detergent composition which has power, does not require rinsing, and can be used even under conditions where it is repeatedly distilled and recovered.

かかる事情をふまえ、本発明者らは前述の問題点を解決すべく種々の検討を重ねた結果、目的の共沸様組成物を見出し、本発明を完成するに至ったものである。   Under these circumstances, the present inventors have conducted various studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found the desired azeotropic composition and completed the present invention.

すなわち、本発明はメチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとからなる共沸様洗浄剤組成物を提供するものである。   That is, the present invention is at least one or more selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. The present invention provides an azeotropic detergent composition comprising a saturated alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol.

以下、本発明についてさらに詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

本発明の共沸様洗浄剤組成物は、鉛フリーハンダ用フラックスを250℃以上の高温でリフローすることにより一部変質もしくは炭化状態になった汚れに対し優れた洗浄力を示す共沸様洗浄剤組成物であって、メチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとからなる組成物であり、洗浄作業や蒸留操作を繰り返し行っても、組成や特性がほとんど変化しない組成物である。   The azeotropic-like cleaning composition of the present invention provides an azeotropic-like cleaning exhibiting excellent cleaning power for stains that have been partially altered or carbonized by reflowing a flux for lead-free solder at a high temperature of 250 ° C. or higher. Agent composition comprising at least one selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. A composition composed of at least one kind of saturated alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, and whose composition and properties hardly change even when washing and distillation are repeated. Ah .

本発明における鉛フリーハンダフラックス洗浄用の共沸様組成物の組成としては、メチルデカリン、ペンチルシクロヘキサン及びヘキシルシクロヘキサンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素の含有量が35〜50重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が50〜65重量%であることが好ましい。   The composition of the azeotropic composition for cleaning a lead-free solder flux in the present invention is such that the content of at least one or more saturated alicyclic hydrocarbons selected from methyldecalin, pentylcyclohexane and hexylcyclohexane is 35 to 50% by weight. %, The content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is preferably 50 to 65% by weight.

プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素の場合、その含有量は60〜80重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が20〜40重量%であることが好ましい。   In the case of at least one or more kinds of saturated alicyclic hydrocarbons selected from propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, and methylpropylcyclohexane, the content is 60 to 80% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is Preferably, the amount is from 20 to 40% by weight.

トリメチルシクロヘキサンの場合、その含有量が75〜80重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が20〜25重量%である共沸様組成物が好ましい。   In the case of trimethylcyclohexane, an azeotropic composition having a content of 75 to 80% by weight and a content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol of 20 to 25% by weight is preferable.

エチルジメチルシクロヘキサンの場合、その含有量が65〜70重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が30〜35重量%である共沸様組成物が好ましい。   In the case of ethyldimethylcyclohexane, an azeotropic composition having a content of 65 to 70% by weight and a content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol of 30 to 35% by weight is preferred.

ジエチルシクロヘキサンの場合、その含有量が60〜65重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が35〜40重量%である共沸様組成物が好ましい。   In the case of diethylcyclohexane, an azeotropic composition having a content of 60 to 65% by weight and a content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol of 35 to 40% by weight is preferred.

テトラハイドロジシクロペンタジエンの場合、その含有量が55〜60重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が40〜45重量%である共沸様組成物が好ましい。   In the case of tetrahydrodicyclopentadiene, an azeotropic composition in which the content is 55 to 60% by weight and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 40 to 45% by weight is preferred.

表1にこれらの共沸様組成の代表例を例示する。   Table 1 shows typical examples of these azeotropic compositions.

Figure 2004307839
本発明で用いるメチルデカリンとしては、例えば、1−メチルデカリン、2−メチルデカリン等、プロピルシクロヘキサンとしては、例えば、n−プロピルシクロヘキサン、イソプロピルシクロヘキサン等、エチルメチルシクロヘキサンとしては、例えば、1−エチル−2−メチルシクロヘキサン、1−エチル−3−メチルシクロヘキサン、1−エチル−4−メチルシクロヘキサン、1−エチル−1−メチルシクロヘキサン等、トリメチルシクロヘキサンとしては、例えば、1,2,3−トリメチルシクロヘキサン、1,2,4−トリメチルシクロヘキサン、1,2,5−トリメチルシクロヘキサン、1,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1,2−トリメチルシクロヘキサン、1,1,3−トリメチルシクロヘキサン、1,1,4−トリメチルシクロヘキサン等、ブチルシクロヘキサンとしては、例えば、n−ブチルシクロヘキサン、イソブチルシクロヘキサン、sec−ブチルシクロヘキサン、tert−ブチルシクロヘキサン等、メチルプロピルシクロヘキサンとしては、例えば、1−メチル−2−プロピルシクロヘキサン、1−メチル−3−プロピルシクロヘキサン、1−メチル−4−プロピルシクロヘキサン、1−メチル−2−イソプロピルシクロヘキサン、1−メチル−3−イソプロピルシクロヘキサン、1−メチル−4−イソプロピルシクロヘキサン、1−メチル−1−イソプロピルシクロヘキサン等、エチルジメチルシクロヘキサンとしては、例えば、1−エチル−2,6−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−3,5−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−2,3−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−2,4−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−2,5−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−3,4−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−4,4−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−1,3−ジメチルシクロヘキサン、1−エチル−1,4−ジメチルシクロヘキサン等、ジエチルシクロヘキサンとしては、例えば、1、2−ジエチルシクロヘキサン、1、3−ジエチルシクロヘキサン、1、4−ジエチルシクロヘキサン等、ペンチルシクロヘキサンとしては、例えば、n−ペンチルシクロヘキサン、(3−メチルブチル)シクロヘキサン、(2−メチルブチル)シクロヘキサン、(1−メチルブチル)シクロヘキサン、(2,2−ジメチルプロピル)シクロヘキサン、(1,2−ジメチルプロピル)シクロヘキサン等及びヘキシルシクロヘキサンとしては、例えば、n−ヘキシルシクロヘキサン、(4−メチルペンチル)シクロヘキサン、(3−メチルペンチル)シクロヘキサン、(2−メチルペンチル)シクロヘキサン、(1−メチルペンチル)シクロヘキサン、(3,3−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(2,2−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(1,1−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(1,2−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(1,3−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(2,3−ジメチルブチル)シクロヘキサン、(1,2,2−トリメチルプロピル)シクロヘキサン、(1,1,2−トリメチルプロピル)シクロヘキサン、(1−エチル−2−メチルプロピル)シクロヘキサン等が挙げられる。
Figure 2004307839
As methyldecalin used in the present invention, for example, 1-methyldecalin, 2-methyldecalin and the like, as propylcyclohexane, for example, n-propylcyclohexane and isopropylcyclohexane, and as ethylmethylcyclohexane, for example, 1-ethyl- Examples of trimethylcyclohexane such as 2-methylcyclohexane, 1-ethyl-3-methylcyclohexane, 1-ethyl-4-methylcyclohexane and 1-ethyl-1-methylcyclohexane include 1,2,3-trimethylcyclohexane, , 2,4-trimethylcyclohexane, 1,2,5-trimethylcyclohexane, 1,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1,2-trimethylcyclohexane, 1,1,3-trimethylcyclohexane, 1,1,4- Examples of butylcyclohexane such as lmethylcyclohexane include, for example, n-butylcyclohexane, isobutylcyclohexane, sec-butylcyclohexane, and tert-butylcyclohexane.Examples of methylpropylcyclohexane include 1-methyl-2-propylcyclohexane and 1-methylcyclohexane. Methyl-3-propylcyclohexane, 1-methyl-4-propylcyclohexane, 1-methyl-2-isopropylcyclohexane, 1-methyl-3-isopropylcyclohexane, 1-methyl-4-isopropylcyclohexane, 1-methyl-1-isopropyl Examples of ethyldimethylcyclohexane such as cyclohexane include 1-ethyl-2,6-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-3,5-dimethylcyclohexane, 1-e 2,3-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-2,4-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-2,5-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-3,4-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-4,4- Examples of diethylcyclohexane such as dimethylcyclohexane, 1-ethyl-1,3-dimethylcyclohexane, 1-ethyl-1,4-dimethylcyclohexane and the like include 1,2-diethylcyclohexane, 1,3-diethylcyclohexane, 1,4 Examples of pentylcyclohexane such as -diethylcyclohexane include n-pentylcyclohexane, (3-methylbutyl) cyclohexane, (2-methylbutyl) cyclohexane, (1-methylbutyl) cyclohexane, (2,2-dimethylpropyl) cyclohexane, (1 , Examples of 2-dimethylpropyl) cyclohexane and the like and hexylcyclohexane include, for example, n-hexylcyclohexane, (4-methylpentyl) cyclohexane, (3-methylpentyl) cyclohexane, (2-methylpentyl) cyclohexane, and (1-methylpentyl) Cyclohexane, (3,3-dimethylbutyl) cyclohexane, (2,2-dimethylbutyl) cyclohexane, (1,1-dimethylbutyl) cyclohexane, (1,2-dimethylbutyl) cyclohexane, (1,3-dimethylbutyl) Cyclohexane, (2,3-dimethylbutyl) cyclohexane, (1,2,2-trimethylpropyl) cyclohexane, (1,1,2-trimethylpropyl) cyclohexane, (1-ethyl-2-methylpropyl) cyclohexane, etc. It is below.

なお、本発明はメチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとの共沸様洗浄剤組成物において優れた効果を発揮するものであり、飽和脂環式炭化水素、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール各々単独では、本発明の効果を得ることはできない。   The present invention is at least one selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. An azeotrope-like detergent composition of a saturated alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol exerts an excellent effect, and a saturated alicyclic hydrocarbon, 3-methoxy-3 -Methyl-1-butanol alone cannot achieve the effects of the present invention.

本発明で使用されるメチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる飽和脂環式炭化水素に替えて、飽和脂肪族炭化水素、例えば、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、2,2,4,6,6−ペンタメチルヘプタン等を使用しても良好な洗浄効果を得ることはできない。   Saturated alicyclic ring selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene used in the present invention. Even if a saturated aliphatic hydrocarbon such as nonane, decane, undecane, dodecane, 2,2,4,6,6-pentamethylheptane, etc. is used in place of the formula hydrocarbon, a good cleaning effect can be obtained. Can not.

従来の技術で示したように、炭化水素系溶剤を基剤としたフラックス洗浄用組成物において、フラックス中の極性物質を溶解させるため各種のグリコールエーテル系化合物が使用されているが、本発明で使用されるグリコールエーテル系化合物としては、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールのみが本発明において有効であって、それ以外のグリコールエーテル系化合物、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールt−ブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル等を本発明に使用した場合は目的とする効果は達成することが出来ない。   As shown in the prior art, in a flux cleaning composition based on a hydrocarbon solvent, various glycol ether compounds are used to dissolve polar substances in the flux. As the glycol ether compound used, only 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is effective in the present invention, and other glycol ether compounds such as ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, When diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol t-butyl ether, propylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, and the like are used in the present invention, the desired effects are obtained. It can not be achieved to.

すなわち、本発明は、メチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールを組み合わせて使用することにより、初めて顕著な効果が現われ、特に鉛フリーハンダフラックス洗浄用に好適な共沸様組成物が得られる。   That is, the present invention relates to at least one selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene. By using a saturated alicyclic hydrocarbon of the formula (1) in combination with 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, a remarkable effect appears only for the first time. can get.

本発明の共沸様洗浄剤組成物には、メチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの共沸様組成を妨げない範囲であるならば、デカン、2,2,4,6,6−ペンタメチルヘプタン等の飽和脂肪族炭化水素、3−メトキシ−1−ブタノール、1−アセトキシ−3−メトキシ−3−メチルブタン等のグリコールエーテル類、n−ヘプタノール、n−オクタノール等の脂肪族アルコール類、シクロヘキサノン等のケトン類、乳酸エチル等のエステル類を含んでも構わない。   The azeotropic detergent composition of the present invention includes methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclo. Decane, 2,2,4,6,6-pentamethyl as long as the azeotropic composition of a saturated alicyclic hydrocarbon selected from pentadiene and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is not hindered Saturated aliphatic hydrocarbons such as heptane; glycol ethers such as 3-methoxy-1-butanol and 1-acetoxy-3-methoxy-3-methylbutane; aliphatic alcohols such as n-heptanol and n-octanol; Ketones such as cyclohexanone, may also include esters such as ethyl lactate.

本発明の共沸様洗浄剤組成物には、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール(BHT)、チモール、ピロカテキン等の酸化防止剤、ベンゾトリアゾール類、ベンゾチアゾール類等の銅、亜鉛の腐食防止剤を含んでも構わない。   The azeotropic detergent composition of the present invention includes antioxidants such as 2,6-di-tert-butyl-p-cresol (BHT), thymol and pyrocatechin, and copper such as benzotriazoles and benzothiazoles. And a zinc corrosion inhibitor.

本発明の共沸様洗浄剤組成物は、鉛フリーハンダ用フラックスを250℃以上の高温でのリフローを行うことで一部変質もしくは炭化状態になった汚れ等の洗浄において汚染された液を、洗浄性能等の劣化を起こすことなくバッチ式あるいは、連続式の蒸留機で再生、回収をすることが可能である。なお、使用される蒸留機は、特に限定されるものではないが、通常、真空(減圧)蒸留機が使用され、その方式としてはケトル式、プロペラ式、薄膜流下式、噴射攪拌式等の真空(減圧)蒸留機が適宜使用できる。   The azeotrope-like cleaning composition of the present invention is a liquid contaminated in cleaning such as partially deteriorated or carbonized soil by reflowing a flux for lead-free solder at a high temperature of 250 ° C. or higher. It is possible to regenerate and recover with a batch type or continuous type distillation machine without deteriorating the washing performance and the like. The distillation machine used is not particularly limited, but a vacuum (reduced pressure) distillation machine is usually used, and the system is a vacuum such as a kettle system, a propeller system, a thin film falling system, and a jet stirring system. A (reduced pressure) distillation machine can be used as appropriate.

本発明の共沸様洗浄剤組成物を用いて、金属、電子、精密部品等の洗浄を行なう方法は、特に限定されないが、例えば、浸漬洗浄、超音波洗浄、加温洗浄、シャワー洗浄、真空洗浄方式等が有効であり、乾燥は、温風、吸引もしくは真空乾燥(減圧乾燥)等を行なうことが可能である。また、リンスと乾燥を兼ねた減圧下における蒸気乾燥方式も可能である。   Using the azeotropic cleaning composition of the present invention, a method for cleaning metals, electrons, precision parts, etc. is not particularly limited. For example, immersion cleaning, ultrasonic cleaning, warming cleaning, shower cleaning, vacuum cleaning, etc. A washing method or the like is effective, and drying can be performed by warm air, suction, vacuum drying (drying under reduced pressure), or the like. In addition, a steam drying method under reduced pressure that combines rinsing and drying is also possible.

本発明の共沸様洗浄剤組成物は、鉛フリーハンダ用フラックスが高温でのリフローを行うことで一部変質もしく炭化状態になった汚れの他に、一般的な汚れ、例えば、通常の温度でリフローを行ったハンダフラックスまたはロジン系フラックス、あるいはワックス、ピッチ、機械油、グリース等の汚れに対して適用することも可能である。   The azeotrope-like cleaning composition of the present invention, in addition to the soil in which the flux for lead-free solder is partially altered or carbonized by performing reflow at a high temperature, a general soil, for example, a normal soil, It can also be applied to solder flux or rosin-based flux that has been reflowed at a temperature, or to stains such as wax, pitch, machine oil, and grease.

本発明の共沸様洗浄剤組成物は、機械油、グリース、フラックス、ワックス、ピッチ等の油類に対する洗浄力に優れ、特にこれまで洗浄が困難とされていた鉛フリーハンダ用フラックスの洗浄にも適しており、リンスが不要で且つ繰り返し蒸留回収される条件下においても使用可能な実用的な洗浄剤である。本発明の共沸様組成物を用いることにより、洗浄能力不足のために困難であった分野の塩素系溶剤等の代替が可能となった。   The azeotropic cleaning composition of the present invention has excellent detergency against oils such as machine oil, grease, flux, wax, pitch, etc., and is particularly useful for cleaning fluxes for lead-free solder, which has been considered difficult to clean. It is a practical cleaning agent that is suitable and can be used under conditions where rinsing is unnecessary and repeated distillation and recovery are required. By using the azeotrope-like composition of the present invention, it has become possible to substitute a chlorinated solvent or the like in a field which was difficult due to insufficient cleaning ability.

以下の各実施例において、各共沸様組成の決定及び確認は、以下の手段により行った。   In each of the following examples, determination and confirmation of each azeotropic composition were performed by the following means.

<共沸様組成の決定>
還流器を備えた500mlのフラスコに、予め調製した飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとの混合液を300g入れ、オイルバスで沸騰させながら、30分後に温度が一定になったところで、フラスコ内の液相及び気相の組成をガスクロマトグラフィーにより分析し、また、その時の気相と液相の温度を測定した。
<Determination of azeotropic composition>
In a 500 ml flask equipped with a reflux condenser, 300 g of a previously prepared mixture of a saturated alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol was placed, and while boiling in an oil bath, the temperature was raised after 30 minutes. When became constant, the compositions of the liquid phase and the gas phase in the flask were analyzed by gas chromatography, and the temperatures of the gas phase and the liquid phase at that time were measured.

その測定結果より混合組成物の気液平衡曲線を作成し、気相と液相の組成がほぼ同一となる組成比を確認することで共沸様組成比を決定した。   A vapor-liquid equilibrium curve of the mixed composition was created from the measurement results, and the azeotropic-like composition ratio was determined by confirming the composition ratio at which the composition of the gas phase and the composition of the liquid phase were almost the same.

<共沸様組成の確認>
上記の決定した共沸様組成比をもとに調製した飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとの混合液300gを500mlの蒸留フラスコに入れ、理論段数20段の蒸留装置で蒸留した。蒸気温度を測定しながら留出液を採取し、上記の決定した共沸様組成比に変化があるかどうかをガスクロマトグラフィーにより分析確認した。
<Confirmation of azeotropic composition>
300 g of a mixture of a saturated alicyclic hydrocarbon and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol prepared based on the azeotrope-like composition ratio determined above was placed in a 500 ml distillation flask, and the number of theoretical plates was 20 Was distilled with a distillation apparatus. The distillate was collected while measuring the vapor temperature, and analyzed by gas chromatography to determine whether there was a change in the azeotropic composition ratio determined above.

以下、本発明の代表的な実施例を示すが、これらに限定されるものではない。   Hereinafter, typical examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.

実施例1
上記の手段をもとに、2−メチルデカリンが40重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールが60重量%になるように共沸様洗浄剤組成物を調整し、以下の洗浄法1及び洗浄法2により鉛フリーハンダフラックスの洗浄を行った。その結果を表2に示す。
Example 1
Based on the above means, the azeotropic detergent composition was adjusted so that 2-methyldecalin was 40% by weight and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol was 60% by weight. The lead-free solder flux was washed by Method 1 and Washing Method 2. Table 2 shows the results.

<洗浄法1>
75×50×1mmのガラスエポキシ材の両面に銅をコーティングしたガラスエポキシ基板(サンハヤト株式会社製)を、鉛フリーハンダフラックス(商品名:EC−19S−8,タムラ製作所)に室温で浸漬し、室温下で30分間液切りした後、250℃のオーブン内で2.5分間リフローを行ない、さらに室温下で30分間冷却したものを被洗浄物とした。
<Cleaning method 1>
A glass epoxy substrate (manufactured by Sanhayato Co., Ltd.) coated with copper on both sides of a 75 × 50 × 1 mm glass epoxy material is immersed in a lead-free solder flux (trade name: EC-19S-8, Tamura Seisakusho) at room temperature. After the solution was drained at room temperature for 30 minutes, reflow was performed in an oven at 250 ° C. for 2.5 minutes, and the product was further cooled at room temperature for 30 minutes to obtain an object to be washed.

図1に示したように、300mlの洗浄剤組成物7を加えた500mlの洗浄用容器5及びリンス用容器6を、超音波発振器(39kHz/200W)2及びヒーター3を具備する水を張り込んだ洗浄槽1内の網目状設置台4の上に設置し、両容器とも各々40℃に保持した。   As shown in FIG. 1, 500 ml of a washing container 5 and a rinsing container 6 to which 300 ml of a detergent composition 7 has been added are filled with water provided with an ultrasonic oscillator (39 kHz / 200 W) 2 and a heater 3. The container was placed on a mesh-like mounting table 4 in the washing tank 1, and both containers were kept at 40 ° C.

まず、被洗浄物を洗浄用容器5に入れ、0.5分間超音波洗浄を行った。洗浄後の被洗浄物を、リンス用容器6に上記の洗浄法と同様の操作によりリンス洗浄を行った。リンス洗浄後、被洗浄物を取り出して熱風乾燥後、被洗浄物の外観を目視により観察を行った。
[目視観察の判定基準]
○:フラックス残渣または白色残渣が、全く観察されない。
First, the object to be cleaned was placed in the cleaning container 5 and subjected to ultrasonic cleaning for 0.5 minutes. The object to be cleaned after the cleaning was rinsed in the rinse container 6 by the same operation as the above-described cleaning method. After the rinsing, the object to be cleaned was taken out and dried with hot air, and the appearance of the object to be cleaned was visually observed.
[Criteria for visual observation]
:: No flux residue or white residue is observed at all.

△:フラックス残渣または白色残渣が、わずかに観察される。     Δ: Flux residue or white residue is slightly observed.

×:フラックス残渣または白色残渣が、顕著に観察される。     X: A flux residue or a white residue is remarkably observed.

<洗浄法2>
75×50×1mmのガラスエポキシ材の両面に銅をコーティングしたガラスエポキシ基板(サンハヤト株式会社製)に、鉛フリーハンダフラックス(商品名:アロイ305 OL213 88.5−3−M20,日本アファメタル社製)を、約2mmΦの大きさに6ヶ所塗布した後に、280℃のオーブン内で2.5分間リフローを行ない、さらに室温下で30分間冷却したものを被洗浄物とした。
<Cleaning method 2>
A lead-free solder flux (trade name: Alloy 305 OL213 88.5-3-M20, manufactured by Nippon Afa Metal Co., Ltd.) ) Was applied in six places in a size of about 2 mmφ, and then reflowed in an oven at 280 ° C. for 2.5 minutes, and further cooled at room temperature for 30 minutes to obtain an object to be cleaned.

500mlの洗浄用容器とリンス用容器を用意し、各容器に洗浄剤組成物300mlを夫々に加え、各々40℃に保持した。まず、被洗浄物を洗浄用容器に入れ20分間マグネティックスターラーで攪拌して洗浄を行った。洗浄後の被洗浄物をリンス用容器に入れ上記の洗浄法と同様の操作によりリンス洗浄を行った。リンス洗浄後、被洗浄物を取り出して熱風乾燥後、被洗浄物の外観を目視により観察を行った。
[目視観察の判定基準]
○:フラックス残渣または白色残渣が、全く観察されない。
A 500 ml washing container and a rinsing container were prepared, and 300 ml of the detergent composition was added to each container, and each was kept at 40 ° C. First, an object to be washed was placed in a washing container and washed with a magnetic stirrer for 20 minutes. The object to be washed after washing was placed in a rinsing container, and rinsed by the same operation as the above-described washing method. After the rinsing, the object to be cleaned was taken out and dried with hot air, and the appearance of the object to be cleaned was visually observed.
[Criteria for visual observation]
:: No flux residue or white residue is observed at all.

△:フラックス残渣または白色残渣が、わずかに観察される。     Δ: Flux residue or white residue is slightly observed.

×:フラックス残渣または白色残渣が、顕著に観察される。     X: A flux residue or a white residue is remarkably observed.

実施例2〜14及び比較例1〜30
実施例1の2−メチルデカリンと3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとの共沸様組成物を、表1に示す実施例2〜14及び比較例1〜30の洗浄剤組成物に代えた以外は全て実施例1と同様の操作、条件にて洗浄を行った。それらの洗浄試験結果を表2に示す。
Examples 2 to 14 and Comparative Examples 1 to 30
The azeotropic composition of 2-methyldecalin and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol of Example 1 was added to the detergent compositions of Examples 2 to 14 and Comparative Examples 1 to 30 shown in Table 1. Washing was carried out under the same operation and conditions as in Example 1 except for changing. Table 2 shows the cleaning test results.

Figure 2004307839
Figure 2004307839

実施例1の<洗浄法1>に用いた洗浄システムを表わす概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a cleaning system used in <cleaning method 1> of the first embodiment.

符号の説明Explanation of reference numerals

1:洗浄槽
2:超音波発振器
3:ヒーター
4:網目状設置台
5:洗浄用容器
6:リンス用容器
7:洗浄剤組成物
1: Cleaning tank 2: Ultrasonic oscillator 3: Heater 4: Reticulated installation table 5: Cleaning container 6: Rinse container 7: Cleaning composition

Claims (8)

メチルデカリン、プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン、メチルプロピルシクロヘキサン、エチルジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ペンチルシクロヘキサン、ヘキシルシクロヘキサン及びテトラハイドロジシクロペンタジエンから選ばれる少なくとも1種の飽和脂環式炭化水素と3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールとからなる共沸様洗浄剤組成物。 At least one type of saturated alicyclic carbon selected from methyldecalin, propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, butylcyclohexane, methylpropylcyclohexane, ethyldimethylcyclohexane, diethylcyclohexane, pentylcyclohexane, hexylcyclohexane and tetrahydrodicyclopentadiene An azeotropic detergent composition comprising hydrogen and 3-methoxy-3-methyl-1-butanol. メチルデカリン、ペンチルシクロヘキサン及びヘキシルシクロヘキサンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素の含有量が35〜50重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が50〜65重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The content of at least one or more kinds of saturated alicyclic hydrocarbons selected from methyldecalin, pentylcyclohexane and hexylcyclohexane is 35 to 50% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 50 to 65%. 2. The azeotropic detergent composition according to claim 1, which is in weight percent. プロピルシクロヘキサン、エチルメチルシクロヘキサン及びメチルプロピルシクロヘキサンから選ばれる少なくとも1種以上の飽和脂環式炭化水素の含有量が60〜80重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が20〜40重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The content of at least one kind of saturated alicyclic hydrocarbon selected from propylcyclohexane, ethylmethylcyclohexane and methylpropylcyclohexane is 60 to 80% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 20%. The azeotropic detergent composition according to claim 1, wherein the amount is from 40 to 40% by weight. トリメチルシクロヘキサンの含有量が75〜80重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が20〜25重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The azeotropic cleaning composition according to claim 1, wherein the content of trimethylcyclohexane is 75 to 80% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 20 to 25% by weight. エチルジメチルシクロヘキサンの含有量が65〜70重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が30〜35重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The azeotropic detergent composition according to claim 1, wherein the content of ethyl dimethylcyclohexane is 65 to 70% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 30 to 35% by weight. ジエチルシクロヘキサンの含有量が60〜65重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が35〜40重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The azeotropic detergent composition according to claim 1, wherein the content of diethylcyclohexane is 60 to 65% by weight, and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 35 to 40% by weight. テトラハイドロジシクロペンタジエンの含有量が55〜60重量%、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノールの含有量が40〜45重量%である請求項1に記載の共沸様洗浄剤組成物。 The azeotropic cleaning composition according to claim 1, wherein the content of tetrahydrodicyclopentadiene is 55 to 60% by weight and the content of 3-methoxy-3-methyl-1-butanol is 40 to 45% by weight. . 鉛フリーハンダフラックス洗浄用である請求項1〜請求項7のいずれかに記載の共沸様洗浄剤組成物。
The azeotropic cleaning composition according to any one of claims 1 to 7, which is for cleaning a lead-free solder flux.
JP2004074018A 2003-03-24 2004-03-16 Azeotrope-like detergent composition Pending JP2004307839A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004074018A JP2004307839A (en) 2003-03-24 2004-03-16 Azeotrope-like detergent composition

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003079691 2003-03-24
JP2004074018A JP2004307839A (en) 2003-03-24 2004-03-16 Azeotrope-like detergent composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004307839A true JP2004307839A (en) 2004-11-04

Family

ID=33478100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004074018A Pending JP2004307839A (en) 2003-03-24 2004-03-16 Azeotrope-like detergent composition

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004307839A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006249114A (en) * 2005-03-08 2006-09-21 Japan Energy Corp Cleaning agent composition and cleaning method
JP2008303313A (en) * 2007-06-08 2008-12-18 Asahi Kasei Chemicals Corp Cable cleaner
JP2013062522A (en) * 2012-11-02 2013-04-04 Daikin Ind Ltd Residue removing liquid after semiconductor dry process and residue removing method using the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006249114A (en) * 2005-03-08 2006-09-21 Japan Energy Corp Cleaning agent composition and cleaning method
JP2008303313A (en) * 2007-06-08 2008-12-18 Asahi Kasei Chemicals Corp Cable cleaner
JP2013062522A (en) * 2012-11-02 2013-04-04 Daikin Ind Ltd Residue removing liquid after semiconductor dry process and residue removing method using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5127009B2 (en) Stock solution for cleaning composition, cleaning composition and cleaning method
JP4761293B2 (en) Cleaning composition and cleaning method
JPH0788686A (en) Water-soluble solder flux
JP6942528B2 (en) Detergent composition, rinse composition and cleaning method
JP2004002688A (en) Detergent composition for precision component
JP4553845B2 (en) Partial azeotropic composition
JP2004307839A (en) Azeotrope-like detergent composition
EP0458161B1 (en) Water-soluble soldering flux
JPH05287300A (en) Detergent composition
JP2019052277A (en) Detergent composition stock solution and detergent composition containing the detergent composition stock solution
JP3195666B2 (en) Washing soap
US20140311526A1 (en) Solvent systems for use in cleaning electronic and other components
JP2838347B2 (en) Detergent composition
JP3582168B2 (en) Azeotropic cleaning composition
JPH05271693A (en) Detergent
JP2001131593A (en) Nonflammable detergent
Kenyon New, long term alternative fluorosolvents for electronics cleaning & drying applications
JP2020203240A (en) Cleaning method
JP2001334104A (en) Separation method and device
JP2011116909A (en) Stain separation-removing method
JP2001131594A (en) Low-melting detergent
JP4407636B2 (en) Cleaning composition and cleaning method
JP2001279298A (en) Detergent composition having no flash point, cleaning method and cleaning apparatus
JP6588769B2 (en) Cleaning solvent composition
JP2001220598A (en) Detergent composition